DE2602800A1 - Festkoerper-bildsensor - Google Patents

Festkoerper-bildsensor

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DE2602800A1 DE19762602800 DE2602800A DE2602800A1 DE 2602800 A1 DE2602800 A1 DE 2602800A1 DE 19762602800 DE19762602800 DE 19762602800 DE 2602800 A DE2602800 A DE 2602800A DE 2602800 A1 DE2602800 A1 DE 2602800A1
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Description

2S0280Q
It 3527
SONY CORPORATION Tokyo / Japan
Festkörper-Bildsensor
Die Erfindung betrifft allgemein-.-einen Festkörper-Bildsensor und ist insbesondere auf einen ladungsgekoppelten Bildsensor des Zwischenzeilenübertragxmgstyps gerichtet.
Es ist ein Festkörper-Bildsensor bekannt, der z.B. eine ladungsgekoppelte Vorrichtung oder ein ladungsgekoppeltes Element (CCD) verwendet und von der Art eines Zwischenzeilenübertragungssystems ist.
Fig. 1 zeigt eine typische ladungsgekoppelte Vorrichtung 10 der bekannten Festkörper-Bildsensoren, die aus einem gemeinsamen Halbleitersubstrat 1, einer Anzahl von Sensorbereichen 2, die auf dem Halbleitersubstrat 1 gebildet sind und von denen jeder in zweidimensionalen Bereichen als Bildelemente ausgerichtet ist, vertikalen Schieberegistern 3, deren Anzahl gleich der der Sensorbereiche 2 in der horizontalen Abtastrichtunq bzw. der der Bildelemente in der horizontalen Richtung ist und sich in vertikaler Richtung erstreckt, und einem horizontalen Schieberegister 4 zur übertragung gespeicherter Träger zu einem Ausgangsanschluß besteht.
Um ein Ausgangssignal von dem Festkörper-Bildsensor 10 zu erhalten, werden zuerst Minoritätsträger, die in
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jedem Sensorbereich 2 in Abhängigkeit von Lichtinformationen gespeichert sind, einmal während des Vertikalaustastintervalls eines Fernsehsignals in jeder vertikalen Zeile zu dem vertikalen Schieberegister 3 (parallele Übertragung) übertragen, dann werden die Träger über jedes vertikale Schieberegister 3 in der vertikalen Richtung (serielle Übertragung) sequentiell übertragen und danach werden die Träger über das horizontale Schieberegister 4 in jeder horizontalen Abtastzeile in der horizontalen Richtung ausgelesen. Somit kann ein gewünschtes Ausgangssignal an dem Ausgangsanschluß (nicht gezeigt) des horizontalen Schieberegisters 4 erhalten werden.
Da die Übertragung gespeicherter Träger bei jeder horizontalen Abtastzeile durchgeführt wird, wird dieses übertragungssystem allgemein als ein Zwischenzeilenübertragungsschiebesystem (oder Zwischenzeilenschiebesystem) bezeichnet.
Mehrere Pfeile in Fig. 1 zeigen die Richtung der Trägerübertragung, wenn jedoch ein Zeilensprungabtastsystem während der Bildaufnahme verwendet wird, zeigen die gestrichelten Pfeile in Fig. 1 Trägerübertragungen bei bestimmten geradzahligen Halbbildern. Die gespeicherten Trägern werden so zu den vertikalen Schieberegistern 3 nur über die durch ausgezogene Pfeile gezeigten Wege bei ungeradzahligen Halbbildern übertragen.
Wenn durch den obigen bekannten Festkörper-Bildsensor 10 eine ausreichende Auflösung erhalten wird, wird es notwendig, die Anzahl der Bildelemente zu erhöhen und damit wird es sehr schwer, daß ein Festkörper-Bildsensor auf dem Halbleitersubstrat 1 bestimmter Abmessung rißfrei gebildet wird.
Außerdem tritt bei dem Trägerübertragungswirkungsgrad der vertikalen Schieberegister des bekannten Festkörper-
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Bildsensors ein Problem auf, das dazu führt, daß ein bekannter Festkörper-Bildsensor vom praktischen Standpunkt aus kaum hergestellt werden kann.
Durch die Erfindung wird ein Festkörper-Bildsensor mit einer Ladungsübertragungsvorrichtung geschaffen, die aus mehreren Bildaufnähmeteilen besteht, die in zweidimensionalen Bereichen eines Halbleiterkörpers angeordnet sind, von denen jeder einen Bildsensorbereich und einen Übertragungssteuerbereich hat, aus mehreren vertikalen Schieberegistern, die sich ■nahe den Bildaufnahmeteilen in der vertikalen Richtung erstrecken und von denen jedes mehrere Sätze Elektroden hat, die erweitert sind, damit sie gleichmäßig zwischen den Bildaufnahmeteilen relativ zu der vertikalen Richtung liegen, und aus einem horizontalen Register zur parallelen Aufnahme der aufgenommenen Lichtinformationen von den vertikalen Schieberegistern und zur übertragung der Lichtinformationen zu einem Ausgangsanschluß in serieller Form.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, einen Festkörper-Bildsensor in Form eines Zwischenzeilenschiebesystems zu schaffen, bei dem der Trägerübertragungswirkungsgrad im Vergleich zum Stand der Technik durch Vergrößerung des Elektrodenbereichs an dem vertikalen Schieberegister erheblich verbessert ist, ohne eine Verschlechterung der vertikalen Auflösung zu verursachen.
Weiterhin soll durch die Erfindung ein Festkörper-Bildsensor geschaffen werden, bei dem die Bildelemente, die in der vertikalen Richtung angeordnet sein sollen, bei jeder horizontalen Abtastperiode (1H) gebildet werden und nicht benutzte Bereiche der Bildelemente zur Lösung der der Erfindung zugrunde liegenden Aufgabe wirksam ausgenutzt werden.
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Weiterhin soll durch die Erfindung ein Festkörper-Bildsensor geschaffen v/erden, bei dem die vertikalen Schieberegister zick-zack-förmig angeordnet sind, um den Bereich der Übertragungselektrode und damit den Ladungsübertragungs· Wirkungsgrad zu erhöhen.
Auch ist es Aufgabe der Erfindung, einen Festkörper-Bildsensor zu schaffen, bei dem die Informationen entsprechend zwei Spalten von einem einzigen vertikalen Schieberegister verarbeitet werden, so daß die Anzahl der vertikalen Schieberegister auf die Hälfte verringert werden kann und daher einige Teile eingespart werden können.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Fig. 1 bis 9 beispielsweise erläutert. Es zeigt.
Figur 1 eine Aufsicht eines Beispiels eines bekannten Festkörper-Bildsensors vom Zwischenzeilenübertragungstyp unter Verwendung einer ladungsgekoppelten Vorrichtung,
Figur 2A eine Vorderansicht einer Ausführungsform des Festkörper-Bildsensors gemäß der Erfindung,
Figur 2B, 2C und 2D Schnitte längs der Linien I-I, II-II und III-III der Fig. 2A,
Figur 3 zur Erläuterung der Erfindung eine vergrößerte Darstellung eines Teils der Fig. 2A,
Figur 4 eine schematische Darstellung eines der Fälle, in denen der Bildsensor der Erfindung in Fig. 2A als Fernsehkamera verwendet ist,
Figur 5 eine schematische Darstellung eines der Fälle, in denen der Bildsensor in Fig. 2A als Farbfernsehkamera verwendet ist,
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Figur 6, 7 und 8 Vorderansichten von weiteren Ausführungsformen des Festkörper-Bildsensors gemäß der Erfindung, und
Figur 9A und 9B schematische Darstellungen zur Erläuterung der Wirkungen der Erfindung.
In Fig. T!sind die Bildelemente der ungeradzahligen Spalten bezüglich der horizontalen Abtastrichtung mit 2a und die Bildelemente der geradzahligen Spalten bezüglich der horizontalen Abtastrichtung mit 2b bezeichnet. Außerdem sind in Fig. 1 die ungeradzahligen horizontalen Abtastzeilen mit 5a und die geradzahligen horizontalen Abtastzeilen mit 5b bezeichnet.
In Fig. 2A, die eine Ausführungsform der Erfindung zeigt, bezeichnet 10 einen Hauptteil einer Ausführungsform des Festkörper-Bildsensors gemäß der Erfindung. Wie zuvor erwähnt wurde, sind bei der Erfindung die Bildelemente in jeder zweiten Zeile im Vergleich zu der bekannten Vorrichtung der Fig. 1 angeordnet.
Bei dem Beispiel der Fig. 2A sind die Bildelemente auf den geradzahligen horizontalen Abtastzeilen 5b weggelassen. Somit ist seine Grundrißkonstruktion gleich der in der Figur gezeigten.
In Fig. 2A sind die durch gestrichelte Linien gezeigten Bereiche solche zur Speicherung und Übertragung von Trägern und werden im folgenden als Bildsensor- oder Aufnahmeteile bezeichnet. In Fig. 2A bezeichnet 0, Elektroden zur
α.
Speicherung von Trägern und 0 Steuerelektroden, die an Steuerbereichen 6 zur Verschiebung der gespeicherten Träger zu den vertikalen Schieberegistern 31 vorgesehen sind. Da Fig. 2A den Fall zeigt, daß die Träger in einem zweiphasigen Takt übertragen werden, ist jedes der vertikalen Schieberegister 31 mit einem Satz von zwei Elektroden O- und 02 versehen und damit ist die Gesamtanzahl von
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Elektroden zweimal so groß wie die der Bildelemente in der vertikalen Richtung.
Bei der Erfindung erstreckt sich die Elektrode 0.. (oder 02) der vertikalen Schieberegister 31 zu den Bereich, wo das Bildelement weggelassen ist, um den Bereich der Elektrode zu vergrößern. Somit ist jedes Schieberegister 31 in Form eines Zickzackmusters ausgebildet.
Die Querschnittsdarstellungen und die Längsschnittdarstellung des Festkörper-Bildsensors 10, der in der obigen Weise aufgebaut ist, sind in den Fig. 2B, 2C und 2D gezeigt. Bei diesem Beispiel ist ein Halbleitersubstrat mit N-Leitfähigkeit als Hauptleitersubstrat 1 verwendet und die oben erwähnten Elektroden sind auf die eine Oberfläche 1a des Halbleitersubstrats 1 an bestimmten Stellen über eine Isolierschicht 7 z.B. aus Siliziumdioxyd SiOp aufgeschichtet, da solch eine Konstruktion eine Form einer CCD ist, wodurch man den gewünschten Festkörper-Bildsensor 10 erhält. In dem Halbleitersubstrat 1 sind Zonen 8 gebildet, die als Kanalbegrenzer dienen.
Die Leitfähigkeit einer Überlauf-Drainzone 9, die in der Zone 8 gebildet ist, unterscheidet sich von der des Substrats 1 bzw. ist vom P -Typ. Bei dem gezeigten Beispiel ist die Zone 9 so gebildet, daß ihre Breite sehr viel geringer als die der Zone 8 des Kanalbegrenzers ist, es ist jedoch selbstverständlich möglich, daß. die Breite und Form bzw. Anordnung der Zone 9 entsprechend der Abmessung der Zone 8 gewählt werden.
Da die Übertragung von Trägern in dem Festkörper-Bildsensor dadurch verschlechtert wird, daß Träger infolge des Grenzpegels in dem Substrat 1 eingefangen werden, wird der Übertragungswirkungsgrad allgemein durch den "fat zero"-Effekt verbessert, der elektrisch oder optisch
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hervorgerufen wird, oder durch die ständige Zufuhr einer geringen Menge von Vorspannungsladung zu dem vertikalen Schieberegister 31 hervorgerufen wird. Wenn daher der Bereich der Elektrode des vertikalen Schieberegisters 3' im Zusammenhang mit dem "fat zero"-Effekt ausgedehnt wird, kann der Einfangeinfluß gegenüber den Minoritätsträgern infolge des Grenzpegels weiter verringert und demzufolge der Übertragungswirkungsgrad stark verbessert werden.
Z.B. ist einer der Maßstäbe zur.Bestimmung, ob der Übertragungswirkungsgrad hoch oder niedrig ist, das Verhältnis von S und β , wobei S dem Bereich des vertikalen Schieberegisters 31 und t die Länge ihrer einen Seite (Kante) ist, die als Träger-auffang wirkt, der nicht von dem fat zero-Effekt überdeckt werden kann. Hierbei bedeutet die Länge £ der Seite, die als Trägerauffana wirkt, die Länge einer Seite, die die Grenzfläche bildet, die nicht
K Il
von dem fat zero-Effekt überdeckt wird, in den Grenzflächen der Verarmungsschicht, die durch die Elektrode für die Trägerübertragung verursacht wird. Wenn somit die Richtung der Trägerübertragung gewählt wird, wie durch die Pfeile in Fig. 3 angegeben ist, werden die Grenzflächen 9a und 9b, die senkrecht zu der Trägerübertragungsrichtung verlaufen, die durch die Pfeile angegeben ist, von dem fat zero-Effekt und der Übertragung von Signalträgern überdeckt. Daher wird die gesamte Länge der Seiten der Grenzflächen, die nicht zu den obigen Grenzflächen gehören (diese Seiten sind in Fig. 3 schraffiert gezeigt) zu einem Problem.
Wenn daher der Bereich S größer ist als die Länqe L bzw. wenn das Verhältnis S/t groß ist, wird der Auffangeinfluß an der Grenzfläche klein und somit kann der Übertragungswirkungsgrad verbessert werden. Es ist daher ersichtlich, daß, wenn der Bereich der Elektrode wie bei der Erfindung erweitert wird, der Übertragungswirkungsgrad wirksam ver-
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bessert werden kann. Obwohl später praktische Werte beschrieben werden, ist zu beachten, daß der Übertragunqswirkungsgrad um etwa 20 bis 50 % im Vergleich zum Stand der Technik verbessert werden kann.
Wie zuvor beschrieben wurde, sind bei dem Festkörper-Bildsensor 10 in Fig. 2A die Bildelemente 2 entsprechend der horizontalen Abtastlinie bei jedem weiteren 1H weggelassen. Wenn somit ein Videoausgangssignal unter Verwendung dieses Festkörper-Bildsensors 10 erzeugt wird, genügt es, daß der Bildsensor 10 mit der in Fig. 4 gezeigten Schaltung verbunden wird.
In Fig. 4 bezeichnet 21 ein aufzunehmendes Objekt, 22 ein optisches Linsensystem, 23 einen 1H-Verzöaerungskreis, 24 einen Schalter, der jeweils bei 1H geschaltet wird, und 40 einen Signalmischer. Der Schalter 24 besteht aus einem beweglichen Kontakt 2 4a, der mit einem Ausgangsanschluß 40_ verbunden ist, und festen Kontakten 24^ und 24_. Wenn die Lichtinformationen entsprechend den ungeradzahligen Abtastzeilen 5a als Ausgangssignale ausgelesen werden, ist der Schalter 24 geschaltet, wie Fig. 4 zeigt bzw. dessen beweglicher Kontakt 24a berührt dessen festen Kontakt 24_. Wenn die Lichtinformationen entsprechend den geradzahligen horizontalen Abtastzeilen 5b ausgelesen werden, werden diejenigen vor 1H zu dem Ausgangsanschluß 40 geleitet. Im allgemeinen besteht eine vertikale Korrelation, so daß ein wiedergegebenes Bild nicht verschlechtert wird, selbst wenn eine Signalverarbeitung durchgeführt wird.
Anhand der Fig. 5 wird nun der Fall einer Farbsignalverarbeitung mit dem Festkörper-Bildsensor 10 beschrieben. In der Farbfernsehkamera, die in Fig. 5 gezeigt ist, sind drei Festkörper-Bildsensoren 1OR, 10G und 10B verwendet, von denen jeder gleich dem oben beschriebenen Bildsensor ist. Monochromatische Filter 25R, 25G und 25B entsprechend R (rot), G (grün) und B (blau) sind vor den Festkörper-
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Bildsensoren 1OR, 1OG und 1OB angeordnet. Somit werden gewünschte farbgetrennte Bilder der Objekte 21 von den Bildsensoren 10 R, 10G und 10B aufgenommen. In Fig. 5 bezeichnen 26 und 26b Halbspiegel und 27a und 27b Spiegel.
Die Lagebeziehungen zwischen den farbgetrennten Bildern und den Bildsensoren 10R bis 1OB sind so gewählt, daß sie um 1/3r„ (wobei C„ den Fluchtungsabstand in der
η ti
horizontalen Abtastrichtung darstellt) in der horizontalen Richtung gegeneinander verschoben sind, so daß die farbgetrennten Bilder mit einer Phasendifferenz von 120° vom Standpunkt der Phase aus projiziert werden. Videoausgangssignale werden von den jeweiligen Bildsensoren 10R bis 10B sequentiell und abwechselnd ausgelesen und dann über einen Addierkreis 28 und den Signalmischer 40 (der in Fig. 4 gezeigt ist) zu einem Tiefpaßfilter 29 geleitet, dessen Abschneidfrequenz etwa 20 MHz beträgt. Der Grund, weshalb das Tiepaßfilter 29 zwischengeschaltet ist, besteht darin, daß die Auflösung in der vertikalen Richtung im Zusammenhang mit der später beschriebenen Konstruktion nicht verschlechtert wird. Zu diesem Zweck werden die unteren Bandkomponenten, die die Auflösung beeinträchtigen könnten, keiner Signalverarbeituna unterzogen.
Das Ausgangssignal des Filters 29 und das Mischsignal des Signalmischers 40 (dessen Band nicht begrenzt ist) werden einem Subtrahierkreis 30 zugeführt, der die obere Bandkomponente abgibt. Das Ausgangssignal des Subtrahierkreises 30 wird über einen Verzögerungskreis 32 um 1H verzögert und dann einem Addierkreis 32 zugeführt, der von dem Mischer 40 mit dem Mischsignal versorgt wird. Somit enthält das Ausgangssignal des Addierkreises 32 die unteren Bandkomponenten, die nicht über das Signalverarbeitungssystem laufen, wird jedoch einem Tiefpaßfilter 33 zugeführt, dessen Abschneidfrequenz 5,0 MHz beträgt. Dieses Tiefpaßfilter 33 erzeugt eine modulierte
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26028
- 1G -
Gleichspannungskomponente. Das Ausgangssignal des Addierkreises 32 wird auch über ein Bandpaßfilter 34 Demodulatoren 35A und 35B zugeführt, die bestimmte Demodulationsachsen haben und die FärbSignalkomponenten demodulieren. Z.B. demoduliert der Demodulator 35A die Farbsignalkomponente.: R - —*—, während der Demodulator 35B die Farbsignalkomponente G-B demoduliert, so daß, wenn diese Farbsignalkomponenten und die modulierte Komponente R + G + B einer Matrixschaltung 36 zugeführt werden, das Leuchtdichtesignal Y und die Farbdifferenzsignale bzw. Farbartsignale R-Y und B - Y z.B. des NTSC-Systems an Ausgangsanschlüssen 36a, 36b und 36c erhalten werden können, die von dem Matrixkreis 36 herausgeführt sind.
Wie oben beschrieben wurde, wird der Bildsensor 10 in Fig. 2A verwendet, wenn bei der Bildaufnahme nicht das Zeilensprungsystem angewandt wird. Der Fall, wenn das Zeilensprungsystem angewandt wird, wird anhand der Fig. 6 und der folgenden beschrieben. In solch einem Fall werden die Bildelemente benachbarter horizontaler Abtastperioden zu einem Satz ausgebildet und diese Sätze von Bildelementen sind abwechselnd angeordnet, um den Festkörper-Bildsensor 10 zu bilden.
Fig. 6 zeigt einen Teil solch eines Bildsensors 10 in vergrößertem Maßstab. Hierbei ist die überlauf-Drainzone 9 als Zickzackmuster ausgebildet.
Fig. 7 zeigt einen Teil eines weiteren Beispiels des Bildsensors 10 in vergrößertem Maßstab. Hierbei sind die Bildelemente abwechselnd längs der beiden Seiten des vertikalen Schieberegisters 31 angeordnet und die Lichtinformationen von den Bildelementen auf beiden Seiten des vertikalen Schieberegisters 31 bzw. der beiden Spalten werden von einem einzigen vertikalen Schieberegister 3· übertragen. Somit kann bei dem Beispiel der Fig. 7 die Anzahl
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der vertikalen Schieberegister 3· ohne die zuvor beschriebene Wirkung der Erfindung zu verlieren, verringert werden. Außerdem ist das Beispiel der Fig. 7 einfach im Aufbau und damit leicht herzustellen.
Bei dem Beispiel der Fig. 7 wird ein Bereich 11, der von den Überlaufzonen 9 umgeben ist, zu einem Einheitsbereich in der horizontalen Abtastrichtung und es sind ein gemeinsames vertikales Schieberegister 31 und zwei Spalten von Bildelementen in einem Einheitsbereich 11 vorgesehen.
Fig. 8 zeigt eine Abwandlung des Festkörper-Bildsensors der Fig. 7.
Wie oben beschrieben wurde, sind bei der Erfindung die Bildelemente bei jeder zweiten horizontalen Abtastperiode weggelassen und die Elektrode des Schieberegisters ist in den freien Bereich erweitert, so daß der Trägerübertragungswirkungsgrad im Vergleich zum Stand der Technik stark erhöht werden kann. Dies bedeutet, daß bei den Festkörper-Bildsensoren in den Fig. 2, 6,7 und 8 der Trägerwirkungsgrad um etwa 20 bis 50 % im Vergleich zum Stand der Technik verbessert werden kann.
Zum besseren Verständnis wird nun der in Fig. 1 gezeigte Stand der Technik mit der in Fig. 7 gezeigten Erfindung beschrieben. Bei dem Beispiel des Standes der Technik, das in Fig. 9A gezeigt ist, beträgt das Verhältnis S/e 4,5, jedoch ist bei dem Beispiel der Erfindung έ = C. + e2 +#2 +^4 ~ 44 9™* gegenüber S = 297 üom) , wie Fig. 9B zeigt, so daß das Verhältnis S,/£ zu 6,8 wird, was bedeutet, daß der Trägerübertragungswirkungsgrad um etwa 50 % erhöht ist.
Außerdem nimmt bei der Expansion des Elektrodenbereichs die Anzahl der zu verarbeitenden Träger zu, so daß Störungen verringert werden können.
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Wie die Fig. 7 und 8 zeigen, kann, wenn die Bildelemente längs der beiden Seiten jedes vertikalen Schieberegisters 3' und abwechselnd bezüglich der vertikalen Richtung liegen, die Anzahl der vertikalen Schieberegister 31 um 1/2 im Vergleich zu derjenigen der Bildelemente in der horizontalen Richtung theoretisch verringert werden, und auch die Anzahl der Bildelemente selbst kann im Vergleich zum Stand der Technik um 1/2 verringert werden. Wenn hierbei das Signal unter Verwendung der vertikalen Korrelation verarbeitet wird, wird die Qualität der wiedergegebenen Bilder kaum verschlechtert. Wenn eine Bildqualität im wesentlichen gleich derjenigen des derzeitigen Fernsehbildes erhalten wird, genügt es, daß die Anzahl der Bildelemente zu 2/3 derjenigen des Standes der Technik und die Anzahl der vertikalen Schieberegister in Abhängigkeit von derjenigen der Bildelemente gewählt wird. Wenn z.B. die Anzahl der Bildelemente in der horizontalen Richtung in der Größenordnung von 280 gewählt wird, kann eine ausreichende Auflösung erhalten werden. Somit wird die Anzahl der vertikalen Schieberegister 3· bei dem Fest- kcrper-Bildsensor 10 in der Größenordnung von 140 gewählt.
Wie im Zusammenhang mit den Fig. 7 und 8 beschrieben wurde, können die Festkörper-Bildsensoren leicht hergestellt werden.
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Claims (4)

  1. Ansprüche
    Festkörper-Bildsensor mit einer Ladungsübertragunqsvorrichtung, bestehend aus mehreren Bildaufnahmeteilen, die in zweidimensionalen Bereichen eines Halbleiterkörpers angeordnet sind, von denen jeder einen Bildaufnahmebereich und einen Übertragungssteuerbereich hat, mit mehreren vertikalen Schieberegistern, die sich nahe den Bildaufnahmeteilen vertikal erstrecken und von denen jedes mehrere Sätze Elektroden hat, und mit einem horizontalen Register zum parallelen Empfang der aufgenommenen Lichtinformationen von den vertikalen Schieberegistern und zur Weiterleitung der Lichtinformationen in serieller Form zu einem Ausgang, dadurch gekennzeichnet, daß die Sätze Elektroden derart erweitert sind, daß sie gleichmäßig zwischen den Bildaufnahmeteilen relativ zu der vertikalen Richtung liegen.
  2. 2. Bildsensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei der Bildsensorteile, die in der vertikalen Richtung angeordnet sind, eine Gruppe bilden, und daß die Elektrode jedes vertikalen Schieberegisters sich zwischen den Bildaufnahmeteilen jeder Gruppe erstreckt.
  3. 3. Bildsensor nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppen von Bildsensorteilen in benachbarten Spalten verschachtelt angeordnet sind.
  4. 4. Bildsensor nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildsensorteile, die in vertikaler Richtung und in einem vertikalen Schieberegister angeordnet sind, ein vertikales Sensorelement bilden, und daß ein Isolierbereich zwischen benachbarten vertikalen Sensoranordnungen gebildet ist.
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    JH
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DE2602800A 1975-01-30 1976-01-26 Festkörper-Bildsensor Expired DE2602800C3 (de)

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