DE10164606A1 - Flip-Chip-Halbleitereinrichtung mit außerhalb von Energiezufuhranschlussflächen angeordneten Signalanschlussflächen - Google Patents
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung mit außerhalb von Energiezufuhranschlussflächen angeordneten SignalanschlussflächenInfo
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Abstract
Eine Flip-Chip-Halbleitereinrichtung (50A) hat eine Zellen bildende Lage, die Makrozellen und Eingangs- und Ausgangszellen (2¶1¶/2¶2¶/2¶3¶/2¶4¶) zugeordnet ist, und eine Anschlußflächen bildende Lage, die Energiezufuhrflächen (11/12) für die Makrozellen und Eingangs- und Ausgangszellen sowie Signalanschlußflächen für die Eingangs- und Ausgangszellen zugeordnet ist. Die Signalanschlußflächen sind außerhalb der Energiezufuhranschlußflächen (11/12) angeordnet, wodurch ein Bauteilsubstrat (50B), das mit der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung zusammmenzufügen ist, hinsichtlich der Signalleitungen (51¶1¶/51¶2¶/51¶3¶/51¶4¶ bis 54¶1¶/54¶2¶/54¶3¶/54¶4¶) auf einer Ebene mit der Signalanschlußfläche (41¶1¶/41¶2¶/41¶3¶/41¶4¶ bis 44¶1¶/44¶2¶/44¶3¶/44¶4¶) vereinfacht wird, weil jede der Signalzuführanschlußflächen keinerlei Hindernis gegenüber den Signalleitungen bildet.
Description
Die Erfindung betrifft eine Halbleitereinrichtung und insbesondere eine Flip-Chip-Halbleiter
einrichtung, die mit einer mehrlagigen Schaltungsplatte oder -tafel verbunden werden soll.
Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen sind vorzugsweise für integrierte Schaltungen mit mehr als
tausend Pins bestimmt. Ein typisches Beispiel der Anwendung ist ein Hochgeschwindigkeits
interface (Schnittstelle) in einem elektronischen System hoher Leistungsaufnahme. Wenn
Hersteller Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen entwickeln, widmen sie in der Regel der
Arbeitsleistung und -weise mehr Bedeutung als den Kosten. Aus diesem Grund sind Flip-
Chip-Halbleitereinrichtungen teuerer als andere Arten Halbleitereinrichtungen. Deshalb errei
chen Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen hohe Arbeitsleistung und vernünftige Arbeitsweisen
zu Lasten der Kosten. Nichtsdestoweniger besteht bei den Herstellern eine große Anforderung
nach Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen. Dies deshalb, weil die Anwender Halbleitereinrich
tungen hoher Arbeitsleistung für multifunktionale elektronische Systeme hoher Geschwindig
keit abfordern. Tatsächlich erhöhen die Hersteller die Produktion von Flip-Chip-Halbleiter
einrichtungen. Vor diesem Hintergrund werden Anstrengungen in Forschung und Entwick
lung nach günstigeren Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen unternommen, und zwar mit Aus
richtung sowohl auf die Kosten als auch auf die Arbeitsleistung und -weise.
Ein typisches Beispiel einer Flip-Chip-Halbleitereinrichtung ist in der offengelegten japani
schen Patentanmeldung Nr. 5-267302 offenbart. Fig. 1 zeigt die Anordnung dieser Flip-Chip-
Halbleitereinrichtung des Standes der Technik, die allgemein mit Bezugszeichen 171 be
zeichnet ist. Diese bekannte Flip-Chip-Halbleitereinrichtung umfaßt Eingangs- und Aus
gangszellen 174 kleiner Kapazität, Logik-Zellenblöcke 175, Eingangs- und Ausgangszellen
176 großer Kapazität sowie Gate-/Gitteranordnungen 182. Der periphere Teil eines Anschluß
elektroden/Kontaktwarzen bildenden Bereiches 180 ist den Eingangs- und Ausgangszellen 176
großer Kapazität zugeordnet, und diese sind mit den Anschlußelektroden 173 des peripheren
Bereiches verbunden. Andererseits ist der innere Teil 181 des Elektroden bildenden Bereiches
180 den Eingangs- und Ausgangszellen 174 zugeordnet, und diese sind mit den Gitteranord
nungen 182 in den Logikzellblöcken 175 gemischt. Da die Gitteranordnungen 182 so vorge
sehen sind, daß sie enge Bereiche wie die von den Eingangs- und Ausgangszellen 174 be
setzten einnehmen, sind die Anschlußelektroden 173 einheitlich in gleichmäßiger Teilung
bzw. Beanstandung in dem Anschlußelektroden ausbildenden Bereich 180 angeordnet. Die
genannte japanische offengelegte Patentanmeldung lehrt, daß Bereichswarzen oder -erhebun
gen in Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen dieses Standes der Technik eingesetzt werden. Je
doch schweigt die Offenbarung darüber, wie die Energieaufnahme Anschlüsse und die
Signalanschlüsse angeordnet sein sollen.
In den Verfahren zum Herstellen der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik
wird diese mit einem Bauteilsubstrat oder mit einem Mehrlagensubstrat verbunden, die eine
Vorderfläche zum Verbinden mit den Anschlußflächen aufweist, die in dem Anschlußflächen
bildenden Bereich des Flip-Chips und einer mit Elektroden ausgebildeten rückseitigen Fläche
verbunden werden sollen. Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik er
laubt es dem Hersteller nicht, die Zahl der Verdrahtungslagen zu reduzieren, so daß die
Kosten nach wie vor hoch sind. Mithin läßt diese bekannte Halbleitereinrichtung keine
Reduktion im Kostensystem zu. Bei der Herstellung wird nicht die positionelle Beziehung
zwischen den Eingangs- und Ausgangszellen sowie den Spannungsleistungseinheiten für die
Eingangs- und Ausgangszellen berücksichtigt, so daß der Entwickler und Konstrukteur es als
schwierig ansieht, die Energiezuführleitungen im inneren Bereich zu führen, also unterzu
bringen.
Eine weitere Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik ist in der offengelegten
japanischen Patentanmeldung Nr. 2000-10955 offenbart. Fig. 2 zeigt das Layout dieser be
kannten Einrichtung, wobei dieselbe mit Bezugszeichen 191 versehen ist. Sie weist einen
inneren Bereich 193 und einen peripheren Bereich um den inneren herum auf. Im inneren
Bereich 193 sind Funktionsblöcke ausgebildet. Im peripheren Bereich sind Eingangs- und
Ausgangszellen 192 ausgebildet. Den Ecken des peripheren Bereiches sind Eckzellen 194 für
die Energiezufuhr zugeordnet. Über den inneren/peripheren Bereichen sind Anschlußstreifen
oder -flächen 195 angeordnet und mit den Eingangs- und Ausgangszellen 192 und den Ener
giezuführeinheiten im inneren Bereich 193 elektrisch verbunden.
Bei dieser Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik bilden drei Eingangs- und
Ausgangszellen 192 eine Eingangs- und Ausgangszellengruppe. Die Eingangs- und Aus
gangszellengruppen sind in gleichmäßigen Abständen gleich den Abständen der Anschluß
streifen 195 angeordnet. Aus diesem Grunde sind die drei Eingangs- und Ausgangszellen 192
jeder Gruppe den zugeordneten drei Anschlußstreifen 195 über ein übliches Verdrahtungsmu
ster zugeordnet. Um das übliche Verdrahtungsmuster wiederholt benutzen zu können, sind die
Eingangs- und Ausgangszellengruppen, die gleich einem Mehrfachen von drei sind, entlang
jedes Randes der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik angeordnet. Die
Beschreibung konzentriert sich darauf, wie ein vorbestimmtes Verdrahtungsmuster wiederholt
für die Eingangs- und Ausgangszellengruppen verwendet werden soll, und schweigt darüber,
wie die Anschlußstreifen 195 den Eingangs- und Ausgangszellen 192 für Signalübertragung
und Energiezufuhr zugeordnet werden oder sein sollen.
Ein typisches Beispiel der Anschlußstreifenzuordnung besteht darin, daß die Anschlußflächen
selektiv den Eingangs- und Ausgangszellen für die Signalübertragung und die Energiezufüh
rung zugeordnet sind. Dadurch kommt es vor, daß die einen Anschlußflächen mit den ande
ren, also die Energie- und die Signalanschlußflächen miteinander verwechselt werden. Die
Halbleitereinrichtung des Standes der Technik wird mit einem Bausteinsubstrat vereinigt.
Dieses hat eine mehrlagige Struktur, die wiederum eine Anschlußflächen bildende Lage dort
hat, wo Anschlußflächen, die mit den Anschlußflächen der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
des Standes der Technik verbunden werden sollen, ausgebildet sind. Die mit Verdrahtungs
leitungen in anderen Lagen elektrisch verbundenen Anschlußflächen und die Verdrahtungs
leitungen werden schließlich mit Elektroden verbunden, die auf der Fläche umgekehrt zur
Anschlußfläche bildenden Lage ausgebildet sind. Da bei der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
des Standes der Technik die Energiezufuhranschlüsse mit den Signalanschlüssen vermischt
sind, müssen auch beim Bausteinsubstrat die Energiezufuhranschlüsse mit den Signalan
schlüssen vermischt sein. Wenn der Hersteller die Verdrahtungsleitungen auf der Anschlüsse
bildenden Lage führt, müssen einige Verdrahtungslagen die Energiezuführanschlüsse umge
hen. Die Verdrahtungslagen ändern die Lage über Durchgangslöcher, um die Energiezuführ
anschlüsse zu umgehen. Aus diesem Grunde muß die Zahl der Lagen für die Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung des Standes der Technik erhöht werden. Selbst wenn die Herstellungskosten
für die bekannte Einrichtung konstant bleiben, werden die Gesamtkosten hoch.
Deshalb ist es ein wesentliches Ziel der vorliegenden Erfindung, eine Flip-Chip-Halbleiter
einrichtung zu schaffen, die zu einer Reduzierung der Gesamtkosten eines elektrischen
Systems beiträgt.
Entsprechend einem Hauptaspekt der vorliegenden Erfindung ist eine Flip-Chip-Halbleiter
einrichtung einer mehrlagigen Struktur vorgesehen, die eine Zellen bildende Lage und eine
Anschlußflächen bildende Lage aufweist und Eingangs- und Ausgangszellen, die in der Zel
len bildenden Lage zusammen mit Makrozellen ausgebildet sind, Energiezuführanschlußflä
chen, die in der Anschlußflächen bildenden Lage ausgebildet und elektrisch mit den Ein
gangs- und Ausgangszellen verbunden sind, sowie Signalanschlußflächen umfaßt, die in der
Anschlußflächen bildenden Schicht ausgebildet, elektrisch mit den Eingang- und Ausgangs
zellen verbunden und außerhalb der Energiezuführanschlußflächen angeordnet sind.
Weitere Merkmale und Vorteile der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung der Erfindung gehen
klarer und verständlicher aus der folgenden Beschreibung der vorteilhaften Ausführungsbei
spiele hervor, die in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen zu sehen ist. Darin zeigt:
Fig. 1 in Draufsicht die Anordnung einer Flip-Chip-Halbleitereinichtung des
Standes der Technik, wie sie in der offengelegten JP-Patentanmeldung
Nr. 5-267302 offenbart ist;
Fig. 2 eine Draufsicht des Layouts einer Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des
Standes der Technik, wie sie in der offengelegten JP-Patentanmeldung
Nr. 2000-389519 offenbart ist;
Fig. 3 eine Draufsicht der Anordnung einer Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 4 eine Draufsicht eines Teils der Anordnung bei starker Vergrößerung;
Fig. 5 eine Draufsicht der Anordnung der Anschlußflächen auf einem Bau
steinsubstrat des Standes der Technik;
Fig. 6 eine Draufsicht eines Teils eines Bausteinsubstrats, wie es mit einer
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung zu
sammengebaut werden soll, sowie verschiedene Modifikationen davon;
Fig. 7 eine Draufsicht der Anordnung der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 8 eine Draufsicht der Anordnung einer weiteren Flip-Chip-Halbleiterein
richtung gemäß der Erfindung;
Fig. 9 eine Draufsicht der Anordnung einer noch anderen Flip-Chip-Halblei
tereinrichtung gemäß der Erfindung;
Fig. 10 eine Draufsicht der Signalleitungen, die zwischen den in der in Fig. 9
gezeigten Flip-Chip-Halbleitereinrichtung eingerichteten Signalan
schlüssen und Eingangs- und Ausgangszellen geschaltet sind;
Fig. 11 eine Draufsicht der Signalleitungen, die zwischen den Signalanschluß
flächen und den Eingangs- und Ausgangszellen der in Fig. 3 und 4 ge
zeigten Flip-Chip-Halbleitereinrichtung geschaltet sind;
Fig. 12 eine Draufsicht, die die Energiezufuhrleitungen zeigt, die zwischen
Signalleitungsanschlüssen und den Eingangs- und Ausgangszellen der
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung der Fig. 9 geschaltet sind;
Fig. 13 eine Draufsicht, die die Energiezuführleitungen zeigt, die zwischen den
Energiezufuhranschlußflächen und den Eingangs- und Ausgangszellen
der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung der Fig. 3 und 4 geschaltet sind;
Fig. 14 eine Draufsicht, die die Anordnung von Anschlußflächen und Ein
gangs- und Ausgangszellen zeigt, wie sie in einer noch anderen Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der Erfindung beinhaltet sind;
Fig. 15 eine Draufsicht, die Energiezuführleitungen, wie sie in der Flip-Chip-
Halbleitereinrichtung vorgesehen sind, zeigt;
Fig. 16 eine Draufsicht, die die Anordnung von Eingangs- und Ausgangszel
lengruppen zeigt, wie sie in einer Modifikation der Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung gemäß der Erfindung vorhanden sind;
Fig. 17 eine Draufsicht der Anordnung von Anschlußflächen und Eingangs-
und Ausgangszellen für verschiedene Modifikationen;
Fig. 18 eine Draufsicht, die die Anordnung von Anschlußflächen und Ein
gangs- und Ausgangszellen für diverse Modifikationen zeigt; und
Fig. 19 eine Draufsicht, die die Anordnung von Anschlußflächen und Ein
gangs- und Ausgangszellen für diverse weitere Modifikationen zeigt.
In Fig. 3 und 4 ist eine erste Ausführungsform mit ihrer Anordnung einer Flip-Chip-Halblei
tereinrichtung gezeigt. Ein Teil der Anordnung ist mit einer durchgezogenen Linie A umge
ben und vergrößert in Fig. 4 dargestellt.
Bezugszeichen 1 bezeichnet die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der Erfndung, und
die ausgezogene Linie 1a bezeichnet die Peripherie der Einrichtung 1. In diesem Falle ist die
Einrichtung 1 auf einem rechteckförmigen Chip hergestellt. Dieses ist in einen peripheren
Bereich 1b, einen inneren Bereich und einen Zwischenbereich 1c zwischen dem inneren
Bereich und dem peripheren Bereich 1b unterteilt. Die vier Eckenlinien des rechteckförmigen
Chips sind mit Bezugszeichen 1d bezeichnet.
Der größte Teil des peripheren Bereichs 1b ist den Eingangs- und Ausgangsschaltungen, wie
sie mit 21/22/23 bezeichnet sind, und Signalanschlußflächen, wie sie mit 31/32/33 bezeichnet
sind, zugeordnet. Die Eingangs- und Ausgangszellen werden im folgenden als solche bezeich
net, und die Signalanschlußflächen sind mit diesen elektrisch verbunden. Jede der Eingangs-
und Ausgangszellen ist von einem Ausgangsantriebsschaltkreis und/oder einem Eingangspuf
ferschaltkreis implementiert. Ein Eingangs- und Ausgangsregelkreis kann ebenfalls von der
Eingangs- und Ausgangszelle umfaßt sein. Auch kann ein Eingangs- und Ausgangssteuerkreis
in der Eingangs- und Ausgangszelle eingeschlossen sein. Obwohl die Eingangs- und Aus
gangszellen als in einer Ebene mit den Signalanschlußflächen in Fig. 3 und 4 dargestellt sind,
weist die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung eine mehrlagige Struktur auf, und die Eingangs-
und Ausgangszellen sind einer bestimmten Ebene, die niedriger als die den Signalanschluß
flächen zugeordnete Ebene ist, zugeordnet. Die Signalanschlußflächen sind auf der höchsten
Ebene des mehrlagigen Aufbaus ausgebildet. Die höchste Ebene ist im folgenden "Anschluß
flächen bildende Lage" genannt.
Die Eingangs- und Ausgangszellen sind in dem peripheren Bereich 1b angeordnet. Mehrere
Eingangs- und Ausgangszellen 31/32/33 bilden eine Eingangs- und Ausgangszellengruppe 2.
Eine der Eingangs- und Ausgangszellengruppen ist mit gestrichelter bzw. strichpunktierter
Linie in Fig. 2 angedeutet. In diesem Falle sind drei Eingangs- und Ausgangszellen parallel zu
der zugeordneten Randlinie 1d angeordnet und bilden die Eingangs- und Ausgangszellengrup
pe 2. Mehrere Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 sind in senkrechter Richtung zu den
zugeordneten Randlinien 1d angeordnet und bilden eine Spalte Eingangs- und Ausgangszel
lengruppen 2. In diesem Falle bilden vier Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 jede der
Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2. Diese sind in jeder Spalte zueinander
beabstandet, und der Abstand zwischen benachbarten Eingangs- und Ausgangszellengruppen
2 ist Verdrahtungsleitungen (nicht gezeigt) zugeordnet.
Weiter sind die Signalanschlußflächen in dem peripheren Bereich angeordnet. Mehrere
Signalflächen sind in senkrechter Richtung zur zugehörigen Randlinie 1d angeordnet und bil
den eine Signalanschlußflächenspalte. Die Zahl der Signalflächen in jeder Spalte ist gleich der
Zahl der Eingangs- und Ausgangszellengruppen in jeder Spalte. In diesem Falle bilden vier
Signalanschlußflächen jede Signalanschlußflächenspalte. Mehrere Spalten Signalflächen
31/32/33 sind jeder Spalte Eingangs- und Ausgangszellen zugeordnet, und die Anzahl der
Spalten Signalanschlußflächen 31/32/33 ist gleich der Zahl Eingangs- und Ausgangszellen
jeder Eingangs- und Ausgangszellengruppe 2. In diesem Falle sind drei Spalten Signalan
schlußflächen 31/32/33 jeder Spalte Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 zugeordnet.
Eine der drei Spalten Signalanschlußflächen 32 ist über der Spalte Eingangs- und Ausgangs
zellengruppen 2 angebracht, und die anderen Spalten Signalanschlußflächen 31 und 33 sind
auf beiden Seiten der Spalte Signalanschlußflächen 32 ausgebildet. Die Signalanschlußflä
chen 31 der Spalte sind jeweils den Eingangs- und Ausgangszellen 21 der zugehörigen Spalte
Eingangs- und Ausgangszellengruppen zugeordnet, die Signalanschlußflächen 32 der Spalte
sind jeweils mit den Eingangs- und Ausgangszellen 22 der zugehörigen Spalte Eingangs- und
Ausgangszellengruppen verbunden, und die Signalanschlußflächen 33 der Spalte sind jeweils
mit den Eingangs- und Ausgangszellen 23 der zugehörigen Spalte der Eingangs- und Aus
gangszellengruppen verbunden. In diesem Falle sind die anderen Spalten Signalanschlußflä
chen 31 und 33 symmetrisch in bezug auf die Spalte der Signalanschlußflächen 32 vorgese
hen. Die Spalten Signalanschlußflächen 31/32/33 sind in regelmäßigen Intervallen angeord
net. Dementsprechend sind die Spalten Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 in regelmä
ßigen Abständen zueinander beabstandet. Jedes gleichmäßige Intervall zwischen benachbar
ten Spalten Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 ist das Mehrfache des regelmäßigen
Intervalls zwischen den benachbarten Spalten Signalanschlußflächen 31/32/33.
Der Zwischenbereich 1c ist Energiezuführanschlußflächen 11 und 12 zugeordnet, und die
Energiezuführanschlußflächen 11/12 sind auf/in der Ebene mit den Signalanschlußflächen
31/32/33, d. h. der Anschlußflächen bildenden Lage, ausgebildet. Damit sind die Energiezu
führanschlußflächen 11/12 innerhalb der Signalanschlußflächen 31/32/33 und dementspre
chend der Eingangs- und Ausgangszellen ausgebildet. Die Energiezuführanschlußflächen 12
sind parallel zu den Randlinien 1d angeordnet. Sie bilden folglich zwei Spalten parallel zu
einem der zwei Paare Randlinien ld. Die anderen Energiezuführflächen 11 sind ebenfalls par
allel zu den Randlinien 1d angeordnet und befinden sich innerhalb der Energiezuführflächen
12. Eine Netzspannungsebene VDD wird von den Energiezuführanschlußflächen 12 an die
Eingangs- und Ausgangszellen wie die mit 21/22/23 bezeichneten gespeist, und eine weitere
Netzspannungsebene VSS wird von den weiteren Energiezufuhranschlußflächen 11 an die
Eingangs- und Ausgangszellen gespeist. Wie später in Verbindung mit einer anderen Ausfüh
rungsform beschrieben, verengt sich der periphere Bereich teilweise an den vier Ecken des
rechteckförmigen Chips, um zu ermöglichen, daß die Energiezufuhranschlußflächen die
Ecken breit belegen können.
Die Energiezufuhranschlußflächen 11/12 sind elektrisch mit den Eingangs- und Ausgangs
zellen über Energiezufuhrleitungen (nicht gezeigt) verbunden. Um den Widerstand dieser
Leitungen zu reduzieren, werden bei der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung breite Energiezu
fuhrleitungen verwendet. Für das Führen solcher Leitungen ist allerdings ein breiter Bele
gungsbereich erforderlich. Die folgenden Gegenmaßnahmen können selektiv bei der Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung verwendet werden. Die erste Maßnahme besteht darin, die Ein
gangs- und Ausgangsstellen für das Führen der Energiezufuhrleitungen dazwischen zu beab
standen. Die zweite Gegenmaßnahme bedeutet, die Lücke zwischen benachbarten Spalten
Eingang- und Ausgangszellengruppen so auszuweiten, daß die Energiezufuhrleitungen in dem
breiten Abstand parallel zu den Spalten Eingangs- und Ausgangszellengruppen verlaufen
können. Andererseits sind die Energiezufuhrleitungen in einer Ebene mit Energiezuführlei
tungen, die mit im inneren Bereich ausgebildeten Zellen verbunden sind, geführt.
Der innere Bereich der Anschlußflächen bildenden Lage ist Energiezuführanschlußflächen
13/14 zugeordnet. Die Anschlußflächen 13 werden der Netzspannung VDD und die An
schlußflächen 14 der anderen Netzspannung VSS zugeordnet. Die Energiezuführanschlußflä
chen 13 werden von kleinen Quadraten in Fig. 3 repräsentiert, und jede der Energiezufuhran
schlußflächen 13 ist mit schrägen Linien gestrichelt, die von der obersten Ecke der linken
Seite zur unteren Ecke der rechten Seite verlaufen. Die Energiezufuhranschlußflächen 14 sind
ebenfalls durch kleine Quadrate repräsentiert. Hier ist jede dieser Flächen 14 mit schrägen
Linien gestrichelt, die von der oberen rechten Ecke zur unteren linken Ecke verlaufen. So ist
das Potential an den Energiezuführanschlußflächen 13/14 durch Vergleich der Richtung der
Schraffurlinien zu unterscheiden. Wie man aus Fig. 3 erkennt, sind die Energiezufuhran
schlußflächen 13 in versetzter Weise angeordnet. Andererseits nehmen die weiteren An
schlußflächen 14 die freien Bereiche zwischen den Anschlußflächen 13 ein und sind daher
auch in versetztem Muster ausgelegt. Unter dem inneren Bereich der Anschlußfläche bilden
den Lage sind Makrozellen wie Logikzellen angefertigt, und die Netzspannungen VSS und
VDD werden von den Anschlußflächen 13/14 über Durchgangslöcher an die Logikzellen an
gelegt. Die Eingangs- und Ausgangszellen besetzen aber nicht genau den peripheren Bereich
1b der bestimmten Ebene. Mit anderen Worten bestehen Leerräume zwischen den Bereichen,
die den Eingangs- und Ausgangszellen im peripheren Bereich 1b auf der bestimmten Ebene
zugeordnet sind. Der Hersteller kann diesen Leerbereichen weitere Makrozellen zuordnen.
Auf diese Weise wird kein tatsächlich vorhandener Raum vergeudet.
Wie leicht zu verstehen, werden die Energiezuführanschlußflächen 11/12/13/14 innerhalb der
Signalanschlußflächen 31/32/33, die sich über den Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23
befinden, ausgebildet. Dieses Merkmal ist wünschenswert, weil in dem peripheren Bereich 1b
keine Durchgangslöcher ausgebildet sind. Die Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 wer
den mit den Signalanschlußflächen 31/32/33 durch die Signalleitungen im peripheren Bereich
1b elektrisch verbunden. Der Hersteller führt bzw. ordnet die Signalleitungen an, ohne die
Durchgangslöcher in Betracht zu ziehen. Damit gestaltet sich die Anordnung der Flip-Chip-
Halbleitereinrichtung gemäß der Erfindung hinsichtlich der Entwurfsarbeiten an den Signal
leitungen wesentlich einfacher.
Ein weiterer Vorteil der Anordnung gemäß der vorliegenden Erfindung liegt in der Verbesse
rung der Eigenschaften der Einrichtung. Die Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 sind mit
den Netzspannungen VDD und VSS beaufschlagt, die von den Energiezuführanschlußflächen
11/12 über die Energiezuführleitungen versorgt werden. Eingangs-/Ausgangssignale werden
von den Signalanschlußflächen 31/32/33 über die Signalleitungen den Eingangs- und Aus
gangszellen 21/22/23 zugeführt. Wie vorstehend beschrieben, werden die Eingangs- und Aus
gangszellen 21/22/23 und die Signalanschlußflächen 31/32/33 in dem peripheren Bereich 1b
auf der bestimmten Ebene bzw. dem peripheren Bereich 1b auf der höchsten Ebene des
mehrlagigen Aufbaus ausgebildet. Dies führt dazu, daß für die Verbindung nur kurze Signal
leitungen erforderlich sind. In ähnlicher Weise werden die Energiezufuhranschlußflächen
11/12 in den Zwischenbereich 1c auf der höchsten Ebene der mehrlagigen Struktur ausgebil
det; der Zwischenbereich 1c ist dem peripheren Bereich 1b benachbart. Dies bedeutet, daß die
Energiezuführleitungen nicht verlängert sind. Ein großer Teil der Netzspannung VDD/VSS
wird in genügender Weise an die Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 ohne ernsthafte
Fluktuation angelegt, und die Eingangs-/Ausgangssignale breiten sich zwischen den Signalan
schlußflächen 31/32/33 und den Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 nicht ohne ernst
hafte Impedanz aus. Aus diesem Grund werden die Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23
hinsichtlich der Gleichstrom- wie der Wechselstromeigenschaften verbessert. Damit ist die
Anordnung gemäß der Erfindung sehr förderlich für die Verbesserung der Eigenschaften der
Einrichtung.
Das Layout gemäß der Erfindung ist für ein Bausteinsubstrat wünschenswert. Dieses hat eine
Oberfläche, die in Kontakt mit den Anschlußflächen der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung ge
halten wird; die Eingangs-/Ausgangssignale werden von dieser einen Oberfläche zu einer
weiteren Oberfläche durch mehrlagige Verdrahtungslagen übertragen. Fig. 5 zeigt eine An
ordnung von Anschlußflächen bei einem Bausteinsubstrat des Standes der Technik für eine
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Standes der Technik. Die bekannte Einrichtung weist
sowohl die Energiezuführungs- als auch Signalanschlußflächen im peripheren Bereich des
Chips auf. Dementsprechend hat das Substrat des Standes der Technik einen peripheren Be
reich, in dem die Signalanschlußflächen die mit 41 1 bis 41 3, 42 1 bis 42 3, 43 1, 43 2 und 44 1 mit
Energiezufuhranschlußflächen 46 gemischt sind. Obwohl die Signalanschlußflächen 41 1 bis
41 3, 42 1 bis 42 3, 43 1 und 43 2 mit den Signalleitungen 45 verbunden werden sollen, kann die
Signalleitung A-B nicht mit der Fläche 44 1 verbunden werden, weil die Energiezufuhrfläche
46 auf dem Weg der Signalleitung A-B auszubilden ist. Um diese Fläche 46 zu umgehen, ist
die Leitung A-B zum Anschluß 44, auf einer unterschiedlichen Ebene zu der mehrlagigen
Struktur durch ein Paar Durchgangslöcher geführt. Andererseits weist die Halbleitereinrich
tung nach der vorliegenden Erfindung die Energiezuführanschlußflächen 11/12/13/14 im Zwi
schenbereich und im inneren Bereich der Anschlußflächen bildenden Lage auf. Dementspre
chend weist das Bausteinsubstrat die Energiezufuhranschlußflächen innerhalb der Signalan
schlußflächen auf. Mit anderen Worten gibt es keine Energiezufuhranschlußfläche entspre
chend der Anschlußfläche 46 im peripheren Bereich des Substrats. Die bedeutet, daß im peri
pheren Bereich kein Hindernis zu finden ist. Aus diesem Grunde kann die Herstellung der
Signalleitungen ohne zusätzliche Ebene für das Überbrücken erfolgen.
Dieser Vorteil wird durch die in Fig. 3 und 4 gezeigte Flip-Chip-Halbleitereinrichtung bestä
tigt. Diese weist Signalanschlußflächen 31/32/33 konzentriert im peripheren Bereich 1b auf
der Anschlußfläche bildenden Lage auf. Energiezufuhranschlußflächen 11/12/13/14 sind
innerhalb der Signalanschlußflächen 31/32/33 ausgebildet. Das Bausteinsubstrat für die
Halbleitereinrichtung weist die Signalanschlußflächen konzentriert im peripheren Bereich auf,
und die Signalleitungen können ohne irgendeine Umgehungsleitung auf unterschiedlicher
Ebene verbunden werden. Dies führt zu einer Reduktion der Zahl der Verdrahtungsebenen.
Mit anderen Worten ist das Bausteinsubstrat für die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach der
Erfindung einfacher als das für die Halbleitereinrichtung nach dem Stande der Technik, wobei
die Gesamtkosten für das System drastisch reduziert werden können.
Selbst wenn die Signalanschlußflächen in komplizierterer Weise angeordnet sind als diejeni
gen 31/33, behält die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung das einfache Bausteinsubstrat. Fig. 6
zeigt einen Teil eines Bausteinsubstrats 50A, das mit einer Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
50B, die mit komplizierteren Signalanschlußflächen ausgebildet ist, zusammengesetzt werden
soll. Der Teil des Substrats 50A soll mit einem Teil der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 50B
verbunden werden, der mit einer ausgezogenen Linie R1 umgeben ist. Die Halbleitereinrich
tung 50B hat Spalten Eingang- und Ausgangzellengruppen im peripheren Bereich, und eine
dieser Spalten befindet sich innerhalb der ausgezogenen Linie R1. Die Spalte der Eingang-
und Ausgangzellengruppen umfaßt vier Eingang- und Ausgangszellengruppen 2 1, 2 2, 2 3 und
2 4. Die Gruppe 2 1 hat lediglich eine Eingangs- und Ausgangzelle. Die zugeordnete Signalan
schlußfläche befindet sich über der Eingangs- und Ausgangsgruppe 2 1. Die Eingangs- und
Ausgangszellengruppe 2 2 weist zwei Eingang- und Ausgangszellen auf, und es befinden sich
zwei Signalanschlußflächen auf beiden Seiten der Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 2. Die
Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 3 weist drei Eingang- und Ausgangzellen auf; die zuge
ordneten Signalanschlußflächen befinden sich über der Eingang- und Ausgangzellengruppen
23 und auf beiden Seiten derselben. Die Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 4 hat ebenfalls
drei Eingang- und Ausgangzellen, und die zugeordneten Signalanschlußflächen sind in ähnli
cher Weise den der Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 3 zugeordnet. Die Signalanschluß
flächengruppen 41 1 bis 41 3, 42 1 bis 42 3 und 43 1 bis 43 3 entsprechen der Spalte der Eingang-
und Ausgangzellengruppen 2 1, 2 2, 2 3 und 2 4. Die Signalanschlußfläche für die Eingang- und
Ausgangzellengruppe 2 1 soll mit der Signalanschlußfläche 42 3 verbunden werden, und die
Signalanschlußfläche 42 3 befindet sich auf der äußersten rechten Seite des Teils des Baustein
substrats 50A. Die Signalanschlußflächen für die Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 2 sol
len mit der Signalanschlußfläche 41 3 und 43 3 verbunden werden; die Signalanschlußflächen
41 3 und 43 3 befinden sich in dem langgestreckten Bereich zunächst dem langgestreckten Be
reich, der der Signalanschlußfläche 42 3 zugeordnet ist. Die Signalanschlußflächen für die
Eingang- und Ausgangzellengruppen 2 3 sollen mit den Signalanschlußflächen 41 2, 42 2 und
43 3 verbunden werden, und diese befinden sich im langgestreckten Bereich benachbart dem
langgestreckten Bereich, der den Signalanschlußflächen 41 3 und 43 3 zugeordnet ist. In ähnli
cher Weise sollen die Signalanschlußflächen für die Eingang- und Ausgangzellengruppe 2 3
mit den Signalanschlußflächen 41 1, 42 1 und 43 1 verbunden; letztere befinden sich in dem
langgestreckten Bereich auf der äußersten linken Seite des Teils des Bausteinsubstrats 50A.
Signalleitungen 51 1, 51 2 und 51 3, 52 3, 52 2 und 52 3 sowie 53 1, 53 2 und 53 3 sind auf der Ebene
mit den Signalanschlußflächen 41 1, 41 2 und 41 3, 42 1, 42 2 und 42 3 bzw. 43 1, 43 2 und 43 3
geführt, und sie sind jeweils mit den letzteren in entsprechender Zuordnung verbunden. Damit
ist weder irgendein Durchgangsloch noch eine Umgehungsleitung auf einer unterschiedlichen
Ebene für die Signalanschlußflächen 41 1 bis 43 3 erforderlich. Somit führt die Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung 50B zu einem wesentlich vereinfachten Bausteinsubstrat 50A. Die Signal
leitungen 51 1, 51 2 und 51 3, 51 1, 52 2 und 52 3 sowie 53 1, 53 2 und 53 3 sind über Durchgangslö
cher mit Elektroden, die in der rückseitigen Fläche ausgebildet sind, verbunden. Obwohl das
Bausteinsubstrat des Standes der Technik sechs Lagen für die Verbindung zwischen den
Signalanschlußflächen zu den Elektroden erfordert, macht das Bausteinsubstrat 50A nur vier
Lagen erforderlich, d. h. die mehrlagige Struktur des Bausteinsubstrats 50A ist um zwei Lagen
geringer als die mehrlagige Struktur des Substrats des Standes der Technik.
Obwohl die Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 dem peripheren Bereich auf der be
stimmten Ebene der Mehrlagenstruktur zugeordnet sind, können die Eingang- und Ausgang
zellen 21/22/23 ein Teil des peripheren Bereiches einnehmen. In diesem Fall können die
Logikzellen im übrigen Teil des peripheren Bereiches hergestellt werden. Fig. 7 zeigt eine
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung des Typs, der Spalten Eingang- und Ausgangszellengruppen
in Teilen des peripheren Bereiches aufweist. Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung ist auf
einem rechteckförmigen Halbleiterchip 200 hergestellt. Die Spalten der Eingang- und Aus
gangszellengruppen sind Bereichen 201 zugeordnet, die den peripheren Bereich in Abstän
den/Intervallen besetzen. Das führt dazu, daß sich ein innerer Bereich 202 in die Lücken zwi
schen den Bereichen 201 hineinerstreckt, und ein großer Anteil Makrozellen (nicht gezeigt)
ist in dem inneren Bereich 202 ausgebildet. Fig. 8 zeigt eine noch andere Ausführungsform
einer Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 200A. Die Makrozellen sind im inneren Bereich 202
vollständig und genau eingeschlossen von dem peripheren Bereich 203 angeordnet. Obwohl
die Eingang- und Ausgangzellen den peripheren Bereich nicht perfekt besetzen, ist in letzte
rem keine Makrozelle ausgebildet. Es sei angenommen, daß die Flip-Chip-Halbleitereinrich
tung 200 und 200A 961 Anschlußflächen erfordern. Die Anschlußflächen sind in der An
schlußflächen bildenden Lage der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 200 ähnlich zu jenen im
Anschlußflächen bildenden Bereich der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung, wie vorher beschrie
ben, angeordnet. Jedoch erfordert die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 200A ein rechteckför
miges Chip, das zweimal so groß wie das rechteckförmige Chip der Flip-Chip-Halbleiter
einrichtung 1/200 für 961 Anschlußflächen ist, weil die Lücken zwischen den Eingangs- und
Ausgangszellen vakant sind. Damit ist die Anordnung der Anschlußflächen, wie sie in Fig. 7
gezeigt ist, der Verringerung der Chipgröße förderlich. Dementsprechend ist es bei der Her
stellung möglich, die Herstellungskosten zu senken. Folglich erreicht die Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung sowohl eine Reduzierung der Kosten als
auch eine Verbesserung der Eigenschaften der Einrichtung.
Fig. 9 zeigt eine weitere Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 200B, die die Erfindung verkörpert.
Diese Einrichtung 200B weist eine mehrlagige Struktur auf, die eine bestimmte, Zellen zuge
ordnete Ebene und die höchste, Anschlußflächen zugeordnete Ebene umfaßt. Da Fig. 9 die
Anordnung/das Layout von Anschlußflächen und Zellen darstellt, befindet sich hier (virtuell)
die Anschlußfläche auf einer Ebene mit den Zellen. Die Anordnung umfaßt einen inneren
Bereich 202 und einen peripheren Bereich 204. (Nicht gezeigte) Makrozellen sind im inneren
Bereich 202 auf der bestimmten Ebene ausgebildet, während in dem peripheren Bereich 204
auf der bestimmten Ebene (siehe Fig. 10) Eingangs- und Ausgangszellen wie die mit 20, 21,
22 und 23 bezeichneten ausgebildet sind. Die Eingangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 sind
im äußersten Bereich des peripheren Bereichs 204 angeordnet, und außerhalb der Eingangs-
und Ausgangszellen 20/21/22/23 wird keinerlei Makrozelle ausgebildet.
Die Signalanschlußflächen 30, 31, 32 und 33 sind auf der höchsten Ebene, das heißt der An
schlußflächen bildenden Lage, gruppiert, und ihre Anordnung nimmt den peripheren Bereich
204 und den inneren Bereich 202 ein. Energiezufuhranschlußflächen 11/12 sind innerhalb der
Signalanschlußflächen 30, 31, 32 und 33 ausgebildet. Die Eingangs- und Ausgangszellen 20,
21, 22, 23 werden durch vorbestimmte Energiezuführanschlußflächen 11/12 beaufschlagt. In
dem peripheren Bereich 204 auf der höchsten Ebene wird keinerlei Energiezufuhranschluß
fläche ausgebildet oder mit den Signalanschlußflächen 30, 31, 32, 33 gemischt. Somit ist die
Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 200B von der in Fig. 3 und 4 gezeigten Flip-Chip-Halbleiter
einrichtung 1 nur insofern verschieden, daß die Eingangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 in
einer Linie angeordnet sind.
Wenn der Hersteller ein Bauteilsubstrat entwirft, das mit der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
200B zusammengesetzt werden soll, werden nur die Signalanschlußflächen in dem peripheren
Bereich ausgebildet, und es wird keinerlei Energiezufuhranschluß mit dem Signalanschlüssen
gemischt. Aus diesem Grund bildet keine der Energiezufuhranschlußflächen irgendein Hin
dernis gegenüber der Tätigkeit des Leitungsführens. Die Signalleitungen werden direkt mit
den Signalanschlußflächen verbunden; es ist keine zusätzliche Verdrahtungslage für die elek
trische Verbindung erforderlich. Deshalb können die Herstellungskosten des Bauteilsubstrats
reduziert werden. So erlaubt es die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach der zweiten Ausfüh
rungsform der Erfindung dem Hersteller, die gesamten Produktionskosten des elektrischen
Systems zu verringern.
Im folgenden wird eine Beschreibung über die Signalleitungen zwischen den Eingangs- und
Ausgangszelle 20/21/22/23 und den Signalanschlußflächen 30/31/32/33 sowie die Energiezu
fuhrleitungen zwischen den Eingangs- und Ausgangsanschlußflächen 20/21/22/23 und den
Energiezufuhranschlußflächen 11/12 im Vergleich zu den der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
1 in Verkörperung der ersten Ausführungsform gegeben.
Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 1 nach der ersten Ausführungsform hat eine positionelle
Anordnung zwischen Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23, Signalanschlußflächen
31/32/33 sowie den Energiezuführanschlüssen 11/12, wie dies in Fig. 11 gezeigt ist. Die Ein
gangs- und Ausgangszelle 21 und die anderen Eingangs- und Ausgangszellen 22/23 werden
direkt mittels der Durchgangslöcher mit der Signalanschlußfläche 32 und mittels der Durch
gangslöcher und Signalleitungen mit den Signalanschlußflächen 31/33 in der Halbleiterein
richtung 1 nach der ersten Ausführungsform verbunden. Die Länge der Signalleitungen
beträgt Null und soviel wie eine reguläre/regelmäßige Teilung. Andererseits sind die Ein
gangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 mittels des Durchgangsloches und Signalleitungen
mit den Signalanschlußflächen 31/32/33 in der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung in Verkörpe
rung der zweiten Ausführungsform verbunden. Die minimale Signallänge ist 0,5 mal der
regulären Teilung und die maximale Signallänge ist gleich 2,5mal der regulären Teilung.
Was die Energiezuführleitungen anbelangt, so sind die Eingangs- und Ausgangszellen
21/22/23 mittels der Durchgangslöcher und Energieübertragungsleitungen mit den Energiezu
führanschlußflächen 12 in der Halbleitereinrichtung 1, die die zweite Ausführungsform ver
körpert, wie in Fig. 12 gezeigt, verbunden. Die Länge der Energiezuführleitungen beträgt 3,5
gleichmäßige Teilungen. Andererseits sind die Eingangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23
mittels des Durchgangslochs und Energiezuführleitungen mit den Energiezuführanschlußflä
chen 12 der Halbleitereinrichtung, die die erste Ausführungsform verkörpert, wie in Fig. 13
gezeigt, verbunden. Die minimale Signallänge beträgt 0,5mal die gleichmäßige Teilung bis
3,5 regelmäßige Teilungen.
Die Makrozellen sind in den Leerstellen im peripheren Bereich der die erste Ausführungs
form verkörpernden Flip-Chip-Halbleitereinrichtung 1 ausgebildet, und der rechteckförmige,
erforderliche Chip ist kleiner als das für die die zweite Ausführungsform verkörpernde Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung benötigte.
Insgesamt weist die die erste Ausführungsform verkörpernde Flip-Chip-Halbleitereinrichtung
kurze Signalleitungen und in der Länge variierende Energiezuführleitungen auf. Andererseits
weist die die zweite Ausführungsform verkörpernde Flip-Chip-Halbleitereinrichtung Energie
zufuhrleitungen mit konstanter Länge und Signalleitungen mit variierender Länge auf. Die
Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 der die erste Ausführungsform verkörpernden Flip-
Chip-Halbleitereinrichtungen sollen Belastungen treiben, die in einen relativ engen Bereich
fallen, und die Ausgangscharakteristiken sind konstant. Die Energieverteilung auf die Ein
gangs- und Ausgangszellen ist in der die zweite Ausführungsform verkörpernden Flip-Chip-
Halbleitereinrichtung konstant und stabil. Hingegen sind ihre Ausgangscharakteristiken weni
ger konstant als die der die erste Ausführungsform verkörpernden Flip-Chip-Halbleiterein
richtung. Damit kann der Hersteller die Layouts entsprechend den jeweils gewünschten Ein
richtungscharakteristiken selektiv einsetzen.
Fig. 14 und 15 zeigen die Anordnung von Anschlußflächen, d. h. Energiezufuhranschlußflä
chen und Signalanschlußflächen zusammen mit Eingangs- und Ausgangszellen, wie sie in
einer weiteren Flip-Chip-Halbleitereinrichtung, die die vorliegende Erfindung widerspiegelt,
verkörpert sind. Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung hat einen mehrlagigen Aufbau; die Ein
gangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 sind in einer bestimmten Lage des mehrlagigen Auf
baus zusammen mit Makrozellen (nicht gezeigt) ausgebildet. Die Makrozellen befinden sich
innerhalb der Eingangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 (siehe Fig. 8). Der mehrlagige Auf
bau weist weiter eine Anschlußflächen bildende Lage auf, auf der die Signalanschlußflächen
30/31/32/33 und die Energiezufuhranschlußflächen 11/12 gebildet werden. Die Anschlußflä
chen 11/12/30/31/32/33 sind in regelmäßiger Teilung bzw. Beabstandung angeordnet. Die
Energiezufuhranschlußflächen 11/12 sind innerhalb der Eingangs- und Ausgangszellen
30/31/32/33 angeordnet. Obwohl sich die Energiezufuhranschlußflächen 12 über den Ein
gangs- und Ausgangszellen 20/21/22/23 befinden, wird keine Energiezufuhranschlußfläche
mit den Signalanschlußflächen 30-33 vermischt.
Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung soll mit einem Bauteilsubstrat (nicht gezeigt) zusammen
gefügt werden. Wenn der Hersteller das Bauteilsubstrat entwirft, das mit der Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung zusammengefügt werden soll, werden die Signalanschlüsse 30-33 außerhalb
der Energiezufuhranschlüsse 11/12 ausgebildet, und es findet keine Vermischung irgendwel
cher Energieanschlußflächen mit den Signalanschlüssen 30-33 statt. Aus diesem Grunde bil
det keiner der Energiezufuhranschlüsse 11/12 irgendein Hindernis gegenüber der Leitungs
führung. Die Signalleitungen werden direkt mit den Signalanschlüssen verbunden; es ist kei
nerlei zusätzliche Lage für die elektrische Verbindung erforderlich. Das Ergebnis ist eine
Reduktion der Herstellungskosten des Bauteilsubstrats. Damit erlaubt es die Flip-Chip-Halb
leitereinrichtung nach der dritten Ausführungsform, daß der Hersteller die gesamten Produk
tionskosten des elektrischen Systems verringern kann.
Die Eingangs- und Ausgangszellen 20-23 werden mit den Signalanschlüssen 30-33 mittels
Durchgangslöchern und Signalleitungen, wie in Fig. 14 gezeigt, verbunden. Die Länge der
Signalleitungen variiert von 0,5mal der regelmäßigen Teilung bis 3,5mal der regelmäßigen
Teilung. Auf der anderen Seite werden die Signalzufuhranschlüsse 12 durch die Durchgangs
löcher mit den Eingangs- und Ausgangszellen 20-23 verbunden, und die Energiezufuhran
schlüsse 11 werden mittels Durchgangslöchern und Signalleitungen mit den Eingangs- und
Ausgangszellen 20-23 verbunden. Die Länge der Energiezuführleitungen beträgt Null oder ist
gleich 0,5 mal der regulären Teilung.
Die Länge der Signalleitungen kann in weitem Rahmen variiert werden; so ist für die Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung aufgrund der Anordnung bzw. der Gruppierung der Signalan
schlüsse ein großes Chip erforderlich. Allerdings sind die Energiezufuhrleitungen die kürze
sten von allen und längenkonstant. Somit erweitert die Halbleitereinrichtung nach der dritten
Ausführungsform das Repertoire des Herstellers.
Tabelle 1 beschreibt die Merkmale der Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen, die die erste,
zweite und dritte Ausführungsform verkörpern.
Es sind zahlreiche Modifikationen der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der Erfindung
möglich. Diese Abwandlungen werden im folgenden unter Bezugnahme auf Fig. 3, 4, 6 und
16-19 beschrieben.
Obwohl die Mehrzahl Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 parallel zu den zugeordneten
Randlinien 1d (siehe Fig. 3 und 4) zum Bilden einer der Eingangs- und Ausgangszellengrup
pen angeordnet ist, enthält eine Eingangs- und Ausgangszellengruppe nur eine Eingangs- und
Ausgangszelle 111 in der ersten Abwandlung (siehe Fig. 6). Die Eingangs- und Ausgangszel
le 111 ist vorzugsweise für den Antrieb eines Hochgeschwindigkeitssignals wie zum Beispiel
eines seriellen Bit Trains (Bitzuges) bestimmt, weil das Hochgeschwindigkeitssignal frei von
Überkreuzungen oder Störungen mit Signalen ist, die durch benachbarte Eingangs- und Aus
gangszellen be- und getrieben werden.
Die Eingangs- und Ausgangszellengruppe enthält eine gerade Zahl Eingangs- und Ausgangs
zellen wie beispielsweise vier Eingangs- und Ausgangszellen 112 (siehe Fig. 6) in der zweiten
Ausführungsform.
Wenn jede Eingangs- und Ausgangszellengruppe eine vorbestimmte Zahl Eingangs- und
Ausgangszellen aufweist, ist die Anordnung einfach und die Entwicklungs- und Entwurfstä
tigkeit leicht. Die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung der ersten Ausführungsform hat mehrere
Eingangs- und Ausgangszellengruppen, die jeweils drei Eingangs- und Ausgangszellen auf
weisen. Die dritte Abwandlung umfaßt jedoch mehrere Eingangs- und Ausgangszellengrup
pen, die sich in der Zahl von den Eingangs- und Ausgangszellen unterscheiden. In diesem Fall
können die Eingangs- und Ausgangszellengruppen nur eine Eingangs- und Ausgangszelle
111, zwei Eingangs- und Ausgangszellen 114, drei Eingangs- und Ausgangszellen 113 und
vier Eingangs- und Ausgangszellen 112 (siehe Fig. 6) aufweisen.
Die Eingangs- und Ausgangszellen in jeder Gruppe sind zueinander benachbart in der Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung der ersten Ausführungsform. Bei der vierten Abwandlung sind die
Eingangs- und Ausgangszellen 21/22/23 in einer Zellengruppe zueinander in einer Spalte, wie
in Fig. 16 gezeigt, beabstandet. Die Abstände 61/62 zwischen den Eingangs- und Ausgangs
zellen 21/22/23 sind den Energiezufuhrleitungen zugeordnet.
In den Zellengruppen der fünften Abwandlung sind die Eingangs- und Ausgangszellen asym
metrisch angeordnet. Die Eingangs- und Ausgangszellengruppe 131 weist die Eingangs- und
Ausgangszelle oder Zellen auf der rechten Seite der Zentraleingangs- und -ausgangszelle auf,
und die Eingangs- und Ausgangszellengruppe 132 weist die Eingangs- und Ausgangszelle auf
der linken Seite der zentralen Eingangs- und Ausgangszelle auf. Die Eingangs- und Aus
gangszellen auf der rechten Seite können in der Zahl unterschiedlich von den Eingangs- und
Ausgangszellen auf der linken Seite sein.
Die sechste Abwandlung weist eine isolierte Eingangs- und Ausgangszellengruppe 211 eben
so wie Spalten von Eingangs- und Ausgangszellen 212 (siehe Fig. 17) auf. Die isolierte Ein
gangs- und Ausgangszellengruppe 211 dient als Spalte von Eingangs- und Ausgangszellen
gruppen. Eine Spalte Eingangs- und Ausgangszellengruppen 223 unterscheidet sich in der An
zahl von Eingangs- und Ausgangszellengruppen von den Spalten der Eingangs- und Aus
gangszellengruppen 212 und den Spalten der Eingangs- und Ausgangsgruppen 211. Die Spal
te Eingangs- und Ausgangszellengruppen hat nur eine Eingangs- und Ausgangszellengruppe,
die Spalte der Eingangs- und Ausgangszellengruppe 223 umfaßt drei Eingangs- und Aus
gangszellengruppen, und die vier Eingangs- und Ausgangszellengruppen bilden die Spalten
der Eingangs- und Ausgangszellengruppen 212.
Die siebte Modifikation hat einen großen Makrozellenblock 215. Dieser dringt in den periphe
ren Bereich der bestimmten Lage der mehrlagigen Struktur ein. Jedoch ist niemals irgendeine
Eingangs- und Ausgangszelle innerhalb des großen Makrozellenblocks angeordnet. In ande
ren Worten befinden sich alle Eingangs- und Ausgangszellen außerhalb der Makrozellen.
Die Eingangs- und Ausgangszellengruppen sind in der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung der
ersten Ausführungsform in der Spalte ohne irgendeine Lücke oder Beabstandung angeordnet.
Dieses Merkmal ist bevorzugt, weil die Eingangs- und Ausgangszellen mit hoher Dichte an
geordnet sind. Jedoch ist eine Eingangs- und Ausgangszellengruppe 224 einer Spalte von der
benachbarten Eingangs- und Ausgangszellengruppe 225 in derselben Spalte bei der achten
Abwandlungsform beabstandet. Natürlich ist es nicht nötig, in jeder Spalte einen Abstand
einzuführen. Die achte Modifikation weist eine Eingangs- und Ausgangszelle benachbart der
Eingangs- und Ausgangszellengruppe 222 in derselben Spalte auf. Die Eingangs- und Aus
gangszellengruppen der Spalte 223 sind ebenfalls zueinander beabstandet, und der Abstand ist
gleich dem Bereich, der von einer Eingangs- und Ausgangszellengruppe belegt werden soll.
Der Abstand zwischen den Eingangs- und Ausgangszellengruppen 224 und 225 ist Signal/
Energiezufuhrleitungen zugeordnet. Verschiedene Eingangs- und Ausgangszellengruppen 301
können in dem inneren Bereich der bestimmten Lage (siehe Fig. 6) ausgebildet werden.
Jedoch befinden sich alle Signalanschlußflächen außerhalb der Energiezufuhranschlüsse für
die Eingangs- und Ausgangszellen. Letztere können in einem Teil des peripheren Bereichs
entlang einer der Randlinien konzentriert werden.
Bei der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach der ersten Ausführungsform werden die Spalten
der Eingangs- und Ausgangszellen in regelmäßigen Intervallen angeordnet, wobei jede gleich
einem Mehrfachen des Intervalls zwischen den Spalten der Signalanschlüsse ist. Die neunte
Ausführungsform hat eine Leerstelle 412 zwischen den Spalten der Eingangs- und Ausgangs
zellengruppen, die in regelmäßigen Intervallen (siehe Fig. 17) angeordnet sind. Die Leerstelle
kann an der Grenze zwischen einer Energiezufuhranschlußgruppe, die einer bestimmten Span
nung wie zum Beispiel 3,3 Volt zugeordnet ist, und einer benachbarten Energiezufuhran
schlußgruppe, die einer anderen Spannung wie zum Beispiel 2,5 Volt zugeordnet ist, ausge
bildet werden. Die Leerstelle 412 ist für die Energiezufuhrleitungen verfügbar. Die Energie
zuführleitungen legen die Netzspannungen an die Spalten-Eingangs- und Ausgangszellen
gruppen 212 in seitlicher Richtung an und sind längenreduziert.
Bei der zehnten Modifikation werden die Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen
ausgeweitet, um es dem Hersteller zu ermöglichen, die Energiezufuhrleitungen 414 (siehe
Fig. 19) zu passieren. Der Abstand zwischen den Spalten der Signalanschlüsse ist breiter als
die Energiezufuhrleitung 414.
Die Signalanschlüsse entsprechen den Eingangs- und Ausgangszellen. Wenn eine Eingangs-
und Ausgangszellengruppe aus einer Spalte von Eingangs- und Ausgangszellengruppen, wie
durch Bezugszeichen 511 (siehe Fig. 17) angedeutet, entfernt wird, werden die Signalan
schlüsse, die der Eingangs- und Ausgangszellengruppe zugeordnet werden sollen, ebenfalls
entfernt.
Bei der siebten Modifikation dringt die große Makrozelle in den peripheren Bereich ein, so
daß der innere Bereich eine polygonale Form hat. Damit sind der innere Bereich und der peri
phere Bereich nicht auf eine rechteckige Form und/oder eine rahmenartige Gestaltung be
schränkt. Die Eingangs- und Ausgangszellen belegen Bereiche, die enger als die Bereiche
sind, die von den Signalanschlüssen eingenommen sind. Jedoch belegt die Eingangs- und
Ausgangszelle 22 der achten Modifikation einen Bereich, der breiter als der Bereich ist, der
von dem zugeordneten Signalanschluß belegt wird (siehe Fig. 18). Damit werden geeignete
Makrozellen für die Eingangs- und Ausgangszellen ausgewählt.
Die vierte Modifikation weist Lücken/Abstände 61/62 unter den Eingangs- und Ausgangs
zellen auf, so daß die Energiezufuhrleitungen nicht durch die Abstandsräume 61/62 geführt
sind. Im übrigen sind die Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen in der zehnten
Abwandlungsform weit beabstandet, und die Energiezuführleitungen 414/415 sind durch den
Abstandsraum 413 geführt. Diese Energiezufuhrleitungen sind so weit, daß die Signalan
schlüsse zwischen der Quelle eines p-Kanal-Feldeffekttransistors und der Energiequelle VDD
und zwischen der Quelle eines n-Kanal-Feldeffekttransistors und der Energiequelle VSS hin
sichtlich des Widerstands reduziert sind. Der p-Kanal-FET und der n-Kanal-FET können
einen komplementären Inverter bilden. Die Energiezuführleitungen von den Eingangs- und
Ausgangszellen können durch eine untere Lage geführt sein, in der die Energiezuführleitun
gen für die Makrozellen ausgebildet sind. Da die neunte Modifikation die Leerstelle 412 auf
weist, werden die Energiezufuhranschlüsse in der Leerstelle 412 ausgebildet. Die Netzspan
nungen werden an die Eingangs- und Ausgangszellen von diesen Energiezufuhranschlüssen
angelegt. Es wird jedoch niemals irgendein Signalanschluß außerhalb dieser Energiezufuhran
schlüsse ausgebildet.
Es sollte aus dem vorangehenden Beschreibungsteil deutlich geworden sein, daß die Flip-
Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung eine Anordnung der Signalan
schlüsse außerhalb der Energiezufuhranschlüsse aufweist. Wenn der Hersteller ein Baustein
substrat entwirft, das mit der Flip-Chip-Halbleitereinrichtung zusammengesetzt werden soll,
verringert er die Zahl der das mehrlagige Bauteilsubstrat bildenden Lagen- oder Schichten
zahl, weil die Signalleitungen mit den Signalanschlüssen auf der gleichen Ebene verbunden
werden. Damit ist die Flip-Chip-Halbleitereinrichtung gemäß der Erfindung gegenüber den
Flip-Chip-Halbleitereinrichtungen nach dem Stand der Technik vorteilhaft, insbesondere im
Hinblick auf die Gesamtherstellungskosten des elektrischen Systems.
Obwohl besondere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt und beschrieben
wurden, ist es für den Fachmann klar, daß diverse Änderungen und Modifikationen ausge
führt werden können, ohne daß von Geist und Umfang der Erfindung abgewichen wird.
Beispielsweise kann die Zahl der Eingangs- und Ausgangszellen der Eingangs- und Aus
gangszellengruppen auf demselben Chip variiert werden, und die Eingangs- und Ausgangs
zellen können zueinander beabstandet werden. Im einzelnen weist jede Eingangs- und Aus
gangszellengruppe in der in Fig. 3 und 4 gezeigten Ausführungsform drei Teile auf, und die
drei Eingangs- und Ausgangszellen sind zueinander benachbart. Jedoch können die Teile der
Eingangs- und Ausgangszellen in der Zahl gegenüber anderen Eingangs- und Ausgangszellen
verschieden sein. Darüber hinaus können die Eingangs- und Ausgangszellen in einer Ein
gangs- und Ausgangszellengruppe zueinander beabstandet sein.
Die Spalten der Signalanschlüsse 31/33 können auf jeder Seite der Spalte der Signalanschlüs
se über der Spalte 32 der Eingangs- und Ausgangszellengruppen 2 angeordnet werden. Ande
rerseits können die Spalten der Signalanschlüsse 31 und 33 auf beiden Seiten der Spalte der
Signalanschlüsse 32 asymmetrisch angeordnet werden.
Die Eingangs- und Ausgangszellen 2 in einer Spalte können in der Zahl von den Eingangs-
und Ausgangszellengruppen in einer anderen Spalte verschieden sein. Die Eingangs- und
Ausgangszellengruppen 2 können zueinander in jeder Spalte ohne irgendeine Lücke beab
standet werden.
Die Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen können in unregelmäßigen Intervallen
angeordnet werden. In diesem Fall können Verdrahtungsleitungen in einem Bereich ausgebil
det sein, der einem Teil der relativ breiten Lücke zwischen benachbarten Spalten Eingangs-
und Ausgangszellengruppen entspricht. Das Intervall zwischen den benachbarten Spalten der
Eingangs- und Ausgangszellengruppen kann ein Mehrfaches sein, das verschieden von dem
Mehrfachen des Intervalls zwischen den benachbarten Spalten von Signalanschlüssen ist. Der
Abstand zwischen den benachbarten Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen kann
breiter als das Mehrfache des Intervalls zwischen benachbarten Spalten von Signalanschlüs
sen sein.
Die Zahl der Signalanschlüsse in einer Spalte kann geringer als die Zahl der Eingangs- und
Ausgangszellengruppen in der zugeordneten Spalte sein. In diesem Fall ist ein bestimmter
Signalanschluß weit zu dem benachbarten Signalanschluß beabstandet, und die Signalleitung
zu den bestimmten Signalanschluß kann durch den weiten Bereich in der Anschluß bildenden
Lage geführt werden.
Claims (30)
1. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung (1; 50B; 200; 200A; 200B) eines mehrlagigen Aufbaus
mit einer Zellen bildenden Lage und einer Anschlußflächen bildenden Lage, umfassend
Eingangs- und Ausgangszellen (21/22/23; 20/21/22/23; 2 1/2 2/2 3/2 4; 111; 112; 113; 114; 131; 132; 211; 212; 223; 301), die in der Zellen bildenden Lage zusammen mit Makrozellen (215) gebildet sind;
Energiezufuhr-Anschlußflächen (11; 12; 512), die in der Anschlußflächen bildenden Lage ausgebildet und elektrisch mit den Eingangs- und Ausgangszellen verbunden sind; und
Signalanschlußflächen (30/31/32/33), die in der Anschlußflächen bildenden Lage aus gebildet und elektrisch mit den Eingangs- und Ausgangszellen verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß
die Signalanschlußflächen (30/31/32/33) außerhalb der Energiezufuhr-Anschlußflächen (11; 12) ausgebildet sind.
Eingangs- und Ausgangszellen (21/22/23; 20/21/22/23; 2 1/2 2/2 3/2 4; 111; 112; 113; 114; 131; 132; 211; 212; 223; 301), die in der Zellen bildenden Lage zusammen mit Makrozellen (215) gebildet sind;
Energiezufuhr-Anschlußflächen (11; 12; 512), die in der Anschlußflächen bildenden Lage ausgebildet und elektrisch mit den Eingangs- und Ausgangszellen verbunden sind; und
Signalanschlußflächen (30/31/32/33), die in der Anschlußflächen bildenden Lage aus gebildet und elektrisch mit den Eingangs- und Ausgangszellen verbunden sind, dadurch gekennzeichnet, daß
die Signalanschlußflächen (30/31/32/33) außerhalb der Energiezufuhr-Anschlußflächen (11; 12) ausgebildet sind.
2. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, bei der die Signalanschlußflächen (30;
31; 32; 33) und die Energiezuführanschlußflächen (11/12) mit entsprechenden Signalan
schlußflächen (41 1-41 3/42 1-42 3/43 1-43 3/44 1-44 3), die direkt mit Signalleitungen oder
-linien (51 1-51 3/52 1-52 3/53 1-53 3/54 1-54 3) verbunden sind, zu verbinden sind, ohne
durch eine andere bzw. verschiedene Lage und entsprechende Energiezufuhranschlußflä
chen hindurchzutreten, die auf einer Anschlußflächen bildenden Schicht eines mehrlagi
gen Bausteinsubstrats (50A) gebildet sind.
3. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, bei der die Eingangs- und Ausgangs
zellen Eingangs- und Ausgangszellengruppen (21/22/23; 20/21/22/23; 111; 112; 113;
114; 131; 132; 211; 212; 223; 301) bilden, die ihrerseits Spalten von Eingangs- und Aus
gangszellengruppen bilden, die sich in Richtungen erstrecken, die periphere Ränder (ld)
der Anschlußflächen bildenden Lage kreuzen:
4. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Richtungen senkrecht zu
den peripheren Rändern (1d) der Anschlußflächen bildenden Lage, die in rechteckiger
Konfiguration gestaltet ist, verlaufen.
5. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Signalanschlußflächen und
die Energiezufuhranschlußflächen, die mit entsprechenden Signalanschlußflächen (41 1-
41 3/42 1-42 3/43 1-43 3/44 1-44 3) zu verbinden sind, die direkt mit Signalleitungen (51 1-51 3/
52 1-52 3/53 1-53 3/54 1-54 3) ohne Hindurchtreten durch eine interschiedliche Lage und ent
sprechende Energiezuführanschlußflächen verbunden sind, die auf einer Anschlußflächen
bildenden Lage eines mehrlagigen Bauteilsubstrats (50A) gebildet sind.
6. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Signalanschlußflächen
Spaltengruppen (31/32/33; 30/31/32/33) von Signalanschlußflächen bilden, die jeweils
den Spalten von Eingangs- und Ausgangszellengruppen (21/22/23; 20/21/22/23) zu
geordnet sind.
7. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 6, bei der jede der Spaltengruppen der
Signalanschlußflächen eine Spalte Signalanschlußflächen (32) aufweist, die über einer
zugeordneten der Spalten von Eingangs- und Ausgangszellengruppen (21/22/23) und
weiteren Spalten von Signalanschlußflächen (31/33) benachbart zu der Signalanschluß
flächenspalte angeordnet sind.
8. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 7, bei der die anderen Spalten der Signal
anschlußflächen (31/33; 112) symmetrisch auf beiden Seiten der Spalte der Signalan
schlußflächen (32) angeordnet sind.
9. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 7, bei der die weiteren Spalten der
Signalanschlußflächen (131) asymmetrisch im Hinblick auf die Signalanschlußflächen-
Spalte angeordnet sind.
10. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 6, bei der eine der Spaltengruppen der
Signalanschlußflächen eine Spalte Signalanschlußflächen umfaßt, die über einer zugeord
neten der Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen und mindestens einer Spalte
der Signalanschlußflächen, die sich auf jeder Seite der Spalte der Signalanschlußflächen
(131; 132) befinden, angeordnet sind.
11. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, bei der die Makrozellen (215) inner
halb der Eingangs- und Ausgangszellen (211) ausgebildet sind.
12. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Spalten Eingangs- und Aus
gangszellengruppen (201) zueinander so beabstandet sind, daß die Makrozellen in einer
Weise angeordnet sind, daß sie einen inneren Bereich (202) der Zellen bildenden Lage
und freie Bereiche (202) zwischen den Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengrup
pen einnehmen.
13. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Eingangs- und Ausgangs
zellengruppen (21/22/23) gleich der Zahl der Eingangs- und Ausgangszellengruppen
sind.
14. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens eine der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen (111) verschieden von der Zahl der Eingangs- und Aus
gangszellen von anderen der Eingangs- und Ausgangszellengruppen (121) ist.
15. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Spalten der Eingangs- und
Ausgangszellengruppen (21/22/23; 212) in ihrer Zahl gleich den Eingangs- und Aus
gangszellengruppen sind.
16. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens einer der Spalten
von Eingangs- und Ausgangszellengruppen (132; 211; 223) in der Zahl verschieden von
den Eingangs- und Ausgangszellengruppen von anderen der Spalten Eingangs- und Aus
gangszellengruppen (212) ist.
17. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens zwei der Eingangs-
und Ausgangszellen (21/22/23) einer der Eingangs- und Ausgangszellengruppen zuein
ander (61/62) beabstandet sind.
18. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens eine der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen (20/21/22/23) von nur einer Eingangs- und Ausgangszelle
gebildet ist.
19. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens eine der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen eine (22) der Eingangs- und Ausgangszellen und weitere
Eingangs- und Ausgangszellen (21/23) in symmetrischer Anordnung hinsichtlich besag
ter einer der Eingangs- und Ausgangszellen aufweist.
20. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der wenigstens eine der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen (131/132/133) eine der Eingangs- und Ausgangszellen und
weitere Eingangs- und Ausgangszellen in asymmetrischer Anordnung in Hinblick auf die
besagte eine der Eingangs- und Ausgangszellen aufweist.
21. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der eine der Spalten der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen die Eingangs- und Ausgangszellengruppen (222) aneinander
angrenzend aufweist.
22. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der eine der Eingangs- und Aus
gangszellengruppen-Spalten die Eingangs- und Ausgangszellengruppen (225) zueinander
beabstandet zum Schaffen eines Freibereiches, der einer Verdrahtungsleitung zugeordnet
ist, aufweist.
23. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Eingangs- und Ausgangs
zellengruppen von wenigstens einer der Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengrup
pen entfernt sind, so daß Makrozellen den Freibereich (511) einnehmen, der der wenig
stens einen der Spalten der Eingangs- und Ausgangszellengruppen zuzuordnen ist.
24. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Spalten der Eingangs- und
Ausgangszellengruppen in gleichmäßigen Intervallen (21/22/23) angeordnet sind.
25. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der zwei der Spalten der Eingangs-
und Ausgangszellengruppen mit einem Intervall (511) zueinander beabstandet sind, das
verschieden von dem Intervall zwischen weiteren zwei der Spalten Eingangs- und Aus
gangszellengruppen ist.
26. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der die Spalten der Eingangs- und
Ausgangszellengruppen (21/22/23) von Energiezuführleitungen beaufschlagt werden,
die mit den Energiezufuhranschlußflächen mittels Durchgangslöchern und dazu parallel
sich erstreckend verbunden sind.
27. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, bei der die Energiezufuhranschluß
flächen (512), die mit den Eingangs- und Ausgangszellen verbunden sind, auf einer virtu
ell geschlossenen Leitung angeordnet sind, die sich innerhalb der Signalanschlußflächen
erstreckt.
28. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 27, bei der die virtuelle Leitung an den
Ecken der Anschlußflächen bildenden Lage so nach außen hervorragt, daß sie außerhalb
eines Bereiches der Zellen bildenden Lage verläuft, die die Makrozellen (215) einneh
men.
29. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 1, weiter umfassend Energiezufuhrleitun
gen, die sich auf einer Lage der mehrlagigen Struktur erstrecken, die verschieden von der
Zellen bildenden Lage und der Anschlußflächen bildenden Lage ist und an ersten Enden
davon mit den Eingangs- und Ausgangszellen und an zweiten Enden davon mit den Ener
giezufuhranschlußflächen zusammen mit Energiezuführleitungen verbunden ist, die zwi
schen anderen Energiezuführanschlußflächen (13/14) und den Makrozellen geschaltet
sind.
30. Flip-Chip-Halbleitereinrichtung nach Anspruch 3, bei der eine der Eingangs- und Aus
gangszellen in einer (21) der Eingangs- und Ausgangszellengruppen hinsichtlich der
Größe von anderen Eingangs- und Ausgangszellen (22/23) in derselben Eingangs- und
Ausgangszellengruppe verschieden ist.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: NEC ELECTRONICS CORP., KAWASAKI, KANAGAWA, JP |
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8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |