DE10212174A1 - Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter - Google Patents
KantenreflexionsoberflächenwellenfilterInfo
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Abstract
Ein Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter umfaßt IDTs, die auf einer oberen Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats angeordnet sind, wobei akustische Oberflächenwellen vom Scher-Horizontal-Typ zwischen gegenüberliegenden Kanten reflektiert werden. Zumindest ein äußerster Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Kanten wird entfernt. Folglich können erwünschte Filtercharakteristika ohne weiteres ohne ein Bewirken von Abweichungen der Filtercharakteristika erzielt werden, wobei störende Komponenten bei Frequenzen unter dem Durchlaßband minimiert werden und die Selektivität stark verbessert wird.
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Kantenreflexi
onsoberflächenwellenfilter, die akustische Oberflächenwel
len vom SH-(Scher-Horizontal-)Typ, wie z. B. BGS-(Bleu
stein-Gulyaev-Shimizu-)Wellen und Love-Wellen, verwenden
und insbesondere auf ein Kantenreflexionsoberflächenwellen
filter, bei dem die Struktur von Elektrodenfingern nahe Re
flexionskanten von Interdigitalwandlern (im folgenden als
IDTs abgekürzt) wesentlich verbessert ist.
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter werden z. B. bei
Bandpaßfiltern für Kommunikationsvorrichtungen verwendet.
Fig. 12 ist eine schematische Draufsicht, die ein Beispiel
eines Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters gemäß dem
Stand der Technik zeigt. Das Kantenreflexionsoberflächen
wellenfilter 101 umfaßt ein rechtwinkliges piezoelektri
sches Plattentyp-Substrat 102. Das piezoelektrische Sub
strat 102 weist eine erste Kante 102a und eine zweite Kante
102b auf, die einander gegenüberliegend angeordnet sind.
Auf einer oberen Oberfläche des piezoelektrischen Substrats
102 sind IDTs 103 und 104 vorgesehen. Die IDTs 103 und 104
weisen ein Paar von Kammelektroden 103a und 103b bzw. ein
Paar von Kammelektroden 104a und 104b auf. Die Kammelektro
den 103a, 103b, 104a und 104b weisen eine Mehrzahl von
Elektrodenfingern 103a1, eine Mehrzahl von Elektrodenfin
gern 103b1, eine Mehrzahl von Elektrodenfingern 104a1 bzw.
eine Mehrzahl von Elektrodenfingern 104b1 auf. Die Elektro
denfinger 103a1 und die Elektrodenfinger 103b1 greifen in
einander. Ähnlich greifen die Elektrodenfinger 104a1 und
die Elektrodenfinger 104b1 ineinander.
Die Elektrodenfinger 103a1 bis 104b1 erstrecken sich in ei
ner Richtung, die parallel zu den Kanten 102a und 102b ist.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 101 wird,
wenn eine Eingangsspannung an den IDT 103 angelegt wird,
eine akustische Oberflächenwelle des SH-Typs angeregt und
an den Kanten 102a und 102b reflektiert. Die akustische
Oberflächenwelle, die zwischen den Kanten 102a und 102b re
flektiert wird, erzeugt eine Stehwelle, wobei die Resonanz
charakteristika, die der Stehwelle zugeordnet sind, in dem
Ausgangssignal von dem IDT 104 erscheinen.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 101 sind
von den Elektrodenfingern 103a1 bis 104b1 Elektrodenfinger
103b1x und 104a1x, die an einer äußersten Position in der
Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflächenwellen (Bezug
nehmend auf Fig. 12) positioniert sind, derart angeordnet,
daß die äußeren Kanten derselben entlang der Kanten 102a
und 102b ausgerichtet sind. Dies ist so, da die Elektroden
finger 103b1x und 104a1x durch ein Schneiden eines piezo
elektrischen Muttersubstrats gebildet sind, um die Kanten
102a und 102b zu bilden, nachdem eine Mehrzahl von IDTs auf
dem piezoelektrischen Muttersubstrat gebildet wurde.
Die Elektrodenfinger 103b1x und 104a1x neben den Reflexions
kanten 102a und 102b sind jedoch anfällig für eine Beschä
digung bei dem Schneideverfahren, was unvermeidbar zu einer
Abweichung der Filtercharakteristika führt.
Hinsichtlich des Typs des Kantenreflexionsoberflächenwel
lenresonators, der nur einen IDT verwendet, wurde ein Ver
fahren zum Reduzieren einer Abweichung der Charakteristika
aufgrund einer Beschädigung von Elektrodenfingern neben den
Reflexionskanten vorgeschlagen. Insbesondere offenbart die
ungeprüfte japanische Patentanmeldung Nr. 60-41809 ein Ver
fahren zum Bilden von Reflexionskanten an Positionen, die
um einen Abstand beabstandet sind, der gleich einem ganz
zahligen Vielfachen von λ/2 (λ ist die Wellenlänge der aku
stischen Oberflächenwelle) von den Mitten der äußersten
Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung der akusti
schen Oberflächenwelle ist. Gemäß der Offenbarung sind, da
die Reflexionskanten an Positionen angeordnet sind, die um
einen Abstand beabstandet sind, der gleich einem ganzzahli
gen Vielfachen von λ/2 von den Mitten der äußersten Elek
trodenfinger in der Ausbreitungsrichtung der akustischen
Oberflächenwelle ist, die Elektrodenfinger nicht anfällig
für eine Beschädigung bei dem Schneideverfahren zum Bilden
der Reflexionskanten, wodurch Abweichungen der Resonanzcha
rakteristika reduziert werden.
Das Verfahren gemäß dem Stand der Technik reduziert Abwei
chungen der Resonanzcharakteristika eines Kantenreflexions
oberflächenwellenresonators. Wenn das Verfahren jedoch auf
ein Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter angewendet
wird, werden, da die Positionen der Reflexionskanten verän
dert werden, Filtercharakteristika annähernd wie die bei
einem Fall, bei dem die Zahl von Elektrodenfingern von IDTs
erhöht wird. Wenn z. B. zwei IDTs, die zehn Paare von Elek
trodenfingern aufweisen, mit einem IDT-Intervall von 1 λ
angeordnet sind, beträgt der Abstand zwischen den Mitten
der äußersten Elektrodenfinger auf beiden Seiten 21 λ. Wenn
Reflexionskanten mit einem Abstand von 2 × λ/2 (λ/2 multi
pliziert mit einer Ganzzahl n, nun unter der Annahme von n
= 2) von den Mitten der äußersten Elektrodenfinger der IDTs
angeordnet sind, beträgt der Abstand zwischen den Reflexi
onskanten 23 λ. Die Filtercharakteristika in diesem Fall
sind annähernd wie die bei einem Fall, bei dem zwei IDTs,
die elf Paare von Elektrodenfingern aufweisen, mit einem
IDT-Intervall von 1 λ angeordnet sind und Reflexionskanten
in den Mitten der äußersten Elektrodenfinger angeordnet
sind. Als ein Ergebnis wird die Bandbreite reduziert, wobei
die erwünschten Filtercharakteristika nicht erzielt werden.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Kanten
reflexionsoberflächenwellenfilter, einen Duplexer und eine
Kommunikationsvorrichtung zu schaffen, die Abweichungen der
Charakteristika, die durch eine Beschädigung der Elektro
denfinger bewirkt werden, beseitigen, während dennoch er
wünschte Filtercharakteristika erzielt werden.
Diese Aufgabe wird durch ein Kantenreflexionsoberflächen
wellenfilter gemäß Anspruch 1, 2, 3 oder 4, einen Duplexer
gemäß Anspruch 9 oder eine Kommunikationsvorrichtung gemäß
Anspruch 10 gelöst.
Gemäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegen
den Erfindung umfaßt ein Kantenreflexionsoberflächenwellen
filter, das akustische SH-Typ-Oberflächenwellen verwendet,
ein piezoelektrisches Substrat, das eine erste Kante und
eine zweite Kante aufweist, die einander gegenüberliegend
angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Re
flexionskanten definieren, und zumindest zwei Interdigital
wandler, die Elektrodenfinger umfassen und auf dem piezo
elektrischen Substrat angeordnet sind, wobei zumindest ein
äußerster Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung der
akustischen Oberflächenwelle an der Seite zumindest einer
der Reflexionskanten entfernt ist.
Als ein Ergebnis dieser einzigartigen Struktur und Anord
nung von Elementen werden erwünschte Filtercharakteristika
erzielt, ohne daß Abweichungen der Filtercharakteristika
bewirkt werden oder die Bandbreite verändert wird, sowie
ohne weitere unerwünschte Ergebnisse. Ferner werden stören
de Komponenten bei Frequenzen unter dem Durchlaßband mini
miert.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung umfaßt ein Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilter, das akustische SH-Typ-Oberflächenwellen
verwendet, ein piezoelektrisches Substrat, das eine erste
Kante und eine zweite Kante aufweist, die einander gegenü
berliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite
Kante Reflexionskanten definieren, und zumindest zwei In
terdigitalwandler, die Elektrodenfinger umfassen und auf
dem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, wobei zu
mindest ein äußerster Elektrodenfinger in der Ausbreitungs
richtung der akustischen Oberflächenwelle auf der Seite zu
mindest einer der Reflexionskanten als ein Floating-
Elektrodenfinger aufgebaut ist, um nicht elektrisch mit ei
nem der anderen Elektrodenfinger verbunden zu sein.
Als ein Ergebnis dieser einzigartigen Struktur und Anord
nung von Elementen werden erwünschte Filtercharakteristika
erzielt, ohne daß Abweichungen der Filtercharakteristika
bewirkt werden oder die Bandbreite verändert wird, sowie
ohne weitere unerwünschte Ergebnisse. Ferner werden stören
de Komponenten bei Frequenzen unter dem Durchlaßband mini
miert.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung umfaßt ein Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilter, das akustische SH-Typ-Oberflächenwellen
verwendet, ein piezoelektrisches Substrat, das eine erste
Kante und eine zweite Kante aufweist, die einander gegenü
berliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite
Kante Reflexionskanten definieren, und zumindest zwei In
terdigitalwandler, die Elektrodenfinger umfassen und auf
dem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, wobei eine
Entnahme durchgeführt wird, so daß zumindest ein äußerster
Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung akustischer
Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Refle
xionskanten mit dem gleichen Potential wie ein benachbarter
Elektrodenfinger verbunden ist.
Als ein Ergebnis dieser einzigartigen Struktur und Anord
nung von Elementen werden erwünschte Filtercharakteristika
erzielt, ohne daß Abweichungen der Filtercharakteristika
bewirkt werden oder die Bandbreite verändert wird, sowie
ohne weitere unerwünschte Ergebnisse. Ferner werden stören
de Komponenten bei Frequenzen unter dem Durchlaßband mini
miert.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung umfaßt ein Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilter, das akustische SH-Typ-Oberflächenwellen
verwendet, ein piezoelektrisches Substrat, das eine erste
Kante und eine zweite Kante aufweist, die einander gegenü
berliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite
Kante Reflexionskanten definieren, und zumindest zwei In
terdigitalwandler, die Elektrodenfinger umfassen und auf
dem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, wobei die
Breite zumindest eines äußersten Elektrodenfingers in der
Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflächenwellen auf der
Seite zumindest einer der Reflexionskanten derart ist, daß
der Abstand zwischen dem äußersten Elektrodenfinger und ei
nem benachbarten Elektrodenfinger kleiner ist als der Ab
stand zwischen anderen Elektrodenfingern in dem Interdigi
talwandler, zu dem der äußerste Elektrodenfinger gehört.
Als ein Ergebnis dieser einzigartigen Struktur und Anord
nung von Elementen werden erwünschte Filtercharakteristika
erzielt. Ferner wird, da der äußerste Elektrodenfinger
breiter hergestellt ist, der Elektrodenfinger unempfindlich
gegen eine Beschädigung, die während des Schneideverfahrens
zum Bilden der Kanten auftreten kann, wodurch Abweichungen
der Filtercharakteristika minimiert werden.
Die Elektrodenfinger der zumindest zwei Interdigitalwandler
können Split- bzw. Schlitzelektroden sein. Splitelektroden
beziehen sich auf IDT-Elektrodenfinger, die in eine Mehr
zahl von Elektrodenfingersegmenten aufgesplittet sind, die
mit dem gleichen Potential verbunden sind.
Folglich können erwünschte Filtercharakteristika erzielt
werden, ohne daß Abweichungen der Filtercharakteristika be
wirkt werden. Ferner werden störende Komponenten bei Fre
quenzen unter dem Durchlaßband minimiert.
Der Typ der Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß
der vorliegenden Erfindung ist nicht besonders einge
schränkt und kann z. B. ein longitudinal gekoppeltes Reso
natorfilter, ein transversal gekoppeltes Resonatorfilter
oder ein Leiterfilter sein.
Folglich können erwünschte Filtercharakteristika ohne wei
teres erzielt werden, wobei ebenso Abweichungen der Filter
charakteristika beseitigt werden. Ferner werden störende
Komponenten bei Frequenzen unter dem Durchlaßband effektiv
minimiert.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung umfaßt ein Duplexer zumindest ein
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß einem der
verschiedenen bevorzugten Ausführungsbeispiele der vorlie
genden Erfindung, die oben beschrieben wurden.
Gemäß einem weiteren bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung umfaßt eine Kommunikationsvorrich
tung einen Duplexer gemäß dem bevorzugten Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung, der oben beschrieben wur
de.
Folglich werden Abweichungen der Charakteristika beseitigt,
wobei erwünschte Bandcharakteristika ohne weiteres erzielt
werden können, und wobei eine Selektivität stark verbessert
wird.
Bevorzugte Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
werden nachfolgend Bezug nehmend auf die beigefügten Zeich
nungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem ersten bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 2 einen Graphen, der die Frequenzcharakteristika
des Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters ge
mäß dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel
und eines Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
ters gemäß dem Stand der Technik, das zu Ver
gleichszwecken vorbereitet wurde, zeigt;
Fig. 3 eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem zweiten bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem dritten bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 5 eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem vierten bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
Fig. 6 eine Draufsicht, die eine Modifizierung des Kan
tenreflexionsoberflächenwellenfilters gemäß dem
ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel der vor
liegenden Erfindung zeigt;
Fig. 7 einen Graphen, der die Frequenzcharakteristika
des Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters ge
mäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
und des Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters
gemäß dem Stand der Technik zeigt;
Fig. 8 eine schematische Draufsicht, die die Elektroden
struktur eines transversal gekoppelten Resonator
filters zeigt, auf das die vorliegende Erfindung
angewendet wird;
Fig. 9 eine schematische Draufsicht eines Leiterfilters,
auf das die vorliegende Erfindung angewendet
wird;
Fig. 10 eine schematische Draufsicht eines Duplexers ge
mäß einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung;
Fig. 11 ein schematisches Aufbaudiagramm einer Kommunika
tionsvorrichtung gemäß einem weiteren bevorzugten
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung;
und
Fig. 12 eine Draufsicht, die ein Beispiel eines Kantenre
flexionsoberflächenwellenfilters gemäß dem Stand
der Technik zeigt.
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß bevorzugten
Ausführungsbeispielen der vorliegenden Erfindung werden nun
Bezug nehmend auf die beigefügten Zeichnungen beschrieben.
Fig. 1 ist eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem ersten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Kantenrefle
xionsoberflächenwellenfilter 1 ist vorzugsweise ein longi
tudinal gekoppeltes Resonatorfilter.
Das Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 1 umfaßt ein im
wesentlichen rechtwinkliges piezoelektrisches Plattensub
strat 2. Das piezoelektrische Substrat 2 ist entlang der
Richtung, die als P bezeichnet ist, polarisiert. Das piezo
elektrische Substrat 2 kann aus verschiedenen Materialien
hergestellt sein, einschließlich einem piezoelektrischen
Einkristall aus LiTaO3, LiNbO3 oder einem anderen geeigne
ten Material, sowie piezoelektrischen Keramikmaterialien,
wie z. B. Blei-Zirkonat-Titanat-Keramikmaterialien oder an
deren geeigneten Materialien.
Alternativ kann das piezoelektrische Substrat 2 durch ein
Anordnen eines piezoelektrischen Dünnfilms, wie z. B. eines
ZnO-Dünnfilms, auf einem isolierenden Substrat, das aus ei
nem isolierenden Material, wie z. B. Aluminiumoxid, herge
stellt ist, gebildet sein.
Das piezoelektrische Substrat 2 weist eine erste Kante 2a
und eine zweite Kante 2b auf, die einander gegenüberliegend
angeordnet sind. Auf einer oberen Oberfläche 2c des piezo
elektrischen Substrats 2 sind ein erster IDT 3 und ein
zweiter IDT 4 angeordnet. Die IDTs 3 und 4 weisen ein Paar
von Kammelektroden 3a und 3b bzw. ein Paar von Kammelektro
den 4a und 4b auf.
Die Kammelektrode 3a weist eine Mehrzahl von Elektrodenfin
gern 3a1 auf. Ähnlich weisen die Kammelektroden 3b, 4a und
4b eine Mehrzahl von Elektrodenfingern 3b1, eine Mehrzahl
von Elektrodenfingern 4a1 bzw. eine Mehrzahl von Elektro
denfingern 4b1 auf.
Die Elektrodenfinger 3a1 der Kammelektrode 3a und die Elek
trodenfinger 3b1 der Kammelektrode 3b greifen ineinander.
Ähnlich greifen die Elektrodenfinger 4a1 der Kammelektrode
4a und die Elektrodenfinger 4b1 der Kammelektrode 4b inein
ander.
Die Elektrodenfinger 3a1 bis 4b1 erstrecken sich in einer
Richtung, die im wesentlichen parallel zu den Kanten 2a und
2b ist.
Das Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 1 gemäß diesem
bevorzugten Ausführungsbeispiel ist dadurch gekennzeichnet,
daß der äußerste Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrich
tung akustischer Oberflächenwellen in jedem der IDTs 3 und
4 entfernt ist. Insbesondere sind, wie in Fig. 12 gezeigt
ist, bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 101
gemäß dem Stand der Technik die äußersten Elektrodenfinger
103b1x und 104a1x in der Ausbreitungsrichtung akustischer
Oberflächenwellen entlang der Kanten 102a und 102b angeord
net. Im Gegensatz dazu ist bei diesem bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel, wie durch gestrichelte Linien A und B in
Fig. 1 gezeigt ist, der äußerste Elektrodenfinger bei jedem
der IDTs 3 und 4 in der Ausbreitungsrichtung akustischer
Oberflächenwellen entfernt. Dies bedeutet, daß bei den IDTs
3 und 4 eine Mehrzahl von Elektrodenfingern mit einem In
tervall von etwa λ/4 entlang der Ausbreitungsrichtung aku
stischer Oberflächenwellen angeordnet ist, wobei der äußer
ste Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung akusti
scher Oberflächenwellen auf der Seite jeder der Kanten 2a
und 2b, d. h. Elektrodenfinger, die entlang der Kanten 2a
und 2b positioniert sein sollen, entfernt ist.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 1 sind die
äußersten Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung aku
stischer Oberflächenwellen, angezeigt durch die gestrichel
ten Linien A und B, entfernt. So wird, wenn die Kanten 2a
und 2b durch ein Schneiden eines piezoelektrischen Mutter
substrats in der Dickenrichtung, nachdem die IDTs 3 und 4
auf dem piezoelektrischen Muttersubstrat gebildet wurden,
gebildet sind, eine Beschädigung der Elektrodenfinger im
wesentlichen verhindert, wodurch Abweichungen der Filter
charakteristika minimiert werden.
Ferner kann, da die Positionen der Kanten 2a und 2b die
gleichen sind wie bei dem Fall, bei dem die äußersten Elek
trodenfinger an den Positionen angeordnet sind, die durch
die gestrichelten Linien A und B angezeigt sind, eine er
wünschte Filterbandbreite ohne weiteres erzielt werden.
Insbesondere sind die Kanten 2a und 2b bei in etwa λ/2 von
den Mitten der Elektrodenfinger 3a1y bzw. 4b1y positioniert,
die in der Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflächenwel
len unter den Elektrodenfingern am äußersten angeordnet
sind, die tatsächlich auf dem Substrat gebildet sind. Die
Positionen der Kanten 2a und 2b stimmen mit den äußeren
Kanten der entfernten Elektrodenfinger überein, die durch
die gestrichelten Linien A bzw. B angezeigt sind. Insbeson
dere sind, da die Breite der Elektrodenfinger, die an den
Positionen angeordnet sind, die durch die gestrichelten Li
nien A und B angezeigt sind, üblicherweise etwa λ/8 be
trägt, die Kanten 2a und 2b entlang der äußeren Kanten der
entfernten Elektrodenfinger angeordnet, die durch die ge
strichelten Linien A bzw. B angezeigt sind.
Nun wird ein tatsächliches Experiment beschrieben.
Fig. 2 ist ein Graph, der die Frequenzcharakteristika des
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters gemäß dem ersten
bevorzugten Ausführungsbeispiel und eines Kantenreflexions
oberflächenwellenfilters gemäß dem Stand der Technik zeigt,
das zu Vergleichszwecken mit der vorliegenden Erfindung
vorbereitet ist. Das Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
ter 1 gemäß dem vorliegenden bevorzugten Ausführungsbei
spiel wurde unter Verwendung eines piezoelektrischen Sub
strats 2, das die Abmessungen von etwa 1,4 × 2,0 × 0,35
(Dicke) mm aufweist und aus LiTaO3 hergestellt wurde, und
durch ein Bilden von IDTs 3 und 4 auf dem piezoelektrischen
Substrat 2 implementiert. Die Zahl von Paaren von
Elektrodenfingern des IDT 3 betrug 20, wobei die Zahl von
Paaren von Elektrodenfingern des IDT 4 14 betrug, d. h. die
Gesamtzahl von Paaren von Elektrodenfingern betrug 34. Die
Überlappungsbreite der Elektrodenfinger betrug etwa 0,4 mm,
wobei die Breite der Elektrodenfinger etwa 0,005 mm betrug.
Das Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter, das zu Ver
gleichszwecken vorbereitet wurde, wurde auf die gleiche
Weise wie das oben beschriebene bevorzugte Ausführungsbei
spiel der vorliegenden Erfindung aufgebaut, mit der Ausnah
me, daß Elektrodenfinger, die eine Breite von λ/8 aufwei
sen, an der äußersten Position in der Ausbreitungsrichtung
akustischer Oberflächenwellen entlang der Reflexionskanten
gebildet wurden, d. h. der Aufbau des Kantenreflexionsober
flächenwellenfilters war, wie in Fig. 12 gezeigt ist.
In Fig. 2 stellt eine durchgezogene Linie C die Frequenz
charakteristika bei dem oben beschriebenen bevorzugten Aus
führungsbeispiel dar, wobei eine gestrichelte Linie D die
Frequenzcharakteristika bei dem Stand der Technik dar
stellt.
Wie aus Fig. 2 ersichtlich ist, war, da die Positionen der
Reflexionskanten die gleichen wie beim Stand der Technik
waren, eine Reduzierung der Bandbreite extrem klein. Ferner
wurden, da die äußersten Elektrodenfinger bei dem vorlie
genden bevorzugten Ausführungsbeispiel der vorliegenden Er
findung entfernt waren, störende Komponenten bei Frequenzen
unter dem Durchlaßband, insbesondere in der Umgebung von
etwa 185,2 MHz, gedämpft, was die Selektivität wesentlich
verbessert.
Fig. 3 ist eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem zweiten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Der Aufbau des
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters 11 ist vorzugswei
se im wesentlichen bis auf die Struktur der äußersten Elek
trodenfinger in der Ausbreitungsrichtung akustischer Ober
flächenwellen der gleiche wie der des Kantenreflexionsober
flächenwellenfilters 1 gemäß dem ersten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel. So sind die gleichen Elemente durch die
gleichen Bezugszeichen bezeichnet, wobei die Beschreibung
des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels auf Details
desselben zutrifft.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 11 sind die
äußersten Elektrodenfinger 3b1x und 4a1x der IDTs 3 und 4
nicht elektrisch mit einem der anderen Elektrodenfinger 3a1
bis 4b1 verbunden. Dies bedeutet, daß die Elektrodenfinger
3b1x und 4a1x als Floating-Elektrodenfinger aufgebaut sind.
Die Breite der Elektrodenfinger 3b1x und 4a1x beträgt etwa
λ/8.
Gemäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel, bei dem
der äußerste Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung
akustischer Oberflächenwellen auf der Seite jeder der Kan
ten 2a und 2b als ein Floating-Elektrodenfinger aufgebaut
ist, können, ähnlich wie bei dem ersten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel, erwünschte Filtercharakteristika ohne ein
Bewirken einer Abweichung der Filtercharakteristika erzielt
werden. Insbesondere werden, da die äußersten Elektroden
finger 3b1x und 4a1x in der Ausbreitungsrichtung akustischer
Oberflächenwellen als Floating-Elektrodenfinger aufgebaut
sind, selbst wenn der Elektrodenfinger 3b1x oder der Elek
trodenfinger 4a1x splittert, wenn ein piezoelektrisches
Muttersubstrat geschnitten wird, um die Kanten 2a und 2b zu
bilden, die Filtercharakteristika nicht wesentlich beein
flußt. So werden Abweichungen der Filtercharakteristika mi
nimiert.
Ferner bleibt, da die Positionen der Kanten 2a und 2b die
gleichen wie bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
ter 101 gemäß dem Stand der Technik sind, das in Fig. 12
gezeigt ist, ähnlich wie bei dem ersten Ausführungsbei
spiel, die Bandbreite im wesentlichen die gleiche wie die
Filtercharakteristika des Kantenreflexionsoberflächenwel
lenfilters 101.
In Fig. 7 stellt eine durchgezogene Linie E die Frequenz
charakteristika des Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
ters 11 gemäß dem zweiten bevorzugten Ausführungsbeispiel
dar, das sich von dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
ter gemäß dem Stand der Technik, das zum Vergleich mit dem
ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel vorgesehen ist, nur
dadurch unterscheidet, daß die äußersten Elektrodenfinger
3b1x und 4a1x in der Ausbreitungsrichtung akustischer Ober
flächenwellen als Floating-Elektrodenfinger aufgebaut sind.
In Fig. 7 sind zu Vergleichszwecken die Frequenzcharakteri
stika des Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters gemäß
dem Stand der Technik durch eine gestrichelte Linie D ge
zeigt.
Fig. 4 ist eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem dritten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Der Aufbau des
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters 21 ist vorzugswei
se im wesentlichen der gleiche wie bei dem ersten bevorzug
ten Ausführungsbeispiel, mit der Ausnahme, daß ein Verfah
ren namens "Entnahme" durchgeführt wird, so daß die äußer
sten Elektrodenfinger 3a1x und 4b1x in der Ausbreitungsrich
tung akustischer Oberflächenwellen mit dem gleichen Poten
tial wie die benachbarten Elektrodenfinger an den Seiten
der Kanten 2a bzw. 2b verbunden sind. So sind die gleichen
Elemente mit den gleichen Bezugszeichen wie in der Be
schreibung des ersten bevorzugten Ausführungsbeispiels be
zeichnet, wobei die Beschreibung des ersten bevorzugten
Ausführungsbeispiels auf diese Elemente zutrifft.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 21 weist
der äußerste Elektrodenfinger 3a1x in der Ausbreitungsrich
tung akustischer Oberflächenwellen auf der Seite der Kante
2a vorzugsweise eine Breite von etwa λ/8 auf und ist ent
lang der Kante 2a angeordnet. Der Elektrodenfinger 3a1x ist
jedoch auf der Seite der Kammelektrode 3a positioniert und
mit dem gleichen Potential wie ein benachbarter Elektroden
finger 3a1 verbunden. Dies bedeutet, daß im Gegensatz zu
einem herkömmlichen IDT, bei dem Elektrodenfinger, die mit
einer der Kammelektroden verbunden sind, und Elektrodenfin
ger, die mit der anderen Kammelektrode verbunden sind, ab
wechselnd in der Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflä
chenwellen angeordnet sind, bei diesem bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel auf der Seite der Kante 2a zwei Elektroden
finger, die mit dem gleichen Potential verbunden sind, be
nachbart zueinander angeordnet sind. Das Verfahren, bei dem
eine Region, an der zwei benachbarte Elektrodenfinger mit
dem gleichen Potential verbunden sind, teilweise vorgesehen
ist, ist als "Entnahme"-Gewichtung des IDT bekannt. Bei
diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel sind auf der Seite
jeder der Kanten 2a und 2b die zwei äußersten Finger in der
Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflächenwellen mit dem
gleichen Potential verbunden.
Wenn zumindest ein äußerster Elektrodenfinger in der Aus
breitungsrichtung akustischer Oberflächenwellen mit dem
gleichen Potential verbunden ist wie ein benachbarter Elek
trodenfinger wie dies bei dem dritten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der Fall ist, wird, selbst wenn ein piezo
elektrisches Muttersubstrat geschnitten wird, um Kanten 2a
und 2b zu bilden, verhindert, daß eine Abweichung der Fil
tercharakteristika auftritt. Insbesondere tritt, da die
Elektrodenfinger 3a1x und 4b1x mit dem gleichen Potential
wie benachbarte Elektroden verbunden sind, eine Abweichung
der Filtercharakteristika nicht auf, selbst wenn die äußer
sten Elektrodenfinger 3a1x und 4b1x teilweise splittern.
Bei diesem bevorzugten Ausführungsbeispiel werden ähnlich
wie bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel die Po
sitionen der Kanten 2a und 2b auch gemäß den erwünschten
Filtercharakteristika bestimmt, weshalb eine Abweichung der
Filtercharakteristika, wie z. B. der Bandbreite, im wesent
lichen unverändert bleibt.
Bei dem ersten bis dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel
sind die äußersten Elektrodenfinger jeweils auf den Seiten
der Kanten 2a und 2b entfernt, als Floating-
Elektrodenfinger aufgebaut oder durch ein "Entnahme"-
Verfahren mit dem gleichen Potential wie benachbarte Elek
trodenfinger verbunden. Eine derartige Anordnung kann je
doch nur auf die Seite einer der Reflexionskanten eines
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters angewendet werden.
Bei dem ersten bis dritten bevorzugten Ausführungsbeispiel
wird der äußerste Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrich
tung akustischer Oberflächenwellen 1) entfernt, 2) als ein
Floating-Elektrodenfinger aufgebaut oder 3) mit dem glei
chen Potential wie ein benachbarter Elektrodenfinger ver
bunden. Eine derartige Anordnung kann jedoch auf zwei oder
mehr äußerste Elektrodenfinger in der Ausbreitungsrichtung
akustischer Oberflächenwellen angewendet werden.
Fig. 5 ist eine Draufsicht eines Kantenreflexionsoberflä
chenwellenfilters gemäß einem vierten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Der Aufbau des
Kantenreflexionsoberflächenwellenfilters ist vorzugsweise
im wesentlichen der gleiche wie bei dem ersten bevorzugten
Ausführungsbeispiel, mit der Ausnahme, daß die Breite der
äußersten Elektrodenfinger 3b1y und 4a1y in der Ausbrei
tungsrichtung akustischer Oberflächenwellen jeweils auf den
Seiten der Kanten 2a und 2b größer ist, und daß der Abstand
d1 zwischen den äußersten Elektrodenfingern 3b1y und 4a1y
und benachbarten Elektrodenfingern kleiner als der Abstand
d2 zwischen anderen Elektrodenfingern ist.
Gemäß dem vierten bevorzugten Ausführungsbeispiel, bei dem
die Breite der äußersten Elektrodenfinger in der Ausbrei
tungsrichtung akustischer Oberflächenwellen jeweils auf den
Seiten der Kanten 2a und 2b größer ist, ähnlich wie bei dem
ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel, können erwünschte
Filtercharakteristika ohne ein Bewirken von Abweichungen
der Filtercharakteristika erzielt werden. Insbesondere
sind, da die äußersten Elektrodenfinger in der Ausbrei
tungsrichtung akustischer Oberflächenwellen größer sind,
die Elektrodenfinger umempfindlicher gegen eine Beschädi
gung bei dem Verfahren des Schneidens eines piezoelektri
schen Muttersubstrats, um die Kanten 2a und 2b zu bilden,
wodurch Abweichungen der Filtercharakteristika beseitigt
werden.
Ferner werden auch bei diesem bevorzugten Ausführungsbei
spiel, ähnlich wie bei dem ersten und zweiten bevorzugten
Ausführungsbeispiel, die Positionen der Kanten 2a und 2b
gemäß erwünschten Filtercharakteristika bestimmt. So blei
ben Filtercharakteristika, wie z. B. die Bandbreite, im we
sentlichen unverändert.
Bei dem ersten bis vierten bevorzugten Ausführungsbeispiel
umfassen die IDTs 3 und 4 vorzugsweise sogenannte Einzel
elektroden. Die IDTs 3 und 4 können jedoch sogenannte
Splitelektroden umfassen. Fig. 6 ist eine Draufsicht, die
eine Modifizierung des ersten bevorzugten Ausführungsbei
spiels zeigt, d. h. ein Kantenreflexionsoberflächenwellen
filter, das IDTs enthält, die Splitelektroden umfassen.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 31 sind
IDTs 33 und 34 auf einem piezoelektrischen Substrat 2 ange
ordnet. Die IDTs 33 und 34 weisen ein Paar von Kammelektro
den 33a und 33b bzw. ein Paar von Kammelektroden 34a und
34b auf. Bei den Kammelektroden 33a bis 34b ist jeder Elek
trodenfinger bei dem ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel
in zwei Elektrodensegmente unterteilt. Wie in Fig. 6 ge
zeigt ist, ist der Elektrodenfinger 3a1 in Fig. 1 z. B. in
zwei Elektrodensegmente 3a1a und 3a1b unterteilt. Ein derar
tiger Elektrodenfinger, der eine Mehrzahl von Elektroden
segmenten aufweist, wird als eine Splitelektrode bezeich
net. Gemäß der vorliegenden Erfindung können die IDTs
Splitelektroden umfassen.
Bei dem Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter 31, das in
Fig. 6 gezeigt ist, ist ähnlich wie bei dem ersten bevor
zugten Ausführungsbeispiel, der äußerste Elektrodenfinger
auf jeder Seite entfernt, wie durch gestrichelte Linien G
und H angezeigt ist.
Bei dem ersten bis vierten bevorzugten Ausführungsbeispiel
und der Modifizierung wird die vorliegende Erfindung auf
longitudinal gekoppelte Resonatorfilter angewendet, bei de
nen eine Mehrzahl von IDTs auf einem piezoelektrischen Sub
strat entlang der Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflä
chenwellen angeordnet ist. Die vorliegende Erfindung kann
jedoch auch auf Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter an
gewendet werden, die unterschiedliche Strukturen aufweisen.
Die Fig. 8 und 9 zeigen weitere Beispiele von Kantenrefle
xionsoberflächenwellenfiltern, auf die die vorliegende Er
findung angewendet werden kann.
Fig. 8 ist eine schematische Draufsicht, die die Elektro
denstruktur eines transversal gekoppelten Resonatorfilters
21 zeigt, bei dem ein erster und ein zweiter IDT 43 und 44
in einer Richtung angeordnet sind, die im wesentlichen
senkrecht zu der Ausbreitungsrichtung akustischer Oberflä
chenwellen ist. Fig. 9 ist eine schematische Draufsicht,
die die Elektrodenstruktur eines Leiterfilters 51 zeigt.
Bei dem transversal gekoppelten Resonatorfilter 41, das in
Fig. 8 gezeigt ist, und dem Leiterfilter 51, das in Fig. 9
gezeigt ist, können durch ein Verwenden von Aufbauten, die
ähnlich wie die des ersten bis dritten bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiels auf der Seite zumindest einer der Reflexi
onskanten sind, ähnlich wie bei dem ersten bis dritten be
vorzugten Ausführungsbeispiel, erwünschte Filtercharakteri
stika, wie z. B. die Bandbreite, ohne ein Bewirken einer
Abweichung der Filtercharakteristika erzielt werden.
Als nächstes wird der Aufbau eines Duplexers, der ein Kan
tenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß der vorliegenden
Erfindung umfaßt, Bezug nehmend auf Fig. 10 beschrieben.
Fig. 10 ist ein Schaltungsdiagramm des Duplexers gemäß dem
vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel. Der Duplexer
70 gemäß dem vorliegenden bevorzugten Ausführungsbeispiel
umfaßt ein Paar von Kantenreflexionsoberflächenwellenfil
tern gemäß anderen bevorzugten Ausführungsbeispielen der
vorliegenden Erfindung, die oben beschrieben wurden. Insbe
sondere sind Eingangsanschlüsse 62 und 62 der Leiterfilter
61 und 61 miteinander verbunden, um ein erstes Tor 71 zu
definieren. Ausgangsanschlüsse 63 und 63 der Leiterfilter
61 und 61 werden einzeln verwendet und definieren jeweils
ein zweites und ein drittes Tor des Duplexers 70.
Wie oben beschrieben wurde, kann der Duplexer 70 durch Ent
halten des Paars von Leiterfiltern 61 und 61 implementiert
sein.
Ferner kann eine Kommunikationsvorrichtung durch Enthalten
des Duplexers 70 implementiert sein, wobei ein Beispiel
derselben in Fig. 11 gezeigt ist.
Die Kommunikationsvorrichtung 81 gemäß dem vorliegenden be
vorzugten Ausführungsbeispiel umfaßt den Duplexer 70, eine
Sendeschaltung 82 und eine Empfangsschaltung 83. Das erste
Tor 71 des Duplexers 70 ist mit einer Antenne 84 verbunden,
wobei die Ausgangsanschlüsse 63 und 63, die ein zweites und
ein drittes Tor definieren, mit der Sendeschaltung 82 bzw.
der Empfangsschaltung 83 verbunden sind.
Bei dem Duplexer 70 ist das Paar von Leiterfiltern 61 auf
gebaut, um unterschiedliche Durchlaßbänder aufzuweisen, so
daß die Antenne 84 als eine Sendeantenne und eine Empfangs
antenne verwendet werden kann.
Claims (10)
1. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter (1), das aku
stische Oberflächenwellen vom Scher-Horizontal-Typ
verwendet, wobei das Filter folgende Merkmale auf
weist:
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei zumindest einer der Elektrodenfinger, der an ei ner äußersten Position in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, entfernt ist.
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei zumindest einer der Elektrodenfinger, der an ei ner äußersten Position in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, entfernt ist.
2. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter (11), das aku
stische Oberflächenwellen vom Scher-Horizontal-Typ
verwendet, wobei das Filter folgende Merkmale auf
weist:
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei zumindest einer der Elektrodenfinger, der an ei ner äußersten Position in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, ein Floa ting-Elektrodenfinger ist, der nicht elektrisch mit einem der anderen Elektrodenfinger verbunden ist.
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei zumindest einer der Elektrodenfinger, der an ei ner äußersten Position in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, ein Floa ting-Elektrodenfinger ist, der nicht elektrisch mit einem der anderen Elektrodenfinger verbunden ist.
3. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter (21), das aku
stische Oberflächenwellen vom Scher-Horizontal-Typ
verwendet, wobei das Filter folgende Merkmale auf
weist:
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei eine Entnahme durchgeführt ist, so daß zumindest einer der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Po sition in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, mit dem gleichen Po tential verbunden ist wie ein benachbarter der Elek trodenfinger.
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei eine Entnahme durchgeführt ist, so daß zumindest einer der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Po sition in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, mit dem gleichen Po tential verbunden ist wie ein benachbarter der Elek trodenfinger.
4. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter, das akusti
sche Oberflächenwellen vom Scher-Horizontal-Typ ver
wendet, wobei das Filter folgende Merkmale aufweist:
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei die Breite zumindest eines der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Position in der Ausbreitungs richtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, derart angeordnet ist, daß der Abstand zwischen dem zumindest einen der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Position positioniert ist, und einem der Elektrodenfinger, der benachbart zu demselben ist, kürzer ist als der Abstand zwischen anderen Elektro denfingern in dem Interdigitalwandler, zu dem der zu mindest eine der Elektrodenfinger, der an einer äußer sten Position angeordnet ist, gehört.
ein piezoelektrisches Substrat (2), das eine erste Kante (2a) und eine zweite Kante (2b) aufweist, die einander gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die erste und die zweite Kante Reflexionskanten definie ren; und
zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4), die Elek trodenfinger umfassen und auf dem piezoelektrischen Substrat (2) angeordnet sind,
wobei die Breite zumindest eines der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Position in der Ausbreitungs richtung der akustischen Oberflächenwellen auf der Seite zumindest einer der Reflexionskanten angeordnet ist, derart angeordnet ist, daß der Abstand zwischen dem zumindest einen der Elektrodenfinger, der an einer äußersten Position positioniert ist, und einem der Elektrodenfinger, der benachbart zu demselben ist, kürzer ist als der Abstand zwischen anderen Elektro denfingern in dem Interdigitalwandler, zu dem der zu mindest eine der Elektrodenfinger, der an einer äußer sten Position angeordnet ist, gehört.
5. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß einem
der Ansprüche 1 bis 4, bei dem die Elektrodenfinger
der zumindest zwei Interdigitalwandler (3, 4) Split
elektroden umfassen.
6. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß einem
der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Filter ein longitu
dinal gekoppeltes Resonatorfilter ist.
7. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß einem
der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Filter ein trans
versal gekoppeltes Resonatorfilter ist.
8. Kantenreflexionsoberflächenwellenfilter gemäß einem
der Ansprüche 1 bis 5, bei dem das Filter ein Leiter
filter ist.
9. Duplexer (70), der ein Kantenreflexionsoberflächenwel
lenfilter gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8 aufweist.
10. Kommunikationsvorrichtung (81), die einen Duplexer ge
mäß Anspruch 9 aufweist.
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