DE102011075921A1 - Leistungshalbleitermodul und Leistungshalbleitermodulsystem - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft Leistungshalbleitermodule. Ein Leistungshalbleitermodul (100) weist ein elektrisch leitendes Anschlusselement (11a) auf, sowie einen Aufnahmebereich (80), ein Klemmelement (81), das von einer ersten Position in eine zweite Position gebracht werden kann. Sofern sich das Klemmelement (81) in der ersten Position befindet, kann ein Anschlussbereich (201) eines modulexternen Anschlussleiters (200) in den Aufnahmebereich (80) eingeführt und unter Ausbildung einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen dem Anschlussbereich (201) und dem Anschlusselement (11a) mit dem Leistungshalbleitermodul (100) verklemmt werden. Hierzu wird das Klemmelement (81) von der ersten Position in die zweite Position gebracht.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft Leistungshalbleitermodule. Leistungshalbleitermodule, die mit hohen Strömen versorgt werden und/oder die hohe Ausgangsströme bereitstellen, werden üblicherweise mit Hilfe niederohmiger Anschlussleiter an eine Spannungsversorgung oder eine Last angeschlossen. Hierzu werden die Anschlussleiter mit entsprechenden Anschlusselementen des Leistungshalbleitermoduls verschraubt.
- Die Verschraubung wird häufig dadurch realisiert, dass ein von der Modulaußenseite zugängliches Ende des Anschlusselements parallel zur Gehäusewand geführt und in diesem Bereich mit einer Bohrung versehen ist. Diese Bohrung ist unterhalb des Anschlusselements mit einer Schraubenmutter hinterlegt, die in eine Vertiefung des Gehäuses eingesetzt ist. Die entsprechenden Anschlüsse des Anschlussleiters sind ebenfalls durchbohrt und werden mittels einer Schraube mit dem Anschlusselement des Moduls verschraubt, indem die Schraube in die Schraubenmutter eingedreht wird. Zur Montage muss also zunächst eine Schraubenmutter in eine Vertiefung am Gehäuse eingesetzt und das mit der Bohrung versehene Ende des Anschlusselements über die eingesetzte Schraubenmutter hinweg gebogen werden. Dann muss die Bohrung des Anschlussleiters passgenau über der Bohrung des Anschlusselements positioniert, eine Schraube durch die beiden Bohrungen hindurchgeführt und mit der Schraubenmutter verschraubt werden. Eventuell kann es auch noch erforderlich sein, eine Unterlegscheibe anzubringen, um die Kraft von der Schraube gleichmäßig auf den Anschlussleiter zu übertragen. Aufgrund der vielen Bearbeitungsschritte ist die Montage des Anschlussleiters an dem Leistungshalbleitermodul sehr aufwendig und damit kostenintensiv.
- Außerdem besteht im Bereich der Verschraubung nur eine kleine Kontaktzone zwischen dem Anschlussleiter und dem Anschlusselement, weshalb die Verschraubungsstelle den Strom über das Anschlusselement und den Anschlussleiter begrenzt. Dasselbe gilt entsprechend auch für die Wärmeleitung, da die in einem Leistungshalbleitermodul anfallende Betriebswärme bis zu einem gewissen Grad auch über dessen Anschlusselemente und die daran angeschlossenen Anschlussleiter abgeführt wird.
- Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein verbessertes Leistungshalbleitermodul sowie ein Leistungshalbleitermodulsystem mit einem verbesserten Leistungshalbleitermodul bereitzustellen. Diese Aufgabe wir durch ein Leistungshalbleitermodul gemäß Patentanspruch 1 bzw. durch ein Leistungshalbleitermodulsystem gemäß Patentanspruch 15 gelöst. Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung sind Gegenstand von Unteransprüchen.
- Ein Leistungshalbleitermodul gemäß der vorliegenden Erfindung weist einen Leistungshalbleiterchip auf, ein elektrisch leitendes Anschlusselement, einen Aufnahmebereich, sowie ein Klemmelement, das von einer ersten Position in eine zweite Position gebracht werden kann. Wenn sich das Klemmelement in seiner ersten Position befindet, kann ein Anschlussbereich eines modulexternen Anschlussleiters in den Aufnahmebereich eingeführt werden. Wenn dann das Klemmelement von einer seiner ersten Position in die zweite Position gebracht wird, wird der Anschlussbereich unter Ausbildung einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen dem Anschlussbereich und dem Anschlusselement mit dem Leistungshalbleitermodul verklemmt. Aufgrund dieser Klemmtechnik kann auf eine Durchbohrung des Anschlussleiters und des Anschlussbereichs verzichtet werden, so dass auch die Bereiche, die bei herkömmlichen Leistungshalbleitermodulen und modulexternen Anschlussleitern mit einer Bohrung versehen sind, zu elektrischen und thermischen Kontaktierung zwischen dem Anschlusselement und dem Anschlussbereich zur Verfügung stehen.
- Vorsorglich wird darauf hingewiesen, dass der Anschlussleiter mit seinem Aufnahmebereich keinen Bestandteil des Leistungshalbleitermoduls darstellt. Ein solches Leistungshalbleitermodul bildet zusammen mit einem modulexternen Anschlussleiter ein Leistungshalbleitermodulsystem.
- Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die beigefügten Figuren anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Sofern nicht anders erwähnt, bezeichnen in den Figuren gleiche Bezugszeichen gleiche oder ähnliche Elemente mit gleicher oder ähnlicher Funktion. Es zeigt
-
1A einen Vertikalschnitt durch ein Leistungshalbleitermodul mit einer massiven Bodenplatte. -
1B einen Vertikalschnitt durch einen Abschnitt eines Leistungshalbleitermoduls, dessen Bodenplatte durch ein metallisiertes keramisches Trägersubstrat gebildet ist. -
2 eine perspektivische Schnittansicht eines Abschnitts eines Leistungshalbleitermoduls mit einer Klemmvorrichtung zum Anschluss eines modulexternen Anschlussleiters. -
3 eine perspektivische Ansicht eines Abschnitts eines modulexternen Anschlussleiters, der für den elektrischen Anschluss eines Leistungshalbleitermoduls verwendet werden kann. -
4 den Abschnitt des Leistungshalbleitermoduls gemäß2 mit angeschlossenem modulexternen Anschlussleiter gemäß3 . -
5 eine perspektivische Ansicht des fest mit dem Leistungshalbleitermodul verklemmten modulexternen Anschlussleiters. -
6 einen Vertikalschnitt durch eine Klemmvorrichtung eines Leistungshalbleitermoduls, in die ein Anschlussbereich eines modulexternen Anschlussleiters eingesetzt ist, vor dem Verklemmen. -
7 die Anordnung gemäß6 während des Verklemmens. -
8 die Anordnung gemäß den6 und7 nach dem Verklemmen. -
9 eine Anordnung entsprechend6 mit dem Unterschied, dass die Klemmvorrichtung selbsthemmend ist. -
10 die Anordnung gemäß9 während des Verklemmens. -
11 die Anordnung gemäß9 und10 nach dem Verklemmen. -
12 eine perspektivische Ansicht einer Klemmbacke, wie sie bei den Klemmvorrichtungen eines Leistungshalbleitermoduls gemäß der vorliegenden Erfindung verwendet werden kann. -
13 die Klemmbacke gemäß12 , in die ein Klemmkeil, ein Gegenkeil sowie ein Anschlusselement eingesetzt sind. - Anhand der
1A und1B werden zunächst beispielhaft zwei Grundtypen von Leistungshalbleitermodulen100 erläutert. Der innere Aufbau der Leistungshalbleitermodule100 kann jedoch davon abweichend gewählt und an eine mit dem Leistungshalbleitermodul100 zu realisierende Schaltung angepasst werden. -
1A zeigt einen Vertikalschnitt durch einen Leistungshalbleitermodul100 . Das Leistungshalbleitermodul100 umfasst mindestens einen Leistungshalbleiterchip6 , von denen jeder auf einem Schaltungsträger5 angeordnet ist. Dabei können auf einem Schaltungsträger5 ein oder mehrere Leistungshalbleiterchips6 verbaut sein. Bei einem Leistungshalbleiterchip kann es sich beispielsweise um einen steuerbaren Leistungshalbleiterschalter wie z. B. einen MOSFET, einen IGBT, einen J-FET oder einen Thyristor handeln, oder um eine Diode. Grundsätzlich weist das Leistungshalbleitermodul100 zumindest einen solchen Leistungshalbleiterchip6 auf. - Der Schaltungsträger
5 umfasst einen Isolationsträger50 , der mit einer oberen Metallisierung51 und mit einer unteren Metallisierung52 versehen ist. Bei dem Isolationsträger50 kann es sich beispielsweise um eine Keramik wie z.B. Aluminiumoxid (Al2O3), Aluminiumnitrid (AlN) oder Siliziumnitrid (Si3N4) handeln. Die obere Metallisierung51 und die untere Metallisierung52 bestehen aus elektrisch gut leitendem Material wie beispielsweise Kupfer, Aluminium oder Legierungen mit zumindest einem dieser Metalle. Bei einem Schaltungsträger5 kann es sich z. B. um ein DCB-Substrat (DCB = direct copper bonding) ein DAB-Substrat (DAB = direct aluminium bonding) oder um ein AMB-Substrat (AMB = activ metal brazing) handeln. Ein Leistungshalbleitermodul100 kann kein, genau ein oder aber mehrere solcher Schaltungsträger5 umfassen. - Um die Leistungshalbleiterchips
6 auf einem Schaltungsträger5 zu befestigen und elektrisch leitend mit dessen oberer Metallisierung51 zu verbinden, ist eine erste Verbindungsschicht71 vorgesehen, bei der es sich beispielsweise um eine Lotschicht, insbesondere um eine Diffusionslotschicht, eine Klebeschicht mit einem elektrisch leitenden Kleber oder um eine gesinterte Verbindungsschicht mit Silber handeln kann. Auf ihren dem betreffenden Schaltungsträger5 abgewandten Oberseiten können die Leistungshalbleiterchips6 mittels beliebiger Anschlusstechniken elektrisch leitend kontaktiert und mit anderen Komponenten der Leistungshalbleitermodule100 elektrisch leitend verbunden werden. In dem gezeigten Ausführungsbeispiel gemäß1A werden hierzu Bonddrähte7 eingesetzt, die an die den Schaltungsträgern5 abgewandten Oberseiten der Leistungshalbleiterchips6 sowie an Abschnitte der oberen Metallisierung51 des betreffenden Schaltungsträgers5 gebondet sind. Anstelle oder ergänzend zu Bonddrähten können auch aufgelötete oder gebondete Metallbänder oder Bleche eingesetzt werden. Ebenso besteht die Möglichkeit, elektrisch leitende Verbindungen durch Druckkontaktierung mit den Oberseiten der Leistungshalbleiterchips und/oder mit Abschnitten der oberen Metallisierung51 herzustellen. - Wie dem Beispiel gemäß
1A außerdem zu entnehmen ist, können zur internen Verschaltung des Leistungshalbleitermoduls100 optionale Verschienungen11 vorgesehen sein, die mit bestimmten der Leistungshalbleiterchips6 elektrisch leitend verbunden sein können. Diese Verschienungen11 weisen Anschlussbereiche11a auf, welche zur externen elektrischen Kontaktierung des Leistungshalbleitermoduls100 dienen. Hierzu sind die Anschlussbereiche von der Außenseite eines Gehäuses3 , welches einen Rahmen sowie einen Deckel umfasst, zugänglich. - Oberhalb der mit den Leistungshalbleiterchips
6 bestückten Schaltungsträger5 kann optional eine Leiterplatte10 angeordnet werden, die zumindest für einen der nachfolgend erläuterten Zwecke eingesetzt werden kann. Ein möglicher Verwendungszweck besteht darin, Steuerleitungen und/oder Signalleitungen, d. h. Leitungen, über die im Vergleich zu den mit dem Leistungshalbleitermodul100 geschalteten Lastströmen vergleichsweise geringe Ströme fließen, von den Schaltungsträgern5 abgegriffen und über die Leiterplatte10 umverdrahtet und mit Hilfe von weiteren Anschlusselementen10a zur Außenseite des Leistungshalbleitermoduls100 geführt werden. Optional können auf der Leiterplatte10 weitere elektronische Bauelement wie beispielsweise eine Ansteuer- und/oder Überwachungselektronik zum Ansteuern bzw. Überwachen der Leistungshalbleiterchips6 vorgesehen sein. Über entsprechende Anschlusselemente10a können dem Leistungshalbleitermodul100 auch externe Signale, beispielsweise zur Ansteuerung der steuerbaren Leistungshalbleiterchips6 , zugeführt werden. - Um beim Betrieb des Leistungshalbleitermoduls
100 die elektrische Isolation im Inneren des Leistungshalbleitermoduls100 sicherzustellen und elektrische Überschläge zwischen Elementen stark unterschiedlichen elektrischen Potentials zu vermeiden, kann der Modulinnenraum ganz oder teilweise mit einer Weichvergussmasse12 , beispielsweise einem Silikongel, vergossen werden. Die Weichvergussmasse12 erstreckt sich dabei zumindest von der Bodenplatte2 bis über sämtliche Leistungshalbleiterchips6 . Oberhalb der Weichvergussmasse12 kann außerdem eine optionale Hartvergussmasse13 , beispielsweise ein Gießharz, vorgesehen sein, das unter Anderem die Leiterplatte10 und/oder die Verschienung stabilisiert. - Bei dem vorliegenden Leistungshalbleitermodul
100 handelt es sich um ein Leistungshalbleitermodul mit einer massiven Bodenplatte2 , auf der die mit den Leistungshalbleiterchips6 bestückten Schaltungsträger5 angeordnet sind. Eine derartige massive Bodenplatte2 kann beispielsweise eine Dicke im Bereich von 2 mm bis 5 mm aufweisen. Als Materialien für die Bodenplatte2 einen sich z.B. gut Wärme leitende Metalle wie Kupfer oder Kupferlegierungen, oder Aluminium oder Aluminiumlegierungen. Ebenso können Metall-Matrix-Komposite (MMC) wie zum Beispiel Aluminium-Silizium-Karbid (AlSiC) verwendet werden. - Die bestückten Schaltungsträger
5 können an ihren unteren Metallisierungen52 mittels zweiter Verbindungsschichten72 mit der Bodenplatte2 verbunden sein. Bei den zweiten Verbindungsschichten72 kann es sich beispielsweise um Lotschichten, insbesondere um Diffusionslotschichten, um Klebeschichten oder um Sinterschichten mit Silber handeln. Die Bodenplatte2 dient dazu, die in den Leistungshalbleiterchip6 anfallende Betriebswärme über eine Wärmeableitkontaktfläche2a zu einem mit dieser Wärmeableitkontaktfläche kontaktierbaren Kühlkörper (nicht gezeigt) abzuführen. Hierzu erfolgt ein Wärmefluss ausgehend von den Leistungshalbleiterchips6 über die betreffenden ersten Verbindungsschichten71 , den betreffenden Schaltungsträger5 , die betreffende zweite Verbindungsschicht72 , und die Bodenplatte2 . Um einen möglichst geringen Wärmeübergangswiderstand der Bodenplatte2 zu erreichen, ist es vorteilhaft, wenn diese aus einem gut leitenden Material, beispielsweise Kupfer oder einer Kupferlegierung mit mindestens 90 Gew% Kupferanteil besteht. Die Bodenplatte2 kann aber auch aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung bestehen, die optional eine Beschichtung aufweisen kann, beispielsweise um die Lötbarkeit zu verbessern, wenn die den Schaltungsträgern5 zugewandte Oberseite2b der Bodenplatte mit der unteren Metallisierung52 der Schaltungsträger5 verlötet oder versintert werden soll. Im Fall einer Lötverbindung eignet sich beispielsweise eine Nickelbeschichtung, für eine Sinterverbindung eine Beschichtung aus Edelmetall, beispielsweise Silber oder Gold. Die Dicke der Bodenplatte2 kann beispielsweise im Bereich von 2 mm bis 5 mm liegen. Die Dicken der Isolationsträger50 können z. B. 0,25 mm bis 1 mm betragen, die Dicke der oberen Metallisierung51 z. B. 0,2 mm bis 0,5 mm, die Dicke der unteren Metallisierung52 z. B. 0,2 mm bis 0,5 mm. Die genannten Werte können dabei unabhängig voneinander gewählt und auf beliebige Weise miteinander kombiniert werden. -
1B zeigt einen Vertikalschnitt durch ein so genanntes "bodenplattenloses" Leistungshalbleitermodul100 . Dessen Aufbau entspricht grundsätzlich dem anhand von1A erläuterten Modul100 . Es unterscheidet sich von diesem lediglich dadurch, dass keine massive metallische Bodenplatte2 vorgesehen ist, sondern ein Schaltungsträger5 , dessen Aufbau dem Aufbau der anhand von1A erläuterten Schaltungsträger5 entsprechen kann, und der die Bodenplatte des Leistungshalbleitermoduls100 darstellt. Insbesondere bildet die den Leistungshalbleiterchips6 abgewandte Unterseite5a der unteren Metallisierung52 des Schaltungsträgers5 die Wärmeableitkontaktfläche5a des Leistungshalbleitermoduls100 , welche mit einem Kühlkörper (nicht dargestellt) kontaktiert werden kann. - Sowohl bei dem Leistungshalbleitermodul
100 gemäß1A als auch bei dem Leistungshalbleitermodul100 gemäß1B kann die Ankopplung eines Kühlkörpers an die Wärmeableitkontaktfläche2a bzw.5a mittels einer Wärmeleitpaste erfolgen, die zwischen den Kühlkörper und die betreffende Wärmeableitkontaktfläche2a bzw.5a flächig eingebracht wird. - Um ein Leistungshalbleitermodul
100 , wie es anhand der1A und1B beispielhaft erläutert wurde, elektrisch leitend an eine Versorgungsspannung oder an eine Last anzuschließen, kann ein Anschlusselement11a des Leistungshalbleiternmoduls100 mit einer Klemmvorrichtung8 versehen sein, wie sie in1A vergrößert dargestellt ist. Mögliche Ausgestaltungen einer solchen Klemmvorrichtung8 werden nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.2 zeigt einen vergrößerten Abschnitt eines Gehäusedeckels3 eines Leistungshalbleitermoduls, in den eine Klemmvorrichtung8 eingesetzt ist. Die Klemmvorrichtung8 umfasst ein Klemmelement81 , das beispielhaft als Klemmkeil ausgebildet ist, einen optionalen Gegenkeil82 , eine optionale Schraube83 , sowie eine ebenfalls optionale Klemmbacke84 . Ein von der Modulinnenseite ausgehendes Anschlusselement11a , welches beispielsweise elektrisch leitend mit einem Leistungshalbleiterchip6 verbunden sein kann, erstreckt sich mindestens bis auf Höhe des Klemmkeils81 . Zwischen dem Anschlusselement11a und der Klemmbacke84 verbleibt ein Aufnahmebereich80 , in den ein Anschlussbereich201 eines in3 gezeigten modulexternen Schlussleiters200 eingesetzt und nachfolgend unter Ausbildung eines elektrisch leitenden Kontakts mit dem Anschlusselement11a verklemmt werden kann.4 zeigt den in2 dargestellten Abschnitt des Leistungshalbleitermoduls100 nach dessen Verbindung mit dem in3 dargestellten externen Anschlussleiter200 in Schnittansicht,4 in perspektivischer Draufsicht. - Der Anschlussleiter
200 gemäß3 weist einen flachen Anschlussbereich201 auf, welcher nicht mit einer Durchgangsöffnung versehen ist, wie dies bei herkömmlichen Anschlussleitern der Fall ist. Hierdurch steht die gesamte Fläche des Anschlussbereichs201 zur elektrischen Kontaktierung mit dem Anschlusselement11a zur Verfügung. Entsprechend muss auch der Anschlusselement11a an seinem zur Kontaktierung mit dem Anschlussbereich201 verwendeten Ende keine Durchgangsöffnung aufweisen. Hierdurch kann sowohl der elektrische als auch der thermische Übergangswiderstand zwischen dem Anschlussbereich201 und dem Anschlusselement11a gegenüber herkömmlichen Anordnungen signifikant verringert werden. - Wie anhand von
3 zu erkennen ist, kann ein Anschlussbereich201 eines modulexternen Anschlussleiters200 dadurch erzeugt werden, dass in einem im Wesentlichen ebenen Abschnitt202 eines Blechs der spätere Anschlussbereich201 gegenüber dem ebenen Bereich um einen vorgegebenen Winkel, beispielsweise 90°, umgebogen wird, so dass eine von dem ebenen Abschnitt202 abstehende Anschlussfahne entsteht, die den Anschlussbereich201 bildet. Hierzu kann der spätere Anschlussbereich201 vor dem Umbiegen von dem übrigen ebenen Abschnitt202 abgetrennt werden, was beispielsweise durch Stanzen, durch Laserschneiden oder durch Wasserstrahlschneiden erfolgen kann. Bei dem gezeigten Beispiel wurde der Anschlussbereich201 im Innenbereich des Blechs200 von dem ebenen Abschnitt202 abgetrennt. Davon abweichend könnte sich der Anschlussbereich201 jedoch auch an einem Ende des Anschlussleiters200 befinden, so dass der Anschlussleiter220 keine Öffnung aufweist, welche der Anschlussbereich201 nach dem Umbiegen hinterlässt. -
6 zeigt einen Vertikalschnitt durch eine Klemmvorrichtung8 , mit deren Hilfe ein Anschlusselement11a eines Leistungshalbleitermoduls100 und ein Anschlussbereich201 eines modulexternen Anschlussleiters200 unter Ausbildung einer elektrisch leitenden Verbindung miteinander verklemmt werden.6 zeigt die Anordnung vor dem Verklemmen. Das als Klemmkeil ausgebildete Klemmelement81 weist eine Durchführung81a auf, durch die eine mit einem Gewinde83a versehene Schraube83 hindurchgeführt werden kann. Der Gegenkeil82 umfasst ein Innengewinde82d sowie eine optionale Durchführung82a . Das Gewinde83a der Schraube83 ist auf das Innengewinde82d abgestimmt und kann in dieses eingeschraubt werden, wenn die Schraube83 durch den Durchgangsbereich81a hindurchgeführt wird. - In
6 befindet sich das Klemmelement81 in einer ersten Position, d. h. in einer Position, die es ermöglicht, dass der Anschlussbereich201 des Anschlussleiters200 in den Aufnahmebereich80 der Klemmvorrichtung8 eingeführt wird. Wird dann die Schraube83 , optional unter Verwendung einer Unterlegscheibe85 , durch den Durchgangsbereich81a hindurchgeführt und in das Innengewinde82d eingeschraubt, so bewegt sich das Klemmelement81 , wie in7 anhand zweier schwarzer Pfeile dargestellt, aufgrund der Geometrien des Klemmelements81 und des Gegenkeils82 in Richtung des Gegenkeils82 sowie in Richtung des Anschlusselements11a und des Anschlussbereichs201 , so dass, wie in im Ergebnis in8 gezeigt ist, das Anschlusselement11a und der Anschlussbereich201 zwischen dem Klemmelement81 und der Klemmbacke84 unter Ausbildung einer elektrisch leitenden Verbindung miteinander verklemmt werden. Nach dem Verklemmen befindet sich das Klemmelement81 in einer zweiten Position. Um eine Verschiebung des Klemmelements81 gegenüber dem Gegenkeil82 zu ermöglichen, ist die Breite der Durchführung81a größer gewählt als der Durchmesser des Schraubenschafts der Schraube83 . - Das Klemmelement
81 weist eine dem Gegenkeil82 abgewandte erste Seitenfläche81b auf, sowie eine dem Gegenkeil82 zugewandte erste Gleitfläche81c . Entsprechend weist der Gegenkeil82 eine dem Klemmelement81 abgewandte zweite Seitenfläche82b auf, sowie eine dem Klemmelement81 zugewandte zweite Gleitfläche82c . Die erste Seitenfläche81b und die erste Gleitfläche81c können einen ersten Winkel81b und/oder die erste Gleitfläche81c als ebene oder im Wesentlichen ebene Flächen ausgebildet sein. - Entsprechend können die zweite Seitenfläche
82b und die zweite Gleitfläche82c einen zweiten Winkel φ2 einschließen, der größer, kleiner oder gleich dem ersten Winkel φ1 sein kann. Auch die zweite Seitenfläche82b und/oder die zweite Gleitfläche82c können eben oder im Wesentlichen eben ausgebildet sein. Der erste Winkel φ1 und/oder der zwei Winkel φ2 können grundsätzlich beliebig, beispielsweise im Bereich von 10° bis 40°, gewählt werden. - Um einen möglichst gleichmäßigen Kontakt zwischen dem Anschlusselement
11a und einem Anschlussbereich201 zu erreichen, kann die erste Seitenfläche81b des Klemmelements81 , welche dem Anschlusselement11a zugewandt ist, dann parallel oder im wesentlichen parallel zu einer Seitenfläche84b der Klemmbacke84 verlaufen, wenn die erste Gleitfläche81c und die zweite Gleitfläche82c aneinander anliegen, wobei die Seitenfläche84b so gewählt ist, dass das Anschlusselement11a zwischen ihr und dem Klemmelement81 angeordnet ist. - Bei dem Beispiel gemäß den
6 bis8 ist das Anschlusselement11a zwischen dem Aufnahmebereich80 bzw. dem Anschlussbereich201 einerseits und dem Klemmelement81 andererseits angeordnet. Alternativ könnte sich jedoch auch der Aufnahmebereich80 bzw. der Anschlussbereich201 zwischen dem Anschlusselement11a und dem Klemmelement81 befinden. - Eine weitere Ausgestaltung einer Klemmvorrichtung
8 zeigen die9 bis11 . Diese Klemmvorrichtung8 unterscheidet sich von der anhand der8 bis10 erläuterten Klemmvorrichtung8 dadurch, dass sie selbstklemmend ist, d. h. sie weist keine Befestigungsschraube auf, mit der das Klemmelement81 in seiner zweiten Position gesichert wird. Vielmehr erfolgt die Halterung des Klemmelements81 ausschließlich mit Hilfe der Haftreibung des Klemmelements81 . Zur Erzielung der Klemmwirkung wird das Klemmelement81 lediglich in Richtung des Gegenstücks82 geschoben, bis die gewünschte Klemmwirkung erreicht ist. Um den selbstklemmenden Effekt zu erzielen, ist der Winkel φ1 sehr klein gewählt, er kann beispielsweise größer als 0° und kleiner oder gleich 6° gewählt werden.9 zeigt das Klemmelement81 in seiner ersten,11 in seiner zweiten Position. -
12 zeigt eine Klemmbacke84 , wie sie beispielsweise bei den vorangehend erläuterten Klemmvorrichtungen8 eingesetzt werden kann. Da über die Klemmbacke84 im Wesentlichen kein Strom fließt, kann sie aus einem Material gefertigt sein, das hinsichtlich seiner mechanischen Festigkeit und nicht hinsichtlich seines elektrischen Widerstands optimiert ist, d. h. die Klemmbacke84 kann aus einem Material gefertigt sein, welches eine große Vickershärte von beispielsweise mehr als 200 HV besitzt. Das Material der Klemmbacke84 kann somit eine Härte besitzen, welche größer ist als die Härte des Anschlusselements11a und, sofern diese bei der Herstellung des Leistungshalbleitermoduls100 bekannt ist, auch größer als die Härte des Anschlussbereichs201 . Als Materialien für ein Anschlusselement11a und/oder für einen Anschlussbereich201 eignen sich beispielsweise Kupfer oder eine Kupferlegierung, oder Aluminium oder einer Aluminiumlegierung. - Wie in
12 ebenfalls gezeigt ist, kann eine Klemmbacke84 als Ring ausgebildet sein. Die Klemmbacke kann beispielsweise aus einem Blech ausgestanzt und zu einem Ring gebogen werden. Um ein Aufbiegen des Rings während des Verklemmens des Anschlusselements11a mit einem Anschlussbereich201a zu verhindern, kann ein Ende84a der Klemmbacke84 mit dem anderen Ende84b der Klemmbacke84 verhakt werden. -
13 zeigt die Klemmbacke84 gemäß12 nach dem Einsetzen eines Klemmelements81 , eines Gegenkeils82 , einer Schraube83 sowie eines Anschlusselements11a . Bei einer Klemmvorrichtung8 entsprechend den6 bis8 und13 kann die Schraube83 , gegebenenfalls in Verbindung mit der Unterlegscheibe85 , durch die Durchführung81a des Klemmelements81 hindurchgeführt und teilweise in das Innengewinde82 des Gegenteils82 eingeschraubt werden, so dass diese Elemente unverlierbar miteinander verbunden sind und als eine Einheit in die Klemmbacke84 oder aber unabhängig von der Klemmbacke84 in einen entsprechenden Aufnahmebereich des Modulgehäuses3 eingesetzt werden können. Hierbei ist lediglich darauf zu achten, dass das Anschlusselement11a an der richtigen Stelle zwischen dem Klemmelement81 und der Klemmbacke84 eingeführt wird. Um die Unverlierbarkeit sicherzustellen, muss ein Klemmelement81 , wie es in den6 bis8 gezeigt ist, entweder als geschlossener Ring ausgebildet sein, der die Durchführung81a umschließt, oder aber als offener Ring mit einen Spalt, dessen Breite kleiner ist als der Durchmesser des Schaftes der Schraube83 . - Danach kann ein modulexterner Anschlussleiter
200 mit seinem Anschlussbereich201 in den Aufnahmebereich80 eingeführt und wie anhand der6 bis8 erläutert elektrisch leitend mit dem Anschlusselement11a kontaktiert werden. - Bei den vorangegangenen Ausführungsbeispielen waren die Klemmbacke
84 und der Gegenkeil82 als separate Elemente ausgebildet. Alternativ dazu können der Gegenkeil82 und die Klemmbacke84 jedoch auch einstückig ausgebildet oder, beispielsweise durch Verschrauben, Verlöten oder Verschweißen, fest miteinander verbunden sein. Sofern das Gehäuse3 des Leistungshalbleitermodul100 eine ausreichende Stabilität aufweist, kann außerdem auf eine separate Klemmbacke auch verzichtet werden. In diesem Fall übernimmt das Modulgehäuse3 die Funktion einer Klemmbacke. - Falls eine Klemmbacke
84 vorgesehen ist, kann diese in eine vorbereitete Aussparung oder Vertiefung am Gehäuse3 eingesetzt werden. Alternativ dazu kann eine Klemmbacke auch bei der Herstellung des Gehäuses3 in dieses eingespritzt oder eingegossen werden. Das Klemmelement81 und/oder ein Gegenkeil82 können nachträglich in das mit der Klemmbacke84 vorbestückte Gehäuse3 eingesetzt werden, oder aber als zusammengesetzte Einheit, welche neben dem Klemmelement81 und dem Gegenkeil82 auch die Klemmbacke84 sowie optional eine Verbindungsschraube83 umfasst. Falls eine Verbindungsschraube83 vorgesehen ist, können das Klemmelement81 und der Gegenkeil82 auch mit dieser Verbindungsschraube83 auch vor dem Einsetzen der Einheit in die Vertiefung oder Aussparung verlierbar oder unverlierbar miteinander verschraubt werden.
Claims (17)
- Leistungshalbleitermodul mit einem elektrisch leitenden Anschlusselement (
11a ), einem Aufnahmebereich (80 ), sowie mit einem Klemmelement (81 ), das von einer ersten Position in eine zweite Position gebracht werden kann, wobei ein Anschlussbereich (201 ) eines modulexternen Anschlussleiters (200 ) in den Aufnahmebereich (80 ) einführbar ist, wenn sich das Klemmelement (81 ) in der ersten Position befindet; ein Anschlussbereich (201 ) eines modulexternen Anschlussleiters (200 ), sofern ein solcher Anschlussbereich (201 ) in den Aufnahmebereich (80 ) eingeführt ist, unter Ausbildung einer elektrisch leitenden Verbindung zwischen dem Anschlussbereich (201 ) und dem Anschlusselement (11a ) mit dem Leistungshalbleitermodul (100 ) verklemmbar ist, indem das Klemmelement (81 ) von der ersten Position in die zweite Position gebracht wird. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 1, bei dem das Klemmelement (
81 ) als Klemmkeil ausgebildet ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 2, mit einem Gegenkeil (
82 ), wobei der Klemmkeil (81 ) eine dem Gegenkeil (82 ) abgewandte erste Seitenfläche (81b ) aufweist, sowie eine dem Gegenkeil (82 ) zugewandte erste Gleitfläche (81c ); der Gegenkeil (82 ) eine dem Klemmkeil (81 ) abgewandte zweite Seitenfläche (82b ) aufweist, sowie eine dem Klemmkeil (81 ) zugewandte zweite Gleitfläche (82c ). - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 3, bei dem die erste Seitenfläche (
81b ) und die erste Gleitfläche (81c ) einen ersten Winkel (φ1) im Bereich von 0° bis 6° oder im Bereich von 10° bis 40° einschließen. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 4, bei dem die zweite Seitenfläche (
82b ) und die zweite Gleitfläche (82c ) einen zweiten Winkel (φ2) einschließen, der gleich dem ersten Winkel (φ1) ist. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 3 bis 5, bei dem der Klemmkeil (
81 ) selbsthaltend ausgebildet ist und das mit Ausnahme der zweiten Gleitfläche (82c ) kein Haltemittel aufweist, das dazu ausgebildet ist, den Klemmkeil (81 ) in der zweiten Position zu halten. - Leistungshalbleitermodul nach einem der Ansprüche 1 bis 7 mit einer Verschraubung (
83 ), mittels der das Klemmelement (81 ) von der ersten Position in die zweite Position gebracht werden und dauerhaft in der zweiten Position gehalten werden kann. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche mit einer Klemmbacke (
84 ), wobei ein Anschlussbereich (201 ) eines modulexternen Anschlussleiters (200 ), sofern ein solcher Anschlussbereich (201 ) in den Aufnahmebereich (80 ) eingeführt ist, mittels des Klemmelements (81 ) gegen die Klemmbacke (84 ) gepresst wird, wenn sich das Klemmelement (81 ) in der zweiten Position befindet. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 8, bei dem die Klemmbacke (
84 ) eine Vickershärte von mehr als 200 HV aufweist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 8 oder 9, bei dem die Klemmbacke (
84 ) als gebogenes Blech ausgebildet ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 10, bei dem die Klemmbacke (
84 ) aus einem Blechstreifen gebildet ist, der zu einem Ring gebogen ist und dessen Enden ineinander verhakt sind. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche, bei dem der Aufnahmebereich (
80 ) auf zumindest einer Seite durch das Anschlusselement (11a ) begrenzt wird, so dass das Anschlusselement (11a ), wenn ein Anschlussbereich (201 ) eines modulexternen Anschlussleiters (200 ) in den Aufnahmebereich (80 ) eingeführt ist und sich das Klemmelement (81 ) in der zweiten Position befindet, den Anschlussbereich (201 ) unmittelbar kontaktiert. - Leistungshalbleitermodul nach einem der vorangehenden Ansprüche mit einem Träger (
2 ,5 ), auf dem zumindest ein Leistungshalbleiterchip (6 ) angeordnet ist, sowie mit einem Gehäuse (3 ), wobei der Träger (2 ,5 ) auf seiner dem Leistungshalbleiterchip (6 ) abgewandten Seite eine Wärmeableitkontaktfläche (2a ,5a ) aufweist; der Klemmelement (81 ) an der der Wärmeableitkontaktfläche (2a ,5a ) abgewandten Seite des Gehäuses (3 ) angeordnet ist. - Leistungshalbleitermodul nach Anspruch 13 mit einem Keramiksubstrat (
5 ), das ein Keramikplättchen (50 ) mit einer oberen Metallisierungsschicht (51 ) und mit einer unteren Metallisierungsschicht (52 ) aufweist, wobei der Leistungshalbleiterchip (6 ) auf der oberen Metallisierungsschicht (51 ) angeordnet ist, wobei entweder die Wärmeableitkontaktfläche (2a ,5a ) durch die dem Keramikplättchen (50 ) abgewandte Seite der unteren Metallisierungsschicht (5a ) gegeben ist; oder die untere Metallisierung (52 ) flächig mit einer metallischen Bodenplatte (2 ) verbunden ist, deren dem Keramikplättchen (50 ) abgewandte Seite die Wärmeableitkontaktfläche (2a ) bildet. - Leistungshalbleitermodulsystem mit einem Leistungshalbleitermodul (
100 ) gemäß einem der vorangehenden Ansprüche; einem modulexternen Anschlussleiter (200 ), der einen Anschlussbereich (201 ) aufweist; wobei der Anschlussleiter (200 ) dadurch mit dem Leistungshalbleitermodul (100 ) verklemmt und dabei mit dem Anschlusskontakt (201 ) elektrisch leitend verbunden werden kann, dass der Anschlussbereich (201 ) in den Aufnahmebereich (80 ) eingeführt wird, wenn sich das Klemmelement (81 ) in der ersten Position befindet, und dass das Klemmelement (81 ) nachfolgend von der ersten Position in die zweite Position gebracht wird. - Leistungshalbleitermodulsystem nach Anspruch 15, bei dem der modulexterne Anschlussleiter (
200 ) aus einem Blechstreifen gebildet ist; der Anschlussbereich (201 ) durch einen umgebogenen Abschnitt des Anschlussleiters (200 ) gegeben ist. - Leistungshalbleitermodulsystem nach Anspruch 15 oder 16, bei dem der Anschlussbereich (
201 ) keine Durchgangsöffnung aufweist.
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