DE102007023339A1 - Ventil mit einem Verschlussorgan - Google Patents
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Abstract
Ventil mit einem Verschlussorgan (3) zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung (1) in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan (3) bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator (4), ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung, zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente (22) in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator (4) für eine Bewegung des Verschlussorgans (3) mit dieser Bewegungskomponente (22) einen Schließhub mit linearer Hubrichtung (23) ausführt, wobei der Aktuator (4) in Relation zum Verschlussorgan (3) so angeordnet ist, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22) des Verschlussorgans (3) und der linearen Hubrichtung (23) des Aktuators (4) ein von 0° und 180° abweichender Winkel vorgesehen ist.
Description
- Die vorliegende Erfindung betrifft ein Ventil mit einem Verschlussorgan zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator für eine Bewegung des Verschlussorgans mit dieser Bewegungskomponente einen Schließhub mit linearer Hubrichtung ausführt.
- Gattungsgemäße Ventile werden zum Beispiel bei der Halbleiterherstellung oder -bearbeitung dazu verwendet, einzelne Bearbeitungsschritte gasdicht in weitgehend luftentleerten, also vakuumierten, abgeschlossenen Bereichen vornehmen zu können. Häufig wird bei diesen Ventilen auch von sogenannten Vakuumventilen gesprochen. Auch die Bezeichnung Schieberventil wird häufiger verwendet, da das Verschlussorgan des Ventils auf seinem Weg von der Stellung maximaler Öffnung zur Schließstellung zumindest bereichsweise linear verschoben wird. Grundsätzlich ist bei solchen Ventilen darauf bedacht zu nehmen, dass eine üblicherweise am Verschlussorgan oder an der damit korrespondierenden Sitzfläche des Ventils angeordnete Dichtung nicht ab dem Augenblick, ab dem das Verschlussorgan die Dichtfläche berührt, quer zu ihrer Längsrichtung beansprucht wird. Derartige Scherbeanspruchungen der Dichtungen werden gemeinhin als sehr nachteilig für die Lebensdauer der Dichtung angesehen. Um dies zu vermeiden, haben sich verschiedene Typen von Verschlussorganen beim Stand der Technik herausgebildet, die jeweils zumindest teilweise in einer Linearbewegung von der maximal geöffneten Stellung in die Schließstellung bewegbar sind. Eine erste Gruppe von Verschlussorganen ist im Wesentlichen keilförmig ausgebildet, sodass aufgrund der Keilwirkung eine Kraftkomponente senkrecht zur Sitzfläche am Ende der Schließbewegung das Verschlussorgan an die Sitzfläche anpresst. Solche Ausgestaltungsformen von Verschlussorangen sind z. B. in der
US 4,921,213 und derUS 7,011,294 gezeigt. Bei anderen gattungsgemäßen Ventilen ist vorgesehen, dass das Verschlussorgan zum Schließen des Ventils von einem Aktuator zunächst in eine Verschieberichtung linear verschoben wird, bis sich das Verschlussorgan in einer der Ventilöffnung gegenüberliegenden aber vom Ventilsitz noch abgehobenen Position befindet. Im Anschluss erfolgt dann eine Bewegung mit einer weiteren, üblicherweise senkrecht zur Sitzfläche ausgerichteten Bewegungskomponente, wodurch das Verschlussorgan an die Sitzfläche des Ventilgehäuses angepresst wird. Der zweite Abschnitt der Schließbewegung wird bei solchen Schieberventilen auf unterschiedliche Arten erreicht. DieUS 6,629,682 zeigt z. B. ein gattungsgemäßes Ventil, bei dem das Verschlussorgan über eine Kippbewegung mittels eines weiteren Aktuators an die Sitzfläche des Ventilgehäuses angepresst wird. Bei dieser Art von Ventilen, bei denen das Verschlussorgan insgesamt eine L- oder J-förmige Bewegung vollzieht, ist es in anderen Varianten auch bekannt, dass Anpressen des Verschlussorgans an die Sitzfläche über Kippelemente zu realisieren. Eine derartige Konstruktion ist z. B. in derDE 32 24 387 gezeigt. - Weitere beim Stand der Technik bekannte Varianten von Verschlussorganen werden bei Ihrer Bewegung von der maximal geöffneten Stellung in die Schließstellung ausschließlich in einer Richtung linear bewegt. Bei diesen ist vorgesehen, dass die Sitzfläche des Ventilkörpers entsprechend senkrecht zur Bewegungsrichtung des Verschlussorgans angeordnet ist. Als Beispiel hierfür ist die
US 6,685,163 zu nennen. - Beim Stand der Technik ist es üblich, die Linearbewegung des Verschlussorgans mittels einer meist pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheit zu realisieren. Die Kolbenstange dieser Einheit wirkt dabei in der Regel unmittelbar auf das Verschlussorgan. Dies hat zwei Nachteile. Zum Einen ist die mittels dieser pneumatischen Aktuatoren realisierbare Schließ- und Öffnungsgeschwindigkeit vor allem in der ersten Bewegungsphase nicht so hoch, wie dies zu wünschen wäre. Zum Anderen müssen diese Aktuatoren sehr groß dimensioniert und ausgelegt werden, um die gewünschten Schließdrücke in der Schließstellung des Verschlussorgans bereitstellen zu können.
- Aus der
JP 6-241344 - Aufgabe der Erfindung ist es, eine einfache Konstruktion mit möglichst wenig bewegten Teilen für ein gattungsgemäßes Ventil zur Verfügung zu stellen, bei der der Schließhub möglichst rasch realisierbar ist und in der Schließstellung mit relativ gering dimensionierten Aktuatoren hohe Schließdrücke erreichbar sind.
- Dies wird durch ein Ventil mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 erreicht.
- Durch die Anordnung des Aktuators in erfindungsgemäßer Relation zum Verschlussorgan können relativ einfache, aber effektive Übertragungsmechanismen realisiert werden, die sowohl eine hohe Schließgeschwindigkeit des Verschlussorgans als auch ausreichend große Schließkräfte in der Schließstellung mit vergleichsweise kleinen Aktuatoren realisierbar machen.
- Im Sinne einer optimalen Kraftausbeute ist günstigerweise vorgesehen, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente des Verschlussorgans und der linearen Hubrichtung des Aktuators ein Winkel zwischen 45° und 135°, vorzugsweise zwischen 80° und 100°, vorgesehen ist.
- Besonders bevorzugte Ausführungsvarianten sehen vor, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente des Verschlussorgans und der linearen Hubrichtung des Aktuators ein Winkel von 90°, also ein senkrechter Winkel vorgesehen ist.
- Die Richtungen der linearen Bewegungskomponente und die lineare Hubrichtung werden günstigerweise durch jeweils entsprechend ausgeformte Führungen vorgegeben.
- Bevorzugte Varianten zur Übersetzung der linearen Hubbewegung des Aktuators in eine Schließbewegung mit einer linearen Bewegungskomponente sehen vor, dass zumindest ein Arm zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators auf das Verschlussorgan mit dem Aktuator über einen ersten Anlenkpunkt drehbar und mit dem Verschlussorgan über einen zweiten Anlenkpunkt drehbar verbunden ist.
- Das Verschlussorgan kann dabei direkt mit dem entsprechenden Arm drehbar verbunden sein. Insbesondere bei gasdichten Ventilen sehen bevorzugtere Ausführungsvarianten jedoch ein indirektes Anlenken des Arms am Verschlussorgan vor, indem letzteres mit mindestens einer Ventilstange vorzugsweise starr verbunden ist und der Arm im zweiten Anlenkpunkt drehbar mit der Ventilstange verbunden ist. Hierdurch ist es möglich, das Verschlussorgan im Bereich der Ventilstange linear zu führen und gegen das Ventilgehäuse vorzugsweise gasdicht abzudichten. Um eine entsprechende Hebelwirkung mit einer hohen Anfangsgeschwindigkeit bei der Schließbewegung und großen Kräften am Ende der Schließbewegung zu erreichen, sollten der erste Anlenkpunkt und der zweite Anlenkpunkt voneinander beabstandet sein.
- Die Erfindung ist grundsätzlich mit allen oben beim Stand der Technik genannten Formen von Verschlussorganen realisierbar. Diesen ist gemeinsam, dass das Verschlussorgan beim Schließvorgang ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung als erstes entlang der Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente bewegbar ist. Ob das Verschlussorgan beim Schließvorgang ausschließlich linear in dieser Richtung bewegt wird oder nicht, hängt von der Ausgestaltungsform des Verschlussorgans und der korrespondierenden Form der Sitzfläche ab. Die Erfindung ist auch mit Verschlussorganen realisierbar, die dazu ausgelegt sind, im Anschluss an die Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente zum vollständigen Erreichen der Schließstellung mit einer, in einem von 0° und 180° abweichenden Winkel zur linearen Bewegungskomponente ausgerichteten, weiteren Bewegungskomponente an zumindest eine abdichtende Sitzfläche anpressbar zu sein. Darüber hinaus ist es auch denkbar, dass das Verschlussorgan im Bereich der oben genannten, vorzugsweise ersten, Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente zusätzlich eine dazu senkrecht gerichtete weitere Bewegungskomponente erfährt. Einfacher zu gestalten und besser abzudichten sind jedoch Verschlussorgane, die entlang der vorzugsweise ersten Teilstrecke ausschließlich mit linearer Bewegungskomponente in eine Richtung bewegbar sind.
- Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Figurenbeschreibung. Dabei zeigen:
- Die
1 bis6 ein bevorzugtes erstes Ausführungsbeispiel der Erfindung und - die
7 bis10 schematisch verschiedene ebenfalls erfindungsgemäße Abwandlungsformen. - Im ersten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel ist das Verschlussorgan
3 in Form einer Ventilplatte15 ausgebildet. Diese führt bei der Bewegung von der in1 dargestellten Stellung maximaler Öffnung in die in den2 und3 dargestellte Schließstellung ausschließlich eine lineare Bewegung mit der Bewegungskomponente in Richtung22 aus. Der Öffnungshub erfolgt entsprechend in Gegenrichtung des Pfeils22 . Die Sitzfläche14 ist in diesem Ausführungsbeispiel am Ventilgehäuse2 angeordnet. Sie ist derart ausgebildet, wie dies in derUS 6,685,163 ausführlich beschrieben und dargestellt ist, sodass diesbezüglich auf diese Schrift verwiesen wird. Insofern ist dieUS 6,685,163 als Teil der Offenbarung dieser Anmeldung anzusehen. - In der maximal geöffneten Stellung gemäß
1 ist die Ventilöffnung1 zu sehen, die es mittels des Verschlussorgans3 zu verschließen gilt. Das Verschlussorgan3 bzw. die Ventilplatte15 ist in diesem Ausführungsbeispiel starr mit zwei Ventilstangen8 verbunden. Diese sind hier in einer an sich bekannten gasdichten Ventilstangenführung9 linear geführt. Am dem Verschlussorgan3 entgegengesetzten Ende der Ventilstangen8 ist jeweils ein Arm bzw. Hebel5 über den zweiten Anlenkpunkt7 drehbar angelenkt. Die ersten Anlenkpunkte6 befinden sich an den jeweils zum Anlenkpunkt7 entgegengesetzten Enden der Arme5 . Über diese Anlenkpunkte6 sind die Arme5 drehbar mit dem Aktuator4 verbunden. Diese Verbindung ist bei dieser Variante über einen Schlitten16 realisiert, welcher vom Aktuator4 zwischen der in1 gezeigten Stellung und der in3 gezeigten Hubrichtung23 und beim öffnen entgegengesetzt bewegt werden kann. Der Aktuator4 ist in der hier gezeigten bevorzugten Ausgestaltungsform als elektromagnetischer Linearantrieb13 ausgeführt. Solche Antriebe sind an sich bekannt. Zur Abstützung der über die Arme5 in Richtung22 zu übertragenden Kräfte ist die Aktuatorführung12 vorgesehen, welche parallel zur Bewegungsrichtung23 des Linearantriebs13 verläuft. Die Drehachsen der ersten Anlenkpunkte6 und der zweiten Anlenkpunkte7 stehen bevorzugt jeweils vertikal zu den Richtungen22 und/oder23 . Die in4 dargestellte Längsachse26 der Ventilöffnung1 steht bevorzugt ebenfalls senkrecht zu den Richtungen22 und/oder23 . - Ausgehend von der Stellung der maximalen Öffnung gemäß
1 wird das Verschlussorgan3 durch Verschieben des Schlittens16 in die in2 gestellte Schließstellung verschoben. Dabei drücken die Arme5 die Ventilstangen8 und damit die Ventilplatte15 nach unten auf die Sitzflächen14 des Ventilgehäuses2 . Zur Aufnahme der Schließkräfte ist der Schlitten16 dabei über die Aktuatorenführung12 am Führungsabschnitt17 des Ventilgehäuses2 abgestützt.3 zeigt eine Stellung, die bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung realisiert wird. In dieser Schließstellung ist das Verschlussorgan3 selbsthemmend gehalten. Gemäß der gezeigten Variante wird dies erreicht, indem die Arme5 bzw. die ersten Anlenkpunkte6 in Hubrichtung23 über ihre jeweiligen Totpunkte hinwegbewegt werden. Der Totpunkt liegt dabei in einer Stellung, in der die Verbindungen der Mittelpunkte der ersten Anlenkpunkte6 mit den Mittelpunkten der jeweils darunterliegenden zweiten Anlenkpunkte7 exakt auf den auf sie einwirkenden Kraftvektoren liegen. Diese Linien sind in3 gestrichelt eingezeichnet und mit dem Bezugszeichen11 versehen. In der in3 gezeigten selbstarretierenden Stellung sind die Mittelpunkte der ersten Anlenkpunkte6 über die auf den Linien11 liegenden Totpunkte hinweggefahren. -
4 zeigt die Schnittlinie A-A in einer Seitenansicht auf das erste Ausführungsbeispiel.5 zeigt den der Linie A-A zugeordneten Schnitt durch das Ausführungsbeispiel. Im Bereich des elektromagnetischen Linearantriebs13 sind dessen hülsenförmiger Abschnitt18 und die davon umfasste Kernstange19 gezeigt. Günstigerweise sind die hier nicht explizit dargestellten elektromagnetischen Spulen des Linearantriebs13 im hülsenförmigen Abschnitt18 angeordnet, während in der Kernstange19 , wie an sich bekannt, Permanentmagneten vorgesehen sind. Dies vereinfacht die elektrische Anbindung der im hülsenförmigen Abschnitt angeordneten Elektromagneten. Im Bereich der Aktuatorführung12 sind die in der Hülse25 vorgesehenen Kugellager20 angedeutet, welche dafür sorgen, dass beim Verschieben des Schlittens16 möglichst geringe Verluste durch Reibungskräfte auftreten. -
6 zeigt zusätzlich noch eine perspektivische Ansicht auf die vom Verschlussorgan3 abgewandte Rückseite des Ausführungsbeispiels. - Neben anderen Ausgestaltungsformen wäre es in Abwandlung des besprochenen Ausführungsbeispiels möglich, die Zahl der vorgesehenen Arme
5 und Ventilstangen8 zu variieren. Es ist sowohl möglich, nur eine Ventilstange und nur einen Arm5 , als auch jeweils mehrere dieser Bauteile vorzusehen. Die Erfindung muss auch nicht zwingend mit dem bevorzugten elektromagnetischen Linearmotor13 realisiert werden. Anstelle dessen können auch pneumatische oder hydraulische Kolben-Zylinder-Einheiten oder eine Drehbewegung ausführende Elektromotoren vorgesehen sein. Zur Umsetzung der Drehbewegung des Elektromotors sind dann beim Stand der Technik bekannte Einrichtungen zur Umwandlung einer Drehbewegung in die lineare Hubbewegung23 vorzusehen. Dies können z. B. an sich bekannte Spindelgetriebe oder Zahnstangengetriebe sein, wobei dann die Spindeln oder Zahnstangen entsprechend eine Linearbewegung in Richtung23 relativ zum Elektromotor und zum Rest des Getriebes ausführen. Als Elektromotoren kommen bei diesen Varianten bevorzugt Schrittmotoren zum Einsatz. -
7 zeigt schematisch, wie unter Verwendung von zusätzlichen Armen5 sogenannte Kniehebel im Sinne der Erfindung realisierbar sind. Diese haben den Vorteil, dass die in Gegenrichtung zu Richtung22 wirkenden Kräfte nicht mehr vom Linearantrieb13 oder einer in7 nicht dargestellten linearen Aktuatorführung12 aufgenommen werden müssen, sondern an Fixpunkten10 eingeleitet werden können. Diese Fixpunkte10 könnten z. B. am Ventilgehäuse2 oder anderen entsprechend statisch festen Bauteilen angeordnet sein. Wie in7 gezeigt, ist die in Richtung23 und in Gegenrichtung mittels des Linearantriebs13 verschiebbare Schubstange21 an den ersten Anlenkpunkten6 der beiden Kniehebel drehbar angelenkt. Von diesen Punkten6 führt jeweils ein Arm5 der Kniehebel zum jeweils zweiten drehbaren Anlenkpunkt7 an den Ventilstangen8 . Nach oben hin sind die ersten Anlenkpunkte6 über die oberen Arme5 an den Fixpunkten10 abgestützt. Die Fixpunkte10 sowie die ersten und zweiten Anlenkpunkte6 und7 sind jeweils drehbar ausgeführt. - Die
8 bis10 zeigen in einer jeweils stark schematisierten Seitenansicht auf die Ventilöffnung1 beispielhaft, wie die Verschlussorgane alternativ ausgeformt und bewegt sein können. Bei den Ausführungsvarianten gemäß8 und9 sind die Verschlussorgane3 jeweils keilförmig ausgeführt. Die Schließbewegung mit linearer Komponente in Richtung22 kann wie im ersten Ausführungsbeispiel gezeigt, gemäß der Erfindung realisiert werden. Durch die Keilform der Verschlussorgane3 werden diese, wenn sie in die entsprechenden keilförmigen Sitzflächen14 in Richtung22 eingeführt werden, an die Sitzfläche gasdichtend angepresst. Die konkrete Form der Verschlussorgane3 kann sich dabei z. B. an die in den Fig. derUS 7,011,294 oder derUS 4,921,213 anlehnen. Alternativ zu der Keilform können auch Kippelemente zum Einsatz kommen, wie sie z. B. in derDE 32 24 387 gezeigt sind. - In
10 ist eine Ausführungsvariante schematisch angedeutet, bei der das Verschlussorgan zunächst gemäß der Erfindung in Richtung22 linear nach unten in den Bereich der Ventilöffnung1 , also in Richtung Schließstellung bewegt wird. Anschließend erfolgt ein Anpressen des Verschlussorgans3 an die Sitzfläche14 durch eine Bewegungskomponente24 , deren Richtung senkrecht zur Bewegungskomponente22 ist. Zur Realisierung dieser Bewegungskomponente24 kann ein weiterer Aktuator notwendig sein. Dies ist z. B., wie in derUS 6,629,682 gezeigt, mittels einer Schwenkachse und einem zusätzlichen Hubkolben realisierbar. - Die verschiedenen hier gezeigten Ausführungsvarianten der Erfindung sind besonders gut als sogenannte Vakuumventile einsetzbar. Diese dienen dazu, eine Ventilöffnung so gasdicht abzudichten, dass im dadurch geschlossenen Hohlraum im Vakuum gearbeitet werden kann. Unter Vakuum ist dabei ein technisch realisierbares Abpumpen der Luft bzw. des Gases aus dem Hohlraum zu verstehen, wie es z. B. bei der Bearbeitung und Herstellung von Halbleiterbauteilen eingesetzt wird.
-
- 1
- Ventilöffnung
- 2
- Ventilgehäuse
- 3
- Verschlussorgan
- 4
- Aktuator
- 5
- Arm
- 6
- erster Anlenkpunkt
- 7
- zweiter Anlenkpunkt
- 8
- Ventilstange
- 9
- Ventilstangenführung
- 10
- Fixpunkt
- 11
- Linie
- 12
- Aktuatorführung
- 13
- Linearantrieb
- 14
- Sitzfläche
- 15
- Ventilplatte
- 16
- Schlitten
- 17
- Führungsabschnitt
- 18
- hülsenförmiger Abschnitt
- 19
- Kernstange
- 20
- Kugellager
- 21
- Schubstange
- 22
- lineare Bewegungskomponente
- 23
- Hubrichtung
- 24
- weitere Bewegungsrichtung
- 25
- Hülse
- 26
- Längsachse
- ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
- Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
- Zitierte Patentliteratur
-
- - US 4921213 [0002, 0025]
- - US 7011294 [0002, 0025]
- - US 6629682 [0002, 0026]
- - DE 3224387 [0002, 0025]
- - US 6685163 [0003, 0018, 0018]
- - JP 6-241344 [0005]
Claims (16)
- Ventil mit einem Verschlussorgan zum, insbesondere gasdichten, Verschließen einer Ventilöffnung in einer Schließstellung des Verschlussorgans, wobei das Verschlussorgan bei einem Schließvorgang von zumindest einem Aktuator ausgehend von einer ersten Stellung maximaler Öffnung zumindest auf einer Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und der Aktuator für eine Bewegung des Verschlussorgans mit dieser Bewegungskomponente einen Schließhub mit linearer Hubrichtung ausführt, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (
4 ) in Relation zum Verschlussorgan (3 ) so angeordnet ist, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (22 ) des Verschlussorgans (3 ) und der linearen Hubrichtung (23 ) des Aktuators (4 ) ein von 0° und 180° abweichender Winkel vorgesehen ist. - Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (
22 ) des Verschlussorgans (3 ) und der linearen Hubrichtung (23 ) des Aktuators (4 ) ein Winkel zwischen 45° und 135°, vorzugsweise zwischen 80° und 100°, vorgesehen ist. - Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen der linearen Bewegungskomponente (
22 ) des Verschlussorgans (3 ) und der linearen Hubrichtung (23 ) des Aktuators (4 ) ein Winkel von 90° vorgesehen ist. - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (
3 ) beim Schließvorgang ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung als erstes entlang der Teilstrecke mit linearer Bewegungskomponente bewegbar ist. - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (
3 ) in seiner Schließstellung selbsthemmend gehalten ist. - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest ein Arm (
5 ) zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators (4 ) auf das Verschlussorgan (3 ) mit dem Aktuator (3 ) über einen ersten Anlenkpunkt (6 ) drehbar und mit dem Verschlussorgan (3 ) über einen zweiten Anlenkpunkt (7 ) drehbar verbunden ist. - Ventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (
3 ) mit mindestens einer Ventilstange (8 ), vorzugsweise starr, verbunden ist und der Arm (5 ) im zweiten Anlenkpunkt (7 ) drehbar mit der Ventilstange (8 ) verbunden ist. - Ventil nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, dass der erste Anlenkpunkt (
6 ) und der zweite Anlenkpunkt (7 ) voneinander beabstandet sind. - Ventil nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventilstange (
8 ) in einer, vorzugsweise gasdichten, Ventilstangenführung (9 ) linear geführt ist. - Ventil nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass zur Übertragung des Schließhubes des Aktuators (
4 ) auf das Verschlussorgan (3 ) mindestens zwei Arme (5 ) vorgesehen sind, wobei die beiden Arme (5 ) im ersten Anlenkpunkt (6 ) drehbar mit dem Aktuator (4 ) verbunden sind und einer der Arme (5 ) drehbar im zweiten Anlenkpunkt (7 ) mit dem Verschlussorgan (3 ) verbunden ist und der andere Arm (5 ) drehbar an einem Fixpunkt (10 ) abgestützt ist. - Ventil nach einem der Ansprüche 6 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der (die) Arme (
5 ) in der Schließstellung des Verschlussorgans (3 ) über einen Totpunkt hinweg bewegbar ist(sind) und in der über den Totpunkt hinweg bewegten Stellung selbsthemmend verharrt (verharren). - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (
4 ) von einer Aktuatorführung (12 ) linear geführt ist (sind). - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Aktuator (
4 ) einen, vorzugsweise elektromagnetischen, Linearantrieb (13 ) aufweist. - Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass es ein Schiebeventil ist, bei dem das Verschlussorgan (
3 ) mit einer eine lineare Komponente aufweisenden Bewegung vor die Ventilöffnung (1 ) schiebbar ist. - Ventil nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (
3 ) beim Schließvorgang ausschließlich eine lineare Bewegung mit nur einer Bewegungskomponente ausführt. - Ventil nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, dass das Verschlussorgan (
3 ) ausgehend von der ersten Stellung maximaler Öffnung auf der Teilstrecke mit einer linearen Bewegungskomponente (22 ) in Richtung seiner Schließstellung bewegbar ist und zum vollständigen Erreichen der Schließstellung mit einer, in einem von 0° und 180° abweichenden Winkel zur linearen Bewegungskomponente (24 ) ausgerichteten weiteren Bewegungskomponente (22 ) an zumindest eine abdichtende Sitzfläche (14 ) anpressbar ist.
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