DE10018269A1 - Abtasteinheit - Google Patents

Abstract

Es wird eine Abtasteinheit angegeben, die insbesondere für eine magnetische Positionsmesseinrichtung geeignet ist. Diese umfasst einen stabilen Trägerkörper, der mindestens eine Ausnehmung sowie mindestens eine Bohrung im Bereich der Ausnehmung aufweist. Eine Detektoreinheit mit ein oder mehreren Detektorelementen ist im Bereich der Ausnehmung angeordnet, wobei die Detektoreinheit über elektrische Anschlussleitungen kontaktierbar ist, die durch die Bohrung geführt sind. Über der Ausnehmung ist ein Abdeckelement angeordnet, das die Ausnehmung vollständig bedeckt und die darin angeordneten Elemente gegenüber mechanischer Beschädigung schützt. In den verbleibenden, freien Bereichen der Ausnehmung ist unter dem Abdeckelement ein Füllmaterial angeordnet (Figur 1).

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Abtasteinheit, insbesondere geeignet für eine magnetische Positonsmesseinrichtung.

Magnetische Positionsmesseinrichtungen umfassen üblicherweise eine ma­ gnetische Messteilung, bestehend aus alternierend angeordneten Teilberei­ chen unterschiedlicher Magnetisierung sowie eine in Messrichtung relativ hierzu bewegliche Abtasteinheit. Auf Seiten der Abtasteinheit ist u. a. eine Detektoreinheit vorgesehen, die geeignete magnetfeldempfindliche Detek­ torelemente aufweist. Als Detektorelemente werden oftmals dünne Schich­ ten aus magnetoresistivem Material eingesetzt, die jedoch äußerst empfind­ lich gegenüber mechanischen Einwirkungen sind. Wird daher eine magneti­ sche Positionsmesseinrichtung mit einer derartigen Abtasteinheit in einer Werkzeugmaschine eingesetzt, so kann im Messbetrieb aufgrund von Kühl­ mitteln, Spänen etc. eine Beschädigung der Detektorelemente bzw. der De­ tektoreinheit resultieren. Dies wiederum hätte den Ausfall der Positions­ messeinrichtung zur Folge.

Um eine Beschädigung zu vermeiden, ist es in einer solchen Positions­ messeinrichtung bekannt, die in einer Ausnehmung eines Trägerelementes angeordnete Detektoreinheit mittels eines darüber angeordneten Abdeck­ elementes zu schützen. Ist als Abdeckelement eine dünne Metallfolie vorge­ sehen, so ist es jedoch relativ problematisch dieselbe exakt planar in diesem Bereich anzuordnen. Wird die Metallfolie jedoch nicht exakt planar angeord­ net, so variiert bei einem vorgegebenem Abtastabstand zwischen Messtei­ lung und Abdeckelement der Abstand zwischen den Detektorelementen und der Messteilung. Aufgrund der empfindlichen Abhängigkeit der Detektor­ signale von diesem Abstand können daraus unerwünscht schwankende Signalamplituden resultieren. Ferner kann eine nicht exakt planare Anord­ nung der Metallfolie ein Verkeilen von Metallspänen oder anderen Verunrei­ nigungen an dieser Stelle zwischen der Messteilung und der Abtasteinheit zur Folge haben.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es daher, eine Abtasteinheit, insbe­ sondere für magnetische Positionsmesseinrichtungen anzugeben, deren Detektoreinheit zuverlässig gegenüber mechanischen Einflüssen abgesi­ chert ist.

Diese Aufgabe wird gelöst durch eine Abtasteinheit mit den Merkmalen des Anspruches 1.

Vorteilhafte Ausführungsformen der erfindungsgemäßen Abtasteinheit erge­ ben sich aus den Maßnahmen, die in den abhängigen Ansprüchen aufge­ führt sind.

Die erfindungsgemäße Abtasteinheit bietet im Vergleich zu bisherigen Lö­ sungen eine Reihe von Vorteilen. So ergibt sich aufgrund des vorgesehenen Füllmaterials im Inneren der Ausnehmung insgesamt ein stabiler und kom­ pakter Aufbau der kompletten Abtasteinheit. Desweiteren ermöglichen die erfindungsgemäßen Maßnahmen die äußerst planare Anordnung einer Me­ tallfolie als Abdeckelement, das die Detektoreinheit vor mechanischen Ein­ flüssen schützt. Daraus wiederum ergibt die gewünschte Unempfindlichkeit gegenüber der Anlagerung von Verunreinigungen sowie stabile, rauscharme Abtastsignale.

Ferner ist anzuführen, dass im Fall der Kontaktierung der Detektoreinheit mittels flexibler Leiterbahnen eine relativ einfache Kontaktierung realisierbar ist, die weitgehend automatisiert ablaufen kann.

Wird auch die Bohrung, durch die die Anschlussleitungen zugeführt werden, mit dem Füllmaterial ausgefüllt, so sind auch die elektrischen Anschlusslei­ tungen in der Abtasteinheit zuverlässig vor mechanischer Beschädigung geschützt.

Aufgrund des Einsatzes eines Füllmateriales in der Ausnehmung der erfin­ dungsgemäßen Abtasteinheit, das beim Aushärten schwindet bzw. schrumpft, resultiert im Fall der Verwendung einer Metallfolie als Abdeck­ element ein Anschmiegen an die Detektorelemente sowie an die Stützele­ mente. Daraus ergibt sich eine steife Abstützung der Metallfolie, wodurch verhindert wird, dass eine eventuelle Klebeverbindung zwischen der Folie und dem Trägerelement, versagt. Ferner wird durch die Schrumpfung des Füllmateriales sichergestellt, dass in den planaren Klebeflächen nur Schub- und Druckspannungen auftreten, woduch ein Abschälen der Metallfolie zu­ verlässig verhindert wird.

Als weiterer Vorteil der Verwendung eines geeigneten Füllmaterials ist an­ zuführen, dass derart eine Vergrößerung von Kriechstrecken für Verunreini­ gungen resultiert, wenn beispielsweise die Metallfolie mechanisch beschä­ digt werden sollte.

Grundsätzlich lassen sich auch in Positionsmesseinrichtungen Abtastein­ heiten erfindungsgemäß ausbilden, die auf anderen physikalischen Ab­ tastprinzipien beruhen, beispielsweise optische, induktive oder kapazitive Systeme. Anstelle der magnetfeldempfindlichen Detektorelemente wären dann entsprechende alternative Detektorelemente vorzusehen. Im Fall einer optischen Positionsmesseinrichtung wäre ferner das Abdeckelement trans­ parent auszubilden etc.

Selbstverständlich lässt sich die erfindungsgemäß aufgebaute Abtasteinheit sowohl in linearen als auch in rotatorischen Positionsmesseinrichtungen ein­ setzen.

Weitere Vorteile sowie Einzelheiten der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der beiliegenden Figuren.

Dabei zeigt

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Ausfüh­ rungsform der erfindungsgemäßen Abtasteinheit in Verbindung mit einer abgetasteten magneti­ schen Messteilung;

Fig. 2 eine Draufsicht auf die Abtasteinheit aus Fig. 1 in teilmontiertem Zustand;

Fig. 3 eine vergrößerte Teilansicht der Abtasteinheit aus Fig. 1;

Fig. 4a und 4b je eine Draufsicht auf alternative Ausführungs­ formen einer erfindungsgemäßen Abtasteinheit in jeweils teilmontierten Zuständen.

In Fig. 1 ist eine Teil-Schnittansicht eines Ausführungsbeispiels einer erfin­ dungsgemäßen Abtasteinheit 10 schematisch dargestellt; eine Draufsicht auf die teilmontierte Abtasteinheit ist in Fig. 2 gezeigt.

Benachbart zur Abtasteinheit 10 ist eine magnetische Messteilung 20 er­ kennbar, die mithilfe der Abtasteinheit 10 zur Erzeugung positionsabhängi­ ger Abtastsignale in der angegebenen Messrichtung x abgetastet wird. Die Größenverhältnisse sind in den Fig. 1 und 2 nicht maßstäblich korrekt wiedergegeben.

Eine derartige magnetische Positionsmesseinrichtung lässt sich etwa in Werkzeugmaschinen einsetzen, um die Relativposition von Werkstück und Werkzeug hochpräzise zu bestimmen. Die über die Abtastung der Messtei­ lung 20 mittels der Abtasteinheit 10 generierten Abtastsignale werden einer - in Fig. 1 nicht dargestellten - Auswerteeinheit zugeführt, beispielsweise einer numerischen Werkzeugmaschinensteuerung, und dort weiterverarbei­ tet.

Die mithilfe der erfindungsgemäßen Abtasteinheit 10 im Abtastabstand D abgetastete magnetische Messteilung 20 ist in bekannter Art und Weise ausgebildet und besteht aus einer periodischen Abfolge von Teilbereichen 21, 22 mit unterschiedlicher Magnetisierung. Grundsätzlich sind auf Seiten der Messteilung 20 die verschiedensten bekannten Magnetisierungsvarian­ ten einsetzbar. Die Messteilung 20 kann ferner sowohl als lineare Messtei­ lung als auch als rotatorische Messteilung ausgebildet werden; im letzteren Fall ist etwa die Anordnung der Messteilung 20 auf einer entsprechenden Zylindertrommel möglich usw.

Die erfindungsgemäße Abtasteinheit 10 umfasst einen stabilen Trägerkörper 11, auf dem die weiteren Komponenten der Abtasteinheit 10 angeordnet sind. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist der Trägerkörper aus Alumi­ nium gefertigt. Auf derjenigen Seite, die der Messteilung 20 zugewandt ist, weist der Trägerkörper 11 eine Ausnehmung 12 auf, in der wiederum diverse funktionsrelevante Elemente angeordnet sind, die nachfolgend noch erläu­ tert werden. Die Ausnehmung 12 im Trägerkörper 11 ist in diesem Beispiel rechteckförmig ausgebildet, wie aus der Draufsicht in Fig. 2 ersichtlich ist; die Rechtecks-Längsachse ist demnach in Messrichtung x orientiert. Die Tiefe h der Ausnehmung 12 beträgt h = 900 µm.

Im Bereich der Ausnehmung 12 ist im Trägerkörper 11 desweiteren ein Ka­ nal bzw. eine Bohrung 13 vorgesehen, die wiederum in Fig. 1 erkennbar ist. Im vorliegenden Beispiel besitzt die Bohrung 13 einen rechteckförmigen Querschnitt; die Rechtecks-Längsachse ist senkrecht zur Messrichtung x orientiert und senkrecht zur Zeichenebene ausgerichtet. Die Bohrung weist in einem Beispiel Abmessungen von 3 mm × 10 mm auf.

Im zentralen Bereich der Ausnehmung 12 ist die zur Messteilungs-Abtastung erforderliche Detektoreinheit 14 angeordnet. Zur Abtastung der magneti­ schen Messteilung 20 umfasst die Detektoreinheit 14 mehrere magnetfeld­ empfindliche Detektorelemente 14.2. Im vorliegenden Beispiel sind die De­ tektorelemente 14.2 in bekannter Art und Weise als auf einem Trägersub­ strat 14.1 aus Glas angeordnete magnetoresistive, dünne Schichtstreifen ausgebildet. Die Detektoreinheit 14 wird in der Ausnehmung 12 vorzugs­ weise durch eine Klebeverbindung befestigt.

Die elektrische Kontaktierung der Detektoreinheit 14 erfolgt über ein oder mehrere elektrische Anschlussleitungen, die in diesem Beispiel als flexible Leiterbahnen bzw. flexible gedruckte Schaltung ausgebildet sind. Die flexible Leiterbahn wird hierbei flächig auf der Detektoreinheit 14, respektive den Detektorelementen 14.2 angeordnet und vorzugsweise über eine Klebever­ bindung auf der Detektoreinheit 14 befestigt. Zwischen der flexiblen Leiter­ bahn und der Detektoreinheit 14 sind zwei in Messrichtung x beabstandete Gruppen elektrischer Kontaktierungspunkte vorgesehen; in Bezug auf die Kontaktierung sei im übrigen auf die nachfolgende Beschreibung der Fig. 3 verwiesen.

Die Anschlussleitung 15 bzw. die flexible Leiterbahn wird zur Verbindung der Detektoreinheit mit einer nachgeordneten Auswerteeinheit durch die Boh­ rung 13 im Trägerkörper 11 der Abtasteinheit 10 nach aussen geführt.

Zum Schutz der in der Ausnehmung 12 angeordneten Elemente der Abtast­ einheit 10 ist über der Ausnehmung 12 ein Abdeckelement 16 angeordnet, das die Ausnehmung 12 vollständig bedeckt. Im vorliegenden Beispiel ist das Abdeckelement 16 als dünne, widerstandsfähige Metallfolie ausgebildet, die eine Dicke von ca. 20-30 µm aufweist. Als Material für die Metallfolie erweist sich eine amorphe Eisen-Nickel-Legierung als besonders vorteilhaft, da diese zum einen mechanisch äußerst belastungsfähig ist. Zum anderen ist dieses Material unmagnetisch und beeinflusst deshalb auch nicht die Er­ fassung der Abtastsignale aus der Abtastung der magnetischen Messteilung 20.

Im Bereich der Ausnehmung 12 sind ferner Stützelemente 17a, 17b ange­ ordnet, auf denen das Abdeckelement 16 bzw. die Metallfolie aufliegt. Das Abdeckelement 16 ist hierbei mit den Stützelementen 17a, 17b über eine Klebeverbindung verbunden; die hierzu erforderlichen Klebstoffschichten sind Fig. 1 mit den Bezugszeichen 18a, 18b bezeichnet.

Alternativ wären an dieser Stelle auch andere Verbindungstechniken ein­ setzbar, beispielsweise Löten, Hartlöten, Schweissen etc.

Im Beispiel der Fig. 1 und 2 weisen die Stützelemente 17a, 17b eine Höhe auf, die der Tiefe h der Ausnehmung 12 entspricht, d. h. die jeweiligen Oberseiten der Stützelemente 17a, 17b fluchten mit der Oberseite des Trä­ gerelementes 11.

Alternativ hierzu wäre es aber auch möglich, dass die Stützelemente eine Höhe aufweisen, die größer als die Tiefe der Ausnehmung ist, so dass diese aus der Ausnehmung herausragen. Vorteilhaft wäre in dieser Variante, wenn auch die Detektoreinheit in der Ausnehmung so angeordnet wird, dass deren Oberseite ebenfalls aus der Ausnehmung herausragt. Eine derartige Anordnung würde ebenfalls dazu beitragen, dass sich eine darüber ange­ ordnete Metallfolie eng anschmiegt und sich nicht ablöst.

Das Abdeckelement 16 ist im dargestellten Beispiel desweiteren auch an seinen Randbereichen mit dem Trägerkörper 11 verbunden. Hierzu wird die Metallfolie im vorliegenden Beispiel nach unten umgebogen und Klebstoff 18c, 18d zwischen die Metallfolie und den Rand der Ausnehmung 12 des Trägerkörpers 11 eingebracht. Auf diese Art und Weise ist eine äußerst dichte Klebeverbindung zwischen dem Abdeckelement 16 und dem Träger­ körper 11 sichergestellt.

Auch an dieser Stelle könnten prinzipiell alternative Verbindungstechniken zum Verkleben eingesetzt werden.

Das Abdeckelement 16 ist in diesem Ausführungsbeispiel ferner auch noch im Bereich der Detektoreinheit 14 mit der flexiblen Leiterbahn verbunden, wobei die Verbindung wiederum als flächige Klebeverbindung ausgebildet ist; mit dem Bezugszeichen 18e wird in Fig. 1 die an dieser Stelle erforder­ liche Klebstoffschicht bezeichnet.

Auch hier wären grundsätzlich auch andere Verbindungstechniken einsetz­ bar.

Für die vorab erläuterten verschiedenen Klebeverbindungen wird vorzugs­ weise ein Klebstoffmaterial auf Epoxidbasis verwendet. Wichtig für die Wahl eines geeigneten Klebstoffmateriales ist hierbei insbesondere dessen Be­ ständigkeit gegenüber mechanischen und chemischen Einflüssen.

Als weitere wesentliche Maßnahme ist in der erfindungsgemäßen Abtastein­ heit 10 vorgesehen, die in der Ausnehmung 12 verbleibenden freien Berei­ che unter dem Abdeckelement 16 mit einem Füllmaterial 19 auszufüllen. Als Füllmaterial 19 wird eine Vergussmasse gewählt, die den Raum zwischen dem Abdeckelement 16 und dem Trägerkörper 11 ausfüllt und nach dem Einfüllen aushärtet. Das Einfüllen des Füllmaterials 19 erfolgt hierbei über die Bohrung 13 im Trägerkörper 11, durch die auch die Anschlussleitung 15 geführt wird. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel ist vorgesehen, dass das Füllmaterial 19 auch den Bereich der Bohrung 13 bzw. des Kanals ausfüllt. Auf diese Art und Weise ist auch die Anschlussleitung 15 in der Abtastein­ heit 10 vor mechanischen Belastungen geschützt.

Als Füllmaterial 19 wird vorzugsweise eine niederviskose Vergussmasse mit einem thermischen Ausdehnungskoeffizienten gewählt, der zumindest ähn­ lich zu den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des Trägerkörpers 11 und der Detektoreinheit 13 ist. Dadurch lassen sich thermisch bedingte Spannungen innnerhalb der Abtasteinheit 13 vermeiden, die durch eventu­ elle Temperaturänderungen verursacht werden. Desweiteren erweist sich bei der Auswahl einer geeigneten Vergussmasse vorteilhaft, wenn ein Mate­ rial gewählt wird, das beim Aushärten schwindet bzw. schrumpft. Auf diese Art und Weise wird ein besonders inniger Kontakt zwischen dem Abdeck­ element 16 bzw. der Metallfolie und der Detektoreinheit 13 sichergestellt. Außerdem gewährleistet diese Materialwahl, dass ein eventuelles Abheben der Metallfolie von den Detektorelementen 14.2 vermieden werden kann.

In Fig. 2 ist eine vergrößerte Teilansicht aus Fig. 1 dargestellt, die insbe­ sondere den Bereich der Abtasteinheit 10 mit der Detektoreinheit 14 zeigt. Auf dem Trägerelement 11 ist hierbei über eine Klebeschicht 18f das Trä­ gersubstrat 14.1 der Detektoreinheit 14 angeordnet, auf dem sich die De­ tektorelemente 14.2 in Form einer dünnen magnetoresistiven Schicht befin­ den. Die Detektorelemente 14.2 werden mit der Anschlussleitung 15, aus­ gebildet als flexible Leiterbahn, in diesem Ausführungsbeispiel über zwei Gruppen von in Messrichtung x beabstandeten Kontaktierungspunkten 15.1, 15.2 leitend verbunden; es erstrecken sich demzufolge weitere, nicht er­ kennbare, Kontaktierungspunkte senkrecht zur Zeichenebene. Ferner ist im dargestellten Ausführungsbeispiel zwischen der Anschlussleitung 15 bzw. der flexiblen Leiterbahn und der Detektoreinheit 14 bzw. der dünnen Schicht mit den Detektorelementen 14.2 eine weitere Klebeschicht 18g zur flächigen Fixierung der flexiblen Leiterbahn vorgesehen. Über der Anschlussleitung 15 bzw. der flexiblen Leiterbahn ist schließlich eine weitere Klebeschicht 18h angeordnet, durch die eine Verbindung mit dem darüber angeordneten Ab­ deckelement 16, d. h. mit der dünnen Metallfolie hergestellt wird.

Alternativ zum dargestellten Beispiel könnte grundsätzlich auch auf die Fixie­ rung mittels der beiden Klebeschichten 18g, 18h verzichtet werden.

Selbstverständlich sind im Rahmen der erfindungsgemäßen Überlegungen auch alternative Ausführungsformen der Abtasteinheit realisierbar.

In Fig. 4a und 4b sind Draufsichten auf weitere Ausführungsmöglichkeiten erfindungsgemäßer Abtasteinheiten in teilmontiertem Zustand dargestellt.

Die in Fig. 4a erkennbare Abtasteinheit 110 weist ebenfalls eine rechteck­ förmige Ausnehmung 112 in einem stabilen Trägerkörper 111 auf, in der u. a. die Detektoreinheit 114 angeordnet ist. Benachbart zur Detektoreinheit ist die rechteckförmige Bohrung 113 erkennbar, durch die im kontaktierten Zu­ stand die elektrische Anschlussleitung geführt wird. Im Unterschied zum vorhergehenden Beispiel sind in der Ausnehmung 112 nicht mehr nur zwei in Messrichtung beabstandete Stützelemente mit rechteckigem Querschnitt vorgesehen; demgegenüber dient als Stützelement 117 nunmehr eine in der Ausnehmung 112 umlaufende Erhebung, die die Detektoreinheit 114 voll­ ständig umschließt. Auf dem Stützelement 117 liegt wiederum das in Fig. 4a nicht erkennbare Abdeckelement, z. B. eine Metallfolie, auf.

Ansonsten entspricht der weitere grundsätzliche Aufbau dem des vorherigen Ausführungsbeispieles.

Eine wiederum dem ersten Beispiel ähnelnde Variante einer erfindungsge­ mäßen Abtasteinheit 210 ist in Fig. 4b in teilmontiertem Zustand gezeigt. In der Ausnehmung 212 des Trägerelementes 211 sind analog zum ersten Ausführungsbeispiel die beiden Stützelemente 217a, 217b angeordnet. Zwi­ schen den Stützelementen 217a, 217b wird die Detektoreinheit 214 plaziert, wobei zur präzisen Positionierung derselben drei Montier-Anschläge 230a, 230b und 230c in der Ausnehmung 212 angeordnet sind. Mit Hilfe der in diesem Beispiel rechtwinklig zueinander angeordneten Montier-Anschläge 230a-230c lässt sich die Detektoreinheit automatisiert an der richtigen Stelle positionieren und anschließend befestigen sowie kontaktieren. Im vor­ liegenden Beispiel sind die Montier-Anschläge 230a-230c als halbrunde Erhebungen in einer weiteren Ausnehmung ausgebildet. Indem die Detek­ toreinheit etwa bei der Montage von rechts oben her in Richtung links unten geschoben wird, lässt sich eine korrekte Positionierung derselben an der gewünschten Position gewährleisten.

In weiteren - nicht im einzelnen dargestellten - Ausführungsvarianten kön­ nen etwa im Trägerkörper noch mehr Bohrungen bzw. Kanäle vorgesehen sein, durch die das Füllmaterial in den Innenraum der Abtasteinheit eingefüllt wird.

Desweiteren sind auch alternative Kontaktierungsvarianten für die Detek­ toreinheit möglich. Anstelle der Verwendung der flexiblen Leiterbahn zur Kontaktierung der Detektoreinheit kann beispielsweise auch ein übliches Drahtbonden vorgesehen werden. Wird eine alternative Kontaktierung zum Beispiel in den Fig. 1 und 2 vorgesehen, so erweist sich als vorteilhaft, wenn zwischen den Detektorelementen der Detektoreinheit und dem Ab­ deckelement eine zusätzliche Schutzschicht vorgesehen wird, die die emp­ findlichen Detektorelemente gegenüber mechanischen Einflüssen ebenso schützt wie gegenüber eventuellen elektrischen Überspannungen in diesem Bereich. Während eine derartige Schutzschicht im obigen Beispiel durch die flexible Leiterbahn gebildet wird, könnte im Fall einer anderen Kontaktierung auch ein geeigneter Schutzlack bzw. eine geeignete Schutzfolie vorgesehen werden.

Ebenso ist ferner es möglich, die Detektoreinheit ggf. von deren Rückseite her zu kontaktieren und die Anschlussleitung durch eine entsprechende Bohrung im Trägerkörper nach aussen zu führen.

Je nach Anwendungsfall lassen sich die erläuterten Ausführungsbeispiele somit im Rahmen der erfindungsgemäßen Überlegungen geeignet modifizie­ ren.

Claims (17)

1. Abtasteinheit, insbesondere für eine magnetische Positionsmessein­ richtung, bestehend aus

• - einem stabilen Trägerkörper (11; 111; 211), der mindestens eine Ausnehmung (12; 112; 212) sowie mindestens eine Bohrung (13; 113) im Bereich der Ausnehmung (12; 112; 212) aufweist,
• - einer Detektoreinheit (14; 114; 214), die ein oder mehrere Detektor­ elemente (14.2) umfasst und im Bereich der Ausnehmung (12; 112; 212) angeordnet ist, wobei die Detektoreinheit (14; 114; 214) über elek­ trische Anschlussleitungen (15) kontaktierbar ist, die durch die minde­ stens eine Bohrung (13; 113; 213) geführt sind,
• - einem Abdeckelement (16), das über der Ausnehmung (12; 112; 212) angeordnet ist und diese vollständig bedeckt sowie
• - Füllmaterial (19), welches mindestens die verbleibenden freien Be­ reiche der Ausnehmung (12; 112; 212) unter dem Abdeckelement (16) ausfüllt.

2. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei im Bereich der Ausnehmung (12; 112; 212) ein oder mehrere Stützelemente (17a, 17b; 117; 217a, 217b) angeordnet sind, auf denen das Abdeckelement (16) aufliegt.

3. Abtasteinheit nach Anspruch 2, wobei das Abdeckelement (16) mit den Stützelementen (17a, 17b; 117, 217a, 217b) verbunden ist.

4. Abtasteinheit nach Anspruch 3, wobei das Abdeckelement (16) mit den Stützelementen (17a, 17b) verklebt ist.

5. Abtasteinheit nach Anspruch 2, wobei die Stützelemente eine Höhe aufweisen, die größer als die Höhe der Ausnehmung ist und auch die Detektoreinheit derart in der Ausnehmung angeordnet ist, dass dessen Oberseite aus der Ausnehmung herausragt.

6. Abtasteinheit nach Anspruch 4, wobei das Abdeckelement (16) in sei­ nen Randbereichen mit dem Trägerkörper (11) verklebt ist.

7. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei die elektrische Anschlussleitung (15) als flexible Leiterbahn ausgebildet ist und die flexible Leiterbahn flächig auf der Seite der Detektoreinheit (14) aufliegt, die dem Abdeck­ element (16) zugewandt ist.

8. Abtasteinheit nach Anspruch 7, wobei zwischen der flexiblen Leiterbahn und der Detektoreinheit (14) zwei beabstandete Gruppen von Kontaktie­ rungspunkten (15.1, 15.2) vorgesehen sind.

9. Abtasteinheit nach Anspruch 7, wobei die flexible Leiterbahn mit der Detektoreinheit (14) flächig verklebt ist.

10. Abtasteinheit nach Anspruch 7, wobei das Abdeckelement (16) im Be­ reich der Detektoreinheit (14) mit der flexiblen Leiterbahn verklebt ist.

11. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei zwischen den Detektorelementen und dem Abdeckelement eine Schutzschicht angeordnet ist.

12. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Abdeckelement (16) als dünne, widerstandsfähige, unmagnetische Metallfolie ausgebildet ist.

13. Abtasteinheit nach Anspruch 12, wobei als Material für die Metallfolie eine amorphe Nickel-Eisen-Legierung vorgesehen ist.

14. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei das Füllmaterial (19) auch die Bohrung (13; 113) im Trägerkörper (11; 111; 211) ausfüllt.

15. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei als Füllmaterial (19) eine nieder­ viskose Vergussmasse vorgesehen ist, deren thermischer Ausdeh­ nungskoeeffizient möglichst ähnlich zu den thermischen Ausdehnungs­ koeffizienten des Trägerkörpers (11; 111; 211) und der Detektoreinheit (14; 114; 214) gewählt ist.

16. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei ein Füllmaterial (19) gewählt ist, das beim Aushärten schwindet.

17. Abtasteinheit nach Anspruch 1, wobei als Material des Trägerkörpers (11; 111; 211) Aluminium vorgesehen ist.