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GEBIET DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine Folien-Anklebeeinrichtung und ein Anklebeverfahren, insbesondere
eine Folien-Anklebeeinrichtung und ein Anklebeverfahren, welche
eine Folie, wenn eine Folie an einem plattenförmigen Gegenstand wie beispielsweise
einem Halbleiterwerfer angeklebt wird, exakt an einem vorbestimmten
Ort des Gegenstands ankleben können.
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Technischer Hintergrund
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Herkömmlich wird
auf Halbleiterwerfern (nachstehend einfach als "Wafer" bezeichnet) eine Schutzfolie zum Schützen ihrer
Schaltungsoberfläche
angeklebt, und wird eine Klebfolie zur Chip-Montage auf ihre rückwärtige Oberfläche angeklebt.
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Als
das voranstehend geschilderte Folien-Anklebeverfahren ist das folgende
Anklebeverfahren bekannt. Hierbei wird unter Verwendung eines unbenutzten
Folienstreifens, bei welchem ein Streifen aus einer Klebfolie temporär an einen
Streifen eines Trennliners angeklebt ist, die Klebfolie von dem Trennliner
abgeschält,
auf einen Wafer aufgeklebt, und dann entlang dem Umfang des Wafers
abgeschnitten (vgl. beispielsweise Patentdokument 1).
- Patentdokument
1:
Japanische offen gelegte Patentanmeldung Nr. 2004-47976
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Durch die Erfindung zu lösendes Problem
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Bei
einer Folien-Anklebeeinrichtung, wie sie im Patentdokument 1 beschrieben
wird, wurde nicht wirksam eine derartige Anordnung eingesetzt, die dazu
dient, eine konstante mechanische Spannung während des Vorgangs des Anklebens
einer Klebfolie an einen Wafer aufrechtzuerhalten.
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Wenn
die Klebfolie bei zu geringer mechanischer Spannung angeklebt wird,
können
derartige Nachteile auftreten, dass Falten auf der Klebfolie hervorgerufen
werden und/oder Luftblasen zwischen der Klebfolie und dem Wafer
eingefangen werden. Andererseits kann, wenn bei der Klebfolie eine
zu starke mechanische Spannung ausgeübt wird, ein derartiger Nachteil
auftreten, dass eine Verbindungsverformung bei dem Wafer nach dem
Ankleben der Klebfolie hervorgerufen wird.
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Weiterhin
ist bei der Folien-Anklebeeinrichtung, die im Patentdokument 1 beschrieben
ist, eine Gruppe von Führungsrollen
28 zum Herauslassen der Klebfolie zu einem Ort vorgesehen, welcher
der Oberfläche
des Wafers gegenüberliegt.
Da die Führungsrollen
28 durchgehend die Klebfolie während des
gesamten Anklebevorrichtungsvorgangs einquetschen, während des
Schneidvorgangs und des Abschälvorgangs
der Klebfolie, wird ein linienförmiger
Einbeulungsabschnitt auf der Klebeschicht der Klebfolie ausgebildet.
Daher kann im Falle eines plattenförmigen Gegenstands wie dem
Wafer, bei welchem ein Schleifprozess durchgeführt wird, um eine extrem geringe
Dicke von einigen Dutzend Mikrometern zu erzielen, eine Folie mit
einem geringen Anteil eines linienförmigen Einbeulungsabschnitts
eine Unregelmäßigkeit
der Dicke hervorrufen, oder einen Bruch des Wafers bei dem Schleifprozess.
Daher kann der Bereich mit dem hohlen Abschnitt nicht als der Bereich
eingesetzt werden, der an den Wafer angeklebt werden soll. Obwohl
die Folie so zugeführt werden
kann, dass der Bereich mit dem hohlen Abschnitt ausgeschlossen wird,
wird hierdurch ein derartiger Nachteil hervorgerufen, dass die Folie
verschwenderisch verbraucht wird.
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[Vorteil der Erfindung]
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Die
vorliegende Erfindung wurde angesichts der voranstehenden Nachteile
vorgeschlagen. Ein Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht in
der Bereitstellung einer Folien-Anklebeeinrichtung
und eines Anklebeverfahrens, welche dazu geeignet sind, eine Folie
anzukleben, durch durchgehende Messung der mechanischen Spannung
der Folie, damit die mechanische Spannung konstant auf einem voreingestellten
Wert während
der Durchführung
des Anklebevorgangs gehalten wird, während eine Andruckkraft auf
die Folie durch eine Andruckrolle ausgeübt wird.
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Darüber hinaus
besteht ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung in der Bereitstellung
einer Folien-Anklebeeinrichtung
und eines Anklebeverfahrens, welche signifikant einen verschwenderischen Verbrauch
der Folie unterdrücken
können,
durch Zuführung
der Folie mit einer Länge
entsprechend der Abmessung des plattenförmigen Gegenstands.
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Mittel zur Lösung der Probleme
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Um
die voranstehenden Vorteile zu erreichen, setzt die vorliegende
Erfindung eine derartige Ausbildung ein, bei welcher eine Folien-Anklebeeinrichtung
vorgesehen ist, welche aufweist: eine Folien-Herauslasseinheit zum
Herauslassen einer Folie zu einem Ort, der einer Oberfläche eines
plattenförmigen
Gegenstands gegenüberliegt;
und eine Andruckrolle zum Ausüben
einer Andruckkraft an die Folie, damit die Folie von einem Ende
zu dem anderen Ende des plattenförmigen
Gegenstands angeklebt wird, wobei
die Folien-Herauslasseinheit
eine Spannungsmessvorrichtung zur Messung der mechanischen Spannung
der Folie zwischen der Folien-Herauslasseinheit und der Andruckrolle
aufweist, und die Spannungsmessvorrichtung die Spannung dauernd
misst, um eine konstante mechanische Spannung aufrechtzuerhalten,
während
die Folie an den plattenartigen Gegenstand durch die Andruckrolle
angeklebt wird.
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Bei
der vorliegenden Erfindung weist die Spannungsmessvorrichtung vorzugsweise
eine Messdose und eine Spannungsmessrolle auf, und ist so ausgebildet,
dass dann, wenn die Messdose eine Änderung der Spannung erfasst,
die Position der Spannungsmessrolle verschoben wird, um eine konstante
Spannung aufrechtzuerhalten.
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Weiterhin
setzt die vorliegende Erfindung eine derartige Ausbildung ein, bei
welcher eine Folien-Herauslasseinheit zum Herauslassen einer Folie zu
einem Ort vorgesehen ist, welcher einer Oberfläche eines plattenförmigen Gegenstands
zugewandt ist; und eine Andruckrolle zum Ausüben einer Andruckkraft auf
die Folie, damit die Folie von einem Ende zu dem anderen Ende des
plattenförmigen
Gegenstands angeklebt wird, wobei
die Folien-Herauslasseinheit
eine Anklebwinkel-Aufrechtserhaltungsvorrichtung
aufweist, und die Anklebwinkel-Aufrechtserhaltungsvorrichtung den
Anklebwinkel der Folie auf einem konstanten Winkel in Bezug auf
den plattenförmigen
Gegenstand aufrechterhält.
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Weiterhin
setzt die vorliegende Erfindung eine derartige Ausbildung ein, dass
die Folien-Herauslasseinheit eine Abschälplatte aufweist, wobei die Länge der
Folie, die zwischen dem vorderen Ende der Abschälplatte und der Andruckrolle
herausgelassen wird, etwas länger
eingestellt ist als die Länge von
dem einen Ende bis zum anderen Ende des plattenförmigen Gegenstands.
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Weiterhin
setzt die vorliegende Erfindung eine derartige Ausbildung ein, dass
dann, wenn die Folie auf den plattenförmigen Gegenstand angeklebt ist,
das Vorderende der Abschälplatte
an der Außenseite
in der Nähe
des anderen Endes des plattenartigen Gegenstands angeordnet ist.
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Weiterhin
setzt die vorliegende Erfindung ein derartiges Folien-Anklebeverfahren
ein, bei welchem eine Folie von einer Folien-Herauslasseinheit herausgelassen
wird, und durch eine Andruckrolle angedrückt wird, damit die Folie an
einen plattenartigen Gegenstand angeklebt wird, wobei folgende Schritte vorgesehen
sind: konstantes Messen der mechanischen Spannung, während die
Andruckrolle die Folie zum Ankleben mit Druck beaufschlagt; und
Ankleben der Folie auf dem plattenartigen Gegenstand, während die
mechanische Spannung auf einem konstanten Pegel über eine Spannungsmessvorrichtung
gehalten wird.
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Weiterhin
setzt die vorliegende Erfindung ein Folien-Anklebeverfahren ein, bei welchem eine
Folie von einer Folien-Herauslasseinheit abgegeben wird, und die
Folie durch eine Andruckrolle mit Druck beaufschlagt wird, damit
sie auf einen plattenartigen Gegenstand angeklebt wird, wobei der
Schritt vorgesehen ist, die Folie in einem Zustand anzukleben, bei welchem
ein Anklebwinkel in Bezug auf den plattenartigen Gegenstand auf
einem konstanten Winkel gehalten wird.
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Weiterhin
setzen die voranstehend geschilderten Verfahren ein derartiges Verfahren
ein, bei welchem die Folie in einem Zustand angeklebt wird, bei
welchem die Länge
der Folie, die von der Folien-Herauslasseinheit an die Andruckrolle
herausgelassen wird, etwas länger
gehalten wird als die Länge von
dem einen Ende bis zum anderen Ende des plattenartigen Gegenstands.
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Auswirkung der Erfindung
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung arbeitet die Spannungsmessvorrichtung so, dass sie die
konstante mechanische Spannung der Folie aufrechterhält, und
klebt in diesem Zustand die Andruckrolle an der Folie an, während die
Andruckkraft auf die Folie ausgeübt
wird. Daher wird keine Lose der Folie hervorgerufen, und wird auf
sie keine zu starke mechanische Spannung ausgeübt. Daher können die Erzeugung von Falten,
das Einfangen von Luftblasen und eine Verwindungsverformung des
plattenartigen Gegenstands vermieden werden.
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Weiterhin
wird eine derartige Ausbildung eingesetzt, dass die Spannungsmessrolle
die Position so verschiebt, dass eine konstante mechanische Spannung
in der Messdose aufrechterhalten wird. Daher kann eine Änderung
der mechanischen Spannung, die dazu neigt, infolge einer Bewegung
der Andruckrolle aufzutreten, einfach ausgeglichen werden.
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Weiterhin
kann infolge der Tatsache, dass der Anklebwinkel der Folie konstant
durch die Anklebwinkel-Aufrechtserhaltungsvorrichtung
beibehalten wird, selbst wenn der nicht angeklebte Bereich der herausgelassenen
Folie kurz wird, wenn sich die Andruckrolle bewegt, und das Ankleben
der Folie an dem plattenartigen Gegenstand weitergeht, die mechanische
Spannung der Folie einfach auf einem konstanten Pegel gehalten werden.
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Weiterhin
wird das Ankleben in einem derartigen Zustand durchgeführt, bei
welchem die Länge der
Folie, die zwischen dem vorderen Ende der Abschälplatte und der Andruckrolle
herausgelassen wird, auf etwas länger
eingestellt ist als die Länge von
dem einen Ende bis zum anderen Ende des plattenartigen Gegenstands.
Daher kann der Bereich der Folie, der sich zur Nähe des anderen Endes des plattenartigen
Gegenstands fortsetzt, als der Bereich eingesetzt werden, der auf
den nächsten,
plattenartigen Gegenstand aufgeklebt wird. Daher kann ein unbenutzter
Bereich oder eine Toleranz zwischen den Folienbereichen, die auf
die plattenartigen Gegenstände
aufgeklebt werden, minimiert werden, so dass ein verschwenderischer
Verbrauch der Folie ausgeschaltet werden kann.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine Ansicht von vorn, die schematisch eine Folien-Anklebeeinrichtung
gemäß der Ausführungsform
zeigt.
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2 ist
eine Perspektivansicht, die schematisch die Folien-Anklebeeinrichtung
zeigt.
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3 ist
eine Querschnittsansicht, die schematisch einen Tisch zeigt.
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4(A) bis 4(E) sind
erläuternde
Ansichten, welche den Anklebebetrieb einer Klebfolie zeigt.
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5(A) bis 5(D) sind
erläuternde
Ansichten, welche einen Abschälvorgang
für eine
unnötige
Klebfolie mit Hilfe einer Abschäleinrichtung
zeigen.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Nachstehend
werden Ausführungsformen der
Erfindung unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben.
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1 ist
eine Ansicht von vorn, die schematisch eine Folien-Anklebeeinrichtung
gemäß der Ausführungsform
zeigt;
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und 2 ist
eine entsprechende schematische Perspektivansicht. Bei diesen Figuren
weist eine Folien-Anklebeeinrichtung 10 auf:
eine Folien-Herauslasseinheit 12, die in dem oberen Abschnitt
einer Basis 11 angeordnet ist; einen Tisch 13 zum
Haltern eines Wafers W als ein plattenartiger Gegenstand; eine Andruckrolle 14 zum
Ausüben
einer Andruckkraft an eine Klebfolie S, die zur Seite der oberen
Oberfläche
des Wafers W herausgelassen wird, um die Klebfolie S an den Wafer
W anzukleben; eine Schneidvorrichtung 15 zum Schneiden
der Klebfolie 15 entlang dem Außenumfang des Wafers W nach
dem Ankleben der Klebfolie S an den Wafer W; eine Abschäleinrichtung 16 zum
Abschälen
unnötiger Klebfolien
S1 außerhalb
des Wafers W von der oberen Oberfläche des Tisches 13;
und eine Wickelvorrichtung 17 zum Aufwickeln der unnötigen Klebfolie S1.
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Die
Folien-Herauslasseinheit 12 weist auf: eine Halterungsrolle 20 zum
Haltern eines aufgerollten, unbenutzten Folienstreifens L, bei welcher
der Streifen aus der Klebfolie S temporär auf eine Oberfläche eines
Streifens eines Trennliners PS aufgeklebt wird; eine Abschälplatte 22,
mit welcher der unbenutzte Folienstreifen L, der von der Halterungsrolle 20 herausgelassen
wird, beträchtlich
zurückgefaltet wird,
um die Klebfolie S von dem Trennliner PS abzuschälen; eine Sammelrolle 23 zum
Sammeln des Trennliners PS dadurch, dass dieser aufgewickelt wird;
mehrere Führungsrollen 25 bis 31,
die zwischen der Halterungsrolle 20 und der Sammelrolle 23 angeordnet
sind; eine Pufferrolle 33, die zwischen den Führungsrollen 25 und 26 angeordnet
ist; eine Spannungsmessvorrichtung 35, die zwischen den
Führungsrollen 27 und 28 angeordnet
ist; und eine Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37 zum vereinigten
Haltern der Abschälplatte 22,
der Führungsrollen 27, 28, 29 und
der Spannungsmessvorrichtung 35. Es wird darauf hingewiesen,
dass die Führungsrollen 27 und 29 gleichzeitig
mit einer Bremsbacke 32 bzw. 42 versehen sind.
Diese Bremsbacken 32 und 42 sind so angeordnet,
dass dann, wenn die Klebfolie S an den Wafer W angeklebt wird, zur
Bewegung zu der zugehörigen
Führungsrolle 27, 29 hin-
bzw. von dieser weg mit Hilfe eines Zylinders 38 bzw. 48,
die Klebfolie S eingequetscht wird, um deren Vorschub einzuschränken.
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Die
Spannungsmessvorrichtung 35 weist eine Messdose 39 und
eine Spannungsmessrolle 40 auf, die durch die Messdose 39 gehaltert
wird, und an der Basisseite der Abschälplatte 22 angeordnet
ist. Die Spannungsmessrolle 40 wird durch den Zug der Klebfolie
S gezogen, die von der Einquetschrolle 27 und die Bremsbacke 32 eingequetscht
wird, und zu der Andruckrolle 14 herausgelassen wird, und
die mechanische Spannung wird an die Messdose 39 übertragen.
Weiterhin ist die Anordnung so, dass während der Zeit, in welcher
die Messdose 39 die mechanische Spannung der herausgelassenen
Klebfolie S misst, ein Herauslasskopf 49, der nachstehend
genauer erläutert
wird, sich in einem Winkel in 1 nach unten
bewegt, über
die Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37, so dass
die mechanische Spannung, die auf die Klebfolie S einwirkt, auf
einem konstanten Pegel gehalten wird.
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Die
Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37 ist so ausgebildet,
dass sie mit der Andruckrolle 14 so zusammenarbeitet, dass
der Anklebwinkel θ der
Klebfolie S in Bezug auf den Wafer W auf einem konstanten Winkel
gehalten wird. Die Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37 weist
auf: einen Herauslasskopf 49, der Führungsrollen 27, 28 und 29 aufweist,
die Messdose 39, die Spannungsmessrolle 40, Bremsbacken 32 und 42,
Zylinder 38 und 48, die Abschälplatte 22 und ein
Paar von Gleitplatten 43 und 43 zum Haltern der
voranstehend geschilderten Gegenstände; zwei Führungsschienen 45, 45 zum
vertikalen Führen
des Herauslasskopfes 49; und ein Paar einachsiger Roboter 46 und 46 zum Aufbringen
einer Kraft auf den Herauslasskopf 49, damit er sich in
Vertikalrichtung bewegt. Die Führungsschienen 45 und
die einachsigen Roboter 46 sind mit Schrägausrichtung
angeordnet, um zu ermöglichen,
dass der Herauslasskopf 49 in Vertikalrichtung entlang
dem Schrägwinkel
bewegt wird. Es wird darauf hingewiesen, dass die Abschälplatte 22 durch
einen Zylinder 50 gehaltert wird, der an der Innenseite
der Gleitplatten 43 angeordnet ist, wodurch eine Bewegung
nach vorn und hinten in Richtung X in 1 ermöglicht wird.
Infolge dieser Tatsache kann der Ort des vorderen Randes der Abschälplatte 22 abhängig von
dem Durchmesser des Wafers W eingestellt werden.
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Wie
in 3 gezeigt, weist der Tisch 13 auf: einen äußeren Tisch 51,
der in der Aufsicht im Wesentlichen die Form eines Quadrats aufweist;
und einen inneren Tisch 52, der in Aufsicht im Wesentlichen kreisförmig ausgebildet
ist. Der äußere Tisch 51 ist konkavförmig ausgebildet,
so dass er den inneren Tisch 52 aufnimmt, und ist so angeordnet,
dass er sich in Vertikalrichtung in Bezug auf die Basis 11 über einen
einachsigen Roboter 54 bewegt. Andererseits ist der innere
Tisch 52 so angeordnet, dass er sich in Vertikalrichtung
in Bezug auf den äußeren Tisch 51 über einen
einachsigen Roboter 56 bewegt. Daher sind der äußere Tisch 51 und
der innere Tisch 52 so angeordnet, dass sie sich vereinigt
in Vertikalrichtung bewegen, und sich in Vertikalrichtung unabhängig voneinander
bewegen. Aufgrund dieser Tatsache sind der äußere Tisch 51 und
der innere Tisch 52 so ausgebildet, dass sie auf den Ort
eines vorbestimmten Niveaus entsprechend der Dicke der Klebfolie
S und des Wafers W eingestellt werden können.
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Die
Andruckrolle 14 ist über
einen Portalrahmen 57 gehaltert. Auf der Seite der oberen
Oberfläche
des Portalrahmens 57 sind Zylinder 59, 59 vorgesehen.
Die Andruckrolle 14 ist so angeordnet, dass sie sich infolge
der Betätigung
dieser Zylinder 59 in Vertikalrichtung bewegt. Hierbei
ist, wie in 2 gezeigt, der Portalrahmen 57 so
ausgebildet, dass er sich in Richtung X in 1 über den
einachsigen Roboter 60 und die Führungsschiene 61 bewegen
kann.
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Die
Schneidvorrichtung 15 ist bewegbar in Vertikalrichtung über eine
Hebevorrichtung (nicht gezeigt) über
dem Tisch 13 angeordnet. Die Schneidvorrichtung 15 weist
auf: einen Dreharm 66, der an einer Drehzentrumswelle 65 befestigt
ist, und eine Schneidklinge 67, die durch den Dreharm 66 gehaltert
wird. Wenn die Schneidklinge 67 um die Drehzentrumswelle 65 gedreht
wird, kann die Klebfolie S entlang dem Außenumfang des Wafers W geschnitten
werden.
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Wie
in den 1, 4 und 5 gezeigt ist, weist die Abschäleinrichtung 16 eine
Rolle 70 mit kleinem Durchmesser und eine Rolle 71 mit
großem
Durchmesser auf. Ein Bewegungsrahmen F haltert die Rolle 70 mit
kleinem Durchmesser und die Rolle 71 mit großem Durchmesser.
Der Bewegungsrahmen F weist einen vorderen Rahmen F1 und einen hinteren Rahmen
F2 auf, die einander gegenüberliegend
in Richtung Y in 2 angeordnet sind, wobei der
hintere Rahmen F2 mit dem vorderen Rahmen F1 über ein Verbindungsteil 73 verbunden
ist. Der hintere Rahmen F2 wird durch einen einachsigen Roboter 75 gehaltert,
wogegen der vordere Rahmen F1 durch die Führungsschiene 61 gehaltert
wird. Demzufolge kann sich der Bewegungsrahmen F in der Richtung
X in 2 bewegen. Ein Armteil 74 haltert die
Rolle 71 mit großem
Durchmesser, wie dies in 1 dargestellt ist. Das Armteil 74 ist
so ausgebildet, dass ein Zylinder 78 die Rolle 71 mit großem Durchmesser
in Richtung näher
zu der Rolle 70 mit kleinem Durchmesser bzw. weg von dieser
bewegen kann.
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Die
Wickeleinrichtung 17 weist auf: eine Antriebsrolle 70,
die durch den Bewegungsrahmen F gehaltert wird; und eine Wickelrolle 81,
die an dem freien Ende des Dreharms 84 gehaltert ist, der
gegen die Umfangsoberfläche
der Antriebsrolle 81 über eine
Feder 85 anstößt, um die
unbenötigte
Klebfolie S1 einzuquetschen. Ein Antriebsmotor M ist an dem Wellenende
der Antriebsrolle 80 angeordnet, und ist so ausgebildet,
dass dann, wenn die Antriebsrolle 80 zur Drehung durch
den Motor M angetrieben wird, die Wickelrolle 81 der Antriebsrolle 80 folgt,
so dass sie sich dreht; wodurch die unbenötigte Klebfolie S1 dort aufgewickelt
wird. Es wird darauf hingewiesen, dass bei zunehmendem Ausmaß des Aufwickelns
die Wickelrolle 81 sich nach rechts in 1 gegen
die Kraft der Feder 85 verschiebt.
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Als
nächstes
wird das Anklebeverfahren der Klebfolie S gemäß der Ausführungsform auch unter Bezugnahme
auf die 4 und 5 beschrieben.
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Bei
der ursprünglichen
Einstellung wird bei dem unbenutzten Folienstreifen L, der von der
Halterungsrolle 20 herausgelassen wird, die Klebfolie S von
dem Trennliner PS an dem Ort des vorderen Randes der Abschälplatte 22 abgeschält, und
wird das Vorderende des Trennliners PS an der Sammelrolle 23 über die
Führungsrollen 28, 29 befestigt.
Andererseits wird das Vorderende der Klebfolie S an der Wickelrolle 81 der
Wickeleinrichtung 17 durch die Andruckrolle 14 und
die Abschäleinrichtung 16 befestigt.
Hierbei ist die Abschälplatte 22,
welche das vordere Ende des Herauslasskopfes 49 bildet,
an ihrer oberen Grenzposition angeordnet (vgl. die 1 und 4(A)). Die Klebfolie S zwischen der Abschälplatte 22 und
der Andruckrolle 14 wird so eingestellt, dass sie einen
vorbestimmten Anklebwinkel θ in
Bezug auf die Oberfläche
des Wafers W aufweist, der auf dem Tisch 13 angeordnet
ist, wie in 1 gezeigt ist. Weiterhin wird
die Position des vorderen Endes der Abschälplatte 22 durch die
Zylinder 50 so eingestellt, dass die Länge der Klebfolie S zwischen
der Abschälplatte 22 und
der Andruckrolle 14 etwas länger ist als die Länge von
dem einen Ende bis zum anderen Ende, also von dem rechten Ende bis
zum linken Ende des Wafers W in 4.
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In
einem Zustand, bei welchem der Wafer W auf den Tisch 13 mit
Hilfe eines Transportarms (nicht gezeigt) aufgesetzt wurde, beginnt
der Anklebvorgang. Bevor der Anklebvorgang beginnt, werden die Bremsbacken 32, 42 in
Kontakt mit den Führungsrollen 27, 29 versetzt,
um zu verhindern, dass die Klebfolie S herausgelassen wird. In jenem
Zustand, bei welchem der Tisch 13 sich im Stillstand befindet, dreht
sich die Andruckrolle 14, und bewegt sich auf dem Wafer
W nach links in 4. Wenn sich die Andruckrolle
bewegt, wirkt eine mechanische Spannung auf die Klebfolie S ein,
und wird die Spannungsmessrolle 40 in Richtung X gezogen.
Dann misst die Messdose 39 die mechanische Spannung, wodurch der
Herauslasskopf 49 um einen Winkel abgesenkt wird, durch
Einsatz der Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37,
um eine vorbestimmte mechanische Spannung aufrechtzuerhalten. Die
Messdose 39 misst daher die mechanische Spannung, und wird so
gesteuert, dass sie einen Befehl an die beiden einachsigen Roboter 46 ausgibt,
um auf Grundlage der Daten die vorbestimmte mechanische Spannung
aufrechtzuerhalten.
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Daher
sinkt der Herauslasskopf 49 allmählich entlang dem Schrägstellwinkel
der Führungen 45 und
der einachsigen Roboter 46 ab (siehe 1).
Infolge dieser Tatsache wird selbst dann, wenn die Länge der
Klebfolie S zwischen dem vorderen Ende der Abschälplatte 22 und der
Andruckrolle 14 kürzer
wird, der Anklebwinkel θ konstant
auf einem konstanten Winkel gehalten.
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Bei
der vorliegenden Ausführungsform
wird, wie voranstehend geschildert, während des Anklebvorgangs der
Andruckrolle 14, der Herauslasskopf 49 abgesenkt,
während
die mechanische Spannung der Klebfolie S durch die Messdose 39 gemessen
wird.
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Daher
wird der Anklebwinkel θ aufrechterhalten.
Allerdings kann die Steuerung des Absinkens des Herauslasskopfes 49 die
Messdose 39 ausschalten. Daher kann auch die folgende Anordnung
eingesetzt werden, wie in 4(A) gezeigt,
unter der Annahme, dass die unterste Position der Andruckrolle 14 und
die Position des vorderen Randes der Abschälplatte 22 am Startpunkt
des Anklebevorgangs mit P1 bzw. P2 bezeichnet wird; die Position
des vorderen Randes der Abschälplatte 22 an
dem Punkt, an welchem der Anklebevorgang der Klebfolie S fertig gestellt
wurde, mit P3 bezeichnet wird; und der Anklebwinkel, der durch P2,
P1 und P3 gebildet wird, gleich θ ist.
Hierbei werden die einachsigen Roboter 46 und 60 so
gesteuert, dass sie synchron den Herauslasskopf 49 absenken,
welcher die Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung 37 bildet,
entlang den Führungsschienen 45,
so dass dann, wenn die Andruckrolle 14 sich bewegt, und
die Entfernung zwischen den Punkten P1 und P3 infolge des einachsigen
Roboters 60 kleiner wird, der Pegel der Abschälplatte 22,
also die Entfernung zwischen den Punkten P2 und P3 ebenfalls kleiner
wird, so dass der Anklebwinkel θ konstant
aufrechterhalten wird. Es wird darauf hingewiesen, dass das Ausmaß der Bewegung des
Herauslasskopfes 49 einfach trigonometrisch berechnet werden
kann. Durch konstantes Aufrechterhalten des Anklebwinkels θ auf Grundlage
der Erfassung der Bewegungsentfernung der Andruckrolle 14 können daher
der gleiche Betriebsablauf und die gleiche Auswirkung wie bei der
Spannungssteuerung unter Verwendung der Messdose 39 erhalten
werden. Bei der vorliegenden Erfindung können diese Steuerverfahren
selektiv eingesetzt werden.
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Wie
in den 4(D) und 4(E) gezeigt, sinkt
dann, wenn der Anklebevorgang der Klebfolie S fertig gestellt ist,
die Schneidvorrichtung 15 ab, um die Klebfolie S entlang
dem Umfangsrand des Wafers W abzuschneiden, und bewegt sich dann
die Schneidvorrichtung 15 nach oben, um in die Ausgangslage
zurückzukehren
(vgl. 1). Zu diesem Zeitpunkt ist das Vorderende der
Abschälplatte 22 in der
Nähe des
linken Endes des Wafers W angeordnet. Infolge dieser Tatsache kann
der Bereich der Klebfolie, der sich an der linken Seite von dem
vorderen Randabschnitt der Abschälplatte 22 aus
erstreckt, als der Bereich eingesetzt werden, der an den nächsten Wafer
W angeklebt wird, so dass verhindert wird, dass die Klebfolie S
verschwenderisch verbraucht wird.
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Nachdem
der Wafer W von dem Tisch 13 mit Hilfe der Transporteinrichtung
entfernt wurde, wie in den 5(A) bis 5(D) gezeigt, bewegt sich die Andruckrolle 14 nach
oben, und bewegen sich die Rolle 70 mit kleinem Durchmesser
und die Rolle 71 mit großem Durchmesser, welche die
Abschäleinrichtung 16 bilden,
nach links. Die Antriebsrolle 80 der Wickeleinrichtung 17 wird
so angetrieben, dass sie die unbenötigte Klebfolie S1 aufwickelt;
daher kann die unbenötigte
Klebfolie S1 um den Wafer W herum von der oberen Oberfläche des
Tisches 13 abgeschält
werden.
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Dann
bewegen sich die Bremsbacken 32, 42 weg von den
Führungsrollen 27, 29,
so dass der unbenutzte Folienstreifen L herausgelassen werden kann,
und in einem Zustand, in welchem die Antriebsrolle 80 verriegelt
ist, die Abschäleinrichtung 16 und die
Wickeleinrichtung 17 in die Ausgangslage zurückkehren.
Dies führt
dazu, dass neue Klebfolie S herausgezogen wird, und erneut ein neuer
Wafer W auf den Tisch 13 transportiert wird.
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Daher
kann bei der voranstehend geschilderten Ausbildung infolge der Tatsache,
dass eine derartige Anordnung vorgesehen wird, dass die mechanische
Spannung der Klebfolie S auf einem konstanten Pegel gehalten wird,
während
die Klebfolie S an den Wafer W angeklebt wird, ein derartiger Vorteil erzielt
werden, dass Luftblasen, die infolge einer unzureichenden mechanischen
Spannung auftreten, oder eine Verwindungsverformung des Wafers infolge
einer unzureichenden mechanischen Spannung wirksam verhindert werden
können.
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Bislang
wurden die beste Ausbildung, das beste Verfahren und dergleichen
zur Ausführung
der vorliegenden Erfindung beschrieben. Allerdings ist die vorliegende
Erfindung nicht auf die voranstehend geschilderten Einzelheiten
beschränkt.
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Die
vorliegende Erfindung wurde nämlich hauptsächlich anhand
einer speziellen Ausführungsform
erläutert
und beschrieben. Allerdings ist es für Fachleute auf diesem Gebiet
möglich,
verschiedene Modifikationen hinzuzufügen, falls erforderlich, zu der
voranstehend geschilderten Ausführungsform,
in Bezug auf die Form, Position und/oder Anordnung, ohne von dem
technischen Grundprinzip und dem Bereich des Vorteils der vorliegenden
Erfindung abzuweichen.
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Beispielsweise
wurde bei der voranstehend beschriebenen Ausführungsform jener Fall erläutert und
beschrieben, bei welchem die Andruckrolle 14 so bewegt
wird, dass sie die Klebfolie S in einem Zustand anklebt, bei welchem
der Tisch 13 still steht. Allerdings kann auch eine derartige
Anordnung eingesetzt werden, bei welcher der Tisch 13 zur
Bewegung veranlasst wird. Weiterhin gibt es keine spezielle Einschränkung in
Bezug auf den Klebewinkel θ.
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Weiterhin
wurde bei der voranstehend geschilderten Ausführungsform ein Beispiel beschrieben,
bei welchem der plattenartige Gegenstand ein Wafer ist. Allerdings
ist die vorliegende Erfindung bei einer derartigen Anordnung einsetzbar,
bei welcher eine Folie oder ein Film an einen plattenartigen Gegenstand
anders als ein Wafer angeklebt werden kann.
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ZUSAMMENFASSUNG
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Eine
Folien-Anklebeeinrichtung 10 weist eine Folien-Herauslasseinheit 12 zum
Herauslassen einer Klebfolie S zu einem Ort auf, welcher einer Oberfläche eines
Halbleiterwafers W gegenüberliegt, und
eine Andruckrolle 14 zum Ausüben einer Andruckkraft auf
die Klebfolie S, damit die Klebfolie S an dem Wafer W anklebt. Die
Folien-Herauslasseinheit 12 weist
eine Spannungsmessvorrichtung 35 zur Messung der mechanischen
Spannung der Klebfolie S zwischen einem Herauslasskopf 49 und
der Andruckrolle 14 auf. Die Spannungsmessvorrichtung 35 hält die Spannung
auf einem konstanten Pegel, um das Einfangen von Luftblasen zwischen
der Klebfolie S und dem Wafer W zu verhindern, und ebenso eine Verwindungsverformung
des Wafers, an welchem die Folie angeklebt wurde.
-
- 10
- Folien-Anklebeeinrichtung
- 12
- Folien-Herauslasseinheit
- 14
- Andruckrolle
- 35
- Spannungsmessvorrichtung
- 39
- Messdose
- 40
- Spannungsmessrolle
- 37
- Anklebwinkel-Aufrechterhaltungsvorrichtung
- L
- Unbenutzter
Folienstreifen
- PS
- Trennliner
- S
- Klebfolie
- S1
- Unnötige Klebfolie
- W
- Wafer
(plattenartiger Gegenstand)
- θ
- Anklebwinkel