DE102010042379A1 - Elektronisches Bauteil - Google Patents

Elektronisches Bauteil Download PDF

Info

Publication number
DE102010042379A1
DE102010042379A1 DE102010042379A DE102010042379A DE102010042379A1 DE 102010042379 A1 DE102010042379 A1 DE 102010042379A1 DE 102010042379 A DE102010042379 A DE 102010042379A DE 102010042379 A DE102010042379 A DE 102010042379A DE 102010042379 A1 DE102010042379 A1 DE 102010042379A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
substrate
electronic component
contact area
spring element
contact
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE102010042379A
Other languages
English (en)
Inventor
Uwe Hansen
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Robert Bosch GmbH
Original Assignee
Robert Bosch GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch GmbH filed Critical Robert Bosch GmbH
Priority to DE102010042379A priority Critical patent/DE102010042379A1/de
Priority to PCT/EP2011/066342 priority patent/WO2012048997A1/de
Publication of DE102010042379A1 publication Critical patent/DE102010042379A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/48Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
    • H01L23/488Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of soldered or bonded constructions
    • H01L23/498Leads, i.e. metallisations or lead-frames on insulating substrates, e.g. chip carriers
    • H01L23/49811Additional leads joined to the metallisation on the insulating substrate, e.g. pins, bumps, wires, flat leads
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L24/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/00014Technical content checked by a classifier the subject-matter covered by the group, the symbol of which is combined with the symbol of this group, being disclosed without further technical details
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/01Chemical elements
    • H01L2924/01068Erbium [Er]
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/181Encapsulation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)

Abstract

Es wird ein elektronisches Bauteil (1) mit einem Substrat (10) vorgeschlagen, bei dem mindestens ein auf einer Oberfläche (20) des Substrates (10) angeordneter Kontaktbereich (30) mit mindestens einem Federelement (35) verbunden ist. Erfindungsgemäß ist das mindestens eine Federelement (35) in dem Substrat (10) ausgebildet. Die Anbindung des Kontaktbereichs (30) an das Substrat (10) über ein Federelement (35) erlaubt eine relative Bewegung von Kontaktbereich (30) und Substrat (10). Damit können im Betrieb des elektronischen Bauteils (1) mechanische Spannungen, die durch die unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Substrats (10) und eines Schaltungsträgers auf dem das elektronische Bauteil (1) kontaktiert ist, ausgeglichen werden. Eine Zerrüttung der jeweiligen Kontaktstelle sowie mechanische Belastungen des elektronischen Bauteils (1) werden somit vermieden.

Description

  • Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauteil, das ein Substrat aufweist. Auf mindestens einer Oberfläche des Substrates sind Kontaktbereiche ausgebildet, mittels derer das elektronische Bauteil in einfacher Weise mit beispielsweise einem Schaltungsträger kontaktiert werden kann.
  • Stand der Technik
  • Derartige Bauteile sind beispielsweise in der DE 4324479 A1 beschrieben. Elektronische Bauteile der eingangs genannten Bauweise weisen typischerweise ein ein- oder mehrlagiges Substrat auf, auf dessen Bodenfläche Kontaktbereiche zum Kontaktieren des Bauteils auf einem Schaltungsträger ausgebildet sind. Die Kontaktbereiche sind beispielsweise als flache metallisierte Flächen ausgebildet („Lands”) und/oder können Lotkugeln („Balls”) aufweisen. Auf der der Bodenfläche gegenüberliegenden Fläche des Substrats können ein oder mehrere Halbleiterbauelemente angeordnet sein, die über Durchkontaktierungen in dem Substrat mit den Kontaktbereichen auf der Bodenfläche des Substrats elektrisch verbunden sind. Üblicherweise werden die Halbleiterbauelemente mit einer Moldmasse umgossen oder durch einen Deckel abgedeckt. Derartige Bauteile sind auch als sogenannte LGA („Land-Grid-Array”) oder BGA (”Ball Grid Array”) Gehäuse bekannt. Die Vorteile eines solchen elektronischen Bauteils liegen in seiner geringen Größe und niedrigen Herstellungskosten. Außerdem kann es platzsparend auf einem Schaltungsträger kontaktiert werden, da keine seitlichen Anschlussbeine benötigt werden. Zur Kontaktierung kann das elektronische Bauteil in einfacher Weise auf einen Schaltungsträger aufgesetzt werden. Der elektrische Kontakt zwischen dem elektronischen Bauteil und dem Schaltungsträger wird über zwischen den Kontaktbereichen des Substrats und den entsprechenden Gegenkontakten auf dem Schaltungsträger beispielsweise durch Löten oder Kleben hergestellt.
  • Die Materialien, aus denen das Substrat des elektronischen Bauteils und der Schaltungsträger auf den das elektronische Bauelement kontaktiert ist bestehen, weisen in der Regel unterschiedliche thermische Ausdehnungskoeffizienten auf. Dadurch ergibt sich das Problem, dass bei thermischer Belastung mechanische Spannungen, wie Zug- oder Scherbelastungen, an den Kontaktstellen zwischen den Kontaktbereichen des Substrats und den entsprechenden Gegenkontakten auf dem Schaltungsträger auftreten. Im Extremfall kann dies zur Zerrüttung der Kontaktstellen führen. Weiterhin wirken die entstehenden mechanischen Spannungen über das Substrat auf die Halbleiterbauelemente im Inneren des elektronischen Bauteils und können deren Betrieb beeinträchtigen; durch die temperaturabhängigen mechanischen Belastungen können sich beispielsweise Kennlinien der Halbleiterbauelemente verschieben.
  • Offenbarung der Erfindung
  • Es wird ein elektronisches Bauteil mit einem Substrat vorgeschlagen, bei dem mindestens ein auf einer Oberfläche des Substrates angeordneter Kontaktbereich mit mindestens einem Federelement verbunden ist. Erfindungsgemäß ist das mindestens eine Federelement in dem Substrat ausgebildet.
  • Die Anbindung des Kontaktbereichs an das Substrat über ein Federelement bewirkt, dass mechanische Spannungen, die beispielsweise durch die unterschiedlichen Wärmeausdehnungskoeffizienten des Substrats und eines Schaltungsträgers auf dem das elektronische Bauteil kontaktiert ist, verursacht werden, durch das Federelement kompensiert werden. Eine Zerrüttung der jeweiligen Kontaktstelle sowie mechanische Belastungen des elektronischen Bauteils werden somit vermieden.
  • Das Federelement ist erfindungsgemäß in dem Substrat ausgebildet, und ist relativ zu dem Substrat beweglich. Die Federkonstante und damit die auf den Kontaktbereich wirkenden Kräfte hängen vom Substratmaterial sowie der Geometrie des Federelements ab.
  • Das Federelement ist bevorzugt als frei beweglicher Steg in dem Substrat ausgebildet. Der Kontaktbereich kann dabei auf dem Federelement ausgebildet sein. Dazu weist das Federelement, bevorzugt an einem freien Ende, einen Bereich auf, der mit einer metallischen Beschichtung, einer Lötkugel, oder ähnlichem versehen ist, und damit den Kontaktbereich ausbildet.
  • In einer alternativen Ausführung ist ein Kontaktbereich mit mehreren Federelementen verbunden.
  • In einer bevorzugten Ausführung der Erfindung ist mindestens ein Federelement mäanderförmig ausgebildet. Scherkräfte bewirken in dieser Ausführung eine Dehnung bzw. Kompression des Federelements. Damit wird eine optimale Entlastung des Kontaktbereichs gewährleistet.
  • Bevorzugt ist auf mindestens einem Federelement eine Leiterbahn angeordnet, wobei die Leiterbahn mit dem Kontaktbereich elektrisch leitend verbunden ist. Die Leiterbahn verbindet den Kontaktbereich bevorzugt mit einer Durchkontaktierung des Substrats und stellt damit einen elektrischen Kontakt zu einem oder mehreren Halbleiterbauelementen im Inneren des elektronischen Bauteils her.
  • In einer besonders bevorzugten Ausführung der Erfindung ist mindestens eine Ausnehmung in dem Substrat ausgebildet. Die Ausnehmung umgibt einen oder mehrere Kontaktbereiche. Der Kontaktbereich ist auf oder in Verbindung mit mindestens einem im Substrat ausgebildeten Steg angeordnet. Der Steg verbindet den Kontaktbereich mit einem Bereich des Substrats, der die Ausnehmung begrenzt und wirkt als Federelement. Die Kontur des Stegs ist durch die Form der Ausnehmung bestimmt. Die Ausnehmung bildet einen Freiraum um den jeweiligen Kontaktbereich und um das mit dem Kontaktbereich verbundene Federelement, so dass der Kontaktbereich relativ zu dem Substrat frei beweglich ist. Das Federelement kann somit Kräfte kompensieren, die auf den Kontaktbereich wirken. Der Steg hat bevorzugt eine mittlere Breite, die klein ist im Vergleich zur Ausdehnung der Ausnehmung. Dadurch ergibt sich eine kleine Federkonstante und damit eine hohe relative Beweglichkeit von Kontaktbereich und Substrat.
  • Die Ausnehmung ist bevorzugt so ausgeführt, dass sie vollständig von dem Substrat umgeben ist, also insbesondere nicht als Einschnitt am Rand des Substrats ausgebildet ist. Damit bleibt die mechanische Stabilität des Substrats erhalten. Die Ausnehmung kann beispielsweise durch Bearbeitung mit einem Laser, durch Fräsen oder durch Stanzen in das Substrat eingebracht werden.
  • In einer alternativen Ausführung der Erfindung sind zwei oder mehr, insbesondere schlitz- oder rillenartige Ausnehmungen in der Umgebung eines Kontaktbereichs in dem Substrat ausgebildet. Die Ausnehmungen sind so angeordnet, dass jeweils zwei der Ausnehmungen durch mindestens einen Steg, der frei beweglich im Substrat ausgebildet ist, voneinander getrennt sind. Der Steg wirkt als erfindungsgemäßes Federelement und steht in Verbindung mit mindestens einem Kontaktbereich auf dem Substrat. Der Steg besitzt eine Breite, die im Wesentlichen durch den Abstand der jeweiligen Ausnehmungen bestimmt ist. Der Vorteil dieser Ausführung liegt darin, dass die rillen- bzw. spaltartigen Ausnehmungen einfach geformt sind und deshalb mit geringem Herstellungsaufwand gebildet werden können.
  • Das Substrat des elektronischen Bauteils kann mehrlagig aufgebaut sein. Typischerweise besteht es aus zwei bis vier Lagen. Die Kontaktbereiche sind bevorzugt auf der untersten Lage (Bodenfläche des elektronischen Bauteils) gebildet. Die anderen Lagen enthalten beispielsweise Durchkontaktierungen und/oder Leiterbahnen. Auf der obersten Lage sind ein oder mehrere Halbleiterbauelemente angeordnet. Das erfindungsgemäße Federelement ist bevorzugt in der untersten Lage des Substrats ausgebildet. Die beschriebene Ausnehmung kann ebenfalls nur in der untersten Lage des Substrats ausgebildet sein. Ebenso ist es denkbar, das Federelement bzw. die Ausnehmung in mehreren oder allen Lagen des Substrats auszubilden.
  • Kurze Beschreibung der Zeichnungen
  • 1a zeigt schematisch einen Schnitt durch ein elektronisches Bauteil nach dem Stand der Technik;
  • 1b zeigt in Draufsicht die Oberfläche eines Substrats eines elektronischen Bauteils nach dem Stand der Technik;
  • 2 zeigt eine perspektivische Ansicht einen Ausschnitt eines elektronischen Bauteils nach einer ersten Ausführung der Erfindung;
  • 3 zeigt in Draufsicht die Oberfläche des Substrats eines elektronischen Bauteils nach einer zweiten Ausführung der Erfindung;
  • 4 zeigt in Draufsicht einen Ausschnitt der Oberfläche eines Substrats eines elektronischen Bauteils nach einer dritten Ausführung der Erfindung;
  • 5 zeigt in Draufsicht einen Ausschnitt der Oberfläche eines Substrats eines elektronischen Bauteils nach einer dritten Ausführung der Erfindung.
  • Ausführungsformen der Erfindung
  • In 1 ist ein herkömmliches elektronisches Bauteil 1 in LGA-Bauweise dargestellt. 1a zeigt schematisch einen Schnitt durch das Bauteil 1. Das Bauteil weist ein Substrat 10 auf, auf dessen Oberfläche 20 mehrere Kontaktbereiche 30 angeordnet sind. Die Kontaktbereiche 30 sind als elektrisch leitfähige Flächen ausgebildet, die geeignet sind, beispielsweise durch Löten kontaktiert zu werden. In diesem Beispiel sind die Kontaktbereiche 30 kreisförmig ausgeführt. Ebenso sind jedoch auch ovale, rechteckige, oder andere Ausgestaltungen der Kontaktbereiche 30 denkbar. Ebenso ist eine Ausführung in BGA-Bauweise denkbar, bei der die Kontaktbereiche 30 mit Lotkugeln versehen werden.
  • Die Kontaktbereiche 30 sind über Leiterbahnen 40 mit Durchkontaktierungen 50 verbunden. Die Durchkontaktierungen 50 verlaufen im Wesentlichen vertikal durch das Substrat 10. Auf der der Oberfläche 20 gegenüberliegenden Fläche 24 sind ein oder mehrere Halbleiterbauelemente 100, wie beispielsweise ein Halbleiter-Chip, kontaktiert und stehen in Verbindung mit den Durchkontaktierungen 50. Um die Schaltung auf der Fläche 24 vor Umwelteinflüssen zu schützen, ist die Fläche 24 mit einer Abdeckung, beispielsweise einer Moldmasse 110 bedeckt. Die Moldmasse 110 umhüllt das Halbleiterbauelement 100 auf der Fläche 24. Alternativ oder zusätzlich kann beispielsweise auch ein vorgeformter Deckel aus Metall oder Kunststoff als Abdeckung verwendet werden. Zusätzlich kann die Abdeckung genutzt werden um den Chip elektromagnetisch abzuschirmen, beispielsweise indem auf die Oberfläche der Moldmasse 110 bzw. eines Deckels eine elektrisch leitfähige Beschichtung aufgebracht wird.
  • In 1b ist die Oberfläche 20 (Bodenfläche) des Substrats 10 in Draufsicht dargestellt. Mit den Kontaktbereichen 30 auf der Oberfläche 20 des Substrats 10 kann das elektronische Bauteil 1 auf einem externen Schaltungsträger, beispielsweise einer Leiterplatte, kontaktiert werden.
  • In 2 ist ein erfindungsgemäßes elektronisches Bauteil 1 nach einer Ausführung der Erfindung perspektivisch dargestellt. Der Aufbau entspricht im Wesentlichen dem in 1 dargestellten Bauteil. Gleiche Elemente sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen.
  • Im Unterschied zur herkömmlichen Bauweise, weist das erfindungsgemäße Bauteil 1 ein Substrat 10 auf, in dem Federelemente 35 ausgebildet sind, die Kräfte, die auf die Kontaktbereiche 30 wirken, kompensieren können. Zur Verdeutlichung sind hier nur zwei Kontaktbereiche 30 dargestellt. Die Federelemente 35 sind in dem Substrat 10, genauer gesagt in der Oberfläche 20 des Substrats 10, ausgebildet. Dazu weist das Substrat 10 zwei Ausnehmungen 22 auf. Jede der Ausnehmungen 22 umgibt jeweils einen Kontaktbereich 30. Die Ausnehmungen 22 sind vollständig von dem Substrat 10 umgeben. Die Ausnehmungen 22 können beispielsweise durch Fräsen. Ätzen oder Bearbeitung mit einem Laser in dem Substrat 10 gebildet werden. Jeweils ein Steg 33, der aus dem Substrat gebildet ist und an dessen freiem, verbreitertem Ende jeweils ein Kontaktbereich 30 ausgebildet ist, ragt in jede der Ausnehmungen 22 hinein. Der Steg 33 ist beweglich und wirkt als erfindungsgemäßes Federelement 35. Er ermöglicht, dass mechanische Spannungen ausgeglichen werden, die beispielsweise durch die unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Substrats 10 und des nicht dargestellten Schaltungsträgers, auf dem das elektronische Bauteil 1 kontaktiert ist, im Bereich des Kontaktbereichs 30 entstehen können.
  • Auf jedem der Stege 33 sind Leiterbahnen 40 ausgebildet, die den jeweiligen Kontaktbereich 30 mit einer zugeordneten Durchkontaktierung 50 verbinden.
  • Wenn das Substrat 10 aus mehreren Lagen aufgebaut ist, ist es möglich, die Ausnehmungen 22 und damit die Stege 33 nur in einigen bzw. nur in einer, die Oberfläche 20 bildenden, Lage des Substrats 10 auszubilden.
  • Die Stege 33 können bündig mit der Oberfläche 20 des Substrats ausgebildet sein, oder vertieft oder erhöht relativ zu dieser Fläche verlaufen.
  • Das erfindungsgemäße elektronische Bauteil 1 kann in bekannter Weise durch Auflöten der Kontaktbereiche 30 auf einem nicht dargestellten Schaltungsträger kontaktiert werden. Zur Bildung der Lötstellen können beispielsweise Lotkugeln auf den Kontaktbereichen 30 vorgesehen sein. Das elektronische Bauteil 1 kann auf den Schaltungsträger aufgesetzt werden. Die Kontaktierung findet dann beispielsweise in einem Reflow-Lötprozess statt. Auch andere Kontaktierungsverfahren, wie zum Beispiel die Verwendung eines elektrisch leitenden Klebstoffs, sind denkbar.
  • Mechanische Spannungen, die durch die unterschiedlichen thermischen Ausdehnungskoeffizienten des elektronischen Bauteils 1 und dem Schaltungsträger verursacht werden, wie beispielsweise Zug- und Scherbelastungen an den Lötstellen, die durch wechselnde Umgebungstemperaturen verursacht werden, können durch entsprechende elastische Verformung der Federelemente 35 kompensiert werden.
  • In 3 ist ein elektronisches Bauteil 1 nach einer zweiten Ausführung der Erfindung in Draufsicht dargestellt. Der Aufbau entspricht im Wesentlichen dem in 2 dargestellten Bauteil. Gleiche Elemente sind mit den gleichen Bezugszeichen versehen. In diesem Beispiel weist das Substrat 10 ebenfalls zwei Ausnehmungen 22 auf. Die Ausnehmungen 22 sind vollständig von dem Substrat 10 umgeben bzw. eingerahmt. Jede der Ausnehmungen 22 umgibt eine Gruppe von vier Kontaktbereichen 30. Eine derartige Ausbildung ist besonders vorteilhaft, wenn viele, eng benachbarte Kontaktbereiche vorliegen.
  • Die frei beweglichen Stege 33, die in die Ausnehmungen 22 hineinragen, sind in diesem Ausführungsbeispiel mäanderförmig ausgebildet und wirken als Federelemente 35. Die Stege weisen jeweils an ihrem freien Ende einen verbreiterten, im Wesentlichen kreisförmigen Bereich auf, auf dem jeweils ein Kontaktbereich 30 in Form einer metallisierten Fläche oder einer Lötkugel angeordnet ist.
  • Die Mäanderstruktur des Federelements 35 in diesem Ausführungsbeispiel erlaubt eine Beweglichkeit des Kontaktbereichs 30 sowohl in der Ebene parallel zur Oberfläche 20 des Substrats 10 als auch in begrenztem Maße senkrecht zur Ebene des Substrats 10. Dadurch ergibt sich eine effektive mechanische Entkopplung des Kontaktbereichs 30 vom Substrat 10. Kräfte, die durch die unterschiedlichen thermische Ausdehnungskoeffizienten des elektronischen Bauteils 1 und einem Schaltungsträger auf dem das Bauteil kontaktiert ist, entstehen können, bewirken eine Kompression bzw. Dehnung der mäanderförmigen Federelemente 35 und können damit kompensiert werden.
  • 4 zeigt schematisch ein drittes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen elektronischen Bauteils 1 in Draufsicht. Auf der Oberfläche 20 eines Substrats 10 sind zwei Kontaktbereiche 30 ausgebildet. Seitlich jedes Kontaktbereichs 30 sind jeweils zwei in Draufsicht im Wesentlichen U-förmige Ausnehmungen 125 und 125' in dem Substrat ausgebildet. Die Ausnehmungen 125 und 125' sind schlitzartig, also schmal im Vergleich zur Ausdehnung des Kontaktbereichs 30, ausgeführt.
  • Die Ausnehmungen 125 und 125' sind so angeordnet, dass ihre jeweiligen Schenkel einander zugewandt sind und durch zwei Stege 133 und 133' in dem Substrat voneinander getrennt sind. Die Ausnehmungen 125 und 125' können durchgehend ausgebildet sein, oder im Fall, dass das Substrat 10 mehrere Lagen aufweist, nur in einer oder einigen Lagen des Substrats ausgeführt sein.
  • Durch die Ausnehmungen 125 und 125' wird eine gewisse Beweglichkeit des von den Ausnehmungen 125 und 125' eingefassten Bereichs 138 des Substrats 10 relativ zum Substrat 10 erreicht. Die Stege 133 und 133' wirken dabei zusammen mit dem Bereich 138 als Federelement 135. Mechanische Spannungen, die auf den Kontaktbereich 30 wirken, bewirken eine elastische Verformung der Stege 133, 133' und können so bis zu einem gewissen Grad ausgeglichen werden. Eine Leiterbahn 40 verläuft auf einem der Stege 133 und stellt eine elektrische Verbindung zwischen dem Kontaktbereich 30 und einer Durchkontaktierung 50 her.
  • Der Vorteil dieser Ausführung liegt in der einfachen Ausgestaltung der Ausnehmungen 125 und 125', die als Rillen oder Schlitze in das Substrat 10 eingebracht werden können. Da die Ausnehmungen 125 und 125' eine geringe Breite im Vergleich zu den Abmessungen des Substrats 10 aufweisen, wird die mechanische Stabilität des Substrates 10 bzw. der Lagen des Substrats in denen die Ausnehmungen 125 und 125' ausgebildet sind, nicht beeinträchtigt.
  • In 5 ist eine der in 4 dargestellten Ausführung sehr ähnliche Anordnung dargestellt. In diesem Beispiel wird jeweils ein Kontaktbereich 30 von drei im Verhältnis zu den Ausdehnungen des Kontaktbereichs 30 schmalen, als geradlinig verlaufende Schlitze oder Spalte ausgebildeten Ausnehmungen 225, 225' und 225'' umgeben. Die Ausnehmungen 225, 225' und 225'' sind so angeordnet, dass sie im Wesentlichen ein Dreieck um den Kontaktbereich 30 ausbilden. An den jeweiligen Ecken sind Stege 233, 233' und 233'' im Substrat gebildet. Zusammen mit dem von den Ausnehmungen 225, 225' und 225'' umgebenen Bereich 238 wird somit ein Federelemente 235 gebildet. Durch die symmetrische Anordnung der Ausnehmungen 225, 225' und 225'' kann eine gleichmäßige Kompensation von Scherkräften parallel zur Oberfläche 20 erfolgen.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • DE 4324479 A1 [0002]

Claims (12)

  1. Elektronisches Bauteil (1), das ein Substrat (10) aufweist, wobei auf mindestens einer Oberfläche (20) des Substrates (10) mindestens ein Kontaktbereich (30) zur elektrischen Kontaktierung des elektronischen Bauteils (1) ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Substrat (10) mindestens ein Federelement (35, 135, 235) ausgebildet ist, das mit mindestens einem Kontaktbereich (30) in Verbindung steht.
  2. Elektronisches Bauteil (1) nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass auf mindestens einem Federelement (35, 135, 235) eine Leiterbahn (40) angeordnet ist, die mit mindestens einem Kontaktbereich (30) elektrisch leitend verbunden ist.
  3. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Federelement (35) mäanderförmig ausgebildet ist.
  4. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass zur Bildung eines Federelements (135, 235) in dem Substrat mindestens eine Ausnehmung (22, 125, 125', 225, 225', 225'') im Bereich mindestens eines Kontaktbereichs (30) ausgebildet ist, wobei mindestens ein Steg (33, 133, 133', 233, 233', 233'') den Kontaktbereich (30) mit dem Substrat (10) verbindet.
  5. Elektronisches Bauteil (1) nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine Ausnehmung (22) mindestens einen Kontaktbereich (30) teilweise umgibt.
  6. Elektronisches Bauteil (1) nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (22, 125, 125', 225, 225', 225'') vollständig vom Substrat (10) umgeben ist.
  7. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass eine Ausnehmung (22) in dem Substrat (10) ausgebildet ist, die mehrere Kontaktbereiche (30) umgibt.
  8. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens ein Kontaktbereich (30) von mehreren, insbesondere schlitzartig ausgeführten, Ausnehmungen (125, 125', 225, 225', 225'') umgeben ist, die durch mindestens einen Steg (133, 133', 233, 233', 233'') voneinander getrennt sind.
  9. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (10) mehrlagig ausgeführt ist, wobei die Ausnehmung (22, 125, 125', 225, 225', 225'') in mindestens einer Lage des Substrats (10) ausgebildet ist.
  10. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 2 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (10) Durchkontaktierungen (50) aufweist und der Kontaktbereich (30) über die Leiterbahn (40) auf dem Federelement (35, 135, 135', 235, 235', 235'') mit einer Durchkontaktierung (50) elektrisch kontaktiert ist.
  11. Elektronisches Bauteil (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass auf mindestens einem Kontaktbereich (30) Lot zur elektrischen Kontaktierung des elektronischen Bauteils (1) angeordnet ist.
  12. Verfahren zur Herstellung eines elektronischen Bauteils (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausnehmung (22, 125, 125', 225, 225', 225'') mit einem Laser oder einer Fräse oder durch Stanzen in dem Substrat (10) gebildet wird.
DE102010042379A 2010-10-13 2010-10-13 Elektronisches Bauteil Withdrawn DE102010042379A1 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010042379A DE102010042379A1 (de) 2010-10-13 2010-10-13 Elektronisches Bauteil
PCT/EP2011/066342 WO2012048997A1 (de) 2010-10-13 2011-09-20 Elektronisches bauteil

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102010042379A DE102010042379A1 (de) 2010-10-13 2010-10-13 Elektronisches Bauteil

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE102010042379A1 true DE102010042379A1 (de) 2012-04-19

Family

ID=44651852

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE102010042379A Withdrawn DE102010042379A1 (de) 2010-10-13 2010-10-13 Elektronisches Bauteil

Country Status (2)

Country Link
DE (1) DE102010042379A1 (de)
WO (1) WO2012048997A1 (de)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4324479A1 (de) 1993-07-22 1995-03-09 Blaupunkt Werke Gmbh Verfahren zur Herstellung von lötfähigen Strukturen zur Kontaktierung von elektrischen Modulen
US6064576A (en) * 1997-01-02 2000-05-16 Texas Instruments Incorporated Interposer having a cantilevered ball connection and being electrically connected to a printed circuit board
WO2002034018A1 (en) * 2000-10-20 2002-04-25 Silverbrook Research Pty. Ltd. A multi-chip integrated circuit carrier
US20070085220A1 (en) * 2005-10-19 2007-04-19 Hortaleza Edgardo R Re-enforced ball-grid array packages for semiconductor products

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5759047A (en) * 1996-05-24 1998-06-02 International Business Machines Corporation Flexible circuitized interposer with apertured member and method for making same
JP2003198068A (ja) * 2001-12-27 2003-07-11 Nec Corp プリント基板、半導体装置、およびプリント基板と部品との電気的接続構造
WO2009062539A1 (de) * 2007-11-12 2009-05-22 Osram Gesellschaft mit beschränkter Haftung Platine sowie herstellung derselben

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4324479A1 (de) 1993-07-22 1995-03-09 Blaupunkt Werke Gmbh Verfahren zur Herstellung von lötfähigen Strukturen zur Kontaktierung von elektrischen Modulen
US6064576A (en) * 1997-01-02 2000-05-16 Texas Instruments Incorporated Interposer having a cantilevered ball connection and being electrically connected to a printed circuit board
WO2002034018A1 (en) * 2000-10-20 2002-04-25 Silverbrook Research Pty. Ltd. A multi-chip integrated circuit carrier
US20070085220A1 (en) * 2005-10-19 2007-04-19 Hortaleza Edgardo R Re-enforced ball-grid array packages for semiconductor products

Also Published As

Publication number Publication date
WO2012048997A1 (de) 2012-04-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69819216T2 (de) Freitragende Kugelverbindung für integrierte Schaltungschippackung
EP3262666B1 (de) Elektrisches bauelement und verfahren zur herstellung eines elektrischen bauelements
DE4318241C2 (de) Metallbeschichtetes Substrat mit verbesserter Widerstandsfähigkeit gegen Temperaturwechselbeanspruchung
DE102011079708B4 (de) Trägervorrichtung, elektrische vorrichtung mit einer trägervorrichtung und verfahren zur herstellung dieser
DE102012201172B4 (de) Verfahren zur Herstellung eines Leistungshalbleitermoduls mit geprägter Bodenplatte
DE102012020477A1 (de) Gedruckte Schaltung und elektronische Vorrichtung mit der gedruckten Schaltung
DE102014113519B4 (de) Elektronisches Bauelement, Anordnung und Verfahren
DE102006003137A1 (de) Elektronikpackung und Packungsverfahren
DE102006060533A1 (de) Verfahren zur Herstellung einer ersten Schicht mit einer elektrischen Leitung und Anordnung mit einer Kontaktschicht
DE102018204473B4 (de) Halbleitervorrichtung
EP3599636A1 (de) Keramischer schaltungsträger und elektronikeinheit
DE10142117A1 (de) Elektronisches Bauteil mit wenigstens zwei gestapelten Halbleiterchips sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE19614501C2 (de) Verfahren zum Herstellen eines Keramik-Metall-Substrates sowie Keramik-Metall-Substrat
DE102006058695B4 (de) Leistungshalbleitermodul mit stumpf gelötetem Anschlusselement
DE102010042379A1 (de) Elektronisches Bauteil
EP2447991A2 (de) Kontaktelement und Verwendung eines Kontaktelements in einem elektronischen Bauteil
DE10223203B4 (de) Elektronisches Bauelement-Modul und Verfahren zu dessen Herstellung
DE10139985B4 (de) Elektronisches Bauteil mit einem Halbleiterchip sowie Verfahren zu seiner Herstellung
DE102018217607A1 (de) Halbleiterbauelement-Anordnung, Verfahren zu deren Herstellung sowie Entwärmungseinrichtung
DE102018212273A1 (de) Elektronikeinheit
DE10219353B4 (de) Halbleiterbauelement mit zwei Halbleiterchips
EP1498208A1 (de) Anordnung zur Befestigung eines Bauelements
WO2022243298A1 (de) Optoelektronische baugruppe und verfahren zur herstellung
DE102016219423A1 (de) Anordnung
DE10034081A1 (de) Halbleiterbauelement mit mehreren Halbleiterchips

Legal Events

Date Code Title Description
R163 Identified publications notified
R005 Application deemed withdrawn due to failure to request examination