DE19513793C2

DE19513793C2 - Akustisches Oberflächenwellenfilter

Info

Publication number: DE19513793C2
Application number: DE19513793A
Authority: DE
Inventors: Yutaka Tada
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1994-04-12
Filing date: 1995-04-11
Publication date: 1997-08-28
Anticipated expiration: 2015-04-12
Also published as: US5966061A; JP3237387B2; GB2288504A; JPH07283686A; DE19513793A1; GB9507218D0; GB2288504B; GB9807596D0

Description

Die Erfindung betrifft ein Akustisches Oberflächenwel lenfilter (surface acoustic wave filter, Akustisches Ober flächenwellenfilter, AOW-Filter) mit Resonatoren zur Benut zung in einer mobilen Kommunikationsausrüstung, wie zum Beispiel einem tragbaren Telefon.

AOW-Filter sind für tragbare Telefone in Gebrauch, weil sie dazu beitragen können, kompakte Geräte zu liefern, die keine Abstimmung erfordern. Unter den AOW-Filtern werden solche, die Resonatoren aufweisen, als die mit der einfachsten Struktur und die mit dem geringsten Kosten aufwand betrachtet.

Aus der Druckschrift C.C. Ruppel u. a., SAW Devices for Consumer Communication Applications, in : IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics and Frequency Control, Vol. 40, Nr. 5, September 1993, S. 438 bis 452 ist ein akusti sches Oberflächenwellenfilter mit einem piezoelektrischen Substrat, einem Eingangsinterdigitalwandler und einem Ausgangsinterdigitalwandler mit auf dem Substrat ausgebil deten parallelen Elektrodenfingern und auf dem Substrat ausgebildeten Reflektoren, die die Eingangselektrode und die Ausgangselektrode nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen sich einschließen, bekannt. Die DE 42 12 517 A1 offenbart ein akustisches Oberflächenwellenfilter mit ähnlicher Struktur.

Fig. 7 zeigt ein Beispiel eines einstufigen AOW-Fil ters, das fingerartig ineinandergreifende (oder kammartig gestaltete) Eingangs- und Ausgangs-Elektroden (Eingangs interdigitalwandler und Ausgangsinterdigitalwandler) 2 und 3 hat, von denen jede verlängerte "Finger" (oder Kammzähne) hat, die wechselseitig parallel auf einem piezoelektrischen Substrat 1 mit konstantem Vorderkantenabstand und nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen Reflektoren 4, die auch parallel Finger haben, angeordnet sind (Siehe z. B. US-A- 5,300,902). Der Eingangsinterdigitalwandler 2 hat Elek trodenfinger, die mit einem Eingangsanschluß 5 verbunden sind und sich von diesem aus erstrecken sowie solche Elek trodenfinger, die mit einem Masseanschluß 7 verbunden sind und sich von diesem in Richtung Eingangsanschluß 5 er strecken. In gleicher Weise hat der Ausgangsinterdigital wandler 3 Elektrodenfinger, die mit einem Ausgangsanschluß 6 verbunden sind und sich von diesem aus erstrecken, und solche Elektrodenfinger, die mit einem anderen Massean schluß 8 verbunden sind und sich von diesem in Richtung Ausgangsanschluß 6 erstrecken. Der Eingangsinterdigital wandler 2 ist als ganzes von dem Ausgangsinterdigitalwand ler 3 umgeben, so daß der Eingangsanschluß 5 von drei Seiten vom Masseanschluß 8 des Ausgangsinterdigitalwandlers und der Masseanschluß 7 des Eingangsinterdigitalwandlers 2 von drei Seiten vom Ausgangsanschluß 6 umgeben ist. Die am weitesten außen befindlichen Finger 2a′ der Eingangselek trode 2, die der Ausgangselektrode 3 am nächsten liegen, sind mit dem Masseanschluß 7 verbunden und erstrecken sich von dort aus in Richtung Eingangsanschluß 5, und die am weitesten innen befindlichen Finger 3a′ der Ausgangselek trode 3, die der Eingangselektrode 2 am nächsten liegen, sind mit dem Masseanschluß 8 verbunden und erstrecken sich von dort in Richtung Ausgangsanschluß 6.

Fig. 8, in der die Komponenten, die im wesentlichen den in Fig. 7 gezeigten äquivalent sind, dieselben Bezugs zeichen aufweisen, zeigt ein anderes Filter nach dem Stand der Technik mit zwei Stufen, das zum Beispiel durch das Verbinden mehrerer einstufiger, oben mit Bezug auf Fig. 7 beschriebener AOW-Filter gebildet wird. Zweistufige (oder mehrstufige) AOW-Filter haben den Vorteil, daß sie ein höheres Dämpfungsniveau liefern, das erforderlich ist, wenn sie zum Beispiel in einem tragbaren Telefon benutzt werden.

Zur Ausdehnung des Durchlaßbereiches eines AOW-Filters dieses Typs ist es auch bekannt, ein 36°-Drehungs-Y-X- Schnitt-Ausbreitungs-LiTaO₃-Substrat (36° Y-X LiTaO₃-Sub strat) oder ein 64° Y-X LiNbO₃-Substrat als piezoelektri sches Substrat zu benutzen und die Finger wie in den Fig. 9A, 9B und 10 gezeigt anzuordnen, das heißt, jeder Finger hat eine Breite von 0,25 λ (wobei λ die Wellenlänge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächenwelle ist), und wechselseitig benachbarte Fingerpaare sind voneinander durch den gleichen Abstand getrennt (= 0,25 λ), so daß der Abstand zwischen den Mittellinien der wechselseitig benach barten Paare gleich 0,5 λ ist, mit der Ausnahme, daß die am weitesten außen befindlichen Finger 2a′ der Eingangselek trode 2 und die am weitesten innen befindlichen Finger 3a′ der Ausgangselektrode 3 miteinander in Kontakt stehen (Fig. 9B).

Durchlaßkennlinien eines solchen Filters (bei dem die äußersten Finger 2a′ der Eingangselektrode 2 und die inner sten Finger 3a′ der Ausgangselektrode 3 Seite an Seite, nahe beieinander und in Kontakt miteinander angeordnet sind) sind in den Fig. 11A und 11B gezeigt. (Sie sind natürlich abhängig vom Material des piezoelektrischen Sub strats 1 und von den Strukturen der finger- oder kammarti gen Eingangs- und Ausgangselektroden 2 und 3.) Die Fig. 11A und 11B zeigen die Einfügungsdämpfung und die Welligkeit eines zweistufigen AOW-Filters von Fig. 10, dessen Spezifi kation unten in Tabelle 1 angegeben ist.

Tabelle 1

Piezoelektrisches Substrat: 36° Y-X LiTaO₃ Substrat
Dicke der Elektrodenschicht: 2700 Å
Elektrodenmaterial: Aluminium
Anzahl der Finger für die Reflektoren: 200 für jeden Reflektor
Anzahl der Finger für die Eingangselektrode 2: 41
Anzahl der Finger für die Ausgangselektrode 3: 27 für jede
Mitte-zu-Mitte-Abstand zwischen benachbarten Fingerpaaren der Eingangs- und Ausgangselektroden: 2,1 µm
Überlappungslänge der sich aus entgegengesetzten Richtungen erstreckenden Finger: 170 µm
Mitte-zu-Mitte-Abstand zwischen den Fingern 2a′ und 3a′: 0,25 λ
Anzahl der Filterstufen: 2

Die Fig. 11A und 11B zeigen nicht nur, daß es inner halb des Durchlaßbereiches eine Ungleichmäßigkeit von ungefähr 1,2 dB gibt, sondern auch, daß die Welligkeit innerhalb des Durchlaßbereiches auf 2,2 ansteigt. Für praktische Anwendungen eines AOW-Filters des betrachteten Typs sind jedoch allgemein Ungleichmäßigkeiten kleiner als 1,0 dB und eine Welligkeit kleiner als 2,0 erforderlich. Um diese Anforderungen zu erfüllen, ist es notwendig, ein Filter so auszulegen, daß sein Durchlaßbereich schmaler wird. Mit solch einer Gestaltungsform ist es schwierig, ein AOW-Filter mit einem breiten Durchlaßbereich für eine große Vielfalt von Anwendungen bereitzustellen.

Angesichts des oben Dargelegten ist es daher Aufgabe der Erfindung, ein AOW-Filter bereitzustellen, mit dem die Ungleichmäßigkeiten und die Welligkeit innerhalb des Durch laßbereiches reduziert werden und das folglich an eine breite Vielfalt von Benutzungen angepaßt ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch ein akustisches Oberflächenwellenfilter mit einem piezoelek trischen Substrat, einem Eingangsinterdigitalwandler und einem Ausgangsinterdigitalwandler mit auf dem Substrat ausgebildeten, parallelen Elektrodenfingern und auf dem Substrat ausgebildeten Reflektoren, die die Eingangselek trode und die Ausgangselektrode nach Art einer Sandwich- Struktur zwischen sich einschließen, wobei zwei Finger des Eingangsinterdigitalwandlers, nämlich der Finger, der der Ausgangselektrode am nächsten liegt, und der Finger, der der Ausgangselektrode am zweitnächsten liegt, zusammen an denselben Masseanschluß angeschlossen sind.

Die Aufgabe wird erfindungsgemäß außerdem gelöst durch ein akustisches Oberflächenwellenfilter mit einem piezo elektrischen Substrat, einem Eingangsinterdigitalwandler und einem Ausgangsinterdigitalwandler mit auf dem Substrat ausgebildeten, parallelen Elektrodenfingern und auf dem Substrat ausgebildeten Reflektoren, die die Eingangselek trode und die Ausgangselektrode nach Art einer Sandwich- Struktur zwischen sich einschließen, wobei zwei Finger des Ausgangsinterdigitalwandlers, nämlich der Finger, der der Eingangselektrode am nächsten liegt, und der Finger, der der Eingangselektrode am zweitnächsten liegt, zusammen an denselben Masseanschluß angeschlossen sind.

Bevorzugte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen akustischen Oberflächenwellenfilter sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 5 bzw. 7 bis 10.

Im folgenden werden Ausführungsformen der Erfindung anhand von Figuren erläutert. Es zeigt:

Fig. 1A eine schematische Draufsicht auf ein einstufiges AOW-Filter entsprechend einer erfindungsgemäßen Ausführungsform,

Fig. 1B eine Schnittdarstellung eines Teiles des einstufi gen AOW-Filters aus Fig. 1A, um die Fingeranordnung zu zeigen,

Fig. 2A eine schematische Draufsicht auf ein einstufiges AOW-Filter entsprechend einer anderen erfindungs gemäßen Ausführungsform,

Fig. 2B eine Schnittdarstellung eines Teiles des einstufi gen AOW-Filters aus Fig. 2A, um die Fingeranordnung zu zeigen,

Fig. 3 eine schematische Draufsicht auf ein zweistufiges AOW-Filter entsprechend einer erfindungsgemäßen Ausführungsform,

Fig. 4 eine schematische Draufsicht auf ein zweistufiges AOW-Filter entsprechend einer anderen erfindungs gemäßen Ausführungsform,

Fig. 5A und 5B grafische Darstellungen der Durchlaßkenn linien des in Fig. 4 dargestellten zweistufigen AOW-Filters,

Fig. 6 eine schematische Draufsicht auf ein einstufiges AOW-Filter entsprechend einer weiteren erfindungs gemäßen Ausführungsform,

Fig. 7 eine schematische Draufsicht auf ein einstufiges AOW-Filter nach dem Stand der Technik,

Fig. 8 eine schematische Draufsicht auf ein zweistufiges AOW-Filter nach dem Stand der Technik,

Fig. 9A eine schematische Draufsicht auf ein anderes ein stufiges AOW-Filter nach dem Stand der Technik,

Fig. 9B eine Schnittdarstellung eines Teiles des einstufi gen AOW-Filters von Fig. 9A, um die Fingeranordnung zu zeigen,

Fig. 10 eine schematische Draufsicht auf ein anderes zwei stufiges AOW-Filter nach dem Stand der Technik, und

Fig. 11A und 11B graphische Darstellungen der Durchlaßkenn linie des in Fig. 10 gezeigten zweistufigen AOW- Filters nach dem Stand der Technik.

Das in den Fig. 1A und 1B gezeigte erfindungsgemäße einstufige AOW-Filter weist ein 36° Y-X LiTaO₃-Substrat auf, das als piezoelektrisches Substrat 1 dient. Wie bei dem entsprechenden, mit Bezug auf Fig. 7 oben beschriebenen einstufigen AOW-Filter nach dem Stand der Technik sind auch bei dem erfindungsgemäßen einstufigen AOW-Filter auf dem piezoelektrischen Substrat 1 eine Eingangselektrode 2 und eine Ausgangselektrode 3 ausgebildet. Sowohl die Eingangs elektrode 2 als auch die Ausgangselektrode 3 sind finger artig (oder kammartig) mit sich auf gleichem Vorderkanten abstand wechselseitig parallel erstreckenden Fingern ausge bildet. Ferner weist das erfindungsgemäße einstufige AOW- Filter wie das genannte einstufige AOW-Filter nach dem Stand der Technik Reflektoren 4 auf, die so angeordnet sind, daß sie die Eingangselektrode 2 und die Ausgangs elektrode 3 nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen sich einschließen. Einige Finger der Eingangselektrode 2 sind mit einem Eingangsanschluß 5 verbunden und erstrecken sich in Richtung Masseanschluß 7, von dem aus sich einige Finger in Richtung Eingangsanschluß 5 erstrecken. Gleichfalls sind einige Finger der Ausgangselektrode 3 mit einem Ausgangsan schluß 6 verbunden und erstrecken sich in Richtung zu einem anderen Masseanschluß 8, von dem aus sich einige Finger in Richtung Ausgangsanschluß 6 erstrecken. Sowohl der Aus gangsanschluß 6 als auch der Masseanschluß 8 der Ausgangs elektrode 3 sind gewöhnlich U-förmig und umgeben von drei Seiten den Masseanschluß 7 der Eingangselektrode 2 und den Eingangsanschluß 5.

Das einstufige AOW-Filter nach Fig. 1A unterscheidet sich von dem bekannten einstufigen AOW-Filter nach Fig. 7 dadurch, daß die innersten Finger 3a der Ausgangselektrode 3, die der Eingangselektrode 2 am nächsten liegen, mit dem Ausgangsanschluß 6 verbunden sind und sich von dort in Richtung Masseanschluß 8 erstrecken und daß nicht nur die äußersten Finger 2a der Eingangselektrode 2, die der Aus gangselektrode 3 am nächsten liegen, sondern auch die zweitäußersten Finger 2b der Eingangselektrode 2 (das sind die Finger der Eingangselektrode 2, die der Ausgangselek trode am zweitnächsten liegen) mit dem Masseanschluß 7 verbunden sind und sich von dort aus in Richtung Eingangs anschluß 5 erstrecken. Ein Vergleich der Fig. 1A und 7 zeigt, daß das in Fig. 1A gezeigte erfindungsgemäße AOW- Filter erhalten werden kann, indem die innersten Finger 3a′ der Ausgangselektrode 3 des bekannten AOW-Filters nach Fig. 7 abgetrennt und an den Masseanschluß 7 der Eingangselek trode 2 außerhalb der äußersten Finger 2a′ angefügt werden.

Die Fig. 2A und 2B zeigen ein einstufiges AOW-Filter entsprechend einer anderen Ausführungsform der Erfindung, das in einer Weise dem oben mit Bezug auf die Fig. 1A und 1B beschriebenen erfindungsgemäßen einstufigen AOW-Filter und in anderer Weise dem bekannten und oben mit Bezug auf die Fig. 9A und 9B beschriebenen Filter ähnlich ist. Im Detail sind bei dem in den Fig. 2A und 2B gezeigten AOW- Filter die innersten Finger 3a der Ausgangselektrode 3 mit dem Ausgangsanschluß 6 verbunden und erstrecken sich von dort aus in Richtung Masseanschluß 8, und sowohl die äußer sten Finger 2a als auch die zweitäußersten Finger 2b der Eingangselektrode 2 sind mit dem Masseanschluß 7 verbunden und erstrecken sich von dort in Richtung Eingangsanschluß 5. Jeder Finger hat die Breite 0,25 λ, wobei λ die Wellen länge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächenwelle ist, und wechselseitig benachbarte Fingerpaare sind vonein ander durch den gleichen Abstand (= 0,25 λ) getrennt, so daß der Abstand zwischen ihren Zentren gleich 0,5 λ ist, mit Ausnahme der äußersten Finger 2a und der zweitäußersten Finger 2b der Eingangselektrode 2, die miteinander kon taktiert sind (Fig. 2B). Die Kontakte zwischen den äußer sten Fingern 2a und den zweitäußersten Fingern 2b der inneren Elektrode 2 verursachen keine gefährlichen Effekte, weil beide mit demselben Masseanschluß 7 verbunden sind und folglich auf gleichem Potential liegen.

Einige erfindungsgemäße AOW-Filter haben eine soge nannte mehrstufige Struktur, die durch Verbinden einer Vielzahl von einstufigen AOW-Filtern des oben mit Bezug auf die Fig. 1A und 2A beschriebenen Typs erzielt wird. Die Fig. 3 und 4 zeigen erfindungsgemäße zweistufige AOW-Fil ter, die durch Verbinden zweier einstufiger AOW-Filter nach Fig. 1A bzw. Fig. 2A mit jeweils einem einzigen gemeinsamen Ausgangsanschluß 6 zwischen den jeweiligen einstufigen AOW- Filtern gebildet wurden.

Die Fig. 5A und 5B zeigen Durchlaßkennlinien eines zweistufigen AOW-Filters vom in Fig. 4 gezeigten Typ, wobei die Filter der einzelnen Filterstufen entsprechend den in Tabelle 1 angegebenen Kennwerten aufgebaut sind. Ein Ver gleich mit den Diagrammen der Fig. 11A und 11B zeigt, daß nun fast keine Ungleichmäßigkeiten innerhalb des Durch laßbereiches mehr auftreten und daß die Welligkeit inner halb des Durchlaßbereiches viel kleiner, d. h. ungefähr 1,0 bis 1,4, ist. Anders gesagt, obwohl gewöhnlich angenommen wird, daß durch Abtrennen der innersten Elektrodenfinger 3a′ der Ausgangselektrode 3 eines bekannten AOW-Filters vom die Ausgangsfinger erdenden Anschluß 8 und Verbinden der genannten Elektrodenfinger mit dem die Eingangsfinger erdenden Anschluß 7 außerhalb der äußersten Finger 2a′ der Eingangselektrode 2 keine signifikanten Effekte zu errei chen seien, liegt der Erfindung die Erkenntnis zugrunde, daß diese Änderung signifikante Effekte zur Verringerung sowohl der Ungleichmäßigkeiten als auch der Welligkeit hervorbringt. Ursache dürfte sein, daß die Filter nach dem Stand der Technik aufgrund der verschiedenartigen Verkabe lung von den Resonatoren und der verschiedenartigen Elek trodenanschlüsse (oder Elektrodenblöcke) nicht die parasi tären Blindwiderstandskomponenten beseitigen können, die parasitären Blindwiderstandskomponenten aber entsprechend der vorliegenden Erfindung reduziert werden können, weil die wechselseitig benachbarten Finger 2a und 2b gemeinsam geerdet sind.

Obwohl die Erfindung mit Bezug auf eine begrenzte Anzahl von Beispielen beschrieben wurde, beschränkt sich der Umfang der Erfindung nicht auf diese Beispiele. Viele Modifikationen und Variationen sind im Rahmen der Erfindung möglich. Z.B. braucht der Masseanschluß, an den zwei wech selseitig benachbarte Finger am Rand einer Elektrode ange schlossen sind, nicht wie in den Fig. 1 bis 4 gezeigt, der Masseanschluß der Eingangselektrode zu sein, sondern er kann auch der Masseanschluß der Ausgangselektrode sein. Ein Beispiel eines so aufgebauten einstufigen Filters ist in Fig. 6 gezeigt. Auf ähnliche Weise können, obwohl nicht separat illustriert, andere Filterausführungsformen der Erfindung durch Entfernen der zwei äußersten Finger 2a und 2b der Eingangselektroden 2 der in den Fig. 2 bis 4 gezeig ten Filter vom Masseanschluß 7 der Eingangselektrode 2 und Verbinden der genannten äußersten Finger mit dem inneren Rand des Masseanschlusses 8 der Ausgangselektrode 3 ausge bildet werden. Ferner brauchen, als anderes Beispiel, die piezoelektrischen Substrate nicht ein 36° Y-X LiTaO₃-Sub strat zu sein, sondern können auch ein 64° Y-X LiNbO₃- Substrat sein. Statt zweistufig können erfindungsgemäße AOW-Filter auch drei- oder mehrstufig ausgebildet sein.

Claims

1. Akustisches Oberflächenwellenfilter mit:

- einem piezoelektrischen Substrat (1)
- einem Eingangsinterdigitalwandler (2) und einem Ausgangs interdigitalwandler (3) mit auf dem Substrat (1) ausge bildeten, parallelen Elektrodenfingern und
- auf dem Substrat (1) ausgebildeten Reflektoren (4), die die Eingangselektrode (2) und die Ausgangselektrode (3) nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen sich einschlie ßen,
dadurch gekennzeichnet, daß
zwei Finger (2a, 2b) des Eingangsinterdigitalwandlers (2), nämlich der Finger (2a), der der Ausgangselektrode (3) am nächsten liegt, und der Finger (2b), der der Ausgangselektrode (3) am zweitnächsten liegt, zusammen an denselben Masseanschluß (7) angeschlossen sind.

2. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß die Finger des Eingangsinterdigital wandlers (2) und des Ausgangsinterdigitalwandlers (3) alle jeweils die gleiche Breite von 0,25 λ haben, wobei λ die Wellenlänge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächen welle ist.

3. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 2, da durch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen den Mittel linien der beiden Finger (2a, 2b) des Eingangsinterdigital wandlers (2) 0,25 λ beträgt.

4. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 1, da durch gekennzeichnet, daß dieses Filter eines von mehreren zu einem mehrstufigen Filter verbundenen einstufigen Filtern ist.

5. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 3, da durch gekennzeichnet, daß dieses Filter eines von mehreren zu einem mehrstufigen Filter verbundenen ähnlich strukturierten einstufigen Filtern ist.

6. Akustisches Oberflächenwellenfilter mit:

- einem piezoelektrischen Substrat (1),
- einem Eingangsinterdigitalwandler (2) und einem Ausgangs interdigitalwandler (3) mit auf dem Substrat (1) ausge bildeten, parallelen Elektrodenfingern und auf dem Substrat (1) ausgebildeten Reflektoren (4), die die Eingangselektrode (2) und die Ausgangselektrode (3) nach Art einer Sandwich-Struktur zwischen sich einschlie ßen,
dadurch gekennzeichnet, daß
zwei Finger (3a, 3b) des Ausgangsinterdigitalwandlers (3), nämlich der Finger (3a), der der Eingangselektrode (2) am nächsten liegt, und der Finger (3b), der der Eingangselektrode (2) am zweitnächsten liegt, zusammen an denselben Masseanschluß (8) angeschlossen sind.

7. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 6, da durch gekennzeichnet, daß die Finger des Eingangsinterdigital wandlers (2) und des Ausgangsinterdigitalwanders (3) alle jeweils die gleiche Breite von 0,25 λ haben, wobei λ die Wellenlänge der vom Filter erzeugten akustischen Oberflächen welle ist.

8. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 7, da durch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen den Mittel linien der beiden Finger (3a, 3b) des Ausgangsinterdigital wandlers (3) 0,25 λ beträgt.

9. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 6, da durch gekennzeichnet, daß dieses Filter eines von mehreren zu einem mehrstufigen Filter verbundenen einstufigen Filtern ist.

10. Akustisches Oberflächenwellenfilter nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß dieses Filter eines von mehreren zu einem mehrstufigen Filter verbundenen ähnlich strukturier ten einstufigen Filtern ist.