DE1638032A1 - System und Verfahren zur Verbesserung der Einstellgenauigkeit von numerisch gesteuerten Vorrichtungen,wie Kurvenschreiber,Werkzeugmaschinen od.dgl. - Google Patents

System und Verfahren zur Verbesserung der Einstellgenauigkeit von numerisch gesteuerten Vorrichtungen,wie Kurvenschreiber,Werkzeugmaschinen od.dgl.

Info

Publication number
DE1638032A1
DE1638032A1 DE1968G0052394 DEG0052394A DE1638032A1 DE 1638032 A1 DE1638032 A1 DE 1638032A1 DE 1968G0052394 DE1968G0052394 DE 1968G0052394 DE G0052394 A DEG0052394 A DE G0052394A DE 1638032 A1 DE1638032 A1 DE 1638032A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
computer
driven part
positions
input commands
driven
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE1968G0052394
Other languages
English (en)
Other versions
DE1638032B2 (de
Inventor
Gerber Heinz Joseph
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Gerber Systems Corp
Original Assignee
Gerber Scientific Instrument Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Gerber Scientific Instrument Co filed Critical Gerber Scientific Instrument Co
Publication of DE1638032A1 publication Critical patent/DE1638032A1/de
Publication of DE1638032B2 publication Critical patent/DE1638032B2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/19—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path
    • G05B19/27—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an absolute digital measuring device
    • G05B19/29—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an absolute digital measuring device for point-to-point control
    • G05B19/291—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by positioning or contouring control systems, e.g. to control position from one programmed point to another or to control movement along a programmed continuous path using an absolute digital measuring device for point-to-point control the positional error is used to control continuously the servomotor according to its magnitude
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/33—Director till display
    • G05B2219/33078—Error table, interpolate between two stored values to correct error
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/37—Measurements
    • G05B2219/37619—Characteristics of machine, deviation of movement, gauge
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41036—Position error in memory, lookup table for correction actual position
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41037—With computer
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41055—Kind of compensation such as pitch error compensation
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/41—Servomotor, servo controller till figures
    • G05B2219/41062—Compensation for two, three axis at the same time, crosscoupling
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/30—Nc systems
    • G05B2219/49—Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49195—Slide, guideway, robot arm deviation

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)
  • Automatic Control Of Machine Tools (AREA)

Description

PA TEN TA N WAL TE
PATENTANWALT MÜLLER-BÖRNER PATENTANWALT DIPL.-ING. WEY
BERLIN 33 (DAHLEM) ■ PODBiELSKlALLEE 68 8 MÜNCHEN 22 - WIDENMAYERSTRASSE
TELEFON 762907 TELEGRAMME: PROPINDUS TELEFON 225585 · TELEGRAMMErPROPINDUS
20 119 Berlin, den 12. Februar I968
IHE GERBER SOIMiDIi1IG INSTRUMENT COMPANY, South Windsor, Connecticut (USA)
System und Verfahren, zur Verbesserung der Einatellgenauigkeit von numerisch gesteuerten Vorrichtungen, wie Kurvenschreiber, Werkzeugmaschinen odο dglo
Die Erfindung bezieht sich auf numerisch gesteuerte Vorrichtungen, wie Kurvenschreiber, Werkzeugmaschinen od« dgle, zum automatischen Positionieren oder Einstellen eines angetriebenen Teiles gegenüber einem Bezugsteil in Auswirkung codierter Eingangsbefehle« Sie betrifft insbesondere ein System und ein Verfahren, die bei solchen Vorrichtungen zweckmässig sind, um ihre Einstellgenauigkeit durch Beseitigung bzw« Behebung wiederholbarer Maschinenfehler zu verbessern*
Bei der Herstellung einer mechanischen Positionier-Einstellvorrichtung, beispielsweise eines Kurvenschreibers oder einer Werkzeugmaschine, ist die Genauigkeit ihres mechanischen Ansprechens auf die Eingangsbefehlsignale zumindest teilweise durch die Genauigkeit begrenzt, mit welcher die verschiedenen mechanischen Teile, beispielsweise die
109852/02B6
FERNSCHREIBER: 0184057 :-"V« .-·..,- . ' */#
Führungsbahnen oder Leitspindeln, gefertigt sind» Zum Beispiel sind Führung sbahnen niemals vollkommen gerade, und diese fehlende Geradheit führt beim Arbeiten der Vorrichtung zu wiederholbaren Nichtlinearitäten oder Fehlern· Entsprechend führen die Leitspindeln und sonstige Teile des Antriebssystems zwischen dem Antriebsmotor oder den Antriebsmotoren und dem angetriebenen Teil auf Grund der Unmöglichkeit der Herstellung solcher Teile nach einwandfreien Toleranzen zu wiederholbaren Fehlern der Positionier- bzw» Einstellgenauigkeit β Ausserdem gibt es bei allen Positionierbzw © Einstellvorrichtungen einige durch Hysterese, Schmutz und sonstige Faktoren verursachte, nicht wiederholbare Ungenauigkeiten, die sich mit Hilfe des Verfahrens oder des Systems nach der Erfindung nicht korrigieren lassen· Diese nicht wiederholbaren Fehler sind jedoch oft klein im Vergleich zu den wiederholbaren Fehlern, so dass sich im der Gesamtpositionier- bzw» Geeamteinstellgenauigkeit einer Vorriohtung durch Verminderung oder Behebung der wiederholbaren Fehler eine bedeutende Verbesserung erzielen lässt·
Die der Erfindung zugrundeliegende Hauptaufgabe ist demzufolge in einer Verbesserung der Genauigkeit zu sehen, mit weloher eine Positionier- bzw» Einstellvorrichtung, beispielsweise ein Kurvenschreiber oder eine Werkzeugmaschine, ein angetriebenes Teil in Stellung bringen kann durch Schaffung eines Systems sowie eines Verfahrens zum Beheben der bei
109852/0256
einer solchen Torriohtung vorliegenden mechanischen Fehler' (Masohinenf ehler) ·
Erfindungsgemäss wird ein System zum Instellungbringen bzw« Einstellen eines angetriebenen Teiles einer numerisch gesteuerten Positionier- bzw* Einstellvorrichtung in Vorschlag gebracht, zu welcher ein Reohner mit einem Speicher gehört« Nach diesem System wird das angetriebene Teil in die verschiedensten, über sein Bewegungsfeld verstreuten Stellungen bewegt, wobei nach Erreichen jeder dieser Stellungen seine Ist-Stellung genau gemessen wird, um den Fehler zwischen seiner Soll- Ui.u seiner Ist-Stellung zu ermitteln· Die Werte der so ermittelten Pehler werden in die Speichervorrichtung eingespeichert, so dass eine Tabelle aus Fehlerwerten gegenüber der Stellung des angetriebenen Teiles entsteht· Danach wird, wenn das angetriebene Teil in verschiedene Stellungen gegenüber dem Bezugsteil bewegt wird, die Speichervorrichtung des Eeebners abgefragt und werden Fehlerwerte aus der Tabelle verwendet, um die auf die Motorantriebe Übertragenen Befehle so zu korrigieren, dass der zu der betreffenden Stellung des angetriebenen Teiles gehörende wiederholbare Pehler berücksichtigt wird· Zu dem System nach der Erfindung gehören ausser der Speichervorrichtung zum Speichern der Fehlertabelle eine Eingangsvorrichtung zum Eingeben von Einstell-Eingangsbefehlen, ein oder mehrere Motoren zum Antreiben des angetriebenen Teiles und ein Digitalrechner zum Umwandeln der Eingangsbefehle in auf die Motoren übertragene Ausgangs-
109852/0250 #/#
BAD ORDINAL
befehle, wobei die Ausgangsbefehle mit Hilfe von aus der Speichervorrichtung dea Rechners extrahierten Fehlerwerten entsprechend der Stellung des angetriebenen Teiles korrigiert werdeno
Die Zeichnung zeigt als Ausführungsbeispiel der Erfindung ein Blockschaltbild eines Positionier- bzwe Einstellsystems bei seiner besonderen Anwendung auf einen Koordinatenschreiber.» Das dargestellte System besteht aus einer Eingangsvorrichtung 10, einem Digitalrechner 12 und einem insgesamt mit 14 bezeichneten Koordinatenschreiber Der Koordinatenschreiber 14 besteht aus einem angetriebenen Teil 16, beispielsweise einem Schreibstifthalter, einem Druckkopf oder dergleichen, das sich über einem Bezugsteil, welches aus einem an dem Gestell des KoordinatenSchreibers befestigten Papierbogen 18 od. dgl· besteht, zu einer beliebigen Stelle bewegen lässt· Die Positionierung des angetriebenen Teiles 16 gegenüber dem Papierbogen 18 erfolgt auf einer ale X-Achse bezeichneten Achse mit Hilfe einer Leitspindel 20. Die Leitspindel 20 wird ihrerseits von einem Halter 22 getragen, der gegenüber dem Papierbogen 18 mit Hilfe einer weiteren Leitspindel 24 entlang einer als Y-Achse bezeichneten anderen Achse positionierbar ist· Die Leitspindel 20 wird mit Hilfe eines ihr zugeordneten Motors 26 angetrieben, während die Leitspindel 24 mit Hilfe eines ihr zugeordneten Motors 28 angetrieben wird· Jeder der Motoren 26 und 28 kann ein Einzelmotor oder eine Motorengruppe sein, die zu ihrem
109852/0256 /
Antrieb in geeigneter Weise angeschlossen sind» Jeder der Motoren 26 und 28 ist vorzugsweise, jedoch nicht unbedingt ein Schrittschaltmotor, dessen Stromversorgung durch einen zugeordneten Motorantrieb 30 bzw» 32 gesteuert wird» Die Leitspindel 20 ist antriebsmäsaig mit einem Codierer 27 verbundens der über die Leitung 31 dem Rechner 12 Signale zuführt, die die durch die Winkelstellung der Leitspindel 20 bedingte Stellung des Teiles 16 auf der X-Achse darstelleno Entsprechend ist an die Leitspindel 24 antriebsmässig ein Codierer 29 angeschlossen, der dem Rechner 12 über die Leitung 33 Signale zuführt, die die durch die Winkelstellung der Leitspindel 24 bedingte Stellung de· Teiles auf der Y-Achse darstellen»
Die EingangsVorrichtung 10 kann die verschiedensten Formen haben und beispielsweise ein Lochstreifenabtaster, Magnetbandlesekopf oder eine laufend Daten erzeugende Torrichtung seine In jedem Falle dient sie zum Beliefern des Rechners 12 mit Eingangsbefehlen in. Form codierter Zahlen, die Stellungen darstellen, in die das angetriebene Teil 16 gebracht werden solle Sin Y-Eingangsbefehl, der die Stellung darstellt, in die das Teil entlang der Y-Achse bewegt werden soll, wird über die Leitung 34 zugeführt, während ein X-Eingangsbefehl, der die Stellung darstellt, in die das Teil entlang der X-Achse bewegt werden soll, über die Leitung 36 zugeführt wirdo Der Rechner 12 bewirkt seinerseits das UmwancÄn der über die Leitungen 34 und 36 zugeführten Ein-
109852/0256 * ,
gangsbefehle in auf den Motorantrieb, 32 bzw* 30 übertragene Ausgangabefehle, von welchen der Ausgangabefehl für den X-Achaen-liotorantrieb 32 über die Leitung 38 und der Auagangabefehl für den X-Achaen-Motorantrieb 30 über die leitung 40 zugeführt wirdo Sofern die Motoren 26 und 28 Schrittachaltmotoren sind, beatehen die über jede der Leitungen 38 und 40 zugeführten Befehle aus elektrischen Impulsen, die je eine Veränderung im Erregungsauatand des zugeordneten Schrittschaltmotor a und einen Bewegungsbruchteil des angetriebenen Seiles 16 entlang der zugeordneten Achse darstellen»
Dem Rechner 12 iat eine Speichervorrichtung 42 zugeordnet, in der eine Tabelle von Fehlerwerten gegenüber Stellungen des beweglichen Teiles oder BezugsStellungen gespeichert ist· Diese Fehlerwerte stehen zu den Beträgen in Beziehung, um die die Stellung des angetriebenen Seiles an jeder Bezugsstelle korrigiert werden muss, um zu bewirken, dass die betreffende Stellung mit der befohlenen Soll-Stellung zusammenfällt oder zumindest näher an sie herangebracht wird, als wenn der Rechner ohne Verwendung dieser Fehlerwerte betrieben wirdo Der Rechner 12 ist seinerseits so programmiert, dass er aus der Speichervorrichtung 42 entapreohend ihrer Stellung Fehlerwerte extrahiert und sie verwendet, um die an den Leitungen 38 und 40 auftretenden Ausgangsbefehle in der Weise zu korrigieren, dass der sonst beim Positionieren des angetriebenen Seiles 16 auftretende Fehler verringert wird·
109852/0256
Sie in die Speichervorrichtung 42 eingespeicherte Tabelle von Fehlerwerten gegenüber der Bezugsstellung lässt sich mittels Verwendung genauer Messvorrichtungen erstellen, wie beispielsweise eines Laser-Interferometers zum Ermitteln der Ist-Stellung des angetriebenen Teiles gegenüber dem Papierbogen 18 oder einem sonstigen Bezugsteile Sas angetriebene Teil wird mit Hilfe von durch die Eingabevorrichtung 10 zugeführten Eingangsbefehlen über eine Anzahl von über sein Bewegungsfeld verstreuten Bezugsstellungen gesteuert ο Beim Erreichen jeder angenommenen Bezugsstellung durch das angetriebene Seil wird seine Ist-Stellung gemessen und mit der befohlen#n üoll-Stellung verglichen, um den Fehlerwert oder die Fehlerwerte für diese Bezugsstellung zu erhalten· Indem das angetriebene Teil durch ein Hetz von über den gesamten Bereich des Bezugsteiles 18 verstreuten Stellungen geführt wird, lassen sich auf einer Zweiachsenbaais Fehlerwerte ermitteln, wobei jeden Bezugspunkt ein X-Fehlerwert und ein X—Fehlerwert zugeordnet ist· Saraus wird eine Fehlertabelle erstellt, die eigentlich eine Schar von Korrekturkurven darstellt, wobei die jedem Bezugspunkt zugeordneten Fehlerwerte von der Stellung des angetriebenen Teiles 16 auf seinen beiden Verstellungsacheen abhängig oder eine Funktion von ihr sind·
Sie in der Speichervorrichtung 42 enthaltene Fehlertabelle lässt sich unter Computerprogrammsteuerung automatisch erstellen, indem Eingänge zum Rechner aus der Messeinrichtung
1Q9852/025S /
benutzt werden» um die Ist-Stellung des angetriebenen Teiles zu ermitteln» und diese Eingänge mit den befohlenen Soll-Stellungen aus der Eingabevorrichtung verglichen werden» um die fehlerwerte zu ermitteln» die dann automatisch in die Speichervorrichtung 42 übertragen werden· Sofern die Anzahl der Bezugspunkte nicht zu gross ist» lässt sich die Tabelle auch von Hand (d.h. ohne Zuhilfenahme automatischer Mittel) erstellen, für eine Vorrichtung mit zwei Achsen» beispielsweise für den Koordinatenschreiber 14» wird vorzugsweise ein Gitter oder Netz aus Bezugspunkten bei gleichbleibenden Abständen an jeder Achse erstellt· Beispielsweise würde ein Gitter oder Metz aus auf der I- und der Y-Achse 25 »4 mm voneinander getrennt angeordneten Linien bei einer fläche von 254 χ 254 mm einhundert Schnittpunkte aufweisen· Eine Fehlertabelle für diese Flächengrösse und diesen Zwischenabstand (der einzelnen Linien bzw· Bezugspunkte) lässt sich von Hand» d.h. ohne Zuhilfenahme automatischer Mittel» errechnen» jedoch wird für grössere Flächen und/oder kleinere Zwischenräume die Ansah! der Schnittpunkte ziemlich gross» ■ο dass in diese» Falle die Erstellung der Fehlertabelle mit Hilfe automatischer Mittel zu bevorzugen sein wird«
Ale eine andere Möglichkeit zum Erstellen einer auf einem fetz aus über den getarnten Bereich de« Bewegungsfeldee des angetriebenen Teiles verstreuten Bezugspunkten basierten Fehlertabelle lässt sich die Fehlertabelle in vielen Fällen vereinfachen und auf Fehlerwerten aufbauen» die man erhält»
109852/0256 #/.
BAD OAtQINAL
indem man an einer Anzahl von entlang jeder Achse auf einer einzigen Linie voneinander getrennten Bezugspunkten Fehlerablesungen vornimmtc Diese mögliche andere Technik ist auf Positioniervorrichtungen, beispielsweise auf viele Koordinatenschreiber» anwendbar, bei welchen man zum Bewirken und Steuern des Positionierens des angetriebenen Teiles Führungsbahnen und Iieitspindeln verwendet* Diese Vorrichtungen weisen charakteristisch auf jeder Achse wiederholbare Posi·- tionierfehler auf, von welohen ein grosser Teil auf die wiederholbaren Kiohtlinearitäten der Leitspindeln und der Führungabahnen beruht« Diese wiederholbaren Nichtlinearitätfn infolge der Leitspindeln und der Führungsbahnen sind ihrerseits von der Stellung des angetriebenen Teiles in. bezug auf die andere Achse nicht abhängig« so dass für jede AQhse nur eine Gruppe von Fehl erable sung en entlang der Achse vorgenommen werden muss© Bei der vorstehend erörterten 254 x 254 mm grossen Fläohe mit Zwischenräumen von 25*4 mm zwischen den. einzelnen Bezugspunkten wird durch diese Verfahrensweise die Anzahl der Bezugspunkte auf zehn Bezugspunkte entlang einer und zehn Bezugspunkte entlang der anderen Achse, also auf insgesamt zwanzig Bezugspunkte verringert« Diese Verfahrensweise verringert somit die Anzahl cter erforderlichen Messungen erheblich, verringert die zum Erstellen der Fehlertabelle erforderliche Zeit und Arbeit, verringert das Ausmass der für die Speichervorrichtung 42 erforderlichen Speicherkapazität und verkürzt die Erreohnungaaeit und vermindert die Komplexität dee öomputerprogramms*
109852/02B6 ♦/
- 1Q -
leim Betrieb des in der Zeichnung dargestellten Systems kann der Rechner 12 bei Verwendung der in der Speichervorriehtung 42 gespeicherten Sehlertabelle zur Ausnutzung der 3?ehl«Ewerte auf unterschiedliche Weise programmiert werden· Gemäss eines Betriebsverfahren kann der Rechner 12 so programmiert werden, dass er beim Durchlauf des angetriebenen Teiles 16 durch gegebene Bezugspunkte schrittweise, d.h. einzelne -voneinander getrennte, Korrekturen vornimmt* Sas heisst, dass beim Durchlauf des angetriebenen Seiles durch einen Bezugspunkt eine mit dem. in der Speichervorrichtung 42 für diesen Bezugspunkt gespeicherten fehlerwert übereinstimmende Korrektur vorgenommen wird, wobei das gesamte Ausraass der Korrektur auf einmal erfolgt» Als Alternative dazu kann der Rechner so programmiert werden, dass die für jede beliebige Stellung des angetriebenen Seiles 16 erforderliche fehlerkorrektur aus den benachbarten Bezugspunkten zugeordneten Jehlerwerten interpoliert und beim Verstellen des angetrie- ) benett Seiles zwischen bestimmten Bezugspunkten Jehlerkorrekturen in Übereinstimmung mit diesen interpolierten Werten fortschreitend oder proportional· vorgenommen werden·
Sofern die Antriebsmotoren, der Positioniervorrichtung Schrittschaltmotor en sind ρ bestehen die an den leitungen 58 und 40 auftretenden» aus dem Rechner kommenden Ausgangsbefehle aus elektrischen Impulsen» wobei die durch den Rechner mittels Verwendung der Fehlertabelle durchgeführten Korrekturen Sm wesentlichen aus Addier- oder Subtraktioneimpulaen. für sonst
109852/0256 .
•A
"J BAD ORIGINAL
an den Leitungen 38 und 40 auftretende Impulsreihen bestehen« Sofern der Rechner ao programmiert ist, dass er schrittweise, d.h. β ine eine -voneinander getrennte, Korrekturen vornimmt, wird beim Erreichen jeder Bezügeetellung durch das angetriebene Teil eine Anzahl von zu der Grosse des fehlerwertes in Beule hung stehenden Impulsen den Leitungen 38 und 40 zugeführt bzw· aus ihnen subtrahiert· Sofern der Rechner so programmiert 1st» daaa er die Fehlerwerte interpoliert» werden den Leitungen 38 und 40 Impulse proportional im Wage der Addition oder der Subtraktion, zugeführt. Bas hei set, dass der Raum zwischen zwei Bezugspunkten an der betreffenden Aohse in Bruch weile aufgeteilt wird, deren Anzahl τοη den fehlerwerten an den Bezugspunkten abhängig let, wobei, wenn das angetriebene feil das Ende eines jeden Bruchteils erreicht, ein Impuls suaddiert oder subtrahiert wird·
Sie Erfindung 1st selbstverständlich nicht auf das basehriebene und dargestellte Ausführung*- bzw· Durchführungebeispiel beschränkt* Van kann daran sahireiche, dem faohmann entsprechend der beabsichtigten Unrendung naheliegende Abänderungen Tornehmen, ohne dass man Afcdurch den Bereich der Erfindung verlässt· Ss leuchtet ein, dass insbesondere die für die Positionier- bsw· einstellvorrichtung verwendeten Antriebsmotoren, beispielsweise die Motoren 26 und 28, keine Schrittsohaltaotoren su sein brauchen, sondern Servomotoren sein könnten« In diesem falle kennen die den Motorantrieben 32 und 30 über die Leitungen 38 bsw· 40 eugeführten korri-
109852/0256 my
gierten Ausgangsbefehle Digitalbefehle aein, die im wesentlichen denjenigen entsprechen, die dem Rechner 12 mit Hilfe der Eingangsvorrichtung 10 über die Leitungen 34 und 36 zugeführt werden, jedoch mit Hilfe des Rechners 12 unter Benutzung der Fehlertabelle in der Speichervorrichtung 42 korrigiert sindo Die Motorantriebe 30 und 32 wurden dann ausserdem Vorrichtungen bilden, um die über die leitungen 38 und 42 zugeführten Digitalbefehle in *um Antreiben der Motoren 26 und 28 geeignete Signale umzuwandeine
Patentansprüche:
=10,9 £5 IJ 0 2 5 S

Claims (1)

  1. Patentansprüche*
    1» Verfahren zur Fehlerverminderung bei einer Vorrichtung zum Positionieren eines angetriebenen Teiles gegenüber einem Bezugsteil, zu welcher ein leohner gehört buk Umwandeln von Eingangabefehlen in Auegangsbefehle mit zu den Stellungen, in die das angetriebene Seil bewegt werden soll, in Beziehung stehenden unabhängigen Variablen, dadurch gekennzeichnet, dass in eine dem Rechner (12) zugeordnete Speiohervorrichtung (42) eine Tabelle το» Fehlerwerten gegenüber Bezügestellungen eingespeichert wird, worauf der Rechner nach eines eolohen Programm arbeitet, dass, wenn das angetriebene Teil (16) in Auswirkung der dem Rechner zugeführten Singangebefehle zu verschiedenen stellen seines Bewegunge£elde* bewegt wird, die Speichervorrichtung (42) abgefragt wird und diesen Stellen entsprechende lehlerwerte aus ihr extrahiert und zum Korrigieren der Ausgangebefehle Terwendet werden·
    109852/0256
    FERNSCHREIBER: 018*057
    • Λ
    2» Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum Arbeiten des Rechners (12) die Verwendung eines solchen Programme gehört, dass die aus dem Speicher (42) erhaltenen lehlerwerte verwendet werden, um beim Durchlauf des angetriebenen Teiles (16) durch die verschiedenen in der Tabelle enthaltenen Bezugsstellungen an den Ausgangebefehlen achrittwetoe, d.h. einzelne voneinander getrennte, Veränderungen vorzunehmen·
    3» Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zum Arbeiten des Rechners (12) die Verwendung eines so auegebildeten Programms gehört, dass in jeder beliebigen Stellung de· angetriebenen Teile· (16) die an den Ausgangabefehlen erforderliche Tehlerkorrekturgrösae aus den durch die Tabelle für benachbarte Bezugsatellen gegebenen fehlerwerten so interpoliert wird, dass beim Verstellen de· angetriebenen Teiles (16) zwischen verschiedenen in der Tabelle enthaltenen Bezugsstellungen Korrekturen in Übereinstimmung mit diesen interpolierten fehl erwerten vorgenommen werden·
    4# Verfahren zur fehlerverminderung bei einer Vorrichtung zum Positionieren einea angetriebenen Teilea gegenüber einem Bezugsteil, zu welcher ein Rechner gehört sum Umwandeln von lingangabefehlen in Ausgangabefehle mit zu den Stellungen, in die das angetriebene Teil bewegt
    109852/0256
    AS
    werden soll, in Beziehung stehenden unabhängigen Variablen, dadurch gekennzeichnet, daas dem Rechner (12) Eingangsbefehle zugeführt werden, die das Hineinbewegen des angetriebenen Teiles (16) in verschiedene, über sein Bewegungsfeld verstreute BezugsStellungen bewirken, die Ist-Stellungen des angetriebenen Teiles, nachdem es jede der verschiedenen BezugsStellungen vermutlich erreicht hat, genau gemessen und aus diesen Messungen die Werte der Fehler zwischen den durch die Eingangsbefehle bewirkten Stellungen und den gemessenen Ist-Stellungen zum Erstellen einer Tabelle aus Fehlerwerten gegenüber Bezugs et ellung en errechnet werden, worauf die Tabelle aus Fehlerwerten gegenüber BezugsStellungen in eine dem Rechner (12) zugeordnete Speichervorrichtung (42) eingespeichert wird und der Rechner nach einem solchen Programm arbeitet, ,dass beim Hineinbewegen des angetriebenen Teiles in verschiedene Stellungen seines Bewegungefeldes in Auswirkung der dem Rechner zugeführten Eingangsbefehle die Speichervorrichtung (42) abgefragt wird und diesen Stellungen entsprechende Fehlerwerte aus ihr extrahiert und durch den Rechner zum Korrigieren der Ausgangsbefehle verwendet werden»
    5» Verfahren nach Anspruch 4 bei seiner Anwendung auf eine Positioniervorrichtung, bei welcher das angetriebene Teil auf zwei Achsen unabhängig so verstellbar ist» dass es
    109852/0256
    Ab
    sich an eine beliebige Stelle eines gegebenen Bereichs des Bezugsteiles bewegen lässt, dadurch gekennzeichnet, dass der Vorgang der Veranlassung dee Rechners (12) zum Hineinbewegen des angetriebenen Teiles (16) in verschiedene, über sein Bewegungsfeld verstreute Bezugsstellungen gemäss ihm zugeführter Eingangsbefehle darin besteht, dass dem Rechner Eingangssignale zugeführt werden, die das Hindurchbewegen des angetriebenen Teiles durch eine Anzahl von entlang einer der Achsen in gegebenen Abständen voneinander getrennten Bezugspunkten und durch eine Anzahl von entlang der anderen Achse . in gegebenen Abständen voneinander getrennten Bezugspunkten bewirken, und die Fehlerwertetabelle so erstellt wird, dass für jede Achse für Jeden Bezugspunkt auf der Achse ein einziger !"ehlerwert verfügbar ist©
    6e Verfahren nach Anspruch 4-, dadurch gekennzeichnet, dass
    zugeführten
    die dem Rechner/Eingangssignale das Hindurchbewegen des angetriebenen Teiles durch ein Netz aus an den beiden Achsen duroh gegebene Zwischenräume voneinander getrennten und im wesentlichen über die gesamte Ausdehnung des gegebenen Bereichs des Bezugsteiles verstreuten Bezugsstellungen bewirken, und die Fehlerwertetabelle so erstellt wird, dass für jede der Bezugsstellungen jeder der beiden Achsen ein zugeordneter Pehlerwert verfügbar ist mit de» Ergebnis» dass die duroh die Speichervorrichtung (4-2) zugeführten Fehlerwerte von der Stellung
    1 0 9 8 5 2/0256 ,
    des angetriebenen Teiles (16) auf den beiden Achsen abhängig sind»
    Positioniersystem zum Verstellen eines Teiles gegenüber einem gegebenen Bezugsteil, gekennzeichnet durch eine Speichervorrichtung (42), in die eine Tabelle von Pehlerwerten hinsichtlich der Stellungen de» Teiles eingospeichert ist, durch ein Antriebssystem für das angetriebene Teil (16), welches bei seinem Betrieb in Auswirkung von ihm zugeführten Eingangsbefehlen das angetriebene Teil in verschiedene Stellungen gegenüber dem Bezugsteil (18) bewegen kann$, durch Mittel (10, 34, 36) zum Zuführen von Primär eingangsbefehlen, die das Hineinbewegen des angetriebenen Teiles in verschiedene An— trieb3stellungen bewirken, und durch einen Rechner (12), der bei seinem Betrieb die Primäreingangsbefehle in auf das Antriebssystem übertragene Eingangsbefehle umwandelt, wobei der Rechner Mittel zum Abfragen der Speichervorrichtung (42) besitzt, um aus ihr der Stellung des angetriebenen Teiles (16) entsprechende Fehlerwerte zu erhalten und den so erhaltenen Pehlerwert zum Korrigieren der auf das Antriebssystem übertragenen Eingangsbe— fehle zu verwenden»
    8* System naoh Anspruch 7, gekennzeichnet durch einen Schrittschaltmotor zum Antreiben des angetriebenen Teile«
    109852/0256
    und durch einen Antrieb für den Schrittschaltmotor, wobei die auf das Antriebssystem übertragenen Eingangsbefehle aus auf den Antrieb übertragenen elektrischen Impulsen bestehen und der Rechner Mittel enthält, um den Eingangsbefehlen in Übereinstimmung mit der Grosse und dem Torzeichen der aus der Speichervorrichtung erhaltenen Pehlerwerte Impulse hinzuzuaddieren oder von ihnen zu subtrahieren·
    9» Sjstem nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittel, um den Eingangsbefehlen Impulse hinzuzuaddieren oder von ihnen zu subtrahieren, Mittel enthalten, um diesen Torgang mit dem Durchgang des angetriebenen Teiles durch gegebene Bezugsstellungen schrittweise durchzuführen·
    10· System nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Mittelt um den Eingangsbefehlen Impulse hinzuzuaddieren oder von ihnen zu subtrahieren, Mittel enthalten, um diesen Torgang mit dem Ter et eilen des angetriebenen Teiles zwischen gegebenen Bezugs st ellung en in dieser Bewegung proportionaler Weise durchzuführen·
    109852/0256
DE1638032A 1967-04-17 1968-02-12 Numerisch arbeitende Programmsteuerung Granted DE1638032B2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US63153267A 1967-04-17 1967-04-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE1638032A1 true DE1638032A1 (de) 1971-12-23
DE1638032B2 DE1638032B2 (de) 1975-01-16

Family

ID=24531611

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1638032A Granted DE1638032B2 (de) 1967-04-17 1968-02-12 Numerisch arbeitende Programmsteuerung

Country Status (3)

Country Link
US (1) US3555254A (de)
DE (1) DE1638032B2 (de)
GB (1) GB1142774A (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5935178A (en) * 1995-03-24 1999-08-10 Siemens Aktiengesellschaft Device for taking account of the reaction time of a device in a travel-dependent control system therefor
US7479885B2 (en) 2005-06-23 2009-01-20 Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh Linear motion device with an RFID tag
US7734438B2 (en) 2005-06-16 2010-06-08 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for determining correction values for correcting positional measurement errors in a machine having at least one translational axis of movement
US7792653B2 (en) 2005-07-28 2010-09-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Correction of interpolation errors of a machine, such as a coordinate measuring machine
WO2016055494A1 (de) * 2014-10-07 2016-04-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Erfassung von geometrischen abweichungen einer bewegungsführung bei einem koordinatenmessgerät oder einer werkzeugmaschine
DE102015011113B4 (de) * 2014-09-01 2017-11-02 Fanuc Corporation Motorsteuersystem, das eine Interferenz zwischen Achsen kompensiert

Families Citing this family (74)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3670153A (en) * 1970-10-08 1972-06-13 Rca Corp Machine implemented method for positioning and inspecting an object
US3689821A (en) * 1971-03-09 1972-09-05 Hourdaille Ind Inc Correction system for numerical controls
US4150427A (en) * 1971-06-07 1979-04-17 Houdaille Industries, Inc. Machine tool data system and method
JPS5135673B2 (de) * 1972-09-23 1976-10-04
US4314330A (en) * 1973-12-03 1982-02-02 Houdaille Industries, Inc. Machine tool data system
US4096563A (en) * 1973-12-03 1978-06-20 Houdaille Industries, Inc. Machine tool control system and method
US3917930A (en) * 1974-11-25 1975-11-04 Cincinnati Milacron Inc Method and apparatus for adaptively positioning a machine element
US4091315A (en) * 1975-07-31 1978-05-23 Nusco Kabushiki Kaisha Servomechanism for rotary type flying cutting apparatus
US4119958A (en) * 1975-10-23 1978-10-10 The Singer Company Method for achieving high accuracy performance from conventional tracking synchro to digital converter
US4079302A (en) * 1975-12-29 1978-03-14 Bell & Howell Company Methods and apparatus for correcting servo signals
US4140953A (en) * 1976-03-03 1979-02-20 Unimation, Inc. Real time program modification apparatus
DE2810646A1 (de) * 1977-03-18 1978-09-21 Komatsu Mfg Co Ltd Numerisches steuersystem fuer eine werkzeugmaschine
JPS54132090A (en) * 1978-04-03 1979-10-13 Fanuc Ltd Error correction system for numerical control
US4246640A (en) * 1979-02-26 1981-01-20 The Perkin-Elmer Corporation Automatic recorder abscissa scaling
FR2459507A1 (fr) * 1979-06-15 1981-01-09 Rech Const Electro Et Machine de positionnement de precision a courroie crantee avec compensation de l'erreur sur le pas de crantage
JPS5652132A (en) * 1979-10-03 1981-05-11 Inoue Japax Res Inc Control system for feeding
US4346445A (en) * 1980-03-06 1982-08-24 Koh-I-Noor Rapidograph Portable alphanumeric and symbol drafting device
DE3039129C2 (de) * 1980-07-24 1983-06-23 Maag-Zahnräder & -Maschinen AG, 8023 Zürich Lageregelverfahren und -system für einen Stellzylinderantrieb
JPS5761906A (en) * 1980-09-30 1982-04-14 Fanuc Ltd Compensating system of position error
JPS5769315A (en) * 1980-10-13 1982-04-28 Fanuc Ltd Control system of industrial robot
JPS5776608A (en) * 1980-10-30 1982-05-13 Fanuc Ltd Position error correction device
US4456863A (en) * 1980-12-23 1984-06-26 Cleveland Machine Controls, Inc. Apparatus for automatic calibration of servo response
JPS57189750A (en) * 1981-05-19 1982-11-22 Yaskawa Electric Mfg Co Ltd Nc machine tool provided with sliding error correction capacity
US4514813A (en) * 1981-09-25 1985-04-30 Fanuc Ltd. System for correcting positional error in numerical control devices
USRE33134E (en) * 1981-10-01 1989-12-26 Banctec, Inc. High speed document encoding system
US4492161A (en) * 1981-10-01 1985-01-08 Banctec, Incorporated High speed document encoding system
DE3140301A1 (de) * 1981-10-10 1983-04-28 Bosch und Pierburg System oHG, 4040 Neuss Regelvorrichtung fuer ein druckgesteuertes stellglied
DE3150977A1 (de) * 1981-12-23 1983-06-30 Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim Verfahren und einrichtung zur ermittlung und korrektur von fuehrungsfehlern
DE3201005A1 (de) * 1982-01-15 1983-07-28 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Einrichtung zur fehlerkorrektur bei positionsmesssystemen
US4559447A (en) * 1983-05-16 1985-12-17 International Business Machines Corporation Translation/rotation positioning device
JP2572564B2 (ja) * 1983-08-22 1997-01-16 株式会社 エスジー 電気モータの位置決め制御装置
US4594652A (en) * 1984-02-28 1986-06-10 Mattson Evert C Digital audio differential drive system
AT379893B (de) * 1984-07-03 1986-03-10 R S F Elektronik Ohg Rechtsfor Verfahren zur digitalen elektrischen laengenoder winkelmessung und schaltungsanordnung zur durchfuehrung dieses verfahrens
DE3513661A1 (de) * 1985-04-16 1986-10-23 A 2000 Industrie-Elektronik GmbH, 7632 Friesenheim Positioniersystem fuer einen linearantrieb
JP2694827B2 (ja) * 1985-10-17 1997-12-24 東芝機械株式会社 バックラッシュ補正方法
US4710691A (en) * 1986-03-27 1987-12-01 Anacomp, Inc. Process and apparatus for characterizing and controlling a synchronous motor in microstepper mode
JPS63123605A (ja) * 1986-11-12 1988-05-27 Fanuc Ltd タツピング加工制御装置
US4757245A (en) * 1987-01-08 1988-07-12 Merit Machined Products Control system for a plurality of stepper motors
US4945501A (en) * 1987-01-20 1990-07-31 The Warner & Swasey Company Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor
US4819195A (en) * 1987-01-20 1989-04-04 The Warner & Swasey Company Method for calibrating a coordinate measuring machine and the like and system therefor
DE3781674T2 (de) * 1987-01-20 1993-04-15 Warner Swasey Co Positionsbestimmungsverfahren innerhalb des messraumes eines koordinatenmessgeraetes und dergleichen und system dafuer.
WO1988006713A1 (en) * 1987-03-06 1988-09-07 Renishaw Plc Position determination apparatus
GB8713715D0 (en) * 1987-06-11 1987-07-15 Renishaw Plc Workpiece inspection method
US4888710A (en) * 1987-12-11 1989-12-19 Ametek, Inc. Pen tip position detector
MY103662A (en) * 1988-01-28 1993-08-28 Emhart Ind Method of setting up apparatus for handling electrical or electronic components
JP2840842B2 (ja) * 1988-07-26 1998-12-24 東芝機械株式会社 変位補正方法およびその装置
DE3826195A1 (de) * 1988-08-02 1990-02-15 Hommelwerke Gmbh Vorschubgeraet zur linearen bewegung eines laengenmesstasters sowie verfahren zur abtastung der gestalt einer oberflaeche eines werkstuecks
US4972311A (en) * 1988-08-15 1990-11-20 Kulicke And Soffa Industries Inc. X-Y table error mapping apparatus and method
US4935878A (en) * 1989-01-04 1990-06-19 Calcomp Inc. System friction compensation in vector plotters
JP2870922B2 (ja) * 1990-01-30 1999-03-17 ブラザー工業株式会社 数値制御送り装置
JP2666512B2 (ja) * 1990-03-30 1997-10-22 トヨタ自動車株式会社 機械座標系補正装置
JP2628924B2 (ja) * 1990-04-05 1997-07-09 ファナック株式会社 数値制御装置のギヤピッチ誤差補正方式
DE4123323C2 (de) * 1991-07-13 1994-02-10 Andreas Ehlerding Werkzeugträger
CA2082790A1 (en) * 1991-12-02 1993-06-03 R. David Hemmerle Automated maintenance system for computer numerically controlled machines
US5291392A (en) * 1992-02-19 1994-03-01 Gerber Systems Corporation Method and apparatus for enhancing the accuracy of scanner systems
US5430666A (en) * 1992-12-18 1995-07-04 Dtm Corporation Automated method and apparatus for calibration of laser scanning in a selective laser sintering apparatus
US5329215A (en) * 1993-02-25 1994-07-12 Ohio Electronic Engravers, Inc. Apparatus and method for driving a leadscrew
US5329457A (en) * 1993-04-15 1994-07-12 General Electric Company Comprehensive three-dimensional rotary tool point compensation
US5548195A (en) * 1994-12-22 1996-08-20 International Business Machines Corporation Compensated servo control stage positioning apparatus
DE19622699A1 (de) * 1996-06-05 1997-12-11 Krauss Maffei Ag Regeleinrichtung und -verfahren für Motoren
JP3806985B2 (ja) * 1996-08-21 2006-08-09 株式会社ニコン ステッピングモータ駆動装置
US5910651A (en) * 1997-07-15 1999-06-08 Gerber Systems Corporation Method and apparatus for image nonlinearity compensation in scanning systems
DE10046092A1 (de) * 2000-09-18 2002-04-11 Siemens Ag Verfahren zur Kompensation von statischen Positionsfehlern und Orientierungsfehlern
US7500959B2 (en) * 2000-10-05 2009-03-10 Novo Nordisk A/S Medication delivery system with improved dose accuracy
US7138784B2 (en) * 2004-12-22 2006-11-21 Oriental Motor Boston Technology Group Incorporated Position command and pulse timing command optimization for step motors, using a position sensor
US7784183B2 (en) * 2005-06-09 2010-08-31 General Electric Company System and method for adjusting performance of manufacturing operations or steps
US20070152391A1 (en) * 2005-12-29 2007-07-05 Chitayat Anwar K Error corrected positioning stage
EP2003526A1 (de) * 2007-06-13 2008-12-17 Carl Zeiss SMT Limited Verfahren und Vorrichtung zur Steuerung und Überwachung einer Position eines Halteelements
DE102009028600A1 (de) 2009-08-17 2011-03-03 Carl Zeiss Nts Gmbh Positionierung eines Trägerelements
US9558911B2 (en) 2014-08-01 2017-01-31 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Method for analyzing and/or processing an object as well as a particle beam device for carrying out the method
WO2017037055A1 (en) * 2015-08-31 2017-03-09 Novo Nordisk A/S Drug delivery device with improved dose accuracy
EP3192546A1 (de) * 2016-01-12 2017-07-19 Novo Nordisk A/S Arzneimittelabgabevorrichtung mit verbesserter dosierungsgenauigkeit
DE102018207603B4 (de) * 2018-05-16 2020-06-10 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Verfahren und Vorrichtung zur Positionierung mikroskopischer Proben mit Hilfe einer zweidimensionalen Positionstabelle
TWI735337B (zh) * 2020-09-11 2021-08-01 由田新技股份有限公司 線性位移校正方法及使用其方法的檢測設備

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2988681A (en) * 1958-02-12 1961-06-13 North American Aviation Inc Error compensated servo
US3149482A (en) * 1962-05-25 1964-09-22 American Aerospace Control Angular error compensating device
US3422325A (en) * 1964-03-10 1969-01-14 Gerber Scientific Instr Co Device for driving a movable part with precise control over its displacement during movement

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5935178A (en) * 1995-03-24 1999-08-10 Siemens Aktiengesellschaft Device for taking account of the reaction time of a device in a travel-dependent control system therefor
US7734438B2 (en) 2005-06-16 2010-06-08 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Method for determining correction values for correcting positional measurement errors in a machine having at least one translational axis of movement
US7479885B2 (en) 2005-06-23 2009-01-20 Bosch Rexroth Mechatronics Gmbh Linear motion device with an RFID tag
US7792653B2 (en) 2005-07-28 2010-09-07 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Correction of interpolation errors of a machine, such as a coordinate measuring machine
DE102015011113B4 (de) * 2014-09-01 2017-11-02 Fanuc Corporation Motorsteuersystem, das eine Interferenz zwischen Achsen kompensiert
WO2016055494A1 (de) * 2014-10-07 2016-04-14 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Erfassung von geometrischen abweichungen einer bewegungsführung bei einem koordinatenmessgerät oder einer werkzeugmaschine
US10422619B2 (en) 2014-10-07 2019-09-24 Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh Identification of geometric deviations of a motion guide in a coordinate-measuring machine or in a machine tool

Also Published As

Publication number Publication date
GB1142774A (en) 1969-02-12
US3555254A (en) 1971-01-12
DE1638032B2 (de) 1975-01-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE1638032A1 (de) System und Verfahren zur Verbesserung der Einstellgenauigkeit von numerisch gesteuerten Vorrichtungen,wie Kurvenschreiber,Werkzeugmaschinen od.dgl.
DE102018203956B4 (de) Maschinelle Lernvorrichtung, Servosteuerungsvorrichtung, Servosteuerungssystem und maschinelles Lernverfahren
DE3218612C2 (de) Werkzeugmaschine mit Verschiebefehlerkompensation
DE2422102A1 (de) Numerische steuerung zur erzeugung einer parabolischen auskehlung
DE2557464A1 (de) Steuersystem fuer eine automatische maschine, insbesondere fuer den arm eines roboters
DE2644596B2 (de) Numerische Steuerung für eine Mehrwerkzeugmaschine
DE102019007563A1 (de) Numerische Steuervorrichtung
DE2429586B2 (de) Verfahren zur numerischen Steuerung einer spanabhebenden Werkzeugmaschine und Werkzeugmaschine zu seiner Durchführung
EP3786745B1 (de) Identifikation von abweichungen zwischen realer anlage und ihrem digitalen zwilling
DE102017118197A1 (de) System zur Sammlung von Bearbeitungsinformationen
DE102008048776B4 (de) Mess- und/oder Einstellgerät mit einer Messvorrichtung und mit einer Steuer- und/oder Programmiervorrichtung zur Simulation eines Messablaufs
DE102016014382A1 (de) Numerische Steuerung
DE1069750B (de) Anordnung zur digitalen Steuerung
DE3009393A1 (de) Steuerungseinrichtung zur erhoehung der arbeitsgenauigkeit einer werkzeugmaschine - insbesondere einer gross dimensionierten werkzeugmaschine
DE102004041469A1 (de) CNC-Fertigungsanordnung mit zentraler Datenbank
DE102019004458A1 (de) Numerische steuerung und dateneditierverfahren
DE102015008246A1 (de) Numerische Steuerung mit Werkzeugspitzenpunktsteuerungsfunktion
DE4228702A1 (de) Programmgesteuerte bearbeitungsvorrichtung und verfahren zur ueberwachung ihres betriebes
DE102020203770A1 (de) Steuergerät und Werkzeugmaschine
DE2165926C2 (de) Steuerungsvorrichtung für die Vorschubbewegung von Werkzeugen an Werkzeugmaschinen mit mehreren Werkzeugspindeln
DE3438007A1 (de) Einrichtung zur diagnose einer bahngesteuerten maschine
DE1588663C3 (de) Einrichtung an einer Abtastmaschine
DE1763227A1 (de) Numerische Lageregeleinrichtung fuer Werkzeugmaschinen
DE2935723A1 (de) Sicherheitseinrichtung
DE2317162C2 (de) Prozeßregelanordnung

Legal Events

Date Code Title Description
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
E77 Valid patent as to the heymanns-index 1977
EGA New person/name/address of the applicant