DE2540528A1

DE2540528A1 - Hochvakuum-torventil

Info

Publication number: DE2540528A1
Application number: DE19752540528
Authority: DE
Inventors: Klaus Adamski
Original assignee: Hahn Meitner Institut fuer Kernforschung Berlin GmbH
Current assignee: Hahn Meitner Institut fuer Kernforschung Berlin GmbH
Priority date: 1975-09-11
Filing date: 1975-09-11
Publication date: 1977-03-24

Description

Patentanwälte Dipl.-Ing. F. ¥eickmann,

Dipl.-Ing. H. Weickmann, Dipl.-Phys. Dr. K. Fincke Dipl.-Ing. F. A.¥eickmann, Dipl.-Chem. B. Huber

8 MÜNCHEN 86, DEN

POSTFACH 860 820

MÖHLSTRASSE 22, RUFNUMMER 98 39 21/22

Hahn-Meitner-Institut für Kernforschung Berlin Gesellschaft mit beschränkter Haftung
1 Berlin 39, Glienicker Straße 100

Hochvakuum-Torventil

Die Erfindung betrifft ein Hochvakuum-Torventil mit einem Verschlußteil, das mittels eines Betätigungsmechanismus zum Schließen des Torventils mit den Rändern einer Durchgangsöffnung über eine Dichtung, die sich zumindest im Schließzustand des Torventils um den Umfang der Durchgangsöffnung herum erstreckt, zur Anlage gebracht wird.

Mit der Erfindung wird ein Hochvakuum-Torventil zur Verfügung gestellt, bei dem eine verhältnismäßig große Durchgangsöffnung mittels eines relativ einfachen Mechanismus hochvakuumdieht verschließbar ist.

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Insbesondere ist es mit dem erfindungsgemäßen Ventil möglich, Durchgangsöffnungen mit einer Nennweite von 100 mm und mehr vakuumdicht zu verschließen, wobei bei einer bevorzugten Ausführungsform im geöffneten Zustand der volle Leitungsquerschnitt freigegeben wird.

Das erfindungsgemäße Hochvakuum-Torventil zeichnet sich dadurch aus, daß wenigstens ein Abstützteil über einen Verstellmechanismus an dem Verschlußteil derart angebracht ist, daß das Abstützteil nach Überführen des Verschlußteils in die Schließstellung durch Betätigen des Verstellmechanismus aus einer Ruhestellung, in welcher es die Überführung des Verschlußteils in den Schließzustand nicht behindert, relativ zum Verschlußteil in eine Arbeitsstellung verstellbar ist, in der es sich in Anlage mit wenigstens einem Anschlag befindet und das Verschlußteil über den Verstellmechanismus an den Rand der Durchgangsöffnung andrückt, während es an dem Anschlag abgestützt ist.

Es können auch, wie vorstehend indirekt zum Ausdruck gebracht ist, mehrere Anschläge vorgesehen sein, an denen sich das Abstützteil abstützen kann, um das Verschlußteil über den Verstellmechanismus an den Rand der Durchgangsöffnung anzudrücken.

Durch diesen Aufbau nach der Erfindung ist es möglich, den Mechanismus für das Schließen der Durchgangsöffnung bei relativ großen Abmessungen der letzteren verhältnismäßig einfach auszubilden, weil für das Halten des ziemlich großen Verschlußteils, insbesondere wenn sich dieses vakuumseitig befindet, keine raumaufwendigen Mechanismen erforderlich sind, da es mit Hilfe des Anschlags bzw. der Anschläge möglich ist,

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die Gegenhalterung des Verschlußteils über den Verstellmechani'smus und das Abstützteil im Umgebungsbereich des Randes der Durchgangsöffnung in einfacher Weise abzustützen und über diese Abstützung an den Rand der Durchgangsöffnung anzupressen.

Durch die Anordnung der Anschläge im Umgebungsbereich des Randes der Durchgangsöffnung ist es weiterhin möglich, das Verschlußteil mit dem zugehörigen Verstellmechanismus und dem Abstützteil als Baueinheit so auszubilden und anzuordnen, daß in der Öffnungsstellung des Hochvakuum-Torventils der volle Querschnitt der Durchgangsöffnung zur Verfügung steht, was nicht nur für sehr niedrige Drucke bis 10" Torr wichtig ist, sondern was weiterhin auch vorteilhaft dafür ist, wenn man durch die Durchgangsöffnung hindurch irgendwelche Änderungen im anschließenden Vakuumteil vornehmen oder Aufbauten bzw. Teile in den Vakuumraum einbringen will.

Für den Verstellmechanismus stehen an sich die verschiedensten Arten von Mechanismen zur Verfügung, so kann beispielsweise der Verstellmechanismus ein Drehmechanismus sein, der ein exzentrisches Abstützteil so verdreht, daß es in den Bereich des Anschlags oder der Anschläge gelangt, wobei mit der Drehbewegung, wenn diese von einem Gewindeteil ausgeführt wird, eine Verschiebung des Abstützteils parallel zum Verschlußteil entgegengesetzt zur Richtung der auf das Verschlußteil aufzubringenden Andrückkraft verbunden sein kann, so daß das Abstützteil gleichzeitig in den Bereich des Anschlags bzw. der Anschläge gedreht und an die Anschläge angelegt werden kann.

Der Verstellmechanismus kann aber auch als Hebelmechanismus ausgebildet sein, und zwar ist es insbesondere zu bevorzugen, daß der Hebelmechanismus ein Parallelverschiebungsmechanismus ist, der aufgrund einer Verschiebung zwischen dem Verschluß-

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teil und dem Abstutzteil senkrecht zur Richtung des Anpreßdruckes, mit dem das Verschlußteil an den Rand der Durchgangsöffnung angedrückt werden soll, eine Parallelverschiebung zwischen dem Verschlußteil und dem Abstützteil entgegengesetzt zur Richtung des Anpreßdruckes erzeugt, so daß das Abstützteil durch die sich ergebende Gesamtbewegung in die Arbeitsstellung überführbar ist.

Vorzugsweise sind ein oder mehrere Rückstellfedern vorgesehen, die den Verstellmechanismus in dem Sinne beaufschlagen, daß das Abstützteil bei Nichteinwirken einer Betätigungskraft auf den Verstellmechanismus in seiner Ruhestellung ist.

Eine besonders vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung in Verbindung mit dem vorerwähnten Hebelmechanismus und der Rückstellfeder bzw. den Rückstellfedern ergibt sich dann, wenn das Hochvakuum-Torventil so ausgebildet ist, daß der Betätigungsmechanismus zum Öffnen und Schließen des Torventils an dem Abstützteil angreift und bei seiner Betätigung im Sinne eines Schließens des Torventils den Verstellmechanismus im Sinne eines Uberführens des Abstützteils von der Ruhe- in die Arbeitsstellung betätigt, nachdem er das Verschlußteil in Anlage mit der Dichtung gebracht hat.

Durch diese Ausbildung wird nämlich erreicht, daß zur Betätigung des Verstellmechanismus keine gesonderte Betätigungseinrichtung erforderlich ist die in der letzten Phase des Schließens des Hochvakuum-Torventils gesondert in Betrieb gesetzt werden müßte, sondern daß der Verstellmechanismus, der sich zwischen Verschluß- und Abstützteil befindet, automatisch durch die Betätigungseinrichtung, welche das Verschlußteil an den Rand der Durchgangsöffnung bewegt, in der letzten Phase des Schließens des Hochvakuum-Torventils betätigt wird, so daß es also nur er-

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forderlich ist, den für das Öffnen und Schließen des Hochvakuum-Torventils vorgesehenen Betätigungsmechanismus zu betreiben und eine gesonderte Betätigung des Verstellmechanismus entfällt.

In Weiterbildung der Erfindung kann bei der zuletzt erwähnten Ausführungsform der Betätigungsmechanismus an einer Stelle des sich zumindest etwa parallel zur Ebene der Durchgangsöffnung erstreckenden Umfangs des Abstützteils angreifen, während der Anschlag an der entgegengesetzten Stelle dieses Umfangs des Abstützteils angreift.

Da nämlich dann, wenn die Anschläge, was zu bevorzugen ist, im Umgebungsbereich des Randes der Durchgangsöffnung vorgesehen sind, wenigstens zwei Anschläge gebraucht werden, um das Abstützteil in einfacher Weise abzustützten, kann durch die zuletzt erwähnte Weiterbildung der Erfindung ein einziger Anschlag ausreichend sein, weil der zweite Anschlag dann von dem Teil des Betätigungsmechanismus gebildet wird, welcher an dem Abstützteil angreift.

Insbesondere kann das Verschlußteil im Bereich des Randes der Durchgangsöffnung schwenkbar befestigt sein, wobei der gesamte Öffnungsquerschnitt der Durchgangsöffnung dann beim Öffnen des Hochvakuum-Torventils freigegeben wird, wenn das Verschlußteil aus seiner Schließstellung in einem Winkel von wenigstens 90 in seine Öffnungsstellung verschwenkbar ist.

Der Betätigungsmechanismus zum Öffnen und Schließen des Hochvakuum-Torventils kann über eine Kolbenstange an dem vakuumseitig befindlichen Abstutzteil angreifen, wobei die Umgebung der Kolbenstange gegenüber der Atmosphäre durch einen Wellmembranbalg abgedichtet ist, welcher seinerseits durch eine

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Laufbuchse in einem inneren zylindrischen Gehäuse geführt ist.

Durch diese Art der Verriegelung tritt keine Funktionsbeeinträchtigung des Hochvakuum-Torventils durch Ausfall der auf den Betätigungsmechanismus einwirkenden Kraft auf, denn das Hochvakuum-Torventil bleibt auch dann geschlossen.

Schließlich ist es möglich, daß der Anschlag bzw. die Anschläge justierbar ist bzw. sind.

Endlich kann der Betätigungsmechanismus ein zweiseitig wirkender, insbesondere mit Preßluft betreibbarer, Zylinder-Kolben-Mechanismus sein.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines in den Fig. 1 und

2 der Zeichnung im Prinzip dargestellten, besonders bevorzugten Ausführungsbeispiels, näher erläutert; es zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch ein Hochvakuum-Torventil, wobei das Verschlußteil, der Verstellmechanismus und das Abstützteil in Seitenansicht dargestellt sind; und

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-B der Fig. 1, gesehen in Pfeilrichtung.

Das in den Figuren 1 und 2 dargestellte Hochvakuum-Torventil weist ein im wesentlichen zylindrisches Gehäuse 1 auf, das an seinen beiden Stirnseiten je einen Gehäuseflansch 2 bzw.

3 besitzt. Mit dem Flansch 2 und/oder 3 kann das Torventil in eine Hochvakuumanlage eingebaut werden. Um nun die Durchgangsöffnung 4, die von dem Flansch 2 umgeben wird, vakuumdicht abschließen zu können, ist ein Verschlußteil vorgesehen, das aus den beiden Teilen 5a, 5b besteht, von denen das

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Teil 5a von einer kreisförmigen Platte gebildet wird, während das daran angeschweißte Teil 5b eine über den Durchmesser des Teils 5a verlaufende Stange ist (siehe Fig. 2), die um die Welle 6 aus der in Fig. 1 in ausgezogenen Linien gezeigten Lage in die in der gleichen Figur in strichpunktierten Linien angedeutete Stellung mittels eines Betätigungsmechanismus 7 verschwenkbar ist. Durch diese Schwenkbewegung wird die kreisförmige Platte 5a des Verschlußteils mit den Rändern 8 der Durchgangsöffnung 4 zur Anlage gebracht, und zwar über eine Dichtung 9, die sich um den Umfang der Durchgangs öffnung, also rings um den Rand 8 herum, erstreckt.

Über einen insgesamt mit 10 bezeichneten Verstellmechanismus ist ein, im vorliegenden Fall stangenförmiges, Abstützteil 11 an der Stange 5b des Verschlußteils angebracht, und zwar ist die Anbringung derart, daß das Abstützteil 11 nach Überführen des Verschlußteils 5a, 5b in die Schließstellung durch Betätigen des Verstellmechanismus 10 aus seiner in Fig. 1 in ausgezogenen Linien dargestellten Ruhestellung in seine Arbeitsstellung verstellt wird, die in Fig. 1 in strichpunktierten Linien gezeigt ist.

In der Ruhestellung des Abstutzteils 11 ist dieses über den Verstellmechanismus 10 so an der Stange 5b des Verschlußteils 5a, 5b angebracht, daß es mit seiner oberen Kante 12 nicht an den Anschlag 13 anstößt, wenn die aus dem Verschlußteil 5a, 5b, dem Verstellmechanismus 10 und dem Abstützteil 11 bestehende Einheit um die Welle 6 in die Schließstellung verschwenkt wird, in der das Verschlußteil 5a an der Dichtung anliegt. Die Ruhestellung des Abstützteils 12 ist also so charakterisiert, daß es in dieser Stellung die Überführung der kreisförmigen'Platte 5a des Verschlußteils 5a, 5b in den Schließzustand nicht behindert.

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Dagegen befindet sich das Abstützteil 11 in seiner Arbeitsstellung in Anlage mit dem Anschlag 13. In dieser Arbeitsstellung wirkt das Abstützteil 11 als Abstützung für den Verstellmechanismus 10, der so ausgebildet ist, daß er die kreisförmige Platte 5a an den Rand 8 der Durchgangsöffnung 4 andrückt, so daß diese über die zwischen dem Rand 8 und dem Umfangsrand 14 der kreisförmigen Platte 5a abgedichtet wird.

Hierzu ist der Verstellmechanismus 10 als Hebelmechanismus ausgebildet, der die starren, geraden Hebel 15 aufweist, von denen auf jeder Seite zwei zwischen der Stange 5b und dem Abstützteil 11 vorgesehen sind, indem jeder Hebel 15 mit dem einen Ende drehbar mit der Stange 5b und mit dem anderen Ende drehbar mit dem Abstützteil 11 verbunden ist. In der Stellung, in welcher das Abstützteil 11 an der Stange 5b anliegt, wie in Fig. 1 in ausgezogenen Linien dargestellt ist, verläuft die Längsrichtung der Hebel 15 unter einem spitzen Winkel zur Längsrichtung der stangenförmigen Teile 5b und 11.

Auf diese Weise ist der Verstellmechanismus 10 ein Parallelverschi ebungsmechanismus, der aufgrund einer Verschiebung zwischen der Stange 5b und dem Abstütztteil 11 senkrecht zur Richtung des Aufpreßdrucks (senkrecht zur Richtung des Pfeils C in Fig. 1), mit dem die kreisförmige Platte 5a des Verschlußteils an den Rand 8 der Durchgangsöffnung 4 angedrückt werden soll, also aufgrund einer Verschiebung in Richtung des Pfeils D in Fig. 1, eine Parallelverschiebung zwischen der Stange 5b des Verschlußteils und dem Abstützteil 11 entgegengesetzt zur Richtung des Anpreßdrucks (entgegengesetzt zur Richtung des Pfeils C in Fig. 1) erzeugt, so daß das Abstützteil 11 durch die sich ergebende Gesamtbewegung

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in die in Fig. \ in strichpunktierten Linien dargestellte Arbeitsstellung übergeführt wird.

Es sind mehrere Rückstellfedern 16 vorgesehen, die zwischen dem Abstützteil 11 und der Stange 5b des Verschlußteils so angebracht sind, daß sie das Abstützteil 11 in seiner Ruhestellung halten, wenn keine Betätigungskräfte auftreten. Der Betätigungsmechanismus 7, beispielsweise ein zweiseitig wirken der, mit Preßluft betreibbarer, Zylinder-Kolben-Mechanismus, der zum öffnen und Schließen des Torventils dient, greift über eine Kolbenstange 17 an dem Abstützteil 11 an, und zwar ist zwischen dem Ende der Kolbenstange 17 und dem Abstützteil 11 bzw. einem Ansatz 11a dieses Abstützteils ein starrer gerader Hebel 18 vorgesehen, der sowohl mit der Kolbenstange als auch mit dem Ansatz 11a des Abstützteils 11 jeweils drehbar mit je einem Ende verbunden ist.

Die Umgebung der Kolbenstange ist, da sie über eine Öffnung 19 mit dem Innenraum 20 des Torventils verbunden ist, gegenüber der Atmosphäre durch einen Wellmembranbalg 21 abgedichtet, von dem in Fig. 1 nur das obere und das untere Ende dargestellt ist. Dieser Wellmembranbalg 21 wird von einer Laufbuchse 22 geführt, die ihrerseits in einem innen zylindrischen Gehäuse 23 eingesetzt ist, das mit seinem einen stirnseitigen Ende über einen Flansch 24 mit einer seitlichen Öffnung im zylindrischen Gehäuse 1 verbunden ist. An das andere stirnseitige Ende des Gehäuses 23 ist am Flansch 25 der Betätigungsmechanismus 7 angeschraubt.

Das Ende 26 einer durch den Betätigungsmechanismus 7 hin- und herverschiebbaren (in Fig. 1 nach oben und unten verschiebbaren) Stange ist mit dem in Fig. 1 unteren Ende der Kolbenstange 17 verbunden. Wenn mn dieses Ende 26 in Fig. 1 nach

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oben verschoben wird, dann wird die Kolbenstange 17 in ihrer axialen Richtung in Fig. 1 nach oben verschoben, wobei sich die Laufbuchse 22 ebenfalls nach oben bewegt und wobei ferner der Wellmembranbalg 21 zusammengedrückt wird. Durch diese Bewegung wird das Verschlußteil 5a, 5b um den Stift bzw. die Welle 6 um 90° verschwenkt. Wenn dann die runde Platte 5a an der Dichtung 9 anliegt, bewirkt die weitere Bewegung der Kolbenstange 17 nach oben eine Verschiebung des Abstützteils 11 in Richtung des Pfeils D, was zur Folge hat, daß die Hebel 15 gleichzeitig mit dieser Verschiebung in Richtung des Pfeils D eine Parallelverschiebung des Abstützteils 11 zu der Stange 5b in Richtung des Pfeils E hervorrufen, wodurch die obere Kante 12 des Abstützteils 11 an den Anschlag 13 zum Anliegen kommt, wie in Fig. 1 links oben ersichtlich ist. Gleichzeitig wird die runde Platte 5a durch diese Parallelverschiebung in Richtung des Pfeils E an die Dichtung 9 so stark angepreßt, daß die Durchgangsöffnung 4 hochvakuumdicht abgedichtet ist.

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Da die Kolbenstange 17 über den Hebel 18 an dem zum Anschlag 13 entgegengesetzten Ende des Abstützteils lla angreift, ist hier kein besonderer Anschlag erforderlich, weil dieser Anschlag praktisch von der genannten Verbindung gebildet wird.

Es sei noch erwähnt, daß der Anschlag 13 durch eine Schraube 27 justierbar ist, so daß er genau in die erforderliche Lage in Richtung der Pfeile C, E eingestellt werden kann.

Endlich kann zur elektrischen Rückmeldung für die Ventilbetätigung ein Mikroschalter 28 vorgesehen sein, der im vorliegenden Falle am unteren Ende des Gehäuses 23 angebracht ist und durch das untere Ende der Laufbuchse 22 betätigt wird.

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Das erfindungsgemäße Torventil ist beispielsweise für Drucke

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bis 10" Torr einsetzbar. Das Gehäuse besteht vorzugsweise aus Edelstahl, und das Ventil besitzt eine Nennweite von 100 mm oder mehr. Es kann mit jeder beliebigen Flanschart ausgerüstet werden. Die Betätigung kann hand- oder fernbedient erfolgen.

Das Hochvakuum-Torventil besitzt weiterhin folgende vorteilhafte Eigenschaften:

(a) Es ist beidseitig dicht gegen Atmosphärendruck.

(b) Es ist ausheizbar bis zu ca. 150° C.

(c) Es ist beim Einbau lageunabhängig.

(d) Das Gehäuse hat geringe Oberflächen und wenig Schweißnähte .

(e) Es hat keine Dichtungen außer am Ventildeckel; es hat ein geschlossenes Gehäuse.

(f) Es werden nur einfache mechanische Bauteile benutzt..

(g) Eine elektrische Rückmeldung durch zusätzliche Mikroschalter ist vorhanden.

(h) Es tritt keine Funktionsbeeinträchtigung durch Strom- oder Preßluftausfall ein, da das Ventil - z.B. im verschlossenen Zustand - durch die Art der Verriegelung verschlossen bleibt.

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Claims

Patentansprüche

1. Hochvakuum-Torventil mit einem Verschlußteil, das mittels eines Betätigungsmechanismus zum Schließen des Torventils mit den Rändern einer Durchgangsöffnung über eine Dichtung, die sich zumindest im Schließzustand des Torventils um den Umfang der Durchgangsöffnung herum erstreckt, zur Anlage gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Abstützteil (11) über einen Verstellmechanismus (10) an dem Verschlußteil (5a, 5b) angebracht ist, daß das Abstützteil nach Überführen des Verschlußteils in die Schließstellung durch Betätigen des Verstellmechanismus aus einer Ruhestellung, in welcher es die Überführung des Verschlußteils in dem Schließzustand nicht behindert, relativ zum Verschlußteil in eine Arbeitsstellung verstellbar ist, in der es sich in Anlage mit wenigstens einem Anschlag (13) befindet, wobei das Verschlußteil über den Verstellmechanismus an den Rand (8) der Durchgangsöffnung (4) angedrückt wird, während das Abstützteil an dem Anschlag abgestützt ist,

2. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Verstellmechanismus (10) als Hebelmechanismus ausgebildet ist.

3. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Hebelmechanismus (15) ein ParallelVerschiebungsmechanismus ist, der aufgrund einer Verschiebung zwischen dem Verschlußteil (5a, 5b) und dem Abstützteil (11) senkrecht zur Richtung des Anpreßdruckes, mit dem das Verschlußteil an den Rand (8) der Durchgangsöffnung (4) angedrückt werden soll, eine Parallelverschiebung zwischen dem Verschlußteil und dem Abstützteil ent-

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gegengesetzt zur Richtung des Anpreßdruckes erzeugt, so daß das Abstutzteil durch die sich ergebende Gesamtbewegung in die Arbeitsstellung überführbar ist.

4. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein oder mehrere Rückstellfedern (16) vorgesehen sind, die den Verstellmechanismus (10) in dem Sinne beaufschlagen, daß das Abstützteil

(11) bei Nichteinwirken einer Betätigungskraft auf den Verstellmechanismus in seiner Ruhestellung ist.

5. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Betätigungsmechanismus

(7) zum Öffnen und Schließen des Torventils an dem Abstützteil (11) angreift und bei seiner Betätigung im Sinne eines Schließens des Torventils den Verstellmechanismus (10) im Sinne eines Uberführens des Abstützteils (11) von der Ruhein die Arbeitsstellung betätigt, nachdem er das Verschlußteil (5a, 5b) in Anlage mit der Dichtung (9) gebracht hat.

6. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Betätigungsmechanismus (10) an einem Ende des sich zumindest etwa parallel zur Ebene der Durchgangsöffnung (4) erstreckenden Abstützteils (11) angreift, während der Anschlag (13) an dem entgegengesetzten Ende (12) des Abstützteils angreift.

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7. Hochvakuum-Torventil nach einem der Ansprüche 1-6, insbesondere nach den Ansprüchen 3, 4, 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußteil (5a, 5b) im Bereich des Randes der Durchgangsöffnung (4) schwenkbar befestigt ist.

8. Hochvakuum-Torventil nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Verschlußteil (5a, 5b) aus seiner Schließstellung in einem Winkel von wenigstens 90° in seine Öffnungsstellung verschwenkbar ist.

9. Hochvakuum-Torventil nach einem der Ansprüche 5 - 8» insbesondere nach den Ansprüchen 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Betätigungsmechanismus (7) über eine Kolbenstange (17) an dem vakuumseitig befindlichen Abstützteil (11) angreift, wobei die Umgebung der Kolbenstange gegenüber der Atmosphäre durch einen Wellmembranbalg (21) abgedichtet ist, welcher seinerseits durch eine Laufbuchse (22) in einem innen zylindrischen Gehäuse (23) geführt ist.

10. Hochvakuum-Torventil nach einem der Ansprüche 1-9, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlag (13) bzw. die Anschläge justierbar ist bzw. sind.

11. Hochvakuum-Torventil nach einem der Ansprüche 1-10, dadurch gekennzeichnet, daß der Betätigungsmechanismus (7) ein zweiseitig wirkender, insbesondere mit Preßluft betreibbarer, Zylinder-Kolben-Mechanismus ist.

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