DE10021454A1 - Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase - Google Patents
Vorrichtung zum Fördern feuchter GaseInfo
- Publication number
- DE10021454A1 DE10021454A1 DE10021454A DE10021454A DE10021454A1 DE 10021454 A1 DE10021454 A1 DE 10021454A1 DE 10021454 A DE10021454 A DE 10021454A DE 10021454 A DE10021454 A DE 10021454A DE 10021454 A1 DE10021454 A1 DE 10021454A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- ventilation
- pumps
- feed
- conveying
- ventilation valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/18—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use for specific elastic fluids
- F04B37/20—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use for specific elastic fluids for wet gases, e.g. wet air
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
- F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
Die Erfindung betrifft eine mehrstufige Vorrichtung (1) zum Fördern feuchter Gase, mit mehreren Förderpumpen (2, 3) die jeweils einen, in einem Förderraum oszillierenden Verdränger aufweisen und über jeweils einen Verbindungskanal (6) einander nachgeschaltet sind sowie mit einer Belüftungseinrichtung (7), die wenigstens einen Belüftungskanal (8) hat, in den ein Belüftungsventil (9) zwischengeschaltet ist, welches Belüftungsventil bedarfsweise und unabhängig von der Hubstellung der Verdränger betätigbar ist. Für die erfindungsgemäße Vorrichtung (1) ist kennzeichend, daß der Belüftungskanal (8) in einem einander nachgeschaltete Förderpumpen (2, 3) miteinander verbindenden Verbindungskanal (6) mündet (vgl. Figur).
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft eine mehrstufige Vorrichtung
zum Fördern feuchter Gase, mit mehreren Förderpumpen, die jeweils
einen, in einem Förderraum oszillierenden Verdränger aufweisen und
über jeweils einen Verbindungskanal einander nachgeschaltet sind,
sowie mit einer Belüftungseinrichtung, die wenigstens einen
Belüftungskanal hat, in den ein Belüftungsventil zwischengeschaltet
ist, welches Belüftungsventil bedarfsweise und unabhängig von der
Hubstellung der Verdränger betätigbar ist.
In der Voranmeldung DE 198 51 680 der Anmelderin ist bereits eine
Vorrichtung beschrieben, die zum Fördern feuchter Gase zumindest
eine Förderpumpe hat. Jede dieser Förderpumpen weist einen Verdränger
auf, der in einem Förderraum oszilliert. Um die im gasförmigen
Fördermedium enthaltene Flüssigkeit kondensieren, das Fördervolumen
reduzieren und die beispielsweise zum Evakuieren einer Vakuumkammer
benötigte Zeit möglichst klein halten zu können, ist der Pumpenkopf
dieser Förderpumpe zwangsgekühlt. Zumindest eine Förderpumpe weist
eine Belüftungseinrichtung mit einem Belüftungskanal auf, der im
Bereich des Förderraums mündet. In diesem Belüftungskanal ist ein
Belüftungsventil zwischengeschaltet, das bedarfsweise und un
abhängig von der Hubstellung des Verdrängers während des Betriebs
der Förderpumpe betätigbar ist.
Beim Betätigen des Belüftungsventils wird in der Förderpumpe eine
zielgerichtete Strömung mit einer ausreichend hohen Strömungs
geschwindigkeit aufgebaut, um die im Förderraum bislang ver
bliebenen Flüssigkeitströpfchen mitzureißen.
Durch die Kondensation der im Fördermedium enthaltenen Feuchtigkeit
erfolgt eine drastische Volumenverkleinerung, womit sich schnelle
Pumpzeiten und hohe Pumpleistungen erzielen lassen. Mit Hilfe der
in den Förderpumpen vorgesehenen Belüftungseinrichtung kann eine
schnelle und zielgerichtete Trocknung der gegebenenfalls auch
mehrstufigen Fördervorrichtung erreicht werden, wodurch die
Verkürzung der Evakuierungszeit noch zusätzlich begünstigt und das
erreichbare Endvakuum maßgeblich reduziert werden kann. Nach
teilig ist jedoch, daß die Vorrichtung gemäß DE 198 51 680 spezielle
Förderpumpen erfordert, in deren Pumpenkopf der im Förderraum
mündende Belüftungskanal eingearbeitet ist. Dies kann einen eventuell
nicht unerheblichen Mehraufwand mit sich bringen.
Es besteht daher insbesondere die Aufgabe, eine Vorrichtung der
eingangs erwähnten Art zu schaffen, die sich auch bei einem hohen
Feuchtigkeitsanteil des Fördermediums durch eine große Förderleistung
auszeichnet, ohne daß diese Fördervorrichtung spezielle Förderpumpen
und einen entsprechend hohen Herstellungsaufwand erfordert.
Die erfindungsgemäße Lösung dieser Aufgabe besteht insbesondere
darin, daß die Vorrichtung mehrstufig ausgebildet ist und mehrere
Förderpumpen hat, die über jeweils einen Verbindungskanal einander
nachgeschaltet sind. Dabei ist ebenfalls eine Belüftungsvor
richtung mit einem Belüftungskanal vorgesehen, der hier jedoch in
einem einander nachgeschaltete Förderpumpen miteinander verbindenden
Verbindungskanal mündet. Um die erfindungsgemäße Fördervorrichtung
bedarfsweise und unabhängig von der Hubstellung ihrer Förderpumpen
belüften zu können, ist in den Belüftungskanal auch der erfindungsgemäßen
Fördervorrichtung ein Belüftungsventil zwischengeschaltet,
das während des Betriebs der Fördereinrichtung einmal oder in
Zeitintervallen mehrmals stoßweise geöffnet wird.
Das Belüften der Fördervorrichtung kann während ihres Betriebes
einmal oder mehrmals zeitlich versetzt beispielsweise nach bestimmten
Kondensationszeiten oder bei verschiedenen Druckstufen in einer
mittels der Fördervorrichtung zu evakuierenden Kammer erfolgen.
Durch das Belüften der Fördervorrichtung wird in der Förderpumpe
der dem Belüftungskanal nachfolgenden Förderstufe eine zielgerichtete
Strömung mit einer ausreichend hohen Strömungsgeschwindigkeit
aufgebaut, um die im Förderraum insbesondere dieser Förderpumpe
bislang verbliebenen Flüssigkeits- und Kondensattropfen mitzureißen.
Da beim Öffnen des Belüftungsventils gleichzeitig das Auslaßventil
der dem Belüftungskanal vorgeschalteten Förderstufe schlagartig
schließt, kann das Belüftungs- bzw. Trocknungsgas nur eine Richtung
nehmen, während das in den vorgeschalteten Förderstufen und
insbesondere in der zu evakuierenden Kammer bereits erreichte Vakuum
im wesentlichen erhalten bleibt. Da der Belüftungskanal lediglich
in dem Verbindungskanal zwischen zwei Förderpumpen mündet und da
für den Belüftungskanal keine speziell ausgestaltete Förderpumpe
erforderlich ist, kann der Herstellungs- und Konstruktionsaufwand
bei der erfindungsgemäßen Fördervorrichtung wesentlich reduziert
werden.
Dabei ist es möglich, daß die Belüftungseinrichtung ein manuell
oder motorisch über eine Steuereinrichtung betätigbares Belüftungs
ventil aufweist.
Eine besonders vorteilhaft und leicht zu handhabende Ausführungsform
gemäß der Erfindung sieht vor, daß die in Steuerverbindung mit dem
Belüftungsventil stehende Steuereinrichtung ein Zeitglied und/oder
einen Drucksensor hat, zum einmaligen oder mehrmaligen stoßweisen
Betätigen des Belüftungsventils in Abhängigkeit von der Kondensa
tionszeit und/oder in Abhängigkeit vorgegebener Druckstufen in einer
mittels der Fördervorrichtung zu evakuierenden Kammer.
Die erfindungsgemäße Fördervorrichtung ist bei allen stark
kondensathaltigen Anwendungen vorteilhaft einsetzbar. So ist
beispielsweise vorgesehen, die zur ersten Stufe der erfindungsgemäßen
Fördervorrichtung gehörende Förderpumpe saugseitig an einen
Autoklaven oder an eine Vakuum-Trockenkammer und druckseitig an
die Saugseite der zweiten Förderpumpe anzuschließen.
Der geringe Konstruktions- und Herstellungsaufwand wird noch
zusätzlich begünstigt, wenn die in den einzelnen Stufen der
Fördervorrichtung eingesetzten Förderpumpen handelsübliche Pumpen,
insbesondere Membranpumpen, sind.
Weitere Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden
Beschreibung eines erfindungsgemäßen Ausführungsbeispieles in
Verbindung mit den Ansprüchen sowie der Zeichnung. Die einzelnen
Merkmale können je für sich oder zu mehreren bei einer Ausführungs
form gemäß der Erfindung verwirklicht sein.
In der einzigen Figur ist eine hier zweistufig ausgebildete
Fördervorrichtung 1 dargestellt, die zum Fördern feuchter und
insbesondere kondensathaltiger Gase bestimmt ist. Die Förderrichtung
1 hat zwei Förderpumpen 2, 3, die jeweils einen, in einem Förderraum
4 oszillierenden Verdränger aufweisen. Die Förderpumpen 2, 3 sind
hier als Membranpumpen und ihre Verdränger als Formmembranen 5
ausgebildet.
Die Förderpumpen 2, 3 sind über einen Verbindungskanal 6 einander
nachgeschaltet. Dabei ist die die erste Förderstufe bildende
Förderpumpe 2 saugseitig an einen Autoklaven, eine Vakuum-
Trockenkammer oder dergleichen Vakuumkammer und druckseitig an die
Saugseite der zweiten Förderpumpe 3 angeschlossen.
Die Fördervorrichtung 1 hat eine Belüftungsvorrichtung 7 mit einem
Belüftungskanal 8, der im Verbindungskanal 6 zwischen erster und
zweiter Pumpstufe mündet. In dem Belüftungskanal 8 ist ein
Belüftungsventil 9 zwischengeschaltet. Um die Fördervorrichtung
1 bedarfsweise und unabhängig von der Hubstellung ihrer Förderpumpen
2, 3 belüften zu können, kann das Belüftungsventil 9 während des
Betriebs der Fördereinrichtung 1 einmal oder in Zeitintervallen
mehrmals stoßweise geöffnet werden.
Das Belüften der Fördervorrichtung 1 kann während ihres Betriebes
einmal oder mehrmals zeitlich versetzt beispielsweise nach bestimmten
Kondensationszeiten oder bei verschiedenen Druckstufen in einer
mittels der Fördervorrichtung 1 zu evakuierenden Kammer erfolgen.
Durch das Belüften der Fördervorrichtung 1 wird in der Förderpumpe
3 der dem Belüftungskanal 8 nachfolgenden Förderstufe eine
zielgerichtete Strömung mit einer ausreichend hohen Strömungs
geschwindigkeit aufgebaut, um die im Förderraum insbesondere dieser
Förderpumpe 3 bislang verbliebenen Flüssigkeits- und Konden
sattropfen mitzureißen. Da beim Öffnen des Belüftungsventils 9
gleichzeitig das Auslaßventil 10 der dem Belüftungskanal 8
vorgeschalteten Förderstufe 2 schließt, kann das Belüftungs- bzw.
Trocknungsgas nur eine Richtung nehmen, während das in der
vorgeschalteten Förderstufe 2 und insbesondere in der zu evakuieren
den Kammer bereits erreichte Vakuum im wesentlichen erhalten bleibt.
Der Verbindungskanal 6 weist einen aus einer Rohr- oder einer
Schlauchleitung 11 gebildeten Kanalabschnitt sowie jeweils einen,
in den Pumpenköpfen der Förderpumpen 2, 3 zwischen der Schlauchleitung
11 und dem Auslaß- bzw. dem Einlaßventil 10, 12 befindlichen
Kanalabschnitt 13, 14 auf.
Der Belüftungskanal 8 ist hier im Pumpenkopf der ersten Förderpumpe
2 angeordnet und mündet dort im abströmseitig hinter dem Auslaß
ventil 10 angeordneten Kanalabschnitt 13. Es ist jedoch ein
besonderer Vorteil des vorliegenden Erfindungsvorschlages, daß der
Belüftungskanal 8 auch außerhalb der Pumpenköpfe der Förderpumpen
2, 3 geführt werden und in der Schlauchleitung 11 münden kann.
Da in der durch die Förderpumpe 3 gebildeten zweiten Förderstufe,
die gegen Atmosphärendruck verdichtet, vor allem das Kondensat
auftritt, ist die der Förderpumpe 3 zugeordnete Belüftungseinrichtung
7 ausreichend. Wird das Belüftungsventil 9 geöffnet, schließt
automatisch das Auslaßventil 10 der ersten Förderpumpe 2, so daß
keine Zeit- oder Leistungsverluste auftreten. Mittels der hier
dargestellten Fördervorrichtung 1 können auch feuchte Gase gefördert
werden, ohne daß durch ein künstliches Aufheizen der Förderpumpen
2, 3 einer Kondensatbildung entgegengewirkt werden müßte. Die hier
dargestellte Förderrichtung 1 zeichnet sich auch bei einem hohen
Feuchtigkeitsanteil des Fördermediums durch eine große Förderleistung
aus, ohne daß diese Fördervorrichtung 1 spezielle Förderpumpen und
einen entsprechend hohen Herstellungs- und Konstruktionsaufwand
erfordert.
Claims (5)
1. Mehrstufige Vorrichtung (1) zum Fördern feuchter Gase, mit
mehreren Förderpumpen (2, 3), die jeweils einen, in einem
Förderraum oszillierenden Verdränger aufweisen und über je
weils einen Verbindungskanal (6) einander nachgeschaltet sind
sowie mit einer Belüftungseinrichtung (7), die wenigstens einen
Belüftungskanal (8) hat, in den ein Belüftungsventil (9)
zwischengeschaltet ist, welches Belüftungsventil (9) bedarfs
weise und unabhängig von der Hubstellung der Verdränger
betätigbar ist,
wobei der Belüftungskanal (8) in einem einander
nachgeschaltete Förderpumpen (2, 3) miteinander verbindenden
Verbindungskanal (6) mündet.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Belüftungseinrichtung (8) ein manuell oder motorisch über eine
Steuereinrichtung betätigbares Belüftungsventil (9) aufweist.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die in Steuerverbindung mit dem Belüftungsventil (9)
stehende Steuereinrichtung ein Zeitglied und/oder einen
Drucksensor hat, zum einmaligen oder mehrmaligen stoßweisen
Betätigen des Belüftungsventils (9) in Abhängigkeit von der
Kondensationszeit und/oder in Abhängigkeit vorgegebener
Druckstufen in einer mittels der Fördereinrichtung (1) zu
evakuierenden Kammer.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch
gekennzeichnet, daß die zur ersten Stufe gehörende Förderpumpe
(2) saugseitig an einen Autoklaven, an eine Vakuum-Trockenkam
mer oder dergleichen Vakuumkammer und druckseitig an die
Saugseite der zweiten Förderpumpe (3) angeschlossen ist.
5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die in den einzelnen Stufen der Fördervorrichtung
(1) eingesetzten Förderpumpen (2, 3) handels
übliche Pumpen, insbesondere Membranpumpen, sind.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10021454A DE10021454C2 (de) | 2000-05-03 | 2000-05-03 | Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase |
US10/275,241 US6817839B2 (en) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Device for delivering moist gases |
DE50108678T DE50108678D1 (de) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Vorrichtung zum fördern feuchter gase |
PCT/EP2001/004884 WO2001083990A1 (de) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Vorrichtung zum fördern feuchter gase |
EP01949304A EP1278962B1 (de) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Vorrichtung zum fördern feuchter gase |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE10021454A DE10021454C2 (de) | 2000-05-03 | 2000-05-03 | Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10021454A1 true DE10021454A1 (de) | 2001-11-22 |
DE10021454C2 DE10021454C2 (de) | 2002-03-14 |
Family
ID=7640594
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE10021454A Expired - Lifetime DE10021454C2 (de) | 2000-05-03 | 2000-05-03 | Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase |
DE50108678T Expired - Lifetime DE50108678D1 (de) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Vorrichtung zum fördern feuchter gase |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE50108678T Expired - Lifetime DE50108678D1 (de) | 2000-05-03 | 2001-04-30 | Vorrichtung zum fördern feuchter gase |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6817839B2 (de) |
EP (1) | EP1278962B1 (de) |
DE (2) | DE10021454C2 (de) |
WO (1) | WO2001083990A1 (de) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1621768A1 (de) * | 2004-07-31 | 2006-02-01 | Hach Lange GmbH | Flüssigkeitsproben-Fördervorrichtung |
DE10255792C5 (de) * | 2002-11-28 | 2008-12-18 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe sowie Vakuumpumpensystem |
DE202009013127U1 (de) | 2009-09-29 | 2011-02-17 | Knf Neuberger Gmbh | Mehrstufige Membran-Saugpumpe |
WO2011038807A2 (de) | 2009-09-29 | 2011-04-07 | Knf Neuberger Gmbh | Mehrstufige membran-saugpumpe |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE202010002145U1 (de) * | 2010-02-09 | 2011-09-07 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Membranvakuumpumpe |
DE102013213257A1 (de) * | 2013-07-05 | 2015-01-08 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Membranvakuumpumpe |
CN105526128B (zh) * | 2016-02-05 | 2018-11-23 | 宁波泰尔斯电子实业有限公司 | 微型真空泵及组合式微型真空泵 |
WO2018098505A1 (en) * | 2016-11-28 | 2018-05-31 | Massachusetts Institute Of Technology | Vacuum pumps and methods of manufacturing the same |
US11873802B2 (en) * | 2020-05-18 | 2024-01-16 | Graco Minnesota Inc. | Pump having multi-stage gas compression |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29618911U1 (de) * | 1996-10-30 | 1996-12-19 | Dekema Dental-Keramiköfen GmbH, 83395 Freilassing | Pumpenanordnung |
WO1998039570A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-09-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe |
WO1999006699A1 (de) * | 1997-07-30 | 1999-02-11 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zum evakuieren eines feuchten gases, bearbeitungsvorrichtung zur durchführung dieses verfahrens sowie saugpumpe für eine solche bearbeitungsvorrichtung |
DE19831123A1 (de) * | 1998-07-11 | 2000-01-13 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasballasteinrichtung für mehrstufige Verdrängerpumpen |
DE19851680A1 (de) * | 1998-11-10 | 2000-05-18 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zum Fördern feuchter Gase mittels einer Fördereinrichtung sowie Fördereinrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB923072A (en) | 1958-07-23 | 1963-04-10 | Leybold Hockvakuum Anlagen Gmb | A method of and an apparatus for removing condensable vapour from a container |
FR2082631A5 (de) | 1970-03-20 | 1971-12-10 | Gen Pneumatic | |
US4086843A (en) * | 1977-02-17 | 1978-05-02 | Caterpillar Tractor Co. | Tilt tip circuit with bypass valve |
DE3710782A1 (de) | 1987-03-31 | 1988-10-20 | Vacuubrand Gmbh & Co | Verfahren und vorrichtung zum abpumpen von daempfen und/oder dampfhaltigen gemischen und/oder gas-dampf-gemischen oder dgl. medien |
JP3346208B2 (ja) * | 1997-02-17 | 2002-11-18 | マックス株式会社 | 多段圧縮機の負荷制御装置 |
US6248157B1 (en) * | 1999-08-20 | 2001-06-19 | Systec Inc. | Vacuum degassing |
JP2002155879A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-05-31 | Hitachi Ltd | オイルフリースクリュー圧縮機 |
-
2000
- 2000-05-03 DE DE10021454A patent/DE10021454C2/de not_active Expired - Lifetime
-
2001
- 2001-04-30 EP EP01949304A patent/EP1278962B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-04-30 WO PCT/EP2001/004884 patent/WO2001083990A1/de active IP Right Grant
- 2001-04-30 US US10/275,241 patent/US6817839B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-04-30 DE DE50108678T patent/DE50108678D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE29618911U1 (de) * | 1996-10-30 | 1996-12-19 | Dekema Dental-Keramiköfen GmbH, 83395 Freilassing | Pumpenanordnung |
WO1998039570A1 (de) * | 1997-03-06 | 1998-09-11 | Leybold Vakuum Gmbh | Vakuumpumpe |
WO1999006699A1 (de) * | 1997-07-30 | 1999-02-11 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zum evakuieren eines feuchten gases, bearbeitungsvorrichtung zur durchführung dieses verfahrens sowie saugpumpe für eine solche bearbeitungsvorrichtung |
DE19831123A1 (de) * | 1998-07-11 | 2000-01-13 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Gasballasteinrichtung für mehrstufige Verdrängerpumpen |
DE19851680A1 (de) * | 1998-11-10 | 2000-05-18 | Knf Neuberger Gmbh | Verfahren zum Fördern feuchter Gase mittels einer Fördereinrichtung sowie Fördereinrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10255792C5 (de) * | 2002-11-28 | 2008-12-18 | Vacuubrand Gmbh + Co Kg | Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe sowie Vakuumpumpensystem |
EP1621768A1 (de) * | 2004-07-31 | 2006-02-01 | Hach Lange GmbH | Flüssigkeitsproben-Fördervorrichtung |
DE202009013127U1 (de) | 2009-09-29 | 2011-02-17 | Knf Neuberger Gmbh | Mehrstufige Membran-Saugpumpe |
WO2011038807A2 (de) | 2009-09-29 | 2011-04-07 | Knf Neuberger Gmbh | Mehrstufige membran-saugpumpe |
DE102009043644A1 (de) | 2009-09-29 | 2011-04-21 | Knf Neuberger Gmbh | Mehrstufige Membran-Saugpumpe |
DE102009043644B4 (de) * | 2009-09-29 | 2011-07-07 | KNF Neuberger GmbH, 79112 | Mehrstufige Membran-Saugpumpe |
US9004877B2 (en) | 2009-09-29 | 2015-04-14 | Knf Neuberger Gmbh | Multi-stage diaphragm suction pump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1278962B1 (de) | 2006-01-11 |
DE50108678D1 (de) | 2006-04-06 |
WO2001083990A1 (de) | 2001-11-08 |
US20030123997A1 (en) | 2003-07-03 |
EP1278962A1 (de) | 2003-01-29 |
US6817839B2 (en) | 2004-11-16 |
DE10021454C2 (de) | 2002-03-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2333350A1 (de) | Druckluftbetriebener Unterdruckerzeuger | |
EP3436702A1 (de) | Vakuumpumpe mit schalldämpfung | |
DE10021454C2 (de) | Vorrichtung zum Fördern feuchter Gase | |
DE10100895C2 (de) | Anlage zum Absaugen von Luftverunreinigungen bei der Herstellung von Holzwerkstoffplatten, insbesondere MDF-Platten, Spanplatten oder dgl. | |
DE102007057945B4 (de) | Mehrstufige Membran-Saugpumpe | |
DE2233529C3 (de) | Entstaubungsanlage mit Filterkörpern | |
WO2000058629A1 (de) | Seitenkanalverdichter | |
DE10255792C5 (de) | Verfahren zur Steuerung einer Vakuumpumpe sowie Vakuumpumpensystem | |
EP1696159A1 (de) | Quetschventil | |
WO1995030092A1 (de) | Selbstansaugende mehrstufige kreiselpumpe | |
WO2000028212A1 (de) | Verfahren zum fördern feuchter gase mittels einer fördereinrichtung sowie fördereinrichtung zum durchführen dieses verfahrens | |
EP2483559A2 (de) | Mehrstufige membran-saugpumpe | |
EP0373229B1 (de) | Mechanische Vakuumpumpe mit einer federbelasteten Rückschlagklappe | |
DE10358142A1 (de) | Vorrichtung zum schwebenden Führen von bahnförmigem Material | |
DE4129897A1 (de) | Vorrichtung zur steuerung des verbundes mehrstufiger vakuumpumpen | |
DE1532010C3 (de) | Fördervorrichtung für Zerkleinerungsgut mit einer Förderpumpe und einer Vacuumabsaugeanlage | |
DE102007063105A1 (de) | Pneumatische Förderanlage und Verfahren zum Betreiben derselben | |
DE29618911U1 (de) | Pumpenanordnung | |
DE10158723B4 (de) | Vakuumpumpe mit Membranschutz | |
DE29520315U1 (de) | Vorrichtung zum Abschneiden von Staub u.dgl. aus einem Gas | |
DE4323711A1 (de) | Druckmittelbetätigte Presse zum Auspressen von Flüssigkeit enthaltenden Stoffen | |
DE123474C (de) | ||
DE2258558A1 (de) | Oel- oder gasbeheiztes geraet, insbesondere wassererhitzer | |
DE3936781A1 (de) | Druckwechseladsorptionsanlage | |
CH655862A5 (de) | Verfahren zur beschleunigung des luftaustausches beim befuellen oder entleeren eines druckraumes und vorrichtung zur durchfuehrung desselben. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8363 | Opposition against the patent | ||
8365 | Fully valid after opposition proceedings | ||
R071 | Expiry of right |