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Drehbarer Auflagetisch
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Die Erfindung betrifft einen drehbaren Auflagetisch, insbesondere
fur automatische Prober, gemäß dem Oberbegriff des Hauptanspruchs.
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Zur Uberprufung von elektrischen Schaltungs-Chips dienen sogenannte
Wafer-Prober, mit denen mit Hilfe von Nadeln die Anschlußpunkte der Chips kontaktiert
werden und die Eigenschaft der Chips gemessen werden. Das Testen der Chips eines
Wafers wird mit solchen Probern vorzugsweise automatisch ausgeführt; zur Aufnahme
der Wafer dienen Auflagetische, die in der X- und Y-Richtung verstellbar sein müssen,
um eine Bewegung der Wafer bzw. Chips in die jeweilige Meßstellung bewirken zu können.
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Es ist bereits ein Auflagetisch für Prober bekannt, der in der X-
und Y-Richtung verschiebbar und außerdem drehfähig ist.
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Die Eigenerwörmung des Probers führt zu einer beachtlichen Erhöhung
der Umgebungstemperatur und führt zu Schwierigkeiten, da die meisten t:eßdaten für
integrierte Schaltungen auf 25 0C bezogen sind. Durch die Eigenerwarmung der Prober
wird die Umgebungstemperatur, bei der die Fiessungen ausgeführt werden können, auf
ca. 36 0C erhöht. Darüber hinaus sind Schwankungen der Umgebungstemperatur bei den
Messungen unvermeidbar, so daß die llessungen eine schlechte Reproduzierbarkeit
zeigen.
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Zur Halterung der hafer ist die obere Fläche des bekannten Auflagetisches
mit Aussparungen versehen, die an eine einen Druck oder ein Vakuum erzeugende Einrichtung
Uber eine Verbindungsleitung angeschlossen sind. Die Verbindungsleitung hängt dabei
zwischen dem Auflagetisch und der den Druck bzw. das Vakuum liefernden Einrichtung,
ist somit störanföllig und muß unter Berücksichtigung des Drehwinkels des Auflagetisches
entsprechend lang gewählt sein.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Auflagetisch insbesondere
für automatische Prober zur Halterung von Wafern zu schaffen, der heiz- und kühlbar
ist und die vorstehend angegebenen Schwierigkeiten und Probleme vermeidet. Diese
Aufgabe wird erfindungsgemöß durch den Gegenstand des Hauptanspruchs gelöst.
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Weitere Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteran
spruchen.
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Der erfindungsgemöße Auflagetisch ermöglicht eine Temperaturregelung
der zu testenden Hafer derart, daß die am Auflagetisch befindlichen Hafer durch
eine Heiz- und Kühleinrichtung konstant auf Temperaturwerten innerhalb eines bestimmten
Temperaturbereichs
gehalten werden können. Der Temperaturbereich,
innerhalb welchem die Hafer getestet werden können, liegt vorzugsweise zwischen
15 C und 125 C und laßt sich mit Schritten von 1 C ändern; die .Reproduzierbarkeit
ist kleiner als 0,3 C.
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Die Oberflächentemperatur des Auflagetisches und somit der aufgelegten
Wafer läßt sich schnell und exakt nachregeln. Der Auflagetisch läßt sich mit Drehtischen
vorhandener Prober ohne weiteres kombinieren; insbesondere laßt sich ein schneller
Anschluß zwischen dem Drehtisch und dem Auflagetisch herstellen, wobei einfache
Anschlüsse und Zuleitungen vorgesehen sind, die eine schnelle Montage am Prober
ermöglichen. Insbesondere gehen die Zuleitungen wie elektrische Leitungen und Druck/Vakuumschlauch,
nicht direkt von der drehfdhigen oberen Flache oder Platte des Auflagetisches zu
den entsprechenden Anschlüssen am Prober, sondern sind zwischen dem drelifahigen
Teil und dem stationaren Teil innerhalb des Auflagetisches angeordnet; ein am stationaren
Teil angeordneter Stecker nimmt diese Zuleitungen auf, so daß die Steckverbindungen
zwischen Prober und Auflagetisch schnell und einfach herstellbar sind und darüber
hinaus keinem Verschleiß infolge der Relativdrehung zwischen der Auflageplatte des
Auflagetisches und dem Prober unterliegen. Die Gesamthöhe des Auflagetisches ist
relativ klein und entspricht dem zwischen dem Montagering des Auflagetisches und
dem die Testnadeln tragenden Kranz des Probers liegenden kleinen Raum. Die lasse
des Auflagetisches ist vergleichbar gering und daher dem Testrhythmus von Wafern,
der vergleichbar schnell ausgführt wird, angepaßt.
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Der Auflagetisch läßt sich wenigstens um 360°, vorzugsweise sogar
um 370 ° um seine Achse drehen. Die Oberflächengüte des Auflagetisches ist derart
gewählt, daß Temperaturänderungen praktisch
keinen Einfluß auf
die Cberflächengüte haben, bzw. daß sich die Planparallelität mit Werten um höchstens
10 tan verändern kann.
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Die an der Oberflache der Auflageplatte ausgebildeten Aussparungen
ermöglichen die Zufuhrung einerseits von Druckluft und damit einen ßn- und Abtransport
der hafer auf einem Luftpolster, und andererseits die Erzeugung eines Vakuum zum
Festhalten der Wafer auf dem Auflagetisch.
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Der stationäre Teil des Auflagetisches wird durch einen a.ußeren kiontagering
gebildet, der fest auf dem Probertisch befestigt wird und die stationären elektrischen
Anschlüsse und Anschlüsse für die Zufuhrung von Druckluft bzw. Vakuum aufweist.
Der nicht stationäre Teil des Aurlcgetisches besteht aus mehreren, flachen und vorzugsweise
vollständig planparallelen Bauelementen, die in Schichten übereinanderliegend angeordnet
und einfach gegeneinander verschraubt sind, so daß ein Austausch einzelner derartiger
Elemente mit geringem Au wand möglich ist. Die Heiz-und Kühleinrichtung besteht
vorzugsweise aus Peltierelementen, die aufgrund ihrer Größe und Genauigkeit bei
der Temperaturregelung zu einer guten Reproduzierbarkeit der Meßergebnisse fuhren.
Die Peltierelemente liegen mit ihrer einen Seite an der Auflageplatte des Auflagetisches
an, wobei diese Seite die Erwarmung bzw. Kühlung der hafer bewirkt, während die
andere Seite der Peltierelemente auf einer Kuhlplatte angeordnet ist; dadurch laßt
sich die Verlustwärme der Peltierelemente, die bei deren Betrieb erzeugt wird, durch
einen an der Kuhiplatte vorbeigeführten Luftstrom ableiten. Die Konstanthaltung
der Temperatur der Peltierelemente an der Kühlplatte ermöglicht einen Kühleffekt
der Peltierelemente an der gegenüberliegenden Seite, d.h. an der Auflageplatte.
Zu diesem Zweck ist am stationdren Teil ein Lüfter montiert, der den Luftstromerzeugt.
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Die elektrischen Verbindungen und Luftverbindungen im Auflagetisch
sind derart ausgebildet, daß der drehfähige Teil des Jwflagetisches gegenüber dem
stationären Teil einen Drehbereich von 360°, vorzugsweise 370°, hat. Die im Auflagetisch
vorgeschene elektrische Verbindung umfaßt ein Kabel aus einem Leiter mit flacher
Form, an dessen einen Seite mehrere gegenüber dem Träger isolierte Adern oder Leiter
vorgesehen sind. Die Umhüllung des Kabels besteht aus einem vorzugsweise schrumpffahigen
Haterial, beispielsweise einem Teflonschlauch, der den festen Zusammenhalt der einzelnen
Adern und des Tragerelementes gewährleistet. Das Kabel ist mit seinem einen Ende
am stationaren Teil des Auflagetisches befestigt und steht mit seinem inneren Ende
mit einem Ring in Verbindung, von dem ein oder mehrere Anschlußstifte in Vertikalrichtung
zu den Peltierelementen und wenigstens einem Temperaturfühler fuhren. Das kabel
ist spiralförmig aufgewickelt und ist über den Drehwinkel von 360° oder 370° verlagerbar.
Der Auflagetisch weist ferner als druck-oder vakuumführende Leitung einen Schlauch
auf, dessen eines Ende mit dem stationären Teil in fester Verbindung steht, wöhrend
dessen anderes Ende am Außenumfang einer Platte fest angeordnet ist; in dem zwischen
der Platte und dem stationären Teil definierten Ringraum liegt der Schlauch nach
Art einer Schleife und läßt sich auf den Umfang der Platte über den Winkel von O
bis 360 , vorzugsweise bis 370 0 auf- oder abwickeln. Die Platte zur Aufnahme des
Druck/Vakuum-Schlauchs ist ferner mit schlitzförmigen Öffnungen versehen und ermöglicht
eine Schnellmontage am Probertisch. Zu diesem Zweck ist der Probertisch mit tragenden
Stiften ausgerüstet, die in die schlitzförmigen Öffnungen der Platte einsetzbar
und durch Drehung der Platte in letzterer
arretierbar sind. Die
Platte und die Stifte mit den Federelementen, vorzugsweise in Form von Tellerfedern,
ermöglichen damit bei der Montage des Auflagetisches am Probertisch neben der befestigung
auch eine gegenseitige Ausrichtung zwischen letzteren.
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Im folgenden wird eine bevorzugte Ausführungsform des erfindungs gemäßen
Auflagetisches zur Erläuterung weiterer terkmale anhand von Zeichnungen beschrieben.
Es zeigen: Fig. 1 eine teilweise im Schnitt gehaltene Ansicht des Auflagetisches,
Fig. 2 eine SchnittansicM des Auflagetisches, Fig. 3 eine Aufsicht auf die Auflageplatte,
Fig. 4 eine kückseitenansicht der Auflageplatte mit Temperaturfühler, Fig. 5 eine
Teil-Aufsicht entsprechend der Linie 5-5 in Fig.1 zur Darstellung der Anordnung
des Anschluß-Kabels, + Fig. 6a und 6b Teilaufsichten entlang der Linie 6-6 in Fig.
1 zur Erläuterung der Anordnung des Druck/Vakuum-Schlauchs in verschiedenen Drehlagen
und der eine Schnellmontage am Probertisch ermöglichenden Platte, und
Fig.
7a, 7b Teilschnittcnsichten der in Fig. 6 gezeigten Platte zur Ausführung einer
Schnellmontage des Auflagetisches am Probertisch.
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Der Auflagetisch besteht nach den Fig. 1 und 2 aus einem stationähren
und einem drehfunigen Teil. bas stationäre Teil ist mit 1 bezeichnet und weist einen
Montagering und einen daran angesetzten Flansch 2 auf. bew iontasering 1 wird fest
auf dem in Fig. 1 und 2 dargestellten Tisch eines Probers befestigt und umfaßt die
stationären AuBenanschlüsse, vorzugsweise einen Stecker für die Strom- und Druck/Vakuumspeisung.
Die übrigen, in Fig. 1 und 2 gezeigten Elemente sind dem drehrähigen Teil zugeordnet.
Das drehfähige Teil umfaßt somit eine Auflageplatte 3, die an ihrer oberen Flache
mit Aussparungen 4, vorzugsweise in Form von kreisförmig verlaufenden Rillen 4 versehen
ist. Die Aussparungen 4 ermöglichen das Anlegen eines Druckluftpolsters zum An-
und Abtransport von auf die Oberfläche der Auflageplatte 3 aufzulegenden sofern
bzw.
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die Erzeugung eines Vakuums zur Halterung von aufgelegten liefern.
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Die Aussparungen 4 stehen über einen in Fig. 2 gezeigten Luftkanal
5 untereinander sowie mit Haupt-Luftkanalen 6, 7 in Verbindung, wobei der Luftkanal
7 zumindest teilweise aus einem Schlauch gebildet ist. Die Luftkanäle 6, 7 sind
an einem noch beschriebenen Druck/Vakuum-Schlauch 23 angeschlossen.
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Als Heiz- und Kühleinrichtung sind bei der dargestellten AusfUhrungsform
mehrere, vorzugsweise drei Peltierelemente 10 vorgesehen, deren eine Seite an der
Auflageplatte 3 anliegt, während die andere Seite der Peltierelemente 10 mit einer
Kühlplatte 11 in Kontakt steht. Der durch die Peltierelemente 10 festgelegte
Abstand
zwischen der Auflageplatte 3 und der Kuhlplatte 11 ist seitlich durch einen Kuhlkranz
12 mit Kühlrippen abgeschlossen.
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An die Kühlplatte 11 schließt sich - in Richtung nach unten -ein Luftkanal
13 an, in den durch einen fest am Teil 1 befestigten Lüfter8Kühlluft eingeführt
wird, die zur Abführung der von den Peltierelementen 10 abgegebenen Verluatwörme
dient. Durch die Umpolung der Peltierelemente 10 wird der Heiz- bzw. Kühlbetrieb
je nach Bedarf ermöglicht. t'eben dem Luftkanal 13 ist ein Distanzelement 14 mit
einer Trennwand 15 angeordnet. Die Trennwand 15 legt zwischen dem Distanzstück 14
und dem Montagering 1 eine ringförmige Aussparung fest, in der ein Ringelement 16
aus Hartgewebematerial und radial nach außen von dem Ringelement 16 weg ein oder
mehrere Kabel 17 angeordnet sind. Das Kabel 17 ist spiralförmig auf das Ringelement
16 aufgewickelt. Das Ringelement 16 trägt mehrere Anschlußstifte 18; außerdem ist
an dem Ringelement 16 ein Ende des Kabels 17 über eine in Fig. 5 angedeutete Zugentlastung
19 befestigt. Das andere Ende des Kabels 17 ist am Montagering 1 fest angeordnet
und mit dem nicht dargestellten Steckanschluß verbunden.
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Nach dem Distanzstück 14 schließt sich in der beschriebenen schichtweisen
Anordnung der Elemente 3, 10, 11 und 14 eine Montageplatte 22 an, die T-förmigen
Querschnitt hat, wie aus den Fig. 1 und 2 ersichtlich ist. Der durch den T-förmigen
Querschnitt gebildete Ringraum am radial außen liegenden Teil der Ebntaeplatte 22
nimmt einen Druck»fakuum-Schlauch 23 und ein ringförmiges Führungselement 24 (Fig.
6) für den Schlauch 23 auf. An der Oberseite des Schlauches 23 und des Führungselements
24 liegt der T-förmige Teil der Montageplatte 22, während an der unteren Seite im
Bereich
der durch die Kotangeplatte 22 gebildeten Aussparung ein
Schutzring 25 eingesetzt ist. Aus Fig. 2 ist ferner ersichtlich, daß die Montageplatte
22 mit OfZnungen 26 versehen ist, die gomtiß Fig. 6 und 7 schlitzförmig ausgebildet
sind und zur Aufnahme von an dem Probertisch 27 nach oben abstehenden Führungseler.lenten
28 dienen. An dem oberen Ende der Führungselemente sind nach Fig. 7 Tellerfedern
40 befestigt, die nach dem Einschieben der Fuhrungs elemente 20 in die Öffnungen
26 einen festen Sitz der Montage platte 22 am Probertisch 27 gewährleisten.
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Fig. 3 zeigt eine Aufsicht auf die Auflageplatte 3 mit den Aussparungen
4 für die Erzeugung eines Luftdruckpolsters bzw. eines Vakuums. In der unteren Fläche
der Auflageplatte 3 ist ein Temperaturfuhler 30 angeordnet, der über einen der Leiter
18 und der Kabel 17 mit dem nicht gezeigten Steckeranschluß an dem stationären Teil
bzw. dem iViontagering 1 des Auflagetisches in Verbindung steht. Der Temperaturfühler
30 ermittelt die Temperasur der Auflageplatte 3 und somit der auf die Auflageplatte
3 aufgelegten, nicht dargestellten hafer und ist ein Glied eines nicht weiter erläuterten
Temperatur-Regelkreises.
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In Fig. 5 ist ein Kabelpaar 17 dargestellt, die spiralförmig und parallel
zueinander verlaufen. Eines der beiden Kabel 17 liefert eine elektrische Verbindung
zwischen dem Stecker und den Peltierelementen 10 bzw. dem Temperaturfühler 30, während
das andere Kabei vom Stecker zur Auflageplatte 3 führt, um letzterer ein elektrisches
Potential zu verleihen, wobei sie dann gegenüber den anderen Elementen des drehfähigen
Teils isoliert sein muß. Die Kabel in Fig. 5 sind in der Dreh-Fiittelstellung (180
°) gezeigt
und sind spiralförmig und lose auf das Ringelement 16
aufgewikkelt. Zugentlastungen 19 halten die Kabel 17 an dem Ringelement 16. Das
Ringelement 16 besteht vorzugsweise aus einem tlartgewebe und ist mit Schlitzen
zur Aufnahme von Klemmen und einem Kabelende versehen. Ferner nimmt das Ringelement
16 die Anschlußstifte oder Leiter 18 auf, mit welchen die einzelnen Adern des Kabels
17 verbunden, beispielsweise verlötet sind. Die Zugentlastung 19 ist dadurch gebildet,
daß ein Ende des Trägers 31 des Kabels 17 in einen Schlitz des Ringelements 16 eingesetzt
und vorteilhafterweise mit einer Kunststoffgießharzmasse vergossen ist.
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Nach Fig. 1 und 2 besteht das Kabel 17 aus dem Träger 31, der flache
Gestalt hat und an seiner einen Fläche mit mehreren, beispielsweise vier, Leitern
oder Adern 32 versehen ist. Die Leiter 32 sind gegenüber dom Träger 31 isoliert;
Träger und Leiter sind von einem Schlauch 33 umgeben. Als bbterial fur den Schlauch
33 wird ein aufschrumpffähiges Material verwendet, so daß nach Plerstellung des
Kabels, d.h. nach Einbringen des Trägers 31 und der Leiter 32 in den Schlauch 33
letzterer durch Hitze zum Schrumpfen gebracht wird und den Träger und die Leiter
fest zusammenhält. Der Troger 31, vorzugsweise eine Spiralfeder wird vorteilhafterweise
aus Beryllium-Bronze hergestellt, wobei dieses zlateriol einen relativ hohen Innenwiderstand
bildet.
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Der Träger 31 kann selbst als Leiter verwendet werden, muß jedoch
in diesem Fall wegen seines hohen Innenwiderstandes mit einem oder mehreren der
Leiter 32 parallel geschaltet werden.
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Um den Reibungswiderstand zwischen dem oder den spiralförmig verlaufenden
Kabel bzw. Kabeln 17 und der Trennwand 15 einerseits und der Platte 22 zu reduzieren,
werden die dem Kabel 17
gegenöberliegenden Flöchen der Trennwand
und der Platte mit einer Teflonschicht versehen. Das Kabel 17 hat eine hohe Biegsamkeit
bei hoher mechanischer Festigkeit. Die außere isolierung des Kabels 17 besteht vorzugsweise
aus strahlungsvernetztem, extrudiertem Polyvinylidenfluorid und die innere Isolierung
der Leiter 32 aus strahlungsvernetztem, extrudiortem Polyalken. Die Leiter 32 werden
aus einer versilberten Litze aus einer Kupferlegierung hoher Festigkeit gebilde-..
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Die lockere Anordnung des Kabels 117 in dem dafür vorgesehenen Raum
ermöglicht eine ,si-en.)ewegung zwischen dem ein kabelende haltenden Montagering
, der an einen. ontagering 29 des Probers befestigt ist, und dem oos andere Kabelende
haltenden Ringelement 16 über einen Drehbereich von O bis 360 , vorzugsweise O bis
370 0. Der am ;ontagering 1 vorgesehene Stecker ist in Fig. 5 durch das Bezugszeichen
34 angedeutet. In dem Distanzstück 14 nach Fig. 5 vosesehene, nicht bezeichnete
Öffnungen bilden teilweise den Luftkanal, teIlweise Durchführungen zur schichtweisen
Befestigung der einzelnen Elemente des drehfätlligen Teils.
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In den Fig. 6a und 6b ist die Anordnung des Druck/Vakuum-Schlauchs
23 verdeutlicht. Der Schlauch 23, der mit einer Stützspirale 35 versehen sein kann,
ist mit einen. Ende, das mit 36 bezeichnet ist, am tiontagering 1 fest angeordnet,
während das andere Ende 27 an einem an der ;;ontageplatte 22 fest angeordneten Nippel
38 angeschlossen ist. Die Fig. 6a und 6b zeigen, daß der Schlauch in Form einer
Schleife in den Auflagetisch eingesetzt ist. Bei Einnahme einer dem Drehwinkel O
@ entsprechenden Stellung des
Auflagetisches ist nur ein kleiner
Teil des Schlauches auf den Außenumfang der Montageplatte 22 aufgewickelt, während
der größte Teil des Schlauches am innenumfang des Dlontagerings 1 zur Auflage kommt.
Fig. 6b zeigt dagegen eine dem Drehwinkel 370 ° entsprechende Stellung und es ist
ersichtlich, daß der Schlauch vom Innenumfang des Liontagerings 1 abgewickelt und
auf den Aussenumfang der Llontageplatte 22 aufgewickelt ist. Auf diese Weise läßt
sich ein Drehwintcel von 370 ohne mechanische Verbindung zwischen dem stationären
und drehfähigem Teil des Auilagetisches erreichen. Der Anschluß 38 des Schlauches
23 an der tSontageplatte 22 ist durch eine Dohrung mit einer Axialbohrung in der
l,ontageplatte verbunden, die in Fig. 2 gezeigt ist, wobei die Axialbohrung mit
dem Luftkanal 7 in Verbindung steht.
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Der Schlauch 23 muß aus einem literial bestehen, welches hohe Knickfestigkeit
und große Elastizität hat, so daß auch nach längeremGebrauchkeine Verhärtung des
Schlauchmaterials zu erwarten ist. Die Stützspirale, beispielsweise eine Stahifederspirale,
die den Schlauch 23 umgibt, reduziert vorteilhafterweise die Reibung zwischen dem
Schlauch und dessen Auflagefli:ichen und verhindert außerdem eine Reibungsbelastung
des Schlauches 23 selbst. Das Führungselement 24, welches zur Führung des Schlauchs
23 in der aus den Fig. 6a, 6b gezeigten Schleife vorgesehen ist, besteht vorzugsweise
aus einem Teflonring mit einer radialen Aussparung 39. Das ringförmige Führungselement
24 sitzt lose zwischen beiden Schlauchwindungen und hat ein an Krummungsradius des
Schlauches an dessen Wendepunkt entsprechend gebogenes bzw. abgerundetes Ende 24a.
Die den Wendeabschnitt des Schlauches aufnehmende Aussparung 39 gewährieistet, daß
der
Schlauch 23 den in den Fig. 6a, 6b gezeigten schleifenförmigen
Verlauf einhält. Durch siasc Anordnung ist gewährleistet, daß der Schlauch 23 vom
Montagering 1 weg an dessen Innenperipherie verläuft, bis sich die Richtung des
Schlauches umkchrt und der Schlauch durch die aussparung 39 des ,-ü'n.ungselements
24 wieder zurück verläuft, wobei er dann am \ußenrand der Platte 22 anliegt. Die
eine Schleife des Schlauches 23 liegt daher zwischen der Innenfläche des ,;on.aQarings
1 und dem Führungselement 24, während die andere Schleife zwischen dem Führungselement
und der äußeren Flucl1e der Montageplatte 22 angeordnet ist, wobei an der oberen
Seite dieser Fläche der Montageplatte 22 ein Plattenteil oder Flanschansatz 22'
als radiale Verlängerung ausgebildet ist; die Stärke der Trennznd ist kleiner als
die Stärke oder Mohe des zentralen Teils der Montageplatte, wodurch der Raum zur
Aufnahme des Schlauches festgelegt ist.
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Die Fig. 7a, 7b zeigen Einzelheiten der Funktion der Schnellverschlußeinheit.
Wie den Fig. 6a, 6b entnehmbar ist, sind die Öffnungen 26 in der lontageplat.e 22
auf einer Seite schlitzförmig ausgebildet. Die in Fig. 7a und 7b gezeigten Führungselemente
28 mit an ihrem oberen Teil ausgebildeten Federelementen, vorzugsweise Tellerfedern
40, werden zum !montieren des Auflagetisches an einem Probertisch 27 in die kreisförmigen
Bereiche der Öffnungen 26 eingesetzt. Durch Drehung der Montageplatte 22 gegenüber
den Führungselementen 28 rasten die Führungselemente in den schlitzförmigen bereich
der Uffnungen 26 ein. Durch die Bewegung der Führungselemente 28 in den schlitzförmigen
Bereich der Öffnungen 26 erfolgt nach Fig. 7 dadurch ein Zusammenpressen der Tellerfedern
40, daß die Öffnungsschlitze ansteigende FUhrungsflächen
kl und
in der Horizonfalen liegende Aufnahmeflächen 42 haben, so daß nac'.'-:ineinschiaben
der Fuhrungselemonte 28 in die kreisförraigen Abschnitte der Uffnungen 26 die Federn
durch die .-ührungs.lächen 41 hochgedrückt werden. Wenn die Tellerfedern 40 vollständig
auf den Aufnahmeflächen 42 zu ließen kommen, wird durch die Tellerfedern ein Druck
auf diese Aufnahmeflächen 42 ausgeübt, was zu einer festen Anordnung der Montageplatte
22 und somit des gesamten Auflagetisches auf dem Probortisch 27 führt. GleichzeItig
mit der .'-.õntage der Montageplatte 22 auf den. Probertisch 27 erfolgt aufgrund
einer kreisförmigen Anordnung der Uffnungon 26 in der .:ontageplotte 26 eine Justierung
zwischen dem Auflagetisch und dem Probertisch 27. Der Auo lagetisch ist aufgrund
einer Bewegung des Probertisches in X-und Y-Richtung zusammen mit dem Probertisch
in diesen Richtungen bewegbar und außerdem drehfähig, wobei alle Anschlüsse zwischen
dem Probertisch und dem stationären Teil des Auflagetisches ebenfalls stationär
ausgeführt werden Icbnnen. Die wegen der Dreh'arkeit des Auflagetisches bzw. dessen
drehfähigen Teils errorde,lichen Verbindungen sind sehr einfach, und unterliegen
praktisch keinem Verschleiß, so daß der Auflagetisch praktisch wartungsfrei ist.
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Die einzelnen Bauelemente des in den Figuren gezeigten Auflagetisches,
beispielsweise die Auflageplatte 3, die Kühlplatte 11, das Distanzstück 14 mit der
Trennwand 15 und die Montageplatte 22 sind goläppt, wodurch eine exakte Planparallelität
zwischen den einzelnen Bauelementen und somit der oberen Fläche der Auflagerplatte
3 gegenüber dem Probertisch 27 erreicht wird. Die Oberfläche der Auflageplatte 3
kann darüber hinaus poliert und vergoldet sein. Die einzelnen Elemente des drehfähigen
Teils
des Auflagetisches sind gegeneinander verschraubt oder anderweitig
gegeneinander bc--astigt; zu dIesem Zweck sind in den einzelnen Elementen des drchfühigen
Teils miteinander fluchtonde Bohrungen oder Öffnungen vo,zuse51cn.
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Dein Anschlußstecker 34, der am stationören Teil 1 fest montiert ist,
ist vorzugsweise ein Kupplur.gsssück zugeordnet, welches am Probertisch befestigt
ist, infolgedessen bezüglich des Elektroanschlusses Kabelverbindungen zwischen dem
Auflagetisch bzw.
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dessen stationärem Teil 1 und dem Teil Probertisches entfallen, an
welchem das stationäre Teil 1 befestigt wird.
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