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Die vorliegende Erfindung betrifft eine Ejektorvorrichtung zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils, aufweisend eine Ejektorkappe mit einer Folienkontaktfläche zum anliegenden Kontaktieren einer bauteilabgewandten Oberfläche der Haltefolie, wobei ferner die Ejektorkappe in der Folienkontaktfläche eine Ejektoröffnung, in der zumindest eine Ejektornadel zum Ablösen des Bauteils von der Haltefolie translatorisch gelagert ist, sowie zumindest eine Vakuumöffnung eines Vakuumabschnitts zum Erzeugen eines Unterdrucks zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche aufweist. Ferner betrifft die vorliegende Erfindung ein Verfahren zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils durch eine Ejektorvorrichtung, die Ejektorvorrichtung aufweisend eine Ejektorkappe mit einer Folienkontaktfläche, wobei eine bauteilabgewandte Oberfläche der Haltefolie durch die Folienkontaktfläche anliegend kontaktiert wird, wobei ferner die Ejektorkappe in der Folienkontaktfläche eine Ejektoröffnung, in der zumindest eine Ejektornadel zum Ablösen des Bauteils von der Haltefolie translatorisch gelagert ist, sowie zumindest eine Vakuumöffnung eines Vakuumabschnitts aufweist, wobei durch den Vakuumabschnitt über die Vakuumöffnung ein Unterdruck zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche erzeugt wird zum Fixieren der Haltefolie an der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe.
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In der modernen Technik ist es grundsätzlich bekannt, Ejektorvorrichtungen zum Ablösen bzw. zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten insbesondere Bauteils einzusetzen. So werden beispielsweise fertig prozessierte Wafer, die eine Vielzahl von Bauteilen aufweisen, auf einer einseitig beschichteten selbstklebenden Folie mit einer bevorzugt definierten Klebekraft fixiert und anschließend entlang von Sägestraßen auseinandergesägt. Diese einzelnen Bauteile, beispielsweise Dies, werden dann im Folgenden durch einen Abpickvorgang oder Ablösevorgang vereinzelt. Durch bekannte Ejektorvorrichtungen kann dies dadurch unterstützt werden, dass eine Ejektorkappe der Ejektorvorrichtung von unten an einer bauteilabgewandten Seite der Folie anliegt und dort über eine Erzeugung eines Vakuums bzw. eines Unterdrucks eine Fixierung erzeugt. Über eine Ejektornadel, die von unten gegen die Folie drückt, kann das elektrische Bauteil von der Folie abgelöst werden und im Folgenden beispielsweise durch eine Bauteilpipette von der Folie entfernt und für eine Weiterverarbeitung bereitgestellt werden. Manche Ejektornadeln sind spitz und stechen durch die Folie durch, andere sind stumpf und wölben die Folie.
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Bei bekannten Ejektorvorrichtungen ist es ferner zumeist nötig, das erzeugte Vakuum für ein sauberes und störungsfreies Versetzen der Ejektorkappe zum nächsten abzulösenden Bauteil abzuschalten. Ein Versetzen der Ejektorkappe bei eingeschaltetem Vakuum würde oftmals zu einer zu großen Reibung zwischen der Ejektorkappe und der Folie und dadurch zu einer Beschädigung oder zumindest einem Verspannen der Folie, wodurch diese sich verzieht und die Bauteile an der falschen Position liegen, und schlimmstenfalls zu einer Beschädigung auch der darauf angeordneten Bauteile führen. Bei Folien, auf der eine Vielzahl von Bauteilen angeordneten sind, kann dies dazu führen, dass das Vakuum in der Ejektorvorrichtung entsprechend oft an- und ausgeschaltet werden muss. Eine Zeit zum Auf- und Abbau des jeweiligen Vakuums kann jedoch bis zu über 120 ms benötigen. Das Ablösen der Bauteile wird oftmals erheblich verlangsamt. Das Abschalten des Vakuums steigert den Luftverbrauch zwar erst mal nicht. Wenn das Vakuum jedoch überblasen wird, steigt der Luftverbrauch.
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Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, die oben beschriebenen Nachteile im Stand der Technik zumindest teilweise zu beheben. Insbesondere ist es Aufgabe der Erfindung, eine Ejektorvorrichtung sowie ein Verfahren zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils bereitzustellen, die in besonders einfacher und kostengünstiger Art und Weise den Ablöseprozess eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils verbessern, wobei insbesondere eine Geschwindigkeit, mit der Ablösevorgänge von Bauteilen aufeinanderfolgen, erhöht und der Ablöseprozess sicherer und reproduzierbarer gestaltet werden kann. Der Luftverbrauch wird verringert im Vergleich zum Abbau des Vakuums durch Überblasen. Er wird aber erhöht im Vergleich zum normalen Abschalten des Vakuums mit einem Ventil.
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Die voranstehende Aufgabe wird durch die Patentansprüche gelöst. Insbesondere wird die Aufgabe gelöst durch eine Ejektorvorrichtung zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 1. Ferner wird die Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils durch eine Ejektorvorrichtung mit den Merkmalen des unabhängigen Anspruchs 6. Weitere Vorteile und Details der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen, der Beschreibung und den Zeichnungen. Dabei gelten Merkmale, die im Zusammenhang mit der erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung beschrieben sind, selbstverständlich auch im Zusammenhang mit dem erfindungsgemäßen Verfahren und jeweils umgekehrt, sodass bezüglich der Offenbarung zu den einzelnen Erfindungsaspekten stets wechselseitig Bezug genommen wird bzw. werden kann.
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Gemäß einem ersten Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe gelöst durch eine Ejektorvorrichtung zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten, beispielsweise elektrischen oder mechanischen, Bauteils, aufweisend eine Ejektorkappe mit einer Folienkontaktfläche zum anliegenden Kontaktieren einer bauteilabgewandten Oberfläche der Haltefolie, wobei ferner die Ejektorkappe in der Folienkontaktfläche wenigstens eine Ejektoröffnung, in der zumindest eine Ejektornadel zum Ablösen des Bauteils von der Haltefolie translatorisch gelagert ist, sowie zumindest eine Vakuumöffnung eines Vakuumabschnitts zum Erzeugen eines Unterdrucks zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche aufweist. Eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung ist dadurch gekennzeichnet, dass die Ejektorkappe in der Folienkontaktfläche zumindest eine Druckluftöffnung eines Druckluftabschnitts zum Einbringen von Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche aufweist.
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Eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung kann bei der Bereitstellung von Bauteilen, beispielsweise Dies, eingesetzt werden, um ein Ablösen eines derartigen Bauteils von einer Haltefolie zumindest zu unterstützen. Für diesen Zweck weist eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung eine Ejektorkappe auf, deren Folienkontaktfläche an einer bauteilabgewandten Oberfläche der Haltefolie anliegend kontaktierend angeordnet werden kann. Durch eine Vakuumöffnung, die mit einem Vakuumabschnitt der Ejektorvorrichtung verbunden ist, kann ein Vakuum bzw. zumindest ein Unterdruck erzeugt werden, wodurch die Haltefolie mit einer bevorzugt definierten Haltespannung an der Ejektorkappe gehalten ist. Ein, insbesondere zentral angeordnetes, Element der erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung ist eine Ejektoröffnung, in der eine Ejektornadel translatorisch gelagert ist. Zum Ablösen des auf der Haltefolie angeordneten Bauteils wird die Ejektornadel translatorisch In Richtung der Haltefolie und des darauf angeordneten Bauteils bewegt und insbesondere über die Folienkontaktfläche hinausgeschoben, wodurch die Ejektornadel zumindest von unten an die Haltefolie drückt, oftmals auch die Haltefolie durchdringt und das Bauteil direkt kontaktiert, und auf diese Weise auf der anderen Seite der Haltefolie ein Ablösen des Bauteils bereitstellt oder zumindest unterstützt. Das elektrische Bauteil kann daraufhin folgend von einer weiteren Vorrichtung, beispielsweise einer Bauteilpipette, aufgenommen und einer weiteren Verwendung zugeführt werden.
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Eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung ist dahingehend verbessert, dass ein Versetzen der Ejektorvorrichtung relativ zur Haltefolie, insbesondere von einer ersten Bauteilposition zu einer zweiten Bauteilposition, vereinfacht wird. Für diesen Zweck weist eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung zumindest eine Druckluftöffnung auf, die mit einem Druckluftabschnitt der Ejektorkappe bzw. der Ejektorvorrichtung fluidkommunizierend verbunden ist. Die Druckluftöffnung ist ebenfalls in der Folienkontaktfläche angeordnet. Auf diese Weise ist es möglich, über die Druckluftöffnung Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche einzubringen. Mit anderen Worten kann über die Druckluftöffnung, gespeist durch den Druckluftabschnitt, ein zumindest ansatzweise vorhandenes Luftpolster zwischen der Ejektorkappe bzw. der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe und der Haltefolie erzeugt werden. Ein Versetzen der Ejektorkappe von einer ersten Bauteilposition zur nächsten Bauteilposition kann auf diese Weise mit deutlich verminderter Reibung zwischen der Ejektorkappe und der Haltefolie durchgeführt werden. Durch diese zusätzlich zur Vakuumöffnung vorhandene zumindest eine Druckluftöffnung kann dies insbesondere bereitgestellt werden, ohne bei jedem Versetzen der Ejektorkappe das durch den Vakuumabschnitt bereitgestellte Vakuum vollständig aufzulösen und an der zweiten Bauteilposition wieder aufzubauen. Eine deutliche Einsparung der eingesetzten Luftmenge und insbesondere eine Geschwindigkeitssteigerung bei der Durchführung des Ablösens von einer Vielzahl von auf der Haltefolie angeordneten Bauteilen kann auf diese Weise bereitgestellt werden.
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Ferner kann bei einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung vorgesehen sein, dass die zumindest eine Druckluftöffnung in der Folienkontaktfläche zwischen der Ejektoröffnung und der zumindest einen Vakuumöffnung angeordnet ist. In dieser ersten möglichen Ausgestaltungsform kann somit durch die zumindest eine Druckluftöffnung Luft derart zwischen die Folienkontaktfläche und die Haltefolie eingebracht werden, dass zumindest um die Ejektoröffnung herum die Haltefolie zumindest teilweise, bevorzugt vollständig, von der Folienkontaktfläche abgehoben ist. Der Bereich um die Ejektoröffnung kann auf diese Weise somit besonders einfach und sicher und insbesondere reibungsfrei bzw. zumindest reibungsarm zwischen den Bauteilpositionen bewegt werden.
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Alternativ oder zusätzlich kann bei einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung vorgesehen sein, dass die zumindest eine Vakuumöffnung in der Folienkontaktfläche zwischen der Ejektoröffnung und der zumindest einen Druckluftöffnung angeordnet ist. In dieser Ausgestaltungsform ist die zumindest eine Druckluftöffnung derart in der Folienkontaktfläche angeordnet, dass sie, von der Ejektoröffnung aus gesehen, weiter entfernt von dieser angeordnet ist als die zumindest eine Vakuumöffnung. Mit anderen Worten kann die Druckluftöffnung bevorzugt an einem oder zumindest nahe einem äußeren Rand der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe angeordnet sein. In dieser Ausgestaltungsform kann somit besonders einfach und sicher der äußere Rand der Ejektorkappe, der zumeist flächenmäßig größer ist als der zentrale Bereich um die Ejektoröffnung, besonders einfach mit einem reibungsreduzierenden Luftpolster versorgt werden. Auch diese Ausgestaltungsform hat sich hinsichtlich einer Bereitstellung eines Luftpolsters zwischen der Folienkontaktfläche und der Haltefolie als vorteilhaft herausgestellt.
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Besonders bevorzugt können auch mehrere Druckluftöffnungen in der Folienkontaktfläche vorhanden sein, die besonders bevorzugt derart angeordnet sind, dass sie sich in Bezug auf die Ejektoröffnung sowohl zwischen der Ejektoröffnung und einer Vakuumöffnung befinden, wobei gleichzeitig außerhalb der Vakuumöffnung weitere Druckluftöffnungen vorhanden sein können. Ein besonders großflächiges und insbesondere vollständiges Bereitstellen eines Luftpolsters zwischen der gesamten oder zumindest im Wesentlichen gesamten Folienkontaktfläche und der Haltefolie kann auf diese Weise ermöglicht werden.
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Besonders bevorzugt kann ferner bei einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung vorgesehen sein, dass die zumindest eine Druckluftöffnung und/oder die zumindest eine Vakuumöffnung in der Folienkontaktfläche kreisförmig um die Ejektoröffnung angeordnet ist. Besonders bevorzugt kann vorgesehen sein, dass sowohl die Druckluftöffnung als auch die Vakuumöffnung kreisförmig um die Ejektoröffnung angeordnet sind, insbesondere konzentrisch kreisförmig um die Ejektoröffnung angeordnet sind. Ein besonders gleichmäßiges Bereitstellen sowohl des durch die Vakuumöffnungen erzeugten Vakuums bzw. Unterdrucks als auch das durch die Druckluftöffnungen bereitgestellte Luftpolster kann auf diese Weise ermöglicht werden.
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Darüber hinaus kann bei der erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung vorgesehen sein, dass die Folienkontaktfläche eine Verbindungsnut zum fluidkommunizierenden Verbinden der zumindest einen Druckluftöffnung und/oder der zumindest einen Vakuumöffnung und/oder der Ejektoröffnung aufweist. Eine derartige Verbindungsnut kann somit mit anderen Worten ein Strömen von Luft zwischen Öffnungen in der Folienkontaktfläche, insbesondere der Ejektoröffnung und/oder der zumindest einen Druckluftöffnung und/oder der zumindest einen Vakuumöffnung bereitstellen. Auf diese Weise kann zum einen ein besonders schnelles Bereitstellen des Luftpolsters durch die Druckluftöffnung als auch ein darauf folgendes besonders schnelles Wiederabpumpen der bereitgestellten Luft durch die Vakuumöffnung zum Erzeugen des Vakuums bzw. des Unterdrucks bereitgestellt werden. Eine Bildung von Lufttaschen, in der sich Luft anzusammeln kann, und dass ein insbesondere anliegendes Kontaktieren Folienkontaktfläche und der bauteilabgewandten Oberfläche der Haltefolie behindert werden kann, kann auf diese Weise vermieden werden.
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Gemäß einem zweiten Aspekt der Erfindung wird die Aufgabe gelöst durch ein Verfahren zum Unterstützen eines Ablösens eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils, beispielsweise eines elektrischen oder mechanischen Bauteils, durch eine Ejektorvorrichtung, die Ejektorvorrichtung aufweisend eine Ejektorkappe mit einer Folienkontaktfläche, wobei eine bauteilabgewandte Oberfläche der Haltefolie durch die Folienkontaktfläche anliegend kontaktiert wird, wobei ferner die Ejektorkappe in der Folienkontaktfläche eine Ejektoröffnung, in der zumindest eine Ejektornadel zum Ablösen des Bauteils von der Haltefolie translatorisch gelagert ist, sowie zumindest eine Vakuumöffnung eines Vakuumabschnitts aufweist, wobei durch den Vakuumabschnitt über die Vakuumöffnung ein Unterdruck zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche erzeugt wird zum Fixieren der Haltefolie an der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe. Ein erfindungsgemäßes Verfahren ist durch folgende Schritte gekennzeichnet:
- a) Einbringen von Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche,
- b) Versetzen der Ejektorkappe relativ zur Haltefolie an die Position eines auf der Haltefolie angeordneten Bauteils,
- c) Unterstützen des Ablösens des Bauteils durch translatorisches Ausfahren der Ejektornadel durch die Haltefolie.
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Durch ein erfindungsgemäßes Verfahren kann ein Ablösen eines auf einer Haltefolie angeordneten Bauteils zumindest unterstützt werden. Dieses Ablösen wird zumindest teilweise durch eine Ejektorvorrichtung durchgeführt, die insbesondere eine Ejektorkappe mit einer Folienkontaktfläche zum anliegenden Kontaktieren einer bauteilabgewandten Oberfläche der Haltefolie aufweist. Durch eine Ejektoröffnung in der Folienkontaktfläche kann eine Ejektornadel der Ejektorvorrichtung translatorisch ausgefahren werden, um von unten durch die Folie das Ablösen des Bauteils zumindest zu unterstützen. Durch die Folie im Sinne der Erfindung kann insbesondere bedeuten, dass die Folie durch die Ejektornadel durchstoßen wird, wobei auch ein in Bezug auf die Haltefolie nicht zerstörerisches Einwirken der Ejektornadel durch die Haltefolie auf das Bauteil erfindungsgemäß umfasst ist. Durch einen Vakuumabschnitt und dessen Vakuumöffnung wird ein Unterdruck erzeugt, damit ein Fixieren der Haltefolie mit einem insbesondere definierbaren Fixierungsdruck bereitgestellt werden kann.
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In einem ersten Schritt a) wird bei dem erfindungsgemäßen Verfahren nun Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche eingebracht. Dies kann bevorzugt durch die Ejektorkappe selbst, insbesondere beispielsweise durch spezielle Druckluftöffnungen in der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe, bereitgestellt werden. Auf diese Weise kann insbesondere bereitgestellt werden, dass sich zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche ein Luftpolster bildet, wodurch eine Reibung zwischen der Folienkontaktfläche und der Haltefolie deutlich reduziert werden kann. Insbesondere ist ab dem Moment, im dem die Ejektorkappe gegen die Folie gedrückt wird, bis nach dem Ablösen das letzten Dies ein dauerhaften Luftlager zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche vorhanden. Dies ermöglicht im nächsten Schritt b) ein Versetzen der Ejektorkappe relativ zur Haltefolie an die Position eines auf der Haltefolie angeordneten nächsten Bauteils, ohne dass eine Beschädigung der Haltefolie durch eine zu hohe Reibung zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe befürchtet werden muss. Im abschließenden Schritt c) wird das Ablösen eines Bauteils an der nun erreichten Position des Bauteils dadurch unterstützt, dass die Ejektornadel durch die Haltefolie ausgefahren wird und auf diese Weise das elektrische Bauteil zumindest ansatzweise von der Haltefolie abgelöst wird. Über weitere externe Vorrichtungen, beispielsweise eine Bauteilpipette, kann das elektrische Bauteil aufgenommen und für eine Weiterverarbeitung zugeführt werden.
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Zusammenfassend kann somit durch ein erfindungsgemäßes Verfahren insbesondere das Versetzen der Ejektorkappe zwischen den Positionen der Bauteile auf der Haltefolie, im Sinne der Erfindung auch mit Bauteilpositionen bezeichnet, verbessert werden. Durch das Einbringen von Luft und das dadurch bereitgestellte Erzeugen von Luftpolstern zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche kann eine reibungsreduzierende Luftlagerung bereitgestellt werden, wodurch das Versetzen der Ejektorkappe schneller und insbesondere auch unter geringerem Luftverbrauch hinsichtlich der Vakuumerzeugung bereitgestellt werden kann.
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Besonders bevorzugt kann beim erfindungsgemäßen Verfahren vorgesehen sein, dass das Verfahren unter Verwendung einer Ejektorvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung durchgeführt wird. Sämtliche Vorteile, die ausführlich in Bezug auf eine Ejektorvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung beschrieben worden sind, können somit auch durch ein Verfahren gemäß dem zweiten Aspekt der Erfindung bereitgestellt werden, das durch eine Ejektorvorrichtung gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung durchgeführt wird.
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Darüber hinaus kann beim erfindungsgemäßen Verfahren vorgesehen sein, dass das Einbringen von Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche auch in Schritt b) durchgeführt wird, wobei bevorzugt nach Schritt b) das Einbringen von Luft beendet wird. Auf diese Weise kann sichergestellt werden, dass beim eigentlichen Versetzen der Ejektorkappe im Schritt b) das Luftpolster, das durch das Einbringen von Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche in Schritt a) erzeugt wird, auch während des gesamten Versetzungsvorgangs erhalten bleibt. Ein bevorzugtes Beenden des Einbringens von Luft nach Abschluss des Schritts b) und damit nach Erreichen der Ejektorkappe an der neuen Position hat sich dahingehend als vorteilhaft herausgestellt, dass dann das erneute Bereitstellen des Vakuums und damit das sichere Fixieren der Haltefolie an der Folienkontaktfläche der Ejektorkappe besonders einfach, sicher und schnell bereitgestellt werden.
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Darüber hinaus kann ein erfindungsgemäßes Verfahren dahingehend ausgebildet sein, dass vor Schritt a), insbesondere während Schritt a), bevorzugt auch während Schritt b), das Erzeugen eines Unterdrucks durch den Vakuumabschnitt unterbrochen und nach Beendigung des Schritts b) wieder aufgenommen wird. Eine Unterbrechung im Sinne der Erfindung kann insbesondere bedeuten, dass ein Ventil im Vakuumabschnitt geschlossen und/oder eine Vakuumpumpe abgeschaltet wird. Ein zu schnelles Zusammenbrechen der Luftpolster zwischen der Haltefolie und der Folienkontaktfläche kann auf diese Weise vermieden werden. Ein besonders einfaches Sicherstellen einer reibungsreduzierenden Luftlagerung der Ejektorkappe an der Haltefolie während des gesamten Versetzungsvorgangs kann auch auf diese Weise weiter sichergestellt werden.
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Besonders bevorzugt kann beim erfindungsgemäßen Verfahren ferner vorgesehen sein, dass in Schritt a) weniger Luft zwischen die Haltefolie und die Folienkontaktfläche eingebracht wird, als durch den Vakuumabschnitt über die zumindest eine Vakuumöffnung abgeführt wird. Mit anderen Worten ist bevorzugt die durch die Druckluftöffnung eingebrachte Menge an Luft auf die durch die durch die Vakuumöffnung abführbare Menge an Luft abgestimmt ausgebildet. Ein Zuführen von einer zu großen Menge an Luft, wodurch sich beispielsweise die Haltefolie aufblähen könnte, kann auf diese Weise sicher vermieden werden.
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Anhand der beigefügten Zeichnungen wird die Erfindung nachfolgend näher erläutert. Sämtliche aus den Ansprüchen, der Beschreibung oder den Figuren hervorgehenden Merkmale, einschließlich konstruktiver Einzelheiten und räumlicher Anordnungen, können sowohl für sich als auch in beliebigen verschiedenen Kombinationen erfindungswesentlich sein. Elemente mit gleicher Funktion und/oder Wirkungsweise sind in den 1, 2 und 3 jeweils mit denselben Bezugszeichen versehen.
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Es zeigen schematisch:
- 1 ein erfindungsgemäßes Verfahren,
- 2 eine Schnittansicht einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung, und
- 3 eine Aufsicht auf eine Folienkontaktfläche einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung.
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In 1 ist ein erfindungsgemäßes Verfahren gezeigt, wie es durch eine beispielhaft in 2 gezeigte erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung 1 durchgeführt werden kann. Die Verfahrensschritte a) bis c) sind in 1 mit Großbuchstaben versehen. Die 1 und 2 werden im Folgenden gemeinsam beschrieben, wobei auf die Einzelheiten der einzelnen Figuren gesondert eingegangen wird.
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2 zeigt eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung 1 in einer Schnittansicht. Insbesondere ist die Ejektorkappe 10 abgebildet. An einer Folienkontaktfläche 20 ist eine Haltefolie 30 derart angeordnet, dass eine bauteilabgewandte Oberfläche 31 der Haltefolie 30 der Folienkontaktfläche 20 der Ejektorkappe 10 zugewandt ist. Auf der Haltefolie 30, abgewandt von der Ejektorkappe 10, sind wiederum Bauteile 40 angeordnet, die durch eine erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung 1 von der Haltefolie 30 abgelöst werden können. Für diesen Zweck weist die erfindungsgemäße Ejektorvorrichtung 1 bzw. deren Ejektorkappe 10 insbesondere einen Vakuumabschnitt 11 auf, dessen Vakuumöffnungen 22 in der Folienkontaktfläche 20 angeordnet sind. Auf diese Weise kann ein Vakuum oder zumindest ein definierter Unterdruck, insbesondere durch das Absaugen von Luft 50, erzeugt werden, um die Haltefolie 30 mit einer definierten Haltekraft an der Folienkontaktfläche 20 der Ejektorkappe 10 anzuordnen und zu halten. Eine Ejektornadel 13 ist in einer Ejektoröffnung 21 in der Folienkontaktfläche 20 translatorisch gelagert, wodurch die Ejektornadel 13 von unten die Bauteile 40 durch die Haltefolie 30 kontaktieren und insbesondere ablösen kann.
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Wie dargestellt, kann auf der Haltefolie 30 eine Vielzahl von Bauteilen 40 angeordnet sein. Diese Bauteile können insbesondere mit einer definierten Klebekraft auf der Haltefolie 30 aufgeklebt sein. Für ein Ablösen jedes einzelne dieser Bauteile 40 muss die Ejektorkappe 10 der erfindungsgemäßen Ejektorkappe 1 jeweils entsprechend relativ zur Haltefolie 30 versetzt werden. Für diesen Zweck wird in einem ersten Schritt a), in 1 mit A bezeichnet, Luft 50 zwischen die Haltefolie 30 und die Folienkontaktfläche 20 eingebracht. Für diesen Zweck weist die erfindungsgemäße Ejektorkappe 10 in der Folienkontaktfläche 20 mehrere Druckluftöffnungen 23 eines Druckluftabschnitts 12 auf. Diese Druckluftöffnungen 23 können sowohl zwischen der Vakuumöffnung 22 und der Ejektoröffnung 21 als auch in Bezug auf die Ejektoröffnung 21 außerhalb der Vakuumöffnungen 22 angeordnet sein. Ein besonders gleichmäßiges und umfassendes Luftpolster zwischen der Folienkontaktfläche 20 und der Haltefolie 30 kann auf diese Weise bereitgestellt werden. Das Luftpolster zwischen der Folienkontaktfläche 20 und der Haltefolie 30 ermöglicht im nächsten Schritt b), in 1 mit B bezeichnet, ein zumindest im Wesentlichen reibungsfreies oder zumindest reibungsarmes Versetzen der Ejektorkappe 10 zur Position des nächsten Bauteils 40. Bevorzugt kann das Einbringen von Luft 50 auch während des gesamten Versetzungsvorgangs in Schritt b) aufrechterhalten bleiben. Um ein zu frühes Absaugen der Luft 50 durch die Vakuumöffnung 22 zu vermeiden, kann während des Versetzens in Schritt a) und bevorzugt auch in Schritt b) eines erfindungsgemäßen Verfahrens das Erzeugen des Vakuums über ein Absaugen von Luft durch die Vakuumöffnungen 22 unterbrochen sein. Insgesamt kann besonders bevorzugt vorgesehen sein, dass die durch die Druckluftöffnungen 23 bereitgestellt Luft 50 auf eine Menge von Luft 50 abgestimmt ist, die durch die Vakuumöffnung 22 abgesagt werden kann. Im letzten Schritt c) eines erfindungsgemäßen Verfahrens wird die Ejektornadel 13 translatorisch durch die Haltefolie 30 ausgefahren, um ein Ablösen des Bauteils 40 vorzunehmen oder zumindest zu unterstützen.
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Zusammenfassend kann insbesondere durch das Ermöglichen eines Bereitstellens eines Luftpolsters zwischen der Folienkontaktfläche 20 und der Haltefolie 30 ein Versetzen der Ejektorkappe 10 zwischen den Positionen der Bauteile 40 auf der Haltefolie 30 reibungsfrei oder zumindest reibungsarm bereitgestellt werden. Eine Geschwindigkeit beim Ablösen der Bauteile 40 von der Haltefolie 30 kann auf diese Weise gesteigert werden. Auch ein Luftverbrauch, insbesondere hinsichtlich der durch den Vakuumabschnitt 11 abzusaugenden Luft 50, kann auf diese Weise ebenfalls vermindert werden.
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In 3 ist eine Aufsicht auf eine bevorzugte Ausgestaltungsform einer Ejektorkappe 10 einer erfindungsgemäßen Ejektorvorrichtung 1 gezeigt, wobei insbesondere die Folienkontaktfläche 20 sichtbar ist. Zentral ist die Ejektoröffnung 21 angeordnet. Um die Ejektoröffnung 21 sind konzentrisch und kreisförmig zuerst eine Druckluftöffnung 23, folgend eine Vakuumöffnung 22 und wiederum folgend eine erneute Druckluftöffnung 23 angeordnet. Insbesondere durch die kreisförmige Anordnung und die Anordnung der Druckluftöffnungen 23 sowohl innerhalb als auch außerhalb der Vakuumöffnung 22 in Bezug auf die Ejektoröffnung 21 kann ein besonders gleichmäßiges und umfassendes Luftpolster zwischen der Folienkontaktfläche 20 und der Haltefolie 30 (nicht mit abgebildet) bereitgestellt werden. Ein besonders guter Austausch von Luft 50 (nicht mit abgebildet) zwischen sowohl der Ejektoröffnung 21 als auch der Vakuumöffnung 22 und insbesondere der Druckluftöffnung 23 kann durch eine Verbindungsnut 24 bereitgestellt werden, die sich zwischen den genannten Öffnungen 21, 22, 23 erstreckt.
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Bezugszeichenliste
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- 1
- Ejektorvorrichtung
- 10
- Ejektorkappe
- 11
- Vakuumabschnitt
- 12
- Druckluftabschnitt
- 13
- Ejektornadel
- 20
- Folienkontaktfläche
- 21
- Ejektoröffnung
- 22
- Vakuumöffnung
- 23
- Druckluftöffnung
- 24
- Verbindungsnut
- 30
- Haltefolie
- 31
- Oberfläche
- 40
- Bauteil
- 50
- Luft
