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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein IC-Testgerät zum Testen von integrierten
Halbleiterschaltungen, sogenannten ICs. Insbesondere betrifft die
Erfindung eine eine Spannung anlegende Strommeßschaltung für ein IC-Testgerät. Eine
solche Strommeßschaltung
wird zum Testen eines logischen ICs eingesetzt, der beispielsweise
aus einem oder mehreren CMOS-Elementen (Complementary Metal Oxide
Semiconductor) aufgebaut ist, um festzustellen, ob ein Leckstrom über die
Anschlußstifte
des logischen ICs (nachfolgend auch als CMOS-IC bezeichnet) fließt. Bei
der nachfolgend zur Vereinfachung als "V-Strommeßschaltung" bezeichneten eine Spannung anlegenden
Strommeßschaltung
handelt es sich um eine Schaltung, die an einen gerade getesteten
IC eine Spannung anlegt und dabei den Stromfluß durch den IC mißt.
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Bei
einem IC-Testgerät
kann für
die einzelnen Eingangsanschlußstifte
bei hoher Geschwindigkeit ein Funktionstest ausgeführt werden,
bei dem eine variierende Spannung an den IC angelegt und gemessen
wird, in welcher Weise sich das Ausgangssignal des ICs verändert.
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Eine
Eigenschaft von CMOS-ICs, bei denen es sich um eine Art von ICs
handelt, ist, daß der
Eingangsstrom sehr klein oder gar null ist, so daß eine Schaltung,
die in der Lage ist, einen sehr kleinen Strom zu messen, d.h. einen
Ministrom oder Mikrostrom, zum Testen solcher CMOS-ICs benötigt wird. Solch
eine Mikro-Strommeßschaltung
ist jedoch gewöhnlich
langsam, weshalb es im Stand der Technik üblich ist, die Strommessung
bei einem CMOS-IC gesondert von dessen Funktionstest auszuführen. 3 zeigt
ein Beispiel eines zugehörigen
Schaltungsteils eines herkömmlichen
IC-Testgeräts
mit einer V-Strommeßschaltung
zur Messung eines Mini- oder Mikrostroms durch einen zu testenden
IC (nachfolgend als Test-IC bezeichnet).
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Für die einzelnen
Anschlußstifte
eines Test-ICs 11 ist eine entsprechende Anzahl von E/A-Blöcken (Eingangs/Ausgangs-Blöcken) 12-1 bis 12-n vorgesehen
(n ist eine ganze Zahl gleich der Anzahl von Anschlußstiften
des Test-ICs und gleich oder größer als
Eins). Jeder E/A-Block umfaßt
einen Treiber 13 zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung an den
zugehörigen
Anschlußstift
des Test-ICs 11, einen Vergleicher 16 zum Vergleich
der Ausgangsspannung des Test-ICs 11 mit einer Referenzspannung,
sowie eine V-Strommeßschaltung 17.
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Der
Ausgangsanschluß des
Treibers 13 ist mit einem E/A-Anschluß 15 des E/A-Blocks über einen
ersten Schalter 14 verbunden, und der Verbindungspunkt
des Ausgangsanschlusses des Treibers 13 mit dem ersten
Schalter 14 ist mit einem Eingangsanschluß des Vergleichers 16 verbunden.
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Die
V-Strommeßschaltung 17 umfaßt einen DAU 18 (Digital-Analog-Umsetzer),
eine Puffer- oder Trennschaltung 19 mit einem ni-Eingang
(ni = nicht-invertierend), der mit dem Ausgang des DAU 18 verbunden
ist, einen Differenzverstärker 23 mit
einem i-Eingang (i = invertierend), der mit dem Ausgang der Trennschaltung 19 verbunden
ist, sowie einem ni-Eingang, der mit dem Ausgang des DAU 18 verbunden
ist, und ein Strommeß-Widerstandselement 21,
dessen eingangsseitiges Ende mit dem Ausgang der Trennschaltung 19 verbunden
ist und dessen ausgangsseitiges Ende mit einem i-Eingang der Trennschaltung 19 sowie
einem Ende eines zweites Schalters 22 verbunden ist, dessen
anderes Ende mit dem E/A-Anschluß 15 des E/A-Blocks verbunden ist.
Der Ausgang der Trennschaltung 19 ist somit über die
Reihenschaltung aus Strommeß-Widerstandselement 21 und
zweitem Schalter 22 mit dem E/A-Anschluß 15 des E/A-Blocks verbunden.
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Der
Ausgang des Differenzverstärkers 23 aller
E/A-Blöcke 12-i (i
= 1, 2,..., n) ist über
einen zugehörigen
Schalter 24-i (i = 1, 2,..., n), der in dem jeweiligen
E/A-Block vorgesehen ist, mit einem ADU 25 (Analog-Digital-Umsetzer)
verbunden. Außerdem
ist eine Betriebsstromquelle 26 mit einem Stromversorgungsstift
des Test-ICs 11 verbunden.
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Zur
Messung eines Stromflusses durch einen Test-IC unter Anlegen einer
vorbestimmten Spannung an den Test-IC, werden die einzelnen E/A-Anschlüsse der
E/A-Blöcke 12-1 bis 12-n mit
einem zugehörigen
Anschlußstift
des Test-ICs 11 verbunden. Ein einer Testspannung entsprechender
Digitalwert wird in den DAU 18 eingegeben, wobei in den
einzelnen E/A-Blöcken
der erste Schalter 14 ausgeschaltet und der zweite Schalter 22 eingeschaltet
sind. Dann wird eine Testspannung von dem DAU 18 ausgegeben
und an den jeweiligen Anschlußstift
des Test-ICs 11 angelegt.
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Hierdurch
entsteht über
dem Strommeß-Widerstandselement 21 eine
Spannung entsprechend dem über
den jeweiligen Anschlußstift
des Test-ICs 11 fließenden
Strom. Die Spannung kann mit dem Differenzverstärker 23 gemessen werden,
dessen genauer Aufbau nachfolgend erläutert wird. Dadurch, daß die Schalter 24-1 bis 24-n einzeln
nacheinander eingeschaltet werden, liefert der ADU 25 in
Form digitaler Daten eine Spannung entsprechend einem Eingangsstromfluß in den
jeweils eingeschalteten E/A-Block, d.h. einen Eingangsstromfluß über den Anschlußstift des
Test-ICs 11,
der mit dem eingeschalteten E/A-Block verbunden ist.
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Der
Differenzverstärker 23 hat
tatsächlich
einen Schaltungsaufbau, wie er in 4 gezeigt
ist. Der i-Eingang 27 des Differenzverstärkers 23 ist
mit einem ni-Eingang eines Puffers oder Trennverstärkers 28 verbunden.
Der Ausgang des Trennverstärkers 28 ist
mit seinem i-Eingang sowie über
ein erstes Widerstandselement 29 (R1) mit einem i-Eingang eines
Differenzverstärkers 31 verbunden.
Ein zweites Widerstandselement 35 (R2) ist zwischen den
i-Eingang des Differenzverstärkers 31 und
dessen Ausgang geschaltet. Der ni-Eingang 32 des Differenzverstärkers 23 ist über ein
drittes Widerstandselement 33 (R3) mit einem ni-Eingang
des Differenzverstärkers 31 verbunden.
Dieser ni-Eingang des Differenzverstärkers 31 ist außerdem über ein
viertes Widerstandselement 34 (R4) mit Masse verbunden.
Der Ausgang des Differenzverstärkers 31 ist
mit dem Ausgang 36 des Differenzverstärkers 23 verbunden bzw.
stellt diesen dar. Am Ausgang 36 des Differenzverstärkers 23 wird
somit die Differenzspannung VC zwischen
der Spannung VA am i-Eingang 27 und
der Spannung VB am ni-Eingang 32 des
Differenzverstärkers 23 ausgegeben.
Die Spannung, die einem Eingangsstrom in einen jeweiligen Anschlußstift des Test-ICs 11 entspricht,
erhält
man als digitale Daten vom ADU 25.
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Der
Differenzverstärker 23 muß unter
Berücksichtigung
der Gleichtaktunterdrückung
(CMRR) ausgelegt werden. Wenn die Gleichtaktunterdrückung unzureichend
ist, können
die Eingangsströme nicht
mit großer
Genauigkeit gemessen werden. Die Gleichtaktunterdrückung wird
von Toleranzen der Widerstandswerte der Widerstandselemente 29, 33, 34 und 35 beeinflußt.
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Wenn
die Widerstandswerte der Widerstandselemente
29,
35,
33 und
34 mit
R1, R2, R3 bzw. R4 bezeichnet werden, ergibt sich der Zusammenhang zwischen
der Spannung V
C am Ausgang
36,
der Spannung V
A am i-Eingang
27 und
der Spannung V
B am ni-Eingang
32 zu:
Nimmt man an, daß jeder
der Widerstandswerte R1 bis R4 mit einem Fehler α behaftet ist, folgt für den Fall
R1 = R(1 ± α), R2 = R(1
+ α), R3
= R (1 + α),
R4 = R(1 ± α), α << 1 und V
A =
V
g der Fehler V
C ≈ V
A·2a. Für den Fall
von V
A = V
B = 5V
und α =
0,001 ergibt sich der maximale Fehler zu 5V × 0,001 × 2 = 10 mV.
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Zur
Vermeidung eines derart großen
Fehlers sind zum Messen sehr kleiner Ströme Widerstandselemente 29, 33, 34 und 35 mit
extrem genauen Widerstandswerten erforderlich, die sehr teuer sind.
Außerdem
ist es nötig,
Fehler der Operationsverstärker (Puffer
bzw. Trennverstärker)
und des ADU zu korrigieren.
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Ein
Differenzverstärker
der anhand von 4 beschriebenen
Art, allerdings ohne den Trennverstäker 28, ist aus der
Druckschrift Schrüfer,
Elmar: Elektrische Meßtechnik,
1. Auflg., Carl Hanser Verlag München
Wien, 1983, Seite 113, an sich bekannt.
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Aus
der JP 6-34702 A ist eine spannunganlegende Strommeßschaltung
bekannt, bei der ein Strommeß-Widerstand
mit dem Ausgang eines Treibers zum Anlegen einer Spannung an ein
Meßobjekt verbunden
und in Reihe geschaltet ist, der Eingang eines Verstärkers mit
einem Ende des Strommeß-Widerstands
verbunden ist, die beiden Eingänge
eines Differenzverstärkers
mit dem einen bzw. dem anderen Ende des Strommeß-Widerstands verbunden sind,
eine Analog-Digital-Umsetzereinrichtung
zur Umsetzung einer Eingangsspannung in einen Digitalwert vorgesehen
ist, und eine Umschalteinrichtung wahlweise zur Spannungsmessung
den Ausgang des Verstärkers
oder zur Strommessung den Ausgang des Differenzverstärkers mit
dem Eingang der Analog-Digital-Umsetzereinrichtung verbindet.
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Die
US 5,696,773 beschreibt
einen Tester zum Prüfen
logischer Schaltungen, der in der Lage ist, sowohl logische Tests
als auch Leckstrom-Prüfungen
durchzuführen.
Der Tester besteht aus lokalen Modulen, von denen jedes einem Anschluß des Prüflings zugeordnet
ist. Jedes lokale Modul setzt sich u.a. aus einer parametrischen
Signalquelle zur Leckstrom-Prüfung,
einer logischen Signalquelle für die
Logiktests und einer Datenerfassungsschaltung zusammen. Die Leckstrom-Prüfung wird
bei dem bekannten Tester derart durchgeführt, daß über einen Serienwiderstand
eine Spannung an den Prüfling
angelegt und mittels eines Komparators mit einer Referenzspannung
verglichen wird. Wenn der Leckstrom einen Nennwert übersteigt,
weicht die Spannung am Prüfling
aufgrund des Spannungsabfalls am Serienwiderstand von der Referenzspannung
ab.
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Die
WO 98/36340 (Stand der Technik nach § 3, Abs. 2 Nr. 3 PatG) beschreibt
eine Stromversorgungsschaltung für
Testgeräte
zum Anlegen einer bestimmten Speisespannung und eines bestimmten Versorgungsstroms
zur Speisung eines Testobjekts. Der tatsächlich zugeführte Versorgungsstrom
wird mittels eines Differenzverstärkers als Spannungsabfall an
einem Serienwiderstand gemessen.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine V-Strommeßschaltung
für ein
IC-Testgerät
zu schaffen, die der Lage ist, einen Mini- oder Mikrostrom durch
einen IC genau zu messen, ohne daß irgend ein Differenzverstärker mit
Widerstandselementen mit extrem genauen Widerstandswerten erforderlich
wäre. Eine
weitere Aufgabe der Erfindung ist es, solch eine V-Strommeßschaltung
zu schaffen, bei der keine Fehler eines Operationsverstärkers und/oder
eines ADU korrigiert werden müssen.
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Diese
Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine
V-Strommeßschaltung
gemäß Patentanspruch 1
gelöst.
Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprüche.
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Bei
der erfindungsgemäßen Lösung wird
zur Durchführung
eines gewöhnlichen
Funktionstests das Strommeß-Widerstandselement
mittels der ersten Schalteinrichtung kurzgeschlossen, während im Fall
der Messung eines Mini- oder Mikrostromflusses in den Test-IC, beispielsweise
zur Messung, ob irgendein Eingangsleckstrom durch ein CMOS-Bauelement
fließt
und/oder zur Messung der Höhe
des Leckstroms, die erste Schalteinrichtung ausgeschaltet wird und
die Spannungen an den beiden Enden des Strommeß-Widerstandselement nacheinander über die
zweite bzw. die dritte Schalteinrichtung an den ADU angelegt werden,
um die jeweiligen Spannungswerte zu messen. Ein Stromfluß durch
das Strommeß-Widerstandselement,
d.h. ein kleiner Eingangsstrom durch den Test-IC, ergibt sich aus
der Differenz zwischen den beiden gemessenen Spannungswerten.
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Weitere
Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden
Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele
unter Bezugnahme auf die Zeichnungen. Es zeigen:
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1 ein
Blockschaltbild eines Schaltungsteiles eines IC-Testgeräts mit einer
V-Strommeßschaltung
gemäß der vorliegenden
Erfindung,
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2 ein
Zeitdiagramm zur Erläuterung
der Betriebsweise der V-Strommeßschaltung
von 1,
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3 ein
Blockschaltbild eines Schaltungsteiles eines herkömmlichen
IC-Testgeräts
mit einer V-Strommeßschaltung,
und
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4 ein
schematisches Schaltbild des Differenzverstärkers 23 in 3.
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Ein
Ausführungsbeispiel
der Erfindung wird nun unter Bezugnahme auf die 1 und 3 beschrieben,
in denen gleiche Elemente wie in 3 mit den
gleichen Bezugszahlen versehen sind und nicht noch einmal beschrieben
werden.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist für
die einzelnen Anschlußstifte
eines Test-ICs 11 eine Anzahl von E/A-Blöcken 12-1 bis 12-n vorgesehen,
wobei n eine ganze Zahl gleich der Anzahl der Anschlußstifte
des Test-ICs und gleich oder größer als Eins
ist. Jeder E/A-Block umfaßt
einen Treiber 13 zum Anlegen einer vorbestimmten Spannung
an den zugehörigen
Anschlußstift
des Test-ICs 11 über
einen ersten Schalter 14 und einen E/A-Anschluß 15, einen
Vergleicher 16 zum Vergleich einer Ausgangsspannung des
Test-ICs 11 mit einer Referenzspannung und ein Strommeß-Widerstandselement 21, das
zwischen den Ausgang des Treibers 13 und den ersten Schalter 14 geschaltet
ist.
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Ein
zweiter Schalter 41 liegt parallel zu dem Strommeß-Widerstandselement 21,
ein dritter Schalter 42 liegt zwischen einem Ende eines
Blockwählschalters 24-i (i
= 1, 2,..., n), der in jedem E/A-Block vorgesehen ist und dem eingangsseitigen
Ende des Strommeß-Widerstandselements 21,
und ein vierter Schalter liegt zwischen dem einen Ende des Blockwählschalters 24-i und
dem ausgangsseitigen Ende des Strommeß-Widerstandselements 21.
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Bei
diesem Ausführungsbeispiel
ist der Ausgang des Treibers 13 jedes E/A-Blocks mit dem E/A-Anschluß 15 dieses
E/A-Blocks über
die Reihenschaltung aus erstem Schalter 14 und entweder
(geschlossenem) zweitem Schalter 41 oder Strommeß-Widerstandselement 21 verbunden.
Der Verbindungspunkt zwischen dem Ausgang des Treibers 13 und
dem zweiten Schalter 41 ist mit einem Eingang des Vergleichers 16 verbunden.
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Die
anderen Enden der einzelnen Blockwählschalter 24-1 bis 24-n sind über eine
Puffer- oder Trennschaltung 44 mit dem Eingang eines ADU 45 verbunden.
Der Ausgang des ADU 45 ist mit einem Datenspeicher 46 zur
Speicherung der von dem ADU 45 ausgegebenen digitalen Daten
verbunden. Ein ni-Eingang der Trennschaltung 44 ist mit
dem jeweiligen anderen Ende aller Blockwählschalter 24-1 bis 24-n verbunden,
während
ein i-Eingang der Trennschaltung 44 mit deren Ausgang verbunden
ist.
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Eine
Schaltersteuerschaltung 51 erzeugt Steuersignale C, E und
F zum Ein- bzw. Ausschalten des zweiten, des dritten und des vierten
Schalters 41, 42 und 43 im jeweiligen
E/A-Block 12-i. Die Schaltersteuerschaltung 51 erzeugt
außerdem
ein Steuersignal D zum Ein- bzw. Ausschalten der einzelnen Blockwählschalter 24-i.
Diese Schaltersteuerschaltung 51 erzeugt die Steuersignale
C, D, E und F gemäß Darstellung
in den 2C, 2D, 2E und 2F in
Reaktion auf Steuersignale 50, die von einem Mustergenerator 49 geliefert
werden.
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Es
soll nun die Arbeitsweise des IC-Testgeräts mit dem oben erläuterten
Aufbau beschrieben werden.
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Die
Ausgangsspannung Vo, die von dem Treiber 13 als
Reaktion auf ein vorbestimmtes Testmuster ausgegeben wird, welches
von dem Mustergenerator 49 geliefert wird, kann innerhalb
eines für den
Test erforderlichen Bereichs auf einen beliebigen Wert eingestellt
werden, und ein Testmuster der eingestellten Spannung kann an den
Test-IC 11 angelegt werden.
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Zur
Durchführung
eines Funktionstests des Test-ICs 11 wird die Ausgangsspannung
Vo des Treibers 13 auf einen erforderlichen
Wert eingestellt. In diesem Zustand werden der erste Schalter 14 gemäß Darstellung
in 2A und der zweite Schalter 41 gemäß Darstellung
in 2C eingeschaltet, während der
dritte und der vierte Schalter 42 und 43 gemäß Darstellung
in den 2E und 2F ausgeschaltet
werden. Danach wird ein Testmuster 48 gemäß Darstellung
in 2B vom Treiber 13 an den
Test-IC 11 angelegt und auf diese Weise dessen Funktionstest ausgeführt.
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Zur
Messung eines durch den Test-IC 11 fließenden Mini- oder Mikrostroms,
beispielsweise zur Messung eines Mini- oder Mikroeingangs- oder -Leckstroms
durch den Test-IC, der von einem CMOS-Bauelement gebildet wird,
wird gemäß Darstellung
in 2C der zweite Schalter 41 ausgeschaltet
und der Mustergenerator 49 in einen Ruhe- oder Schleifenzustand
versetzt, so daß die
eingestellte Spannung Vo anhaltend vom Treiber 13 ausgegeben
wird.
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In
diesem Zustand wird zunächst,
wie in 2D gezeigt, der Blockwählschalter 24-1 eingeschaltet.
Für die
erste Hälfte
der Einschaltdauer des Blockwählschalters 24-1 wird
gemäß Darstellung
in 2E der dritte Schalter 42 eingeschaltet,
während für die zweite
Hälfte
der Einschaltdauer des Schalters 24-1 der vierte Schalter 43 gemäß Darstellung
in 2F eingeschaltet wird. Das heißt, die
Spannungen an den beiden Enden des Strommeß-Widerstandselements 21 im
E/A-Block 12-1 werden
an den ADU 45 angelegt – die Spannung am eingangsseitigen
Ende des Strommeß-Widerstandselements 21 während der
ersten Hälfte
und die Spannung am ausgangsseitigen Ende des Strommeß-Widerstandselements 21 während der
zweiten Hälfte
der Einschaltdauer des Schalters 24-1. Der ADU 45 setzt
die jeweils angelegte Spannung in einen Digitalwert V1a bzw. V1b
um, wie in 2G gezeigt. Die Digitalwerte V1a
und V1b werden in dem Datenspeicher 46 gespeichert.
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Als
nächstes
wird der Blockwählschalter 24-2 eingeschaltet
und dann die Spannungen an den beiden Enden des Strommeß-Widerstandselements 21 in
dem E/A-Block 12-2 auf gleiche Weise gemessen und die entsprechenden
Digitalwerte V2a und V2b im Datenspeicher 46 gespeichert.
Dies erfolgt nacheinander für
alle E/A-Blöcke,
d.h. für
einen E/A-Block 12-i wird der zugehörige Blockwählschalter 24-i eingeschaltet
und man erhält
zwei Digitalwerte Via und Vib, die in dem Datenspeicher 46 gespeichert
werden. Als letztes erfolgt dies für den E/A-Block 12-n,
für den
sich die Digitalwerte Vna und Vnb ergeben.
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Nach
Abschluß der
Messung und Umsetzung der Spannungen an den beiden Enden des Strommeß-Widerstandselements 21 in
den einzelnen E/A-Blöcken
und Einspeicherung der entsprechenden Digitalwerte in den Datenspeicher 46 in oben
beschriebener Weise wird der zweite Schalter 41 gemäß Darstellung
in 2C eingeschaltet und anschließend der
erste Schalter 14 ausgeschaltet, wie in 2A gezeigt.
Danach werden die im Datenspeicher 46 gespeicherten Digitalwerte
ausgelesen (2H) und die Differenz
(Via – Vib)
für die
einzelnen E/A-Blöcke 12-i berechnet,
wie in 2I gezeigt. Hieraus ergeben
sich Stromwerte, die den Strömen entsprechen,
welche durch die einzelnen Strommeß-Widerstandselemente 21 fließen und
jeweils einen Eingangsstromfluß (einen
Eingangsleckstrom) über
die entsprechenden Anschlußstifte
des Test-ICs 11 darstellen.
Die Differenzen (Via – Vib)
für i =
1 bis n werden direkt als Testergebnis ausgegeben. Alternativ ist
es aber möglich,
als Testergebnis auszugeben, ob die einzelnen Differenzen (Via – Vib) gleich oder
kleiner als ein vorbestimmter Wert sind, ob also ein Eingangsleckstrom
bei dem jeweiligen Anschlußstift
des Test-ICs vorhanden ist.
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Bei
dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel
erfolgt die Schaltsteuerung der jeweiligen Schalter durch Steuerung
der Schaltersteuerschaltung 51 mittels Steuersignalen 50 von
dem Mustergenerator 49, was die Erzeugung der in den 2C, 2D, 2E und 2F gezeigten
Steuersignale zur Folge hat. Es bedarf keiner Erwähnung, daß die Schaltersteuerschaltung 51 durch
andere Steuermittel gesteuert werden kann.
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Wenn
der Spannungsabfall über
dem Strommeß-Widerstandselement 21 so
groß ist,
daß der Test-IC 11 wahrscheinlich
nicht normal arbeitet, können
zwei antiparallel geschaltete Dioden zum Strommeß-Widerstandselement 21 parallel
geschaltet werden, um den Spannungsabfall über dem Widerstandselement
zu begrenzen, wie in 1 gezeigt. In diesem Fall kann
zwar der durch den Test-IC 11 fließende Eingangsstrom nicht gemessen
werden, es ist aber möglich
festzustellen, ob ein Eingangsleckstrom vorhanden ist oder nicht.
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Wie
voranstehend beschrieben, ist gemäß der vorliegenden Erfindung
und anders als bei dem erläuterten
bekannten IC-Testgerät
zur Erzeugung einer an einen Test-IC anzulegenden Spannung kein Operationsverstärker (Trennverstärker 19 in 3) erforderlich,
der einen Fehler hervorrufen könnte. Auch
verwendet die vorliegende Erfindung keinen Differenzverstärker (23 in 3)
zum Messen einer Spannung über
dem Strommeß-Widerstandselement 21,
so daß kein
Fehler durch eine unzureichende Gleichtaktunterdrückung eingeführt werden
kann.
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Der
ADU 45 setzt lediglich Spannungen an den beiden Enden der
einzelnen Strommeß-Widerstandselemente
in entsprechende Digitalwerte um, wobei die Differenz zwischen den
Spannun gen an den beiden Enden anhand der später aus einem Speicher ausgelesenen
Digitalwerte berechnet wird, so daß der ADU lediglich eine ausreichende
Linearität
seiner Umsetzerkennlinie erfordert und nicht fehlerkorrigiert zu
sein braucht. Ein fester Fehler bleibt ohne Einfluß.
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Eine
Ausgangsspannung Vo, die für einen Funktionstest
eines Test-ICs eingestellt wird, wird zugleich zur Messung eines
Mini- oder Mikrostroms durch den Test-IC verwendet, so daß für letzteres
keine spezielle Einstellung erforderlich ist.
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Da,
wie zuvor beschrieben, der Differenzverstärker 23 des Standes
der Technik bei der vorliegenden Erfindung nicht verwendet wird,
sind teure Teile oder Elemente mit hoher Präzision für die einzelnen Anschlußstifte
bzw. jeden Block nicht nötig,
was zu geringen Herstellungskosten und einer geringen Größe der V-Strommeßschaltung
insgesamt führt.