DE2736960C3 - Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse - Google Patents
Meßanordnung zur RöntgenfluoreszenzanalyseInfo
- Publication number
- DE2736960C3 DE2736960C3 DE2736960A DE2736960A DE2736960C3 DE 2736960 C3 DE2736960 C3 DE 2736960C3 DE 2736960 A DE2736960 A DE 2736960A DE 2736960 A DE2736960 A DE 2736960A DE 2736960 C3 DE2736960 C3 DE 2736960C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- measuring arrangement
- radiation
- sample
- ray
- arrangement according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
- G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
- G01N2223/076—X-ray fluorescence
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
Die Haube 6, die auch eine Schutzgasfüllung (Helium oder dergl.) aufnehmen kann, stützt sich an ihrem
unteren Rand dichtend auf einer Grundplatte 9 ab. Zur Vakuumerzeugung oder zum Einfüllen eines Schutzgases
dient der in der Haube 6 vorgesehene Anschluß 7. Die Grundplatte 9 ist mit Justierschrauben 8 für die
Einstellung der Meßebene auf einem Sockel 11 gelagert,
der ebenfalls, wie angedeutet, mit höhenverstellbaren Füßen 10 versehen sein kann.
Seitlich in der Haube 6 befindet sich ein Eintrittsfenster
18 ass Beryllium. Vor dieses Fenster 18 kann eine
äußere Röntgenstrahlenqueile 16 gesetzt werden, bei der es sich beispielsweise um eine Röntgenröhre oder
um ein Sekundärtarget handelt. Das Berylliumfenster 18 sorgt dafür, daß die anregende Röntgenstrahlung
möglichst wenig geschwächt wird. Die Röntgenstrahlenqueile 16 ist im Sockel 11 mit einer Justiervorrichtung
15 versehen, welche die Möglichkeit gibt, die vertikale Achse X der Röntgenröhre zu verschwenken. Eine
weitere Justiervorrichtung 17 an einem Ständer gibt die Möglichkeit, die Röntgenröhre 16 böhenmäßig und
bezüglich der horizontalen Achse Y auszurichten.
Innerhalb der Haube 6 befindet sich auf der Grundplatte 9 eine Positioniereinrichtung 12 für das die
Probenträger 4 enthaltende Magazin 5. Die Positioniereinrichtung 12 bzw. der Probenwechsler enthält eine
karussellartig um die Achse Z drehbare Platte, die das Probenmagazin 5 aufnehmen kann. Diese Positioniereinrichtung
kann mit Hilfe eines von außen bedienbaren Antriebes so gedreht werden, daß die im Probenmagazin
5 enthaltenen Probenträgerplatten 4 der Reihe nach auf die Detektorachse D ausgerichtet werden. Wie die
Zeichnung erkennen läßt, liegen die einzelnen Probenträgerplatten 4 mit geringem Spiel in Ausnehmungen
des Probenmagazins 5. Neben der Positioniereinrichtung 12 befindet sich eine Andrückvorrichtung 13, die
ebenfalls genau wie die Positioniereinrichtung 12 mit einem von außen bedienbaren Antrieb bewegt werden
kann. Bei der Aktivierung der Andrückvorrichtung 13 drückt ein Stempel von unten durch die Karussellplatte
hindurch und bewegt dann die Probenträgerplatte 4 in die Meßstellung.
Neben der Andrückvorrichtung 13 befindet sich ein vertikal nach oben ragender Lagerblock 14, der an
seinem oberen Ende die erfindungsgemäß vorgesehene Reflektorplatte 3 trägt Diese Reflektorptette 3 ist, wie
die F i g. 3 und 4 zeigen, durchbohrt. Die Bohrung der Reflektorplatte 3 nimmt das vordere Ende des
Detektors 1 auf. Dabei ist der Detektor 1 so in der Reflektorplatte 3 gelagert, daß dessen Aperturblende 19
im wesentlichen coplanar zur Reflektorvorderfläche ausgerichtet ist Auf der Unterseite der Reflektorplatte
3 befinden sich drei kleine noppenartige Widerlager 20, an denen der Probenträger 4 zur Anlage kommen kann,
wenn er mit der Andrückvorrichtung in die Arbeitsstellung angehoben wird.
Wenn mit der erfindungsgemäßen Meßanordnung gearbeitet werden soll, wird die Röntgenröhre 16
eingeschaltet die dann durch das Berylliumfenster 18 einen Röntgenstrahl .!>
hindurchschickt Dieser Röntgenstrahl S erreicht über eine entsprechende Bohrung
im Lagerbock 14 die Unterseite der Reflektorplatte 3 und wird dann nach unter, umgelenkt um die
untersuchende Probe auf dem Probenträger 4 zu erreichen. Dadurch, daß der Röntgenstrahl S zunächst
auf die Reflektorplatte 3 auftrifft, wird der hochenergetische Teil der Strahlung unterdrückt d. h. er erreicht
ίο nicht mehr die eigentliche Meßebene. Wird beispielsweise
eine Röntgenröhre mit Molybdänannode verwendet dringt der Bremsstrahlungsanteil von mehr als
20 keV in die Reflektorplatte ein, so daß er nicht mehr zum Probenträger 4 gelangen kann. Aufgrund dieser
'■> Aussonderung der hochenergetischen Strahlung kann
man die Röntgenröhre jetzt in dem für die Strahlungsausbeute günstigsten Spannungsbereich betreiben. Mit
anderen Worten gesagt wird die anregende Strahlung am Reflektor 3 in zwei Teile aufgespalten. Der
unerwünschte hochenergetische Teil wird tiefpaßartig ausgesondert und der niederenergetische Strahlungsteil
kann optimal die Oberfläche des Probenträgers 4 erreichen. Eine nachteilige Beeinflussung des Untergrundes
der Probenträgerplatte 4 entfällt somit. Vorzugsweise ist die Reflektorplatte 3, die beispielsweise
aus Quarz oder einem anderen geeigneten Material bestehen kann, sehr nahe bei dem Probenträger
4 angeordnet Die günstigste Anordnung ist offenbar die in F i g. 1 dargestellte Lage. Falls es aus
«ι irgendwelchen Gründen erwünscht sein kann, bietet
sich aber auch eine Ausbildung gemäß F i g. 2 an, in der die den Fig. 1, 3 und 4 entsprechenden Teile mit
gleichen Bezugszeichen versehen sind. Bei der Anordnung gem. Fig.2 befindet sich die Reflektorplatte 3
J5 neben dem Detektor 1 in Höhe der Apperturblende 19. Auch hier wird die einfallende Strahlung 5 an der
Reflektorplatte 3 umgelenkt, so daß nur der niederenergetische Anteil die Oberseite der Probenträgerplatte 4
erreichen kann. Wie die Pfeile 21 und 22 und der to gestrichelt eingezeichnete Reflektor 3' zeigen, läßt sich
der Strahlungsweg durch höhenmäßige und winkelmäßige Verstellung der Reflektorplatte 3 verändern, so daß
sich dann beispielsweise ein Strahlungsgang S' ergibt, wie er in F i g. 2 mit gestrichelten Linien angedeutet ist.
Zusätzlich ist in F i g. 2 auch noch die von der auf dem Probenträger 4 befindlichen Probe 23 ausgehende
Fluoreszenzstrahlung angedeutet, die in den Detektor 1 hineingeht
Bei der erfindungsgemäßen Anordnung "ergibt sich neben der energetischen Vorteile auch noch der weitere
Vorteil, daß jegliche Ausrichtung der zu untersuchenden Probenträgerplatten entfällt. Die Feineinstellung des
Strahlenganges, der gegenüber der Probenträgerplatte
beispielsweise nur um einen Betrag von 4 bis 6 Minuten
divergiert, geschieht allein durch Ausrichtung der Röntgenröhre bzw. bei der Anordnung gemäß F i g. 2
durch Verstellen der Reflektorplatte und/oder der Röntgenröhre.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse, ^g Ausnehmungen für die Probenträgerplatten (4)
bei der eine auf einem Träger angeordnete plane aufweist, welche mit der Andrückvorrichtung (13)
Probe durch die von einer Röntgenstrahlen emittie- 5 abhebbar und gegen die Widerlager (20) der
renden Strahlenquelle streifend einfallende Rönt- Reflektorplatte (3) andrückbar sind,
genstrahlung angeregt und mit einem über der
genstrahlung angeregt und mit einem über der
Probe angeordneten Detektor spektrometrisch
untersucht wird, der vakuumdicht mit einem die zu
untersuchenden Proben samt Träger aufnehmenden iu
untersuchenden Proben samt Träger aufnehmenden iu
evakuierbaren bzw. ein Schutzgas aufnehmenden Bei einer Meßanordnung gemäß dem Oberbegriff des
Gehäusehaube verbunden ist, in dessen Seitenwand Hauptanspruchs, welche einem älteren Vorschlag der
ein Strahleneintrittsfenster für die von der äußeren Anmelderin entspricht (Patentanmeldung P 26 32 001.4),
vor das Gehäuse vorsetzbaren Strahlenquelle erfolgt die Anregung der Probe durch eine direkte
ausgehenden Röntgenstrahlung angeordnet ist l5 Röntgenstrahlung, wobei der Probenträger auf einem
dadurch gekennzeichnet, daß im Strahlen- Schwenkrahmen angeordnet wird, welcher die Möglichgang
(S) der anregenden Röntgenstrahlung inner- keit gibt, den Winkel der einfallenden Strahlung
halb der Gehäusehaube (6) ein die Strahiung zur gegenüber der Probe zu verändern.
Oberfläche des Probenträgers (4) umlenkender Die zuvor beschriebene Meßanordnung weist die Reflektor (3) angeordnet ist und daß zur Einstellung 20 Weiterentwicklungen der Anmelderin gezeigt haben, des Auftreffwinkels der auf die Probe einfallenden entscheidende Nachteile auf. Ein besonderer Nachteil anregenden Röntgenstrahlung Mittel zur höhen- liegt darin, daß der hoch-energetische Anteil des und/oder winkelmäßigen Einstellung der Lage von Spektrums der anregenden Strahlung nur durch die Strahlenquelle (16) und/oder Reflektor (3) vorgese- Verändeiung der Anodenspannung der Röntgenröhre hen sind. 2r. beeinflußt werden kann. Dabei muß die Röntgenröhre
Oberfläche des Probenträgers (4) umlenkender Die zuvor beschriebene Meßanordnung weist die Reflektor (3) angeordnet ist und daß zur Einstellung 20 Weiterentwicklungen der Anmelderin gezeigt haben, des Auftreffwinkels der auf die Probe einfallenden entscheidende Nachteile auf. Ein besonderer Nachteil anregenden Röntgenstrahlung Mittel zur höhen- liegt darin, daß der hoch-energetische Anteil des und/oder winkelmäßigen Einstellung der Lage von Spektrums der anregenden Strahlung nur durch die Strahlenquelle (16) und/oder Reflektor (3) vorgese- Verändeiung der Anodenspannung der Röntgenröhre hen sind. 2r. beeinflußt werden kann. Dabei muß die Röntgenröhre
2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch in der Regel in einem für die Strahlungsausbeute
gekennzeichnet, daß der Reflektor eine plan-parallel ungünstigen Spannungsbereich betrieben werden. Zu
zur Probenträgeroberfläche angeordnete, beispiels- berücksichtigen ist auch, daß der im Grunde unerweise
aus Quarz bestehende Reflektorplatte (3) ist wünschte hoch-energetische Teil der anregenden
3. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch jo Strahlung, der nicht mehr von dem Probenträger
gekennzeichnet daß das Abstandsverhältnis Reflek- reflektiert werden kann, den Untergrund ungünstig
tor-Röntgenstrahlaustritt zu Reflektor-Probenträ- beeinflußt. Als weiterer Nachteil ist auch noch zu
j ger größer als 10 :1 ist. erwähnen, daß die Winkelverstellung am Probenträger
4. Meßanordnung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch einen relativ großen technischen Aufwand bedingt.
gekennzeichnet, daß der höhen- und/oder winkelmä- i5 Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine
Big verstellbare Reflektor (3) in der Nähe des Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse der
Probenträgers (4) gelagert ist (F ig. 2). einleitend genannten Art so zu verbessern, daß der
5. Meßanordnung nach Anspruch 1 und 2, dadurch hoch-energetische Teil der anregenden Strahlung im
gekennzeichnet, daß der Reflektor (3) über dem wesentlichen an einem Erreichen des Probenträgers
Probenträger (4) angeordnet ist. 40 gehindert, daß die die anregende Strahlung erzeugende
fi
6. Meßanordnung nach Anspruch 5, dadurch Röntgenröhre in einem für die Strahlungsausbeute
:i gekennzeichnet, daß der Reflektor eine den günstigeren Spannungsbereich betneben werden kann
Detektor (1) umgebende, mit Bohrung versehene und daS die Einstellung des Strahlengangs ganz
\ Platte (3) ist wesentlich vereinfacht wird.
«
7. Meßanordnung nach Anspruch 5 und 6, dadurch 45 Die vorgenannte Aufgabe wird durch die im
gekennzeichnet, daß an der dem Probenträger (4) Kennzeichnungsteil des vorstehenden Hauptanspruches
zugewandten Fläche der Reflektorplatte (3) kleine angegebenen Merkmale gelöst. Bevorzugte Ausfüh-
'i noppenartige Widerlager (20) zum Abstützen der rungsformen der Erfindung sind in den Unteransprü-
Probenträgerplatten (4) angeordnet sind. chen angegeben.
ί
8. Meßanordnung nach Anspruch 5 bis 7, dadurch v>
Die erfindungsgemäße Meßanordnung wird anhand
gekennzeichnet, daß die Aperturblende (19) des der nachfolgenden ausführlichen Beschreibung und der
Detektors (1) im wesentlichen koplanar zur Reflek- Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigt
torvorderfläche in der Reflektorplattenbohrung Fig. 1 einen schematischen Längsschnitt durch ein
?| angeordnet ist. Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Meßan-
9. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis « Ordnung,
8, dadurch gekennzeichnet, daß die höhen- und/oder F i g. 2 eine geschnittene schematische Teilansicht
winkelmäßig verstellbare Röntgenstrahlungsquelle eines abgewandelten Ausführungsbeispiels der erfin-
(16) auf dem Sockel (11) der Meßanordnung mit dungsgemäßen Meßanordnung,
höhenverstellbaren Füßen (10) gelagert ist. F i g. 3 einen vergrößerten Ausschnitt aus F i g. 1 und
10. Meßanordnung nach Anspruch 1 bis 9, m> F i g. 4 eine Unteransicht zu F i g. 3.
gekennzeichnet durch einen fernbedienbaren, die Das Detektorsystem der Meßanordnung gem. F i g. 1 Probenträger (4) aufnehmenden Probenwechsler besteht in bekannter Weise aus einem Dewargefäß mit (12) mit einer auf die Detektor (D) ausgerichteten, einem Detektor 1, z. B. einem SiLi-Detektor, einem ebenfalls fernbedienbaren Probenträgerandrückvor- Zählrohr oder einem in NaJ-Kristall in einer auch der richtung (13). <^ Ausrichtung der Detektorachse D dienenden justierba-
gekennzeichnet durch einen fernbedienbaren, die Das Detektorsystem der Meßanordnung gem. F i g. 1 Probenträger (4) aufnehmenden Probenwechsler besteht in bekannter Weise aus einem Dewargefäß mit (12) mit einer auf die Detektor (D) ausgerichteten, einem Detektor 1, z. B. einem SiLi-Detektor, einem ebenfalls fernbedienbaren Probenträgerandrückvor- Zählrohr oder einem in NaJ-Kristall in einer auch der richtung (13). <^ Ausrichtung der Detektorachse D dienenden justierba-
11. Meßanordnung nach Anspruch 10, dadurch ren Halterung 2. Der Detektor 1 ist mit einer Dichtung
gekennzeichnet, daß der Probenwechsler (12) mit in die mit Beschickungsklappe versehenen Haube 6
einem achsparallel zur Detektorachse (D) verdreh- eines Staubschutz- bzw. Vakuum-Gehäuses eingesetzt.
Priority Applications (12)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2736960A DE2736960C3 (de) | 1977-08-17 | 1977-08-17 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
IT83626/78A IT1162195B (it) | 1977-08-17 | 1978-07-16 | Dispositivo di rilevazione per l'analisi mediante rontgen-fluore-scenza |
DK325778A DK146367C (da) | 1977-08-17 | 1978-07-21 | Maaleapparat til roentgenfluorescensanalyse |
AT0557478A AT368285B (de) | 1977-08-17 | 1978-08-01 | Messanordnung zur roentgenfluoreszenzanalyse |
NLAANVRAGE7808130,A NL185305C (nl) | 1977-08-17 | 1978-08-02 | Meetinrichtig voor roentgenfluorescentie-analyse. |
CH841178A CH635433A5 (de) | 1977-08-17 | 1978-08-08 | Messanordnung zur roentgenfluoreszenzanalyse. |
GB7832683A GB2003267B (en) | 1977-08-17 | 1978-08-09 | Apparatus for use in x-ray fluorescence analysis |
LU80106A LU80106A1 (de) | 1977-08-17 | 1978-08-11 | |
CA309,467A CA1111576A (en) | 1977-08-17 | 1978-08-16 | Measuring apparatus for x-ray fluorescence analysis |
BE189920A BE869791A (fr) | 1977-08-17 | 1978-08-17 | Dispositif de mesure pour analyse de fluorescence x |
FR7823990A FR2400704A1 (fr) | 1977-08-17 | 1978-08-17 | Dispositif de mesure pour analyse de fluorescence x |
US06/133,556 US4426717A (en) | 1977-08-17 | 1980-03-24 | Measuring apparatus for X-ray fluorescence analysis |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2736960A DE2736960C3 (de) | 1977-08-17 | 1977-08-17 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2736960A1 DE2736960A1 (de) | 1979-03-01 |
DE2736960B2 DE2736960B2 (de) | 1979-06-28 |
DE2736960C3 true DE2736960C3 (de) | 1980-03-06 |
Family
ID=6016538
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2736960A Expired DE2736960C3 (de) | 1977-08-17 | 1977-08-17 | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4426717A (de) |
AT (1) | AT368285B (de) |
BE (1) | BE869791A (de) |
CA (1) | CA1111576A (de) |
CH (1) | CH635433A5 (de) |
DE (1) | DE2736960C3 (de) |
DK (1) | DK146367C (de) |
FR (1) | FR2400704A1 (de) |
GB (1) | GB2003267B (de) |
IT (1) | IT1162195B (de) |
LU (1) | LU80106A1 (de) |
NL (1) | NL185305C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4127778A1 (de) * | 1991-04-30 | 1992-11-05 | Picolab Oberflaechen Und Spure | Vorrichtung zur roentgenfluoreszenz- und neutronenaktivierungsanalyse |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3542003A1 (de) * | 1985-11-28 | 1987-06-04 | Geesthacht Gkss Forschung | Verfahren zur zerstoerungsfreien analyse der oberflaechenschicht von proben |
DE3606748C1 (de) * | 1986-03-01 | 1987-10-01 | Geesthacht Gkss Forschung | Anordnung zur zerstoerungsfreien Messung von Metallspuren |
DE3813329A1 (de) * | 1988-04-21 | 1989-11-02 | Geesthacht Gkss Forschung | Verfahren und anordnung zur sammlung und analyse von staub |
EP0372278A3 (de) * | 1988-12-02 | 1991-08-21 | Gkss-Forschungszentrum Geesthacht Gmbh | Verfahren und Anordung zur Untersuchung von Proben nach der Methode der Röntgenfluoreszenzanalyse |
JP2853261B2 (ja) * | 1989-05-16 | 1999-02-03 | 三菱マテリアル株式会社 | 金属分析方法および分析装置 |
US5220591A (en) * | 1989-10-19 | 1993-06-15 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Total reflection X-ray fluorescence apparatus |
US5249216B1 (en) * | 1989-10-19 | 1996-11-05 | Sumitomo Electric Industries | Total reflection x-ray fluorescence apparatus |
US5014287A (en) * | 1990-04-18 | 1991-05-07 | Thornton Michael G | Portable x-ray fluorescence spectrometer for environmental monitoring of inorganic pollutants |
CN109827982B (zh) * | 2017-11-23 | 2024-04-26 | 核工业西南物理研究院 | 一种土壤重金属检测的快速检测仪 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3920984A (en) * | 1974-04-08 | 1975-11-18 | Machlett Lab Inc | X-ray energy analyzer |
-
1977
- 1977-08-17 DE DE2736960A patent/DE2736960C3/de not_active Expired
-
1978
- 1978-07-16 IT IT83626/78A patent/IT1162195B/it active
- 1978-07-21 DK DK325778A patent/DK146367C/da not_active IP Right Cessation
- 1978-08-01 AT AT0557478A patent/AT368285B/de active
- 1978-08-02 NL NLAANVRAGE7808130,A patent/NL185305C/xx not_active IP Right Cessation
- 1978-08-08 CH CH841178A patent/CH635433A5/de not_active IP Right Cessation
- 1978-08-09 GB GB7832683A patent/GB2003267B/en not_active Expired
- 1978-08-11 LU LU80106A patent/LU80106A1/xx unknown
- 1978-08-16 CA CA309,467A patent/CA1111576A/en not_active Expired
- 1978-08-17 BE BE189920A patent/BE869791A/xx not_active IP Right Cessation
- 1978-08-17 FR FR7823990A patent/FR2400704A1/fr active Granted
-
1980
- 1980-03-24 US US06/133,556 patent/US4426717A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4127778A1 (de) * | 1991-04-30 | 1992-11-05 | Picolab Oberflaechen Und Spure | Vorrichtung zur roentgenfluoreszenz- und neutronenaktivierungsanalyse |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2003267A (en) | 1979-03-07 |
GB2003267B (en) | 1982-01-06 |
LU80106A1 (de) | 1979-01-19 |
FR2400704B1 (de) | 1983-09-16 |
NL7808130A (nl) | 1979-02-20 |
CA1111576A (en) | 1981-10-27 |
DE2736960B2 (de) | 1979-06-28 |
FR2400704A1 (fr) | 1979-03-16 |
DK146367B (da) | 1983-09-19 |
IT7883626A0 (it) | 1978-07-16 |
NL185305C (nl) | 1990-03-01 |
US4426717A (en) | 1984-01-17 |
DK146367C (da) | 1984-02-27 |
CH635433A5 (de) | 1983-03-31 |
ATA557478A (de) | 1982-01-15 |
DE2736960A1 (de) | 1979-03-01 |
NL185305B (nl) | 1989-10-02 |
DK325778A (da) | 1979-02-18 |
BE869791A (fr) | 1978-12-18 |
IT1162195B (it) | 1987-03-25 |
AT368285B (de) | 1982-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3177114B1 (de) | Verfahren zur justage der primärseite eines röntgendiffraktometers | |
DE4123817C2 (de) | Strahlungsmeßgerät, insbesondere zur Messung der Lumineszenz | |
EP0955539B1 (de) | Kompaktes Röntgenspektrometer | |
DE3619886C2 (de) | ||
DE2736960C3 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE19952293B4 (de) | Röntgenfluoreszenzanalysator | |
DE69232214T2 (de) | Einrichtung zur Oberflächenanalyse mittels Röntgenspektroskopie | |
DE60035876T2 (de) | Mikrostrahl-Kollimator für Hochauflösungs-Röntgenstrahl-Beugungsanalyse mittels konventionellen Diffraktometern | |
DE102009006984A1 (de) | Röntgen-Mehrkanal-Spektrometer | |
DE3104468C2 (de) | Röntgenfluoreszenzspektrometer | |
DE10103707A1 (de) | Halterung zum Positionieren eines Objektträgers sowie Vorrichtung zum Laserschneiden von Präparaten und Mikroskop | |
DE19633441C1 (de) | Verfahren und Vorrichtung für die genaue Massenbestimmung in einem Flugzeitmassenspektrometer | |
DE2632001C3 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE2642637C2 (de) | Röntgenfluoreszenzspektrometer | |
DE2910250A1 (de) | Quelle fuer polychromatische roentgenstrahlung | |
EP0183043B1 (de) | Einrichtung zur Röntgenanalyse | |
DE1902628C3 (de) | Röntgenkamera für die Röntgenstrahlen-Beugungsanalyse von pulverförmigen Substanzen | |
DE1598924A1 (de) | Roentgenspektrometer | |
DE2911596B2 (de) | Meßanordnung zur Röntgenfluoreszenzanalyse | |
DE1901666A1 (de) | Verfahren fuer Kristalltopographie und Vorrichtung zur Durchfuehrung dieses Verfahrens | |
DE1960083U (de) | Universal-spektrometer hoher empfindlichkeit fuer elektromagnetische wellen. | |
DE1245613B (de) | Spektrometer, bestehend aus einem Hochvakuumbehaelter mit einer von einer schraegen Ebene umrandeten OEffnung | |
DD286871A5 (de) | Anordnung zur positionierung der detektoren eines bragg-soller-spektrometers | |
DE102016006215A1 (de) | Positioniervorrichtung für ein Rheometer | |
DE2629451A1 (de) | Vorrichtung zur roentgenfluoreszenzanalyse |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
EGA | New person/name/address of the applicant |