DE19602199A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Koppeln einer Laserdiode an einen Mehrkanalmodulator - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Koppeln einer Laserdiode an einen MehrkanalmodulatorInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine
Vorrichtung zum Koppeln einer Laserdiode an einen
Mehrkanalmodulator gemäß den oberbegrifflichen Merkmalen des
Patentanspruchs 1 bzw. 4, insbesondere Mehrkanalmodulatoren, die
eine Alternative zu einzeln adressierbaren, mehrelementigen
Laserdioden darstellen.
Um die Leistung und Datenübertragungsgeschwindigkeiten, die
durch Laserdioden verfügbar sind, zu erhöhen, werden manchmal
mehrelementige, einzeln adressierbare Anordnungen von
Laserdioden verwendet. Diese können beugungsbegrenzte
Einzelmodustypen oder Anordnungen von Breitflächen-Sendern sein.
Die Breitflächen-Sender sind in einer Richtung beugungsbegrenzt,
die als "enge" Richtung bezeichnet wird und wirken als eine
Breitflächen-Quelle in der anderen oder "breiten" Richtung. Der
Vorteil der Breitflächen-Sender, die auch als "Streifen-" oder
"Fächer"-Laserdioden bezeichnet werden, ist die erheblich höhere
mögliche Ausgangsleistung. Aufgrund dieser hohen Leistung müssen
diese Vorrichtungen an einer Seite mit einer Wärmesenke
verbunden werden, da die thermische Leitfähigkeit des
Substratmaterials erheblich geringer als die der Wärmesenke ist.
Da jedoch die Verbindungen mit den einzelnen Dioden ebenso aus
dieser Verbindungsfläche herausgeführt werden müssen, tritt ein
Zielkonflikt auf, so daß ein Kompromiß zwischen den
Notwendigkeiten der Wärmeableitung einerseits und den
Verbindungen andererseits erforderlich ist.
Ein weiteres Problem mit mehrelementigen, einzeln adressierbaren
Dioden ist deren Zuverlässigkeit. Da jede Diode auf eine
einzelne Modulatorzelle und dann auf ein lichtempfindliches
Material oder einen lichtempfindlichen Sensor fokussiert wird,
macht ein Fehler oder Defekt in irgendeinem der vielen Elemente
die Vorrichtung unbrauchbar. Dem Stand der Technik entsprechende
Versuche, diese Probleme durch Koppeln einer Breitflächen-Laserdiode
mit einem Mehrkanalmodulator zu überwinden, waren nur
teilweise erfolgreich, da diese Versuche einen hohen
Kollimationsgrad in beiden Achsen verlangten. Die Breitflächen-Laserdioden
können aber nur in einer Achse parallel ausgerichtet
werden. Beispielsweise verwendet das US-Patent Nr. 4,577,932
eine Breitflächen-Laserdiode und einen akusto-optischen
Modulator. Jedoch ist sie auf den Betrieb in einem Pulsmodus und
auf relativ enge Dioden beschränkt.
Es ist daher eine Aufgabe der Erfindung, sehr breitflächig
strahlende Laserdioden (typischerweise 10 mm breit) in
Verbindung mit elektro-optischen Mehrkanalmodulatoren zu
schaffen, die mit einer mehrelementigen, einzeln adressierbaren
Laserdiode gleichwertig sind, ohne jedoch die Beschränkung einer
solchen Vorrichtung aufzuweisen.
Ferner soll durch das Beseitigen des Kompromisses zwischen
Verbindung einerseits und Wärmeableitung andererseits und durch
das Beseitigen der Auswirkungen von datenabhängiger
Temperaturwechselbeanspruchung eine Vorrichtung ausgebildet
werden, die eine höhere Zuverlässigkeit als eine mehrelementige,
einzeln adressierbare Diode aufweist.
Des weiteren sollen Mehrkanal-Laserdiodensysteme bereitgestellt
werden, die weniger anfällig für Reflektionen (von dem
bestrahlten Material) sind als die "enge" Sender aufweisenden
Laserdioden.
Diese Aufgabe wird gelöst durch ein Verfahren und eine
Vorrichtung gemäß den Merkmalen der Patentansprüche 1 bzw. 4.
Demgemäß ist eine Vorrichtung zum Koppeln einer breitflächig
sendenden Laserdiode vorgesehen, die aus mehreren Sendern
aufgebaut ist und parallel zu einer linearen
Lichtsteuereinrichtung betrieben wird. Eine solche Vorrichtung
ist dabei vorzugsweise eine Breitflächen-Diode, die aus einer
Vielzahl von kleinen, parallelen Elementen aufgebaut ist, deren
Elemente jedoch nicht einzeln adressierbar sind. Das Verfahren
umfaßt das Abbilden eines jeden Senders auf der linearen
Lichtsteuereinrichtung und das Überlagern aller Bilder der
Sender, um die Unempfindlichkeit gegenüber örtlichen Defekten
und Fehlern, die in irgendeinem einzelnen Sender auftreten, zu
erhöhen, da die Nahfeldstrahlung der Diode nicht in den
Längendimensionen der Diode abgebildet wird.
Vorteilhafte Ausgestaltungen sind Gegenstand der Unteransprüche,
wobei das Abbilden vorzugsweise unter Verwendung einer
Linsenanordnung, die in der Nähe der Laserdiode angeordnet ist,
vorgenommen wird. Die Anordnung weist eine Teilung bzw.
Breitenabstufung auf, die etwas weniger als die Teilung bzw.
Abstufung der Sender beträgt. Die Brennweite der Linsenanordnung
ist ungefähr gleich dem Abstand von den Sendern, an dem die
Strahlen der Sender das Überlagern beginnen. Die Verwendung
einer solchen Linsenanordnung ermöglicht eine wesentlich größere
Anzahl von Kanälen als dies mit dem Aufbau einer
mehrelementigen, einzeln adressierbaren Laserdiode möglich ist.
Das Verfahren umfaßt vorteilhafterweise Einrichtungen zum
Überlagern eines Teils des gemeinschaftlichen Abbildes der
Sender auf einem anderen Teil desselben Abbildes, um die
Gleichförmigkeit der Beleuchtung der Lichtsteuereinrichtung zu
verbessern.
Ein weiteres Merkmal der Erfindung umfaßt einen
Mehrkanalmodulator zum Modulieren des Lichts einer breitflächig
sendenden, aus mehreren Sendern aufgebauten Laserdiode, die eine
Lichtsteuereinrichtung zum Modulieren von darauf auftreffendem
Licht entsprechend der Steuerung der Lichtsteuereinrichtung
durch Eingabedaten umfaßt, wobei das modulierte Licht von der
Lichtsteuereinrichtung auf ein wärme- oder lichtempfindliches
Material fokussiert wird.
Durch ein derartiges Überlagern des Lichtes jedes Senders
braucht man, wenn ein Sender ausfallen sollte, nur die
Leistungsabgabe der vielen anderen Sender zu erhöhen, um den
Verlust zu kompensieren, ohne dabei die gesamte Laserdiode
auswechseln zu müssen.
Eine längliche, teilzylindrische Mikrolinse wird zum Ausrichten
des Lichts der Laserdiode in einer ersten Dimension verwendet,
ebenso wie die Linsenanordnung verwendet wird, um Licht von der
Diode in einer zweiten Dimension, die senkrecht zu der ersten
Dimension ist, so zu fokussieren, daß an der
Lichtsteuereinrichtung das Licht einer jeder Linse dem Licht
jeder anderen Linse der Linsenanordnung überlagert wird.
Die Laserdiode weist eine Vielzahl von Sendern auf, die parallel
verbunden sind, wobei die Linsenanordnung für jede Linse der
Anordnung einen Sender umfaßt, ferner jede Linse zylindrisch
sein kann sowie eine Achse aufweist, die senkrecht zu der Achse
der länglichen Mikrolinse ist. Die Teilung bzw. Breitenabstufung
einer jeden Linse kann bevorzugt etwas kleiner sein als die
Teilung bzw. Abstufung der Laserdiodensender.
Vorzugsweise ist eine Spiegeleinrichtung zum Reflektieren von
Licht der Fokussiereinrichtung vorgesehen, um das Licht, das auf
der einen Seite einen abfallenden Bereich des Intensitätsprofils
ausbildet, dem Licht zu überlagern, das einen abfallenden
Bereich des Intensitätsprofils auf der anderen Seite ausbildet,
um somit ein ungefähr rechteckiges Intensitätsprofil an der
Lichtsteuereinrichtung bereitzustellen. Durch diese Überlagerung
der abfallenden Teile der Enden des Intensitätsprofils kann ein
größerer Teil des Ausgangslichtes der Dioden verwendet und damit
eine wesentlich größere Laserleistungsausnutzung erzielt werden.
Um diese Vorgaben zu erfüllen, werden alle Elemente in der
Laserdiode parallel verbunden, um eine einzige Laserdiode
auszubilden. Die Diode bildet auf einen elektro-optischen
Mehrkanalmodulator ab, der das Diodenabbild dann in eine große
Anzahl von unabhängigen Kanälen unterteilt.
Um einen hohen Kopplungs-Wirkungsgrad zwischen der Laserdiode
und dem Modulator zu erreichen, wird eine Linse mit
zylindrischer Austrittsfläche für die "enge" Dimension und eine
Linsenanordnung für die "breite" Dimension verwendet, ebenso wie
Umlenkspiegel verwendet werden, um die Beleuchtung oder das
Intensitätsprofil rechteckiger zu gestalten. Unter Verwendung
dieser Schritte kann ein Kopplungs-Wirkungsgrad zwischen der
Laserdiode und dem Modulator erreicht werden, der ungefähr 90%
beträgt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnungen näher
erläutert und beschrieben. Es zeigen:
Fig. 1 eine Perspektivansicht eines bevorzugten
Ausführungsbeispiels der Erfindung;
Fig. 2-a eine Draufsicht des Ausführungsbeispiels der Fig. 1;
Fig. 2-b eine Seitenansicht des Ausführungsbeispiels der
Fig. 1;
Fig. 3 eine Draufsicht des Ausführungsbeispiels der Fig. 1,
die das "Überlagern" des Intensitätsprofils zum
Erhöhen der Leistungsausnutzung darstellt.
In Fig. 1 sendet ein Hochleistungslaser in Form einer
breitflächig sendenden Laserdiode 1 einen Lichtstrahl 2 aus, der
in der vertikalen Dimension mittels einer halbzylindrischen
Mikrolinse 3 gebündelt wird. In dem bevorzugten
Ausführungsbeispiel ist die Linse 3 eine längliche, asphärische
Linse, wie sie in dem US-Patent 5,080,706 beschrieben ist. Eine
zweite Mikrolinse 4 umfaßt eine lineare Anordnung mehrerer
Linsen 4′ mit zylindrischer Austrittsfläche, die bezüglich der
Mehrfach-Sender 1′ der Laserdiode 1 ausgerichtet sind. Das Licht
der Linsen 4′ wird mittels einer teilzylindrischen Linse 5
gebündelt und als eine Linie auf der linearen
Lichtsteuereinrichtung 6 abgebildet.
Wenn ein Hochleistungslaser verwendet wird, ist die lineare
Lichtsteuereinrichtung 6 eine Polarisationsvorrichtung, die
bewirkt, daß sich der Polarisationszustand des Lichtes ändert,
wenn eine Spannung an die Elektroden des Polarisationsmaterials
angelegt wird, wie dies durch die Pfeile DATEN angedeutet ist.
Ein Polarisationsprisma 7 überträgt das Licht mit horizontaler
Polarisation (d. h. das Licht geht durch die nicht-aktivierten
Zellen der linearen Polarisationsanordnung hindurch) und
reflektiert das Licht 11, dessen Polarisation beim Durchtritt
durch die aktivierten Polarisationszellen verändert wurde, zur
Seite hin. Das Abbild auf dem wärme- oder lichtempfindlichem
Material 9 weist Bereiche ohne Beleuchtung auf, entsprechend den
Teilen der Lichtsteuereinrichtung 6, die eine an die Elektroden
der Polarisationszelle angelegte Spannung aufweisen. Die
Lichtsteuereinrichtung 6 ist nicht Teil der Erfindung und wird
deshalb nicht im Detail beschrieben, wobei die Erfindung aber
mit irgendeiner Ausführungsform einer Lichtsteuereinrichtung
betrieben wird, beispielsweise einer magneto-optischen,
verstellbaren Spiegelvorrichtung, einem ferro-elektrischen
Flüssigkristall oder anderen. Lineare Lichtsteuereinrichtungen
können von Semetex (Torrance, CA), Motorola (Albuquerque, NM),
Displaytech (Boulder, CO), Texas Instruments (Dallas, TX) und
anderen bezogen werden. Eine Abbildungslinse 8 bildet die
Lichtsteuereinrichtung 6 auf dem wärmeempfindlichen oder
lichtempfindlichen Material 9 ab, wobei ein Bild 10 geformt
wird. Dieses Bild 10 ist eine verkleinerte Abbildung des Bildes
an der linearen Lichtsteuereinrichtung 6.
Um die Unempfindlichkeit gegenüber örtlichen Defekten in der
Laserdiode 1 zu erzielen, werden die Brennweite und die Teilung
der Linsen 4′ in der Mikrolinse 4 derart ausgewählt, daß jeder
Sender 1′ der Diode 1 auf der kompletten Breite der
Lichtsteuereinrichtung 6 abgebildet wird. Die Anzahl der
Linsen 4′ ist gleich der Anzahl der Laserdiodensender 1′. Die
Teilung der zylindrischen Linsen 4′ ist etwas kleiner als die
Teilung der Laserdiodensender 1′, um zu bewirken, daß das Bild
aller Sender 1′ an der Lichtsteuereinrichtung 6 überlagert wird.
Für die größte Helligkeit sollte die Brennweite der Linsen 4′
ungefähr gleich dem Abstand von der Diodenvorderseite sein, bei
dem sich die Strahlen der einzelnen Sender 1′ überkreuzen.
Bezugnehmend auf Fig. 2-a und 2-b in Verbindung mit Fig. 1 sind
die Bilder aller Sender 1′ auf der Lichtsteuereinrichtung 6 in
Form einer Linie überlagert. Die Intensität dieser Linie ist auf
dem größten Teil ihrer Länge gleichförmig, da die Sender 1′ der
Laserdiode 1 Breitflächen-Sender sind. Diese Sender strahlen
typischerweise gleichförmig über ihre Breite aus, fallen jedoch
an den Enden ab. Diese mittels der Lichtsteuereinrichtung 6
modulierte Linie wird auf wärme- oder lichtempfindliches
Material 9 abgebildet. In den meisten Anwendungen wird die
Diode 1 im Infrarotbereich des Spektrums, typischerweise
zwischen 800 nm bis 850 nm, betrieben, wobei das Material 9 eher
wärmeempfindlich ist, als daß es auf eine bestimmte Wellenlänge
anspricht. Ein Betreiben derselben Vorrichtung in dem sichtbaren
Spektrum ist unter Verwendung einer im sichtbaren Bereich
betriebenen Laserdiode ebenso möglich.
Bezugnehmend auf Fig. 3 zeigt ein Graph 12 das Intensitätsprofil
der Beleuchtung, das von dem Überlagern der Bilder aller
Sender 1′ der Laserdiode 1 unter Verwendung einer
Linsenanordnung 4 herrührt. Dieses Profil ist ebenso das Profil
eines jeden Senders 1′, da die Bilder genau überlagert sind. Nur
das flache Teil des Profils kann verwendet werden, da die
Lichtsteuereinrichtung 6 gleichförmig beleuchtet werden muß. Die
abfallenden Enden des Beleuchtungsprofils stellen einen
Leistungsverlust zwischen 30% und 40% der gesamten Leistung
dar. Um diese Leistung trotzdem verwenden zu können, wird die in
Fig. 3 dargestellte Verbesserung verwendet. Ein Spiegel 13
reflektiert den abfallenden Teil des Intensitätsprofils 12 auf
einen zweiten Spiegel 14. Der Spiegel 14 fügt diesen Teil des
Profils dem abfallenden Profil am anderen Ende der
Beleuchtungslinie hinzu, wie dies durch den Graph 15 dargestellt
ist. Dieser Graph stellt das Intensitätsprofil unmittelbar nach
Spiegel 14 dar. Durch ein Angleichen des Winkels des
Spiegels 14, um das abfallende Teil der Profile an der
Lichtsteuereinrichtung 6 zu überlagern, wird ein annähernd
rechteckiges Profil 16 erreicht. Dieses Verfahren verursacht
eine etwas höhere Winkelstreuung als in Fig. 2-a, erhöht aber
die Laserleistungsausnutzung wesentlich.
Da die auf die Lichtsteuereinrichtung 6 projizierte Linie eine
Überlagerung vieler Sender 1′ (typischerweise 10 bis 40 Stück)
der Laserdiode 1 ist, erzeugt ein Ausfall eines einzelnen
Senders 1′ noch keinen dunklen Punkt auf der
Lichtsteuereinrichtung 6. Statt dessen nimmt lediglich die
Gesamtbeleuchtungsintensität ab. Beispielsweise wird bei einer
Laserdiode 1 mit zwanzig Sendern 1′ ein einziger defekter
Sender 1′ die Beleuchtungsintensität der
Lichtsteuereinrichtung 6 nur um 5% reduzieren. Dieser
gleichförmige Abfall in der Beleuchtungsintensität kann durch
das Erhöhen des Laserdiodenstroms leicht kompensiert werden.
Beispielsweise ist die Laserdiode 1 eine 20 W C-Diode,
hergestellt von Opto-Power (City of Industry, CA), Teile-Nr.
OPC-B020-80-CS. Sie umfaßt 19 einzelne Sender nebeneinander,
wobei jeder Sender 1′ jeweils 150 Mikrometer lang und auf einen
Mittenabstand von 787,5 Mikrometer ausgerichtet ist. Diese
Abmessungen lassen somit 637,5 Mikrometer Breitenabstand
zwischen den einzelnen Sendern 1′. Da die Divergenz in der
Weitenabmessung dieser Diode ungefähr 10° beträgt, überkreuzen
sich die Strahlen der einzelnen Sender 1′ in
ungefähr 637,5/tan 10° = 3,6 mm Entfernung von der Laserdiode 1.
Dies legt die Brennweite der Linsenanordnung 4 fest. Die
Mikrolinse 3 ist eine längliche, halbzylindrische Linse mit
einem Öffnungswert von 0,73, hergestellt von Blue Sky Research
(San Jose, CA), Teile-Nr. SAC 800. Die Linsenanordnung 4 besteht
aus 19 teilzylindrischen Beugungs-Mikrolinsen 4′ mit einer
Teilung bzw. Abstand von 785 Mikrometer und einer Brennweite
von 3,5 mm, hergestellt von Teledyne Brown Engineering
(Huntsville, AL) unter Verwendung eines 16-Stufen-(4-Masken-)Verfahrens.
Die teilzylindrische Linse 5 weist eine Brennweite
von ungefähr 250 mm auf. Diese Abmessungen sind ausreichend, um
eine Lichtsteuereinrichtung 6 auf 6 mm Breite gleichmäßig zu
beleuchten, wenn die Anordnung gemäß Fig. 2-b verwendet wird
und auf ungefähr 10 mm Breite, wenn die Anordnung der Fig. 3
verwendet wird. Der Abstand zwischen Linse 5 und
Linsenanordnung 4 beträgt ungefähr 250 mm. Der Abstand zwischen
Linsenanordnung 4 und den Laserdioden-Sendern 1′ beträgt
ungefähr 3,8 mm. Die Linse 3 ist so eingestellt, daß in der
vertikalen Dimension an der Lichtsteuereinrichtung 6 die
schärfste Linie abgebildet wird. Da die Teilung der
zylindrischen Linsen 4′ der Linsenanordnung 4 etwas kleiner ist
als die Teilung der Sender 1′ der Laserdiode 1 (776,3 Mikrometer
gegenüber 787,5 Mikrometer) sind die Bilder aller Sender 1′ in
einem Abstand von ungefähr 250 mm überlagert, da die
akkumulierte Verschiebung der Sender 1′ etwa 9 × (787,5 - 776,3)
≈ 100 Mikrometer beträgt, was eine Bildverschiebung von
(100/3600) × 250 mm ≈ 7 mm ergibt. Mittels der Anordnung der
Lichtsteuereinrichtung 6 in diesem Abstand kann die dieser
Erfindung zugrundeliegende Aufgabenstellung erreicht werden.
Obwohl diese Erfindung anhand eines konkreten
Ausführungsbeispieles unter Verwendung von konkreten Abmessungs- und
Dimensionierungsangaben beschrieben wurde, ist es für den
Fachmann offensichtlich, durch Ändern der Abmessungs- und
Dimensionierungsgrößen, wie beispielsweise Linsenabstand oder
Linsendimensionierung, einen ähnlichen Aufbau herzustellen, dem
das Prinzip der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt.
Claims (10)
1. Verfahren zum Koppeln einer aus mehreren Sendern
aufgebauten, breitflächig sendenden Laserdiode an einen
Mehrkanalmodulator, wobei die Sender parallel zu der
linearen Lichtsteuereinrichtung zum Modulieren von Licht
betrieben werden,
dadurch gekennzeichnet, daß
jeder Sender (1′) auf der linearen Lichtsteuereinrichtung
(6) unter Überlagerung mit den anderen Abbildern der Sender
(1′) abgebildet wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
zum Abbilden in der Nähe der Laserdiode (1) eine
Linsenanordnung (4) angeordnet wird, wobei die Brennweite
der Linsenanordnung (4) so angepaßt wird, daß sie ungefähr
gleich demjenigen Abstand von den Sendern (1′) ist, bei dem
sich die Strahlen (2) der Sender (1′) zu überlagern
beginnen.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
ein Randbereich des gemeinschaftlichen Abbildes der Sender
(1′) einem anderen Randbereich desselben Abbildes zum
Verbessern der Gleichförmigkeit der Beleuchtung der
Lichtsteuereinrichtung (6) überlagert wird.
4. Vorrichtung zum Koppeln einer Laserdiode an einen
Mehrkanalmodulator als Lichtsteuereinrichtung zum
Modulieren von darauf auftreffendem Licht der aus mehreren
Sendern aufgebauten, breitflächig sendenden Laserdiode,
gekennzeichnet durch
Linsen (3, 4, 5) zum Fokussieren von Licht der Sender (1′)
auf die Lichtsteuereinrichtung (6), wobei das Licht jedes
Senders (1′) dem Licht aller anderen Sender (1′) überlagert
ist, und
Einrichtungen (7, 8) zum Fokussieren von moduliertem Licht
der Lichtsteuereinrichtung (6) auf ein wärme- oder
lichtempfindliches Material (9).
5. Vorrichtung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Linsenanordnung (4) in der Nähe der
Fokussiereinrichtung (3) der Sender (1′) angeordnet ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Fokussiereinrichtung (3) eine längliche Mikrolinse zum
Ausrichten von Licht der Laserdiode (1) in einer ersten
Dimension ist, wobei die Linsenanordnung (4) das Licht der
Laserdiode (1) in einer zweiten Dimension, die senkrecht zu
der ersten Dimension ist, derart fokussiert, daß auf der
Lichtsteuereinrichtung (6) das Licht einer jeden Linse (4′)
dem Licht jeder anderen Linse (4′) der Linsenanordnung (4)
überlagert ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Laserdiode (1) eine Vielzahl von parallel verbundenen
Sendern (1′) aufweist, von denen je einer jeder Linse (4′)
der Linsenanordnung (4) zugeordnet ist, wobei jede Linse
(4′) zylindrisch bezüglich einer Achse ist, die senkrecht
zu der Achse der länglichen Mikrolinse (3) ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Teilung der Linsen (4′) der Linsenanordnung (4)
geringfügig kleiner als die Teilung der Sender (1′) der
Laserdiode (1) ist.
9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
seitlich des Hauptlichtpfades Spiegeleinrichtungen (13, 14)
zum Reflektieren und Überlagern eines Randbereiches des
Intensitätsprofils auf einen anderen Randbereich des
Intensitätsprofils angeordnet sind.
10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Brennweite jeder Linse (4′) der Linsenanordnung (4)
gleich dem Teilungsabstand zwischen den Sendern (1′)
geteilt durch den Tangens des Breitenstreuwinkels der
Sender (1′) ist.
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