DE19619910A1 - Meßelement für einen Massenluftstromsensor und Massenluftstromsensor, der das Maßelement verwendet - Google Patents
Meßelement für einen Massenluftstromsensor und Massenluftstromsensor, der das Maßelement verwendetInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Meßelement für einen Massenluft
stromsensor und vorzugsweise insbesondere ein Meßelement für einen Mas
senluftstromsensor zur Messung einer Ansaugluftstromrate in einem Ver
brennungsmotor.
Als Luftstromsensor, der an einem elektronischen Kraftstoffsteuerungssystem
für einen Verbrennungsmotor in einem Fahrzeug, beispielsweise einem
Kraftfahrzeug, angebracht ist, nimmt ein Sensor des Heizwiderstandstyps eine
führende Stellung ein, da ein solcher Sensor eine Massenluftstromrate direkt
nachweisen kann und in JP-A-821/1987 und JP-A-73124/1987 offenbart ist.
Die in den obigen offengelegten Anmeldungen offenbarten Techniken weisen
als Problem hohe Produktionskosten auf, da die offenbarten Sensoren zwei
erwärmte Widerstandssonden (Heizwiderstandssonden) und zwei nicht erwärmte
Widerstande (Umgebungstemperaturfühlwiderstande), die für eine Kom
pensation der Umgebungstemperaturwirkungen verwendet werden, aufweisen
(insgesamt vier Widerstände).
Die bestehende Technik zur Herstellung von vier Heizwiderstandssonden
unter Verwendung von auf einem Substrat gebildeten dünnen Filmen zur
Verminderung der Produktionskosten wurde dann in JP-A-185416/1989 ent
wickelt.
Die in JP-A-185416/1989 offenbarte Technik weist jedoch das folgende
Problem auf, das unter Bezugnahme auf Fig. 8 erläutert wird. Fig. 8 zeigt
eine Grundrißansicht eines bestehenden Meßelements für einen Massenluft
stromsensor, die der in der Beschreibung der offengelegten Anmeldung
gezeigten Fig. 4 entspricht. In dieser Figur ist das bestehende Meßelement
aufgebaut aus erwärmten Widerständen (Heizwiderständen) 1 und 2, nicht
erwärmten Umgebungstemperatur erfassenden Widerständen (Umgebungs
temperaturfühlwiderständen) 3a und 3b, einem Substrat 4, das aus einem
elektrisch isolierenden Material mit einer hohen thermischen Leitfähigkeit,
wie beispielsweise Keramik gemacht ist, Elektrodenanschlüssen 6 und einem
Schlitz 10. Bei einer solchen Struktur des Sensors, obgleich der Schlitz 10
zwischen den Heizwiderständen 1 und 2 und den Umgebungstemperaturfühl
widerständen 3a und 3b vorgesehen ist, ist, da beide Widerstände einander
naheliegen und das eine hohe thermische Leitfähigkeit aufweisende Substrat
4 an beiden Endseiten des Schlitzes 10 in dem Substrat 4 miteinander ver
bunden ist, die thermische Isolation zwischen beiden Widerständen so unzu
reichend, daß die Warme leicht von den Heizwiderständen 1 und 2 zu den
Umgebungstemperaturfühlwiderständen 3a und 3b fließt, was die Meßgenau
igkeit einer Luftstromrate beeinträchtigt. Bezugszeichen 7 bezeichnet dabei
einen Luftstrom und die Richtung des Luftstromes.
Das oben erwähnte bestehende Meßelement weist insofern eine doppelendsei
tige Tragstruktur auf, als elektrische Signale von den Heizwiderständen 1
und 2 und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen 3a und 3b von zwei
Gruppen von Elektrodenanschlüssen 6 ausgegeben werden, die an den zwei
Endseiten des Substrats 4 (seinen rechten und linken in der Figur gezeigten
Endseiten) vorgesehen sind, und jede der zwei Gruppen der Elektroden
anschlüsse 6 an jeder Endseite getragen ist und an einen externen Schalt
kreis, der nicht in der Figur gezeigt ist, angeschlossen ist. Diese Struktur
weist das Problem auf, daß, weil die Anzahl der Elektrodenanschlüsse 6
acht ist, die elektrische Verbindung eines Schaltkreises in dem Sensor
kompliziert wird und der Belegungsanteil der Fläche für die Elektrodenanschlüsse
6 zu der Fläche des Substrats 4 groß ist, was die Herstellungs
kosten erhöht.
Es ist ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Meßelement mit hoher
Genauigkeit und niedrigen Herstellungskosten für einen Massenluftstromsensor
durch eine Verbesserung der thermischen Isolation zwischen einem erwärmten
Widerstand (Heizwiderstand) und einem nicht erwärmten Widerstand
(Umgebungstemperaturfühlwiderstand) zu schaffen, die Verbindungen zwischen
Schaltkreiselementen des Massenluftstromsensors einschließlich der Wider
stände zu vereinfachen, und einen Massenluftstromsensor zu schaffen, der
das Meßelement verwendet.
Die obige Aufgabe wird gelöst durch Bereitstellung eines Meßelements für
einen auf einem Substrat gebildeten Massenluftstromsensor zur Messung einer
Stromrate eines Zielfluids, das umfaßt;
ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Stromrichtung des Zielfluids in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm- Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind,
ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind, und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen in dem Nachweis schaltkreis, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, und das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungs teils und des Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils darstellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen,
wobei das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil und das Dünnfilm-Umge bungstemperaturfühlwiderstandsbildungteil in der Stromrichtung des Fluids vor- und nachversetzt angeordnet sind und in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung links- und rechtsversetzt angeordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebungstemperaturfühlwiderstände einander in der Blickrichtung parallel zu der Stromrichtung nicht überlagern, und wobei das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Stromrichtung des Zielfluids in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm- Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind,
ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind, und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen in dem Nachweis schaltkreis, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, und das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungs teils und des Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils darstellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen,
wobei das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil und das Dünnfilm-Umge bungstemperaturfühlwiderstandsbildungteil in der Stromrichtung des Fluids vor- und nachversetzt angeordnet sind und in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung links- und rechtsversetzt angeordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebungstemperaturfühlwiderstände einander in der Blickrichtung parallel zu der Stromrichtung nicht überlagern, und wobei das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
Ferner ist es bevorzugt, ein Teil mit einem Schlitz zwischen dem Dünnfilm-
Heizwiderstandsbildungteil und dem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwider
standsbildungsteil, die vor- und nachversetzt in der Stromrichtung und links-
und rechtsversetzt in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung angeord
net sind, bereitzustellen.
Darüber hinaus weist der Massenluftstromsensor vorzugsweise einen gemein
samen Elektrodenanschluß, der gemeinsam mit einem Paar von dem Heizwi
derstand und dem Umgebungstemperaturfühlwiderstand verbunden ist, und
einen anderen gemeinsamen Elektrodenanschluß auf, der gemeinsam mit
einem Paar von einem anderen Heizwiderstand und einem anderen Umge
bungstemperaturfühlwiderstand verbunden ist.
Darüber hinaus ist es bevorzugt, die Heizwiderstände und die Umgebungs
temperaturfühlwiderstände unter Verwendung des gleichen Materials und
durch den gleichen Herstellungsprozeß unter den gleichen Prozeßbedingungen
zu bilden.
Durch Versetzung und Anordnung des erwärmten Dünnfilm-Heizwiderstands
bildungsteils und des Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwider
standsbildungsteils in Stromrichtung vor und nach und in der Richtung
senkrecht zu der Stromrichtung links und rechts, da die Heiz- und Umge
bungstemperaturfühlwiderstände im Vergleich mit den bestehenden Sensoren
thermisch besser getrennt werden können, wird die thermische Isolierung
zwischen den Heiz- und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen wirksa
mer und die thermischen Effekte von den Heizwiderständen zu den Umge
bungstemperaturfühlwiderständen werden fast vollständig vermieden, was die
Meßgenauigkeit verbessert. Insbesondere verbessert die Bereitstellung eines
Teiles mit einem Schlitz zwischen den Heiz- und Umgebungstemperaturfühl
widerständen die thermischen Isolierungseffekte und ferner die Meßgenau
igkeit.
Da die Mehrzahl von Elektrodenanschlüssen an einer einzigen Seite des
Substrats gesammelt und angeordnet sind, sind einige der Elektrodenanschlüs
se gemeinsam mit einem Paar von jeweils dem Heizwiderstand und dem
Umgebungstemperaturfühlwiderstand verbunden, ist eine elektrische Verbin
dung zwischen dem Meßelement für den Massenluftstromsensor und einem
externen Schaltkreis vereinfacht, was eine Verminderung der Herstellungs
kosten von Luftstromsensoren bewirkt.
Fig. 1 zeigt eine Grundansicht eines Massenluftstromsensors in einer
Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Fig. 2a
bis 2d zeigen vergrößerte Ansichten von Beispielen von Dünnfilmmu
stern für ein Paar von den in Fig. 1 gezeigten Heizwider
ständen.
Fig. 3a
und 3b zeigen vergrößerte Ansichten von Beispielen von Dünnfilmmu
stern für ein Paar von den in Fig. 1 gezeigten Umgebungs
temperaturfühlwiderständen.
Fig. 4 zeigt eine Querschnittsansicht der Ausführungsform in der das
Meßelement für den in Fig. 1 gezeigten Massenluftstromsensor
angebracht ist.
Fig. 5 zeigt einen elektrischen Schaltkreis, der einen externen Schalt
kreis 9 und die Widerstände 1, 2, 3a und 3b umfaßt.
Fig. 6a
bis 6g sind Schaubilder zur Darstellung des Betriebs des Massenluft
stromsensors.
Fig. 7 zeigt ein Beispiel einer Anordnung von Dünnfilmelementen von
denen jedes als Meßelementchip eines Wavers gebildet ist.
Fig. 8 zeigt eine Grundansicht eines bestehenden Meßelements für
einen Massenluftstromsensor.
Einzelheiten der vorliegenden Erfindung werden im folgenden anhand Aus
führungsformen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen erläutert.
Fig. 1 zeigt eine Grundansicht eines Meßelements für einen Massenluft
stromsensor einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Meß
element für den Massenluftstromsensor ist aus einem Substrat 4, Heizwider
ständen 1 und 2, die stromabwärts in einem Luftstrom 7 gebildet und
angeordnet sind, Umgebungstemperaturfühlwiderständen 3a und 3b, die
stromaufwärts in dem Luftstrom 7 gebildet und angeordnet sind, Elektroden
anschlüssen 6a, 6b, 6c, 6d, 6e und 6f zur Ausgabe von elektrischen Signa
len von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderstän
den, und einer Mehrzahl von Leitungsdrähten 30, die die Heizwiderstände,
die Umgebungstemperaturfühlwiderstände und die Elektrodenanschlüsse ver
binden, aufgebaut.
Das Substrat 4 weist ferner ein Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil 4a, auf
dem die Heizwiderstände 1 und 2 gebildet sind, ein Umgebungstemperatur
fühlwiderstandsbildungsteil 4b, auf dem die Umgebungstemperaturfühlwi
derstände 3a und 3b gebildet sind, ein das Heizwiderstandsbildungsteil 4a und
das Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil 4b von dem Substrat 4
ausschließendes Tragteil 4c, an dem das Substrat 4 getragen ist, und ein
Teil mit einem Schlitz 10 auf. In Fig. 1 zeigt eine gestrichelte Linie einen
Umriß eines Beispiels eines Traggliedes 5 zum Tragen des Substrats 4.
Das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil 4a, an dem die Heizwiderstände 1
und 2 gebildet sind und das Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstands
bildungsteil 4b, an dem die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b
gebildet sind, sind in der Stromrichtung vor und nach und in der Richtung
senkrecht zu der Stromrichtung links und rechts zueinander versetzt
angeordnet. Das bedeutet, daß die örtliche Beziehung zwischen dem
Heizwiderstandsbildungsteil 4a und dem Umgebungstemperaturfühlwiderstands
bildungsteil 4b so eingestellt ist, daß die beiden Teile beispielsweise zuein
ander vor und nach versetzt und links und rechts zu der Richtung eines
Luftstromes 7 angeordnet sind, wenn das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungs
teil 4a relativ stromabwärts in der Stromrichtung und links in der Richtung
senkrecht zu der Stromrichtung angeordnet ist, und das Dünnfilm-Umge
bungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil 4b relativ stromaufwärts in der
Stromrichtung und rechts in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung
angeordnet ist. Die oben erwähnte Widerstandsanordnung ist so konzipiert,
um die beiden Widerstandsbildungsteile in der Blickrichtung parallel zu der
Luftstromrichtung einander nicht überlagern zu lassen und um die Heizwider
stände 1 und 2 und die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b
soweit wie möglich zu trennen, um die thermische Isolation zwischen den
Heiz- und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen zu verbessern.
Ferner ist ein Teil mit einem Schlitz 10 zwischen dem Dünnfilm-Heizwider
standsbildungsteil 4a und dem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstands
bildungsteil 4b, die zueinander versetzt auf dem Substrat 4 angeordnet sind,
vorgesehen. Da der Schlitz 10 die Heizwiderstände 1 und 2 und die Umge
bungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b weiter thermisch trennt, wird die
thermische Isolation weiter verbessert, und ein Rückluftstrom, der von den
Heizwiderständen 1 und 2 in dem Rückstromzustand erwärmt wurde, gibt
die thermische Wirkung nicht an die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a
und 3b ab, was es ermöglicht, die Massenluftstromrate mit einer höheren
Genauigkeit zu messen.
In diesem Fall, da die erzeugte Wärme in den Heizwiderständen 1 und 2
zu dem Tragglied 5 (dem von der gestrichelten in der Figur gezeigten Linie
umschlossenen Teil) über das Substrat 4 fließt, können durch Verlängerung
einer Seite des Schlitzes 10 in der stromabwärtigen Richtung des Luftstro
mes zu dem Seitenende 40 des durch die gestrichelte Linie in Fig. 1
gezeigten Tragglieds 5 die thermischen Wirkungen der Heizwiderstände 1
und 2 auf die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b beträchtlich
vermindert werden und die Meßgenauigkeit wird weiter verbessert. Dies des
halb, weil die Wärmeleitung über den äußeren Teil des Substrats unter
bunden wird, da ein Weg der Wärmeleitung durch den Schlitz 10 abge
schnitten wird.
Ferner ist es wünschenswert, den Schlitz 10 unter dem Gesichtspunkt der
Beständigkeit gegen einen von dem Schlitz 10 ausgehenden Bruch des
Substrats 4 aufgrund der Wärmeleitung zu dem Tragglied 5 über das Seiten
ende 40 des Tragglieds 5 in den inneren Bereich des Tragglieds 5, wie in
Fig. 1 gezeigt, zu verlängern.
Ferner ist es ebenfalls möglich, ein Umgebungstemperaturteil 4d an einem
stromaufwärtigen Seitenrandteil vorzusehen, das von dem Tragglied nicht
getragen ist und dem Luftstrom ausgesetzt ist. Bei einer solchen Struktur
werden die Heizwiderstände 1 und 2 durch den Luftstrom gekühlt und die
thermischen Wirkungen auf die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und
3b können vermindert werden, und die Temperaturänderung der Heizwider
stände, die bewirkt wird, wenn der Betriebszustand sich von einem Nieder
geschwindigkeitsluftstromzustand zu einem Hochgeschwindigkeitsluftstromzu
stand ändert, ist aufgrund des dem Luftstrom ausgesetzten Teils gering. Da
die von den Heizwiderständen in Fußteilrichtung des Substrats 4 geleitete
Warme vermindert werden kann, wird infolgedessen die erforderliche Zeit,
bis der Gleichgewichtszustand der Temperaturverteilung in dem Substrat
erreicht ist, reduziert, was die zeitlichen Übergangsantwortcharakteristiken auf
schnelle Änderungen des Luftstromes verbessert.
Das Substrat 4, auf dem die Widerstände 1, 2, 3a und 3b und die Elek
trodenanschlüsse 6a bis 6f gebildet sind, ist mechanisch von dem Tragglied
5 getragen, und ferner ist lediglich eine einzige Seite des Substrats 4
getragen, so daß die Elektrodenanschlüsse 6a bis 6e, die an der einen Seite
gebildet sind, mit dem externen, in der Figur nicht gezeigten Schaltkreis
elektrisch verbunden sind. Wenn das Meßelement für den Massenluftstrom
sensor in einem Motor angebracht ist, wird das Substrat 4 an dem Tragteil
4c durch das Tragglied 5 getragen.
Das Tragteil 4c befindet sich an einer Seite der Endseiten in der Richtung
senkrecht zu der Stromrichtung, und die Mehrzahl von Elektrodenanschlüssen
6a bis 6f sind auf einem Teil in dem Tragteil 4c gebildet. Deshalb muß die
Verbindung der Elektrodenanschlüsse zu dem externen Schaltkreis nur für die
eine Richtung in einer derartigen einseitigen Tragstruktur durchgeführt
werden, was die Vereinfachung der elektrischen Verbindung herbeiführen
kann.
Fig. 2a zeigt vergrößerte Ansichten von Beispielen von Dünnfilmmustern für
ein Paar von in Fig. 1 gezeigten Heizwiderständen. Fig. 3a zeigt vergrößer
te Ansichten von Beispielen von Dünnfilmmustern für ein Paar von in Fig.
1 gezeigten Umgebungstemperaturfühlwiderständen. In Fig. 2a ist ein Paar
von den Heizwiderständen 1 und 2 gezeigt, die in Stromrichtung des zu
messenden Luftstromes 7 in Nebeneinanderstellung angeordnet und an dem
Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil 4a gebildet sind, und in Fig. 3a ist ein
Paar von Umgebungstemperaturfühlwiderständen 3a und 3b gezeigt, die in
der Stromrichtung des zu messenden Luftstromes 7 in Nebeneinanderstellung
angeordnet und an dem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbil
dungsteil 4b gebildet sind.
Der Aufbau des Meßelements für den Massenluftstromsensor der vorliegen
den Erfindung weist deshalb die folgenden Merkmale auf, das heißt, das
Meßelement für den auf einem Substrat gebildeten Massenluftstromsensor
umfaßt;
ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Stromrichtung des Zielfluids in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm- Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind,
ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind, und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen in dem Nachweis schaltkreis, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, und das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungs teils und des Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils dar stellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen, wobei das Dünnfilm-Widerstands bildungsteil und das Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil in der Stromrichtung des Fluids vor- und nachversetzt angeordnet sind und in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung links- und rechtsversetzt an geordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebungstemperaturfühlwiderstände einander in der Blickrichtung parallel zu der Stromrichtung nicht überlagern, und wobei
das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Stromrichtung des Zielfluids in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm- Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind,
ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind, und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen in dem Nachweis schaltkreis, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, und das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungs teils und des Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils dar stellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen, wobei das Dünnfilm-Widerstands bildungsteil und das Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil in der Stromrichtung des Fluids vor- und nachversetzt angeordnet sind und in der Richtung senkrecht zu der Stromrichtung links- und rechtsversetzt an geordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebungstemperaturfühlwiderstände einander in der Blickrichtung parallel zu der Stromrichtung nicht überlagern, und wobei
das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
Als ein Muster für die Dünnfilm-Heizwiderstände 1 und 2 sind beispiels
weise die in den Fig. 2b, 2c und 2d gezeigten Muster verfügbar.
In Fig. 2b wird die Breite jedes Streifens in dem Widerstandsmuster schma
ler und die eine Einheitslänge in Stromrichtung schneidende Liniensortendich
te der Streifen nimmt zu, wenn der Streifen sich jeder Seite des Substrats
4 nähert. In Fig. 2c ist die Breite jedes Streifens in den Widerstandsmustern
konstant und so angeordnet, daß der Abstand zwischen zwei benachbarten
Linien des in Richtung senkrecht zu der Stromrichtung gezogenen Streifens
schmäler wird, wenn der Streifen sich jeder Seite des Substrats 4 nähert. In
Fig. 2d ist der Abstand zwischen den zwei benachbarten Linien des in der
Richtung senkrecht zu der Stromrichtung gezogenen Streifens konstant und
so angeordnet, daß die Breite eines jeden Streifens schmaler wird, wenn der
Streifen sich jeder Seite des Substrats 4 nähert. Infolgedessen ist jedes
Muster so aufgebaut, daß der Widerstandswert pro Einheitsfläche des Mu
sters größer wird, je naher ein Teil des Musters jeder Seite des Substrats
4 kommt.
Durch Anordnen in Nebeneinanderstellung von mindestens zwei Heizwider
ständen eines Dünnfilmwiderstands mit einem temperaturabhängigen Wider
stand in der Stromrichtung auf einem nahezu ebenen Substrat, das in einem
Lufteinlaßrohr eines Motors vorgesehen ist, und durch Zusammenstellen eines
Paars von Mustern der Dünnfilmwiderstände derart, daß der Widerstandswert
pro Flächeneinheit des Musters kleiner wird, je näher ein Teil jedes Musters
zu der Mittellinie zwischen dem Paar der Widerstände liegt, weil eine
Vorwartsluftstromrate schnell durch den stromaufwärts in dem Luftstrom an
geordneten Heizwiderstand gemessen werden kann und eine Rückwärtsluft
stromrate von den stromabwärts in dem Luftstrom angeordneten Heizwider
stand ebenfalls schnell gemessen werden kann, ist es wie oben erwähnt
möglich, einen Massenluftstromsensor zu schaffen, der in der Lage ist, die
Stromrate einer Einlaßluft mit hoher Genauigkeit in den beiden Richtungen
eines Vorwartsstromes und eines Rückwartsstromes schnell nachzuweisen.
Als ein Muster für die Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a
und 3b sind auch solche Muster, wie sie in Fig. 3b gezeigt sind, verfügbar.
In Fig. 3b sind die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b aus
zwei Dünnfilmwiderständen zusammengestellt und so gebildet, daß das Paar
der Dünnfilmmuster gemeinsam umeinander herum gezogen und in der
gleichen Form gebildet ist, und daß der Widerstandswert pro Flächeneinheit
eines Teils des Musters zunimmt, wenn der Teil sich der Oberseite des
Substrats 4 nähert.
Da der Widerstandswert des Widerstands an den Seiten des Substrats 4, an
denen der Luftstrom auftrifft, größer wird, kann durch Zusammenstellen
solcher Muster von Dünnfilmwiderständen, wie sie in den Fig. 2b, 3c
und 2d und Fig. 3b gezeigt sind, die Luftstromrate schnell mit einer hohen
Genauigkeit gemessen werden, und dann ein Signal erhalten werden, das
nahezu die wahre Luftstromrate repräsentiert.
Das Substrat 4 ist aus Keramik, wie beispielsweise Aluminiumoxid, und aus
einer sehr dünnen Platte der Dicke von 0,05 mm bis 0, 15 mm gemacht,
um die Antwortgeschwindigkeit zu erhöhen. Die Heizwiderstände 1 und 2
und die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b sind aus einem
Platindünnfilm gemacht und auf dem Substrat 4 in der Dicke von 0,1 µ bis
2 µ durch das Dünnfilmbildungsverfahren, wie beispielsweise Sputtern, Auf
dampfen usw. zusammen gebildet. Nach Bildung der Dünnfilme werden die
Filme in solche Formen, wie sie in den Fig. 2a bis Fig. 3b gezeigt sind,
bearbeitet. Die Wörter "zusammen gebildet" bedeuten "gebildet in der
gleichen Dicke unter Verwendung des gleichen Materials und des gleichen
Bearbeitungsverfahrens unter den Herstellungsbedingungen". Das heißt, in der
in Fig. 1 gezeigten Ausführungsform sind die Heizwiderstände 1 und 2 und
die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b in der gleichen Dicke
unter Verwendung des gleichen Materials und des gleichen Bearbeitungsver
fahrens unter den Herstellungsbedingungen gebildet. Bei dem oben erwähnten
Herstellungsverfahren, da die thermischen Koeffizienten des elektrischen
Widerstands der Heizwiderstände 1 und 2 und der Umgebungstemperaturfühl
widerstände 3a und 3b gleich werden, können die Änderungen der thermi
schen Charakteristiken unter den Widerständen unterdrückt werden, was
ebenfalls die Meßgenauigkeit verbessert.
Die Leitungsdrähte 30 und die Elektrodenanschlüsse 6a, 6b, 6c, 6d, 6e und
6f zur Verbindung der Heizwiderstände 1 und 2 und der Umgebungstempe
raturfühlwiderstände 3a und 3b sind aus einem Dickfilm gemacht, der dicker
als die Dicke des die Widerstände 1, 2, 3a und 3b bildenden Platinfilms ist
und aus einer Platin-Silber-Legierung besteht, um den elektrischen Wider
stand zu vermindern, die durch ein Filmbildungsverfahren, wie beispielsweise
Aufdrucken usw. auf den Platinfilm gebildet sind. Ein (in der Figur nicht
gezeigter) Schutzfilm aus Aluminiumoxid, Siliciumdioxid, Glas usw. ist auf
den Widerständen 1, 2, 3a und 3b gebildet. Der Schlitz 10 ist ferner durch
ein Bearbeitungsverfahren, beispielsweise ein Laserbearbeitungsverfahren,
gebildet.
Fig. 4 zeigt eine Querschnittsansicht einer Ausführungsform zur Anbringung
des Meßelements für den in Fig. 1 gezeigten Massenluftstromsensor in
einem Motor. Die Figur ist beispielsweise eine Querschnittsansicht einer
Ausführungsform zur Anbringung des Massenluftstromsensors in einem Luft
einlaßrohr eines Verbrennungsmotors. Wie in Fig. 4 gezeigt, umfaßt der
Luftstromsensor die Widerstände 1, 2, 3a und 3b, das Tragglied 5, den
externen Schaltkreis 9, und die Widerstände 1, 2, 3a und 3b sind an einem
in dem Lufteinlaßrohr 8 vorgesehenen Nebenrohr 27 angebracht. Der externe
Schaltkreis 9 ist mit den Widerständen 1, 2, 3a und 3b auf dem Substrat
4, das von dem Tragglied 5 getragen ist, verbunden.
Fig. 5 zeigt einen elektrischen Schaltkreis, der den externen Schaltkreis 9
und die Widerstände 1, 2, 3a und 3b enthält. Im folgenden wird der
Betrieb der Ausführungsform der vorliegenden Erfindung unter Bezugnahme
auf die Fig. 5 erläutert. Jeder der Heizwiderstands-Treiberschaltkreise 11
und 12 ist ein unabhängiger Schaltkreis, der mit einer Quelle 17 verbunden
ist und ein Signal entsprechend der Luftstromrate ausgibt. In dem Heizwi
derstands-Treiberschaltkreis 11 ist ein Wheastone-Brückenschaltkreis aus dem
Heizwiderstand 1, dem Umgebungstemperaturfühlwiderstand 3a und den
Widerständen 18 und 19 aufgebaut, und der in dem Heizwiderstand 1
fließende Strom wird durch einen Differenzialverstärker 20 und einen Transi
stor 21 so eingestellt, daß die Differenz zwischen den Potentialen an den
Mittelpunkten 0 wird. Durch Verwendung des obigen Aufbaus des Heizwi
derstands-Treiberschaltkreises 11 wird der Widerstandswert des Heizwider
stands 1 konstant gehalten, das heißt, daß die Temperatur des Heizwider
stands 1 unabhängig von der Geschwindigkeit des Luftstromes konstant
gehalten wird.
Das der Geschwindigkeit des Luftstromes entsprechende von dem Heizwider
stand 1 ausgegebene Signal gibt das Potential an dem in Fig. 5 gezeigten
Mittelpunkt A an. Der Aufbau des Heizwiderstands-Treiberschaltkreises 12
ist der gleiche wie der Aufbau des Schaltkreises 11, und das der Geschwin
digkeit des Luftstromes entsprechende von dem Heizwiderstand 2 ausgegebe
ne Signal gibt das Potential an dem in der Figur gezeigten Mittelpunkt B
an. Die Heizwiderstände 1 und 2 sind in dem Einlaßrohr eines Motors in
einem Fahrzeug, beispielsweise einem Kraftfahrzeug, angeordnet und ferner
befindet sich beispielsweise der Heizwiderstand 1 stromaufwärts in dem
Luftstrom und der Heizwiderstand 2 befindet sich benachbart des Heizwider
stands 1 stromabwärts in dem Luftstrom, wie dies in den Fig. 2a bis 2d
gezeigt ist. Die Heizwiderstände 1 und 2 werden erwärmt durch die Heizwi
derstands-Treiberschaltkreise 11 und 12, so daß die Differenz zwischen der
Lufttemperatur (Umgebungstemperatur) und der Temperatur jedes Heizwider
stands-Treiberschaltkreises unabhängig von der Geschwindigkeit des Luft
stromes konstant gehalten wird, ähnlich wie bei einem gewöhnlichen Luft
massenstromsensor des Konstanttemperaturtyps.
Zunächst, wenn die Luft in der Vorwartsrichtung von stromaufwärts nach
stromabwärts des Lufteinlaßrohres strömt, ist die in dem Heizwiderstand 1
durch den Heizwiderstands-Treiberschaltkreis 11 erzeugte Warme größer als
die in dem Heizwiderstand 2 erzeugte Warme, da der Heizwiderstand 1
mehr als der Heizwiderstand 2 gekühlt wird. Andererseits, wenn die Luft in
der umgekehrten Richtung von stromabwärts nach stromaufwärts des Luftein
laßrohres strömt, ist die durch den Heizwiderstand-Treiberschaltkreis 12 in
dem Heizwiderstand 2 erzeugte Wärme größer als die in dem Heizwider
stand 1 erzeugte Wärme, da der Heizwiderstand 2 mehr als der Heizwider
stand 1 gekühlt wird.
Deshalb kann die Richtung des Luftstromes auf der Basis der Differenz
zwischen den den Heizwiderständen 1 und 2 eingespeisten Strommengen
nachgewiesen werden. Entzerrungsschaltkreise 13 und 14 verbessern elek
trisch die Frequenzantwortcharakteristiken der Ausgangssignale von den
Heizwiderständen 1 und 2, die der Luftstromrate entsprechen. Ferner wird
die Richtung des Luftstromes auf der Basis der von einem Spannungsver
gleicher 15 erhaltenen Differenz zwischen den Ausgangssignalen von den
Entzerrungsschaltkreisen 13 und 14 nachgewiesen, und das Stromratensignal,
dessen durch die Rückstromeffekte verursachter Fehler gering ist, wird durch
Wahl eines auszugebenden Signals mit einem Umschaltschaltkreis 16 zwi
schen den beiden Ausgangssignalen von den Entzerrungsschaltkreisen 13 und
14 erhalten.
Im folgenden wird der Betrieb des Massenluftstromsensors unter Bezugnahme
auf die Fig. 6a bis 6g erläutert. Ein Signal von dem Heizwiderstand ist
bei Wandlung des elektrischen Signals zu einer Massenluftstromrate gezeigt.
Allgemein sind die Pulsamplituden der Luftstromrate bei einem Betrieb mit
niedriger Umdrehungszahl und bei Schwerlastbedingungen eines nicht mehr
als vier Zylinder aufweisenden Motors groß, und die Änderungen der Luft
stromrate stellen eine Welle mit nahezu Sinuswellenform dar, einschließlich
Rückflüssen von negativen Luftstromraten, wie in Fig. 6a gezeigt. Falls zum
Beispiel die Umdrehungszahl einer Welle in einem Motor 1000 UpM be
trägt, beträgt die Pulsfrequenz in dem Luftstrom etwa 33 Hz. Die Wellen
form der Luftstromrate hängt von den Formen einer Verbrennungskammer,
eines Einlaßrohres, eines Auslaßrohres und eines Luftreinigers ab. Wenn der
pulsierende Strom einschließlich dem Rückstrom von einem idealen Heizwi
derstandssensor mit den schnellen Antwortcharakteristiken gemessen wird,
wird ein positives Signal entsprechend dem absoluten Wert der erfaßten
Geschwindigkeit des Luftstromes von dem idealen Sensor ausgegeben, un
abhängig von der Vorwärts- oder Rückwärtsrichtung des Luftstromes, wie
dies in Fig. 6b gezeigt ist.
Da ein Signalausgang von einem tatsächlich Heizwiderstandssensor eine
solche wie in Fig. 6c gezeigte Antwortverzögerung aufweist, wird das Signal
an dem Umschaltpunkt zwischen dem Vorwärts- und Rückwartsflüssen
jedoch nicht gleich null. Ein von dem stromaufwärts in dem Einlaßluftstrom
angeordneten Heizwiderstand 1 ausgegebenes Signal A ist in dem Vorwärts
strom groß und in dem Rückwartsstrom klein. Umgekehrt ist ein von dem
stromabwärts in dem Einlaßluftstrom angeordneten Heizwiderstand 2 ausge
gebenes Signal B klein in dem Vorwartsstrom und groß in dem Rückwärts
strom. Der die zwei obigen Signale aufnehmende Spannungsvergleicher 15
gibt in alternierender Weise ein Signal hoher Höhe (hoch) entsprechend dem
Vorwärtsstrom und ein Signal tiefer Höhe (tief) entsprechend dem Rück
wärtsstrom aus, wie dies in Fig. 6d gezeigt ist. Die Rückwärtsstromkorrek
tur wird an den Ausgangssignalen der Heizwiderstände durch Invertierung
eines Vorzeichens des Ausgangssignals von dem Heizwiderstand 2 mit dem
Umschaltschaltkreis 16 basierend auf dem Richtungssignal, das von dem
Spannungsvergleicher 15 ausgegeben wird, durchgeführt, und es kann eine
solche Wellenform der Luftstromrate, wie sie in Fig. 6e gezeigt ist, die
eine Rückstromkomponente enthält, synthetisiert werden.
Da eine Phase der oben erwähnten synthetisierten Wellenform der Luft
stromrate verglichen mit der wahren Luftstromrate verschoben ist und
Sprungstellen der Stromrate bei Höhe null der Luftstromrate in der syn
thetisierten Wellenform erzeugt werden, weist die mittlere Höhe der syn
thetisierten Wellenform verglichen mit der mittleren Höhe der wahren
Luftstromrate einen Fehler auf. Durch Anwendung der Entzerrungsschalt
kreise 13 und 14 auf die von den Heizwiderständen 1 und 2 ausgegebenen
Signale können deshalb die Zeitverzögerungen in den von den Heizwider
ständen 1 und 2 ausgegebenen Signale wiedergewonnen werden und es
werden dann solche Signale, wie sie in der Fig. 6f gezeigt sind, erhalten.
Die Signale A1 und B1 von den zwei Heizwiderständen, von denen die
Zeitverzögerungen durch Verwendung der Entzerrungsschaltkreise 13 und 14
wiedergewonnen wurden, empfangen die Rückstromkorrektur und werden in
ein Signal der Luftstromrate synthetisiert, das der wahren Luftstromrate
nahezu gleich ist. Der Fehler der mittleren Stromratenhöhe, der durch
Verwendung des verbesserten synthetisierten Signals der Luftstromrate erhal
ten wird, kann beträchtlich vermindert werden.
In der vorliegenden Erfindung weist der Sensor eine solche Struktur auf,
daß lediglich eine Seite des Substrats 4 getragen ist und die gemeinsamen
Elektrodenanschlüsse 6a und 6c als Verbindungspunkte des Wheastoneschen
Brückenschaltkreises ausgebildet sind, wie dies in Fig. 5 gezeigt ist. Wie in
Fig. 1 gezeigt, sind der Heizwiderstand 2 und der Umgebungstemperatur
fühlwiderstand 3b gemeinsam mit dem gemeinsamen Elektrodenanschluß 6a
verbunden, und der Heizwiderstand 1 und der Umgebungstemperaturfühlwi
derstand 3a sind gemeinsam mit dem gemeinsamen Elektrodenanschluß 6d
verbunden.
Die Anzahl der Elektrodenanschlüsse kann demzufolge von der Anzahl 8 in
dem bestehenden Sensor auf die Anzahl 6 in dem Sensor der vorliegenden
Erfindung durch Vorsehen der zwei gemeinsamen Elektrodenanschlüsse
vermindert werden, von denen einer der für die Verbindung des Heizwider
stands 2 und des Umgebungstemperaturfühlwiderstands 3b gemeinsam ver
wendete Elektrodenanschluß 6a ist und der andere der für die Verbindung
des Heizwiderstands 1 und des Umgebungstemperaturfühlwiderstands 3a
gemeinsam verwendete Elektrodenanschluß 6d ist. Indem gemeinsame Elek
trodenanschlüsse vorgesehen werden und die Struktur übernommen wird, das
Substrat an einer einzigen Seite des Substrats zu tragen, kann die Verbin
dung des externen Schaltkreises 9 und des Meßelements für den Massen
luftstromsensor vereinfacht werden. Da der Flächenbelegungsanteil der
Elektrodenanschlüsse zur gesamten Fläche des Substrats 4 vermindert werden
kann, nimmt die Anzahl der Dünnfilmteile in einem auf einem Waver
gebildeten Meßelementchip zu, was die Herstellungskosten des Sensors
reduziert.
Obwohl in der Ausführungsform die Entzerrungsschaltkreise angewendet
werden, ist die Anwendung eines Entzerrungsschaltkreises nicht immer
notwendig, wenn ein Widerstandselement von ausreichend schnellen Antwort
charakteristiken verwendet wird. Obwohl in der Ausführungsform die Umge
bungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b stromaufwärts zu den Heizwider
ständen 1 und 2 angeordnet sind, ist es ebenfalls möglich, die Umgebungs
temperaturfühlwiderstände 3a und 3b stromabwärts zu den Heizwiderständen
1 und 2 anzuordnen, da die Umgebungstemperaturfühlwiderstände 3a und 3b
und die Heizwiderstände 1 und 2 in der Richtung senkrecht zu der Luft
stromrichtung links und rechts zueinander versetzt sind.
Da in der vorliegenden Erfindung die von den Heizwiderständen zu den
Umgebungstemperaturfühlwiderständen fließende Warme wirksam isoliert wird
und die elektrische Verbindung zwischen dem externen Schaltkreis und dem
Meßelement für den Massenluftstromsensor durch das Vorsehen gemeinsamer
Elektrodenanschlüsse, an denen jeweils ein Paar von dem Heizwiderstand
und dem Umgebungstemperaturfühlwiderstand gemeinsam angeschlossen wird,
vereinfacht wird, ist es möglich, ein Meßelement für einen Massenluftstrom
sensor einer hohen Meßgenauigkeit und niedriger Herstellungskosten zu
schaffen.
Claims (9)
1. Meßelement für einen auf einem Substrat gebildeten Massenluftstromsen
sor, das umfaßt:
mindestens ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Richtung eines Luftstromes in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind;
mindestens ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwider ständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstands bildungsteil auf dem Substrat gebildet sind; und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteils und des Dünn film-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils darstellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen,
wobei das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil und das Dünnfilm- Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil in der Richtung eines Luftstromes zueinander vor- und nachversetzt angeordnet sind, und in der Richtung senkrecht zu der Richtung eines Luftstromes zueinander links- und rechtsversetzt angeordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebumgstemperaturfühlwiderstände einander in Blickrichtung parallel zu der Richtung des Luftstromes nicht überlagern, und
wobei das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
mindestens ein Paar von Dünnfilm-Heizwiderständen, die in der Richtung eines Luftstromes in Nebeneinanderstellung angeordnet sind und an einem Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil auf dem Substrat gebildet sind;
mindestens ein Paar von Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwider ständen, die an einem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstands bildungsteil auf dem Substrat gebildet sind; und
eine Mehrzahl von Dünnfilm-Elektrodenanschlüssen, die an einem Tragteil, an dem das Substrat getragen ist, gebildet sind, das ein Teil ausschließlich des Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteils und des Dünn film-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteils darstellt, zur Ausgabe von elektrischen Signalen von den Heizwiderständen und den Umgebungstemperaturfühlwiderständen,
wobei das Dünnfilm-Heizwiderstandsbildungsteil und das Dünnfilm- Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil in der Richtung eines Luftstromes zueinander vor- und nachversetzt angeordnet sind, und in der Richtung senkrecht zu der Richtung eines Luftstromes zueinander links- und rechtsversetzt angeordnet sind, so daß das Paar der Heizwiderstände und das Paar der Umgebumgstemperaturfühlwiderstände einander in Blickrichtung parallel zu der Richtung des Luftstromes nicht überlagern, und
wobei das Tragteil einer einzigen Endseite des Substrats, an der die Mehrzahl der Dünnfilm-Elektrodenanschlüsse gebildet sind, zugeteilt ist.
2. Meßelement für einen Massenluftstromsensor gemäß Anspruch 1, wobei
ein Teil mit einem Schlitz zwischen dem Dünnfilm-Heizwiderstands
bildungsteil und dem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstands
bildungsteil vorgesehen ist, die in der Richtung eines Luftstromes
zueinander vor- und nachversetzt angeordnet und in der Richtung senk
recht zu der Richtung eines Luftstromes links- und rechtsversetzt zuein
ander angeordnet sind.
3. Meßelement für einen Massenluftstromsensor nach Anspruch 2, wobei
der Schlitz bis zu dem Tragteil verlängert ist.
4. Meßelement für einen Massenluftstromsensor nach Anspruch 1, wobei
ein gemeinsamer Elektrodenanschluß, der gemeinsam mit einem Paar
von dem Heizwiderstand und dem Umgebungstemperaturfühlwiderstand
verbunden ist und ein anderer gemeinsamer Elektrodenanschluß, der
gemeinsam mit einem Paar von einem anderen Heizwiderstand und
einem anderen Umgebungstemperaturfühlwiderstands verbunden ist, in
der Mehrzahl der Elektrodenanschlüsse vorgesehen ist.
5. Meßelement für einen Massenluftstromsensor nach Anspruch 1, wobei
der Heizwiderstand und der Umgebungstemperaturfühlwiderstand unter
Verwendung des gleichen Materials und des gleichen Herstellungsprozes
ses unter den gleichen Prozeßbedingungen gebildet sind.
6. Meßelement für einen Massenluftstromsensor gemäß Anspruch 1, wobei
jedes Filmmuster der Heizwiderstände so aufgebaut ist, daß ein Wider
standswert pro Flächeneinheit des Musters kleiner wird, je näher ein
Teil des Musters zu der Mittellinie zwischen den Heizwiderständen
liegt.
7. Meßelement für einen Massenluftstromsensor nach Anspruch 1, wobei
die Umgebungstemperaturfühlwiderstände so aufgebaut sind, daß ein
Paar von Dünnfilmmustern gemeinsam umeinander herum gezogen und
nahezu in der gleichen örtlichen Form an der gleichen Position in
dem Dünnfilm-Umgebungstemperaturfühlwiderstandsbildungsteil gebildet
sind.
8. Meßelement für einen Massenluftstromsensor nach Anspruch 7, wobei
ein Widerstandswert pro Flächeneinheit eines Teils in dem Paar von
Dünnfilmmustern abnimmt, je weiter dieser Teil von dem Tragteil
entfernt liegt.
9. Massenluftstromsensor, der das Meßelement nach einem der Ansprüche
1 bis 8 enthält.
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