CZ279661B6 - Teplotní čidlo a způsob jeho výroby - Google Patents

Teplotní čidlo a způsob jeho výroby Download PDF

Info

Publication number
CZ279661B6
CZ279661B6 CS923993A CS399392A CZ279661B6 CZ 279661 B6 CZ279661 B6 CZ 279661B6 CS 923993 A CS923993 A CS 923993A CS 399392 A CS399392 A CS 399392A CZ 279661 B6 CZ279661 B6 CZ 279661B6
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
temperature sensor
printed
resistance
film
ceramic
Prior art date
Application number
CS923993A
Other languages
English (en)
Inventor
Karl-Hermann Dr. Friese
Harald Dr. Neumann
Original Assignee
Robert Bosch Gmbh
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Robert Bosch Gmbh filed Critical Robert Bosch Gmbh
Publication of CZ399392A3 publication Critical patent/CZ399392A3/cs
Publication of CZ279661B6 publication Critical patent/CZ279661B6/cs

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/16Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements
    • G01K7/18Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using resistive elements the element being a linear resistance, e.g. platinum resistance thermometer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/49082Resistor making
    • Y10T29/49085Thermally variable

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Thermistors And Varistors (AREA)
  • Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)

Abstract

Teplotní číslo, zejména s kladným teplotním součinitelem, je určeno zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů. Je tvořeno jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fo'lií (A,B), který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků (10,20) uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných. První odporový pásek (10) s přívodním vedením (11) je natištěn na základní fo'lii (A) z izolačního keramického materiálu. Na první odporový pásek (10) je přiložena alespoň jedna izolační vrstva (18) a alespoň jeden další odporový pásek (20) a následně je přiložena jedna další fo'lie (B) jako krycí fo'lie a je základní fo'lií (A) spojena a slinována.ŕ

Description

Teplotní čidlo, zejména s kladným teplotním součinitelem, je určeno zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů. Je tvořeno .Jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií (A,B), který Je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků (10,20), uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných. První odporový pásek (10) s přívodním vedením (11) je natištěn na základní fólii (A) z izolačního keramického materiálu. Na první odporový pásek (10) je přiložena alespoň Jedna izolační vrstva (18) a alespoň jeden další odporový pásek (20) a následně Je přiložena Jedna další fólie (B) Jako krycí fólie a Je Základní fólií (A) spojena a slinována.
í Teplotní čidlo a způsob jeho výroby J
Oblast techniky
Vynález se týká teplotního čidla, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií, který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek s přívodním vedením je natištěn na základní fólii z izolačního keramického materiálu. Vynález se dále týká způsobu výroby teplotního čidla.
Dosavadní stav techniky
Je všeobecně známé používat k měření poměrné vysokých teplot, jaké například panují ve výfukových plynech spalovacích motorů, teplotních čidel s elementy, provedenými s odporovými materiály, odolnými proti vysokým teplotám, s hodnotou odporu závislou na teplotě (viz E.D. Macklen, Thermistors, Verlag Electrochemical Publications, Ltd., 1979).
Teplotní čidla s kladným teplotním součinitelem (teplotní čidla PTC) využívají stálých změn odporu kovů nebo polovodičů s uvedeným kladným teplotním součinitelem při měnících se teplotách. Kovy používanými s výhodou pro tato teplotní čidla PTC jsou vzhledem ke své vysoké stabilitě a reprodukovatelnosti platina a nikl a jejich slitiny.
Dále je známé, například z EP-A 0 188 900 a 0 142 993 a dále z DE-OS 30 17 947 a 35 43 759, používat .pro určení hodnot lambda směsí plynů rovinná čidla, která se zvlášť výhodným levným způsobem mohou vyrobit z keramických fólií a sítotiskovou technikou.
Z DE-PS 37 33 192 je známé zlepšovat odolnost proti stárnutí a dobu odezvy teplotních čidel PTC tím, že tato teplotní čidla PTC jsou hermeticky zapouzdřena vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu.
Nevýhodou známých teplotních čidel PTC je, že mají určitou plošnou roztažnost, a proto nejsou ve všech místech vystavena stejné teplotě výfukových plynů.
Podstata vynálezu
Výše uvedené nedostatky odstraňuje teplotní čidlo, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použití ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií, který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků, uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek s přívodním vedením je natištěn na
-1CZ 279661 B6 základní fólii z izolačního keramického materiálu, podle vynálezu, jehož podstatou je, že na první odporový pásek je přiložena alespoň jedna izolační vrstva a alespoň jeden další odporový pásek a následně je přiložena jedna další fólie jako krycí fólie a je se základní fólií spojena a slinována.
Podle výhodného provedení vynálezu sestává teplotní čidlo z na sobě naskládaných odporových pásků, navzájem od sebe elektricky izolovaných.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu jsou odporové drátky vytvořeny meandrovitě.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu jsou odporové pásky elementu teplotního čidla umístěny na alespoň dvou fóliích na bázi izolačního keramického materiálu, a sice na alespoň jedné základní fólii s odporovým páskem a přívodním vedením natištěnými zhušůovací technikou nanášení vrstev, s alespoň jednou izolační vrstvou s natištěnými odporovými pásky na ní umístěnou, a s jednou další fólií, která je se základní fólií spojena a slinována.
Dále je výhodné, když keramické fólie a izolační vrstvy jsou vytvořeny na bázi oxidu hlinitého.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu je poslední umístěná izolační vrstva spojena s krycí fólií pomocí pojivá.
Dále je výhodné, když odporové pásky, přívodní vedení, kontakty, otvory pro pokovování, dosedací místo a přídavná dosedací místa jsou provedeny z cermetové pasty. Přitom je výhodné, když je tato cermetová pasta pastou z platiny a oxidu hlinitého.
Podle dalšího výhodného provedení vynálezu je na velké ploše základní keramické fólie, protilehlé k odporovému pásku, v místě kontaktů nanesena přilnavá spojovací vrstva, s výhodou z oxidu hlinitého se zvýšeným podílem tavící přísady.
Výše uvedené nedostatky dále odstraňuje způsob výroby teplotního čidla podle vynálezu, jehož podstatou je, že do první keramické fólie se vylisují otvory, provede se pokovení, na velkou plochu keramické fólie se natiskne odporový pásek, přívodní vedení a dosedací místa a na protilehlou velkou plochu keramické fólie, popřípadě po nanesení přilnavé spojovací vrstvy se natisknou kontakty, potom se na velkou plochu keramické fólie, potištěnou odporovým páskem, nanese s ponecháním volných okének alespoň jedna izolační vrstva, tato izolační vrstva se potiskne odporovým páskem a izolační vrstva nejvíce vzdálená od keramické fólie se potiskne přívodním vedením, popřípadě se na ni nanese další přilnavá spojovací vrstva, a spojí se a slinuje s druhou keramickou fólií tak, že vznikne naskládané uspořádání odporu.
Výhodou teplotního čidla podle vynálezu je, že naskládaným uspořádáním jednotlivých fólií na sobě se dosáhne vysokých hodnot měřicích odporů při současné menší plošné roztažnosti, a proto i prakticky nezávislosti na teplotních gradientech ve výfukovém plynu.
-2CZ 279661 B6 r
Přehled obrázků na výkresech *
Vynález bude dále blíže objasněn na příkladech provedení podle přiložených výkresů, na nichž obr.l znázorňuje první příklad provedení teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem s dvouvrstvým uspořádáním odporových pásků a obr.2 druhý příklad provedení teplotního čidla podle vynálezu s třívrstvým uspořádáním odporových pásků.
Příklady provedení vynálezu
Příklad 1
Pro výrobu prvního provedení teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem (PTC) podle vynálezu ze dvou keramických fólií A, B se postupuje podle vyobrazení na obr.l. Použijí se dvě keramické fólie A, B o síle vždy 0,3 mm. Do keramické fólie A se nejprve vylisují otvory 14, určené pro pokovování. Pro toto pokovování se těmito otvory 14 nasaje pasta z platiny a oxidu hlinitého. Na velkou plochu keramické fólie A se potom natiskne meandrovitý odporový pásek 10, přívodní vedení 11 a dosedací místa 15 z cermetové pasty z platiny a oxidu hlinitého. Potom se na protilehlou velkou plochu keramické fólie A nanese přilnavá spojovací vrstva 13 z oxidu hlinitého se zvýšeným podílem taviči přísady s vynecháním otvorů 14, provedených v keramické fólii A, načež se v oblasti těchto otvorů 14 natisknou kontakty 12 z platiny a oxidu hlinitého.
Potom se na velkou plochu keramické fólie A, potištěnou odporovým páskem 10., při ponechání volných okének 17 natiskne izolační vrstva 18 z oxidu hlinitého a na ni se vytiskne odporový pásek 20, přívodní vedení 21 a popřípadě i přídavná dosedací místa 15. Potom se přiloží přilnavá spojovací vrstva 19 z pojivá na bázi oxidu hlinitého a nakonec další keramická fólie B z oxidu hlinitého. Vzniklý svazek naskládaných vrstev se speče, neboli slinuje přibližně tříhodinovým ohřevem při teplotě 1600 °C.
Vzniklý teplotní element se vložil do neznázorněného pouzdra typu známého z DE-OS 32 06 903 a použil pro měření teploty výfukových plynů spalovacích motorů.
Příklad 2
Při výrobě dalšího provedení teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem (PTC) se postupuje tak, jak je schematicky znázorněno na obr.2. Na velkou plochu keramické fólie A se nejprve natiskne izolační vrstva 18, při ponechání volných okének 17, která se potom potiskne odporovým páskem 20.. Následně se na první izolační vrstvu 18 nanese druhá izolační vrstva 18.' , rovněž s ponecháním volných okének 17 ', a rovněž se potiskne odporovým páskem 30, přívodním vedením 31 a přídavnými dosedacími místy 151. Tímto způsobem vznikne třívrstvé uspořádání teplotního čidla s kladným teplotním součinitelem.
-3CZ 279661 B6
Pro dohotovení příkladu 1, nanese keramická fólie B, element teplotního potom vložil do Z DE-OS 32 06 903 a spalovacích motorů.
teplotního čidla se, stejně jako u popsaného dále přilnavá spojovací vrstva 19 a druhá a takto vzniklý svazek se slinuje. Vzniklý čidla s kladným teplotním součinitelem se neznázorněného pouzdra typu známého použil pro měření teploty výfukových plynů
Prostorová koncentrace měřicího odporu se může dále zvýšit tím, že se dále zvýší počet na sobě uspořádaných odporových pásků a mezi nimi uspořádaných izolačních vrstev. Uspořádání je přitom principiálně stejné jako u třívrstvého uspořádání, popsaného v příkladu 2, s příslušným zvýšením počtu izolačních vrstev 18 s natištěnými odporovými pásky.
Naskládané svazkovité uspořádání odporových pásků podle vynálezu tedy umožňuje dosažení malé plošné roztažnosti a tím dosažení jak dostatečné vysokých hodnot měřicího odporu, tak i prakticky jejich nezávislosti na teplotních gradientech ve výfukovém plynu.

Claims (2)

1. Teplotní čidlo, zejména s kladným teplotním součinitelem, zejména pro použiti ve výfukovém zařízení spalovacích motorů, s jedním elementem, uspořádaným v pouzdře, s vícevrstvou strukturou z na sebe naskládaných a spojených keramických fólií (A,B), který je hermeticky uzavřen vůči měřenému plynu a okolnímu vzduchu, s odporem, zejména s kladným teplotním součinitelem, vytvořeným z alespoň dvou odporových pásků (10,20), uspořádaných nad sebou a elektricky od sebe odizolovaných, přičemž první odporový pásek (10) s přívodním vedením (11) je natištěn na základní fólii (A) z izolačního keramického materiálu, vyznačující se tím, že na první odporový pásek -(10) je přiložena alespoň jedna izolační vrstva (18) a alespoň jeden další odporový pásek (20) a následně je přiložena jedna další fólie (B) jako krycí fólie a je se základní fólií (A) spojena a slinována.
2. Teplotní čidlo podle nároku 1, vyznačující se tím, že sestává z na sobě naskládaných odporových pásků (10,20,30), navzájem od sebe elektricky izolovaných.
3. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky jsou vytvořeny meandrovitě.
4. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky (10,20) elementu teplotního čidla jsou umístěny na alespoň dvou fóliích na bázi izolačního keramického materiálu, a sice na alespoň jedné základní fólii (A) s odporovým páskem (10)
-4CZ 279661 B6 a přívodním vedením (11), natištěnými zhuštovací technikou nanášení vrstev, s alespoň jednou izolační vrstvou (18) s natištěnými odporovými pásky (20,30) na ní umístěnou, a s jednou další fólií (B), která je se základní fólií (A) spojena a slinována.
5. Teplotní čidlo podle nároku 4, vyznačující se tím, že keramické fólie (A,B) a izolační vrstvy (18) jsou provedeny na základě oxydu hlinitého.
6. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že poslední přiložená izolační vrstva (18) se spojí s krycí fólií (B) pomocí pojivá.
7. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že odporové pásky (10, 20, 30), přívodní vedení (11), kontakty (12), otvory (14) pro pokovování, dosedací místo (15) a přídavná dosedaci místa jsou provedeny z cermetové pasty.
8. Teplotní čidlo podle nároku 7, vyznačující se tím, že cermetovou pastou je pasta z platiny a oxidu hlinitého .
9. Teplotní čidlo podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že na velké ploše základní keramické fólie (A), protilehlé k odporovému pásku (10), je v místě kontaktů (12) nanesena přilnavá spojovací vrstva (13), s výhodou z oxidu hlinitého se zvýšeným podílem tavící přísady.
10. Způsob výroby teplotního čidla podle jednoho z předcházejících nároků, vyznačující se tím, že do první keramické fólie (A) se vylisují otvory (14), provede se pokovení, na velkou plochu keramické fólie (A) se natiskne odporový pásek (10), přívodní vedení (11) a dosedací místa (15) a na protilehlou velkou plochu keramické fólie (A), popřípadě po nanesení přilnavé spojovací vrstvy (13), se natisknou kontakty (12), potom se na velkou plochu keramické fólie (A), potištěnou odporovým páskem (10), nanese s ponecháním volných okének (17) alespoň jedna izolační vrstva (18), tato izolační vrstva (18) se potiskne odporovým páskem (20,30) a izolační vrstva (18) nejvíce vzdálená od keramické fólie (A) se potiskne přívodním vedením (21,31), popřípadě se na ni nanese další přilnavá spojovací vrstva (19), a spojí se a slinuje s druhou keramickou fólií (B) tak, že vznikne naskládané uspořádáni odporu.
2 výkresy
-5CZ 279661 B6 'JP>R 1
-b —
CS923993A 1990-08-14 1991-07-25 Teplotní čidlo a způsob jeho výroby CZ279661B6 (cs)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4025715A DE4025715C1 (cs) 1990-08-14 1990-08-14
PCT/DE1991/000601 WO1992003711A1 (de) 1990-08-14 1991-07-25 Temperaturfühler und verfahren zur herstellung von temperaturfühlerelementen

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ399392A3 CZ399392A3 (en) 1993-07-14
CZ279661B6 true CZ279661B6 (cs) 1995-05-17

Family

ID=6412209

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS923993A CZ279661B6 (cs) 1990-08-14 1991-07-25 Teplotní čidlo a způsob jeho výroby

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5406246A (cs)
EP (1) EP0543828B1 (cs)
JP (1) JP3048635B2 (cs)
KR (1) KR0172133B1 (cs)
CZ (1) CZ279661B6 (cs)
DE (2) DE4025715C1 (cs)
ES (1) ES2100233T3 (cs)
SK (1) SK399392A3 (cs)
WO (1) WO1992003711A1 (cs)

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4025715C1 (cs) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De
JP3203803B2 (ja) * 1992-09-01 2001-08-27 株式会社デンソー サーミスタ式温度センサ
US5600296A (en) * 1993-10-14 1997-02-04 Nippondenso Co., Ltd. Thermistor having temperature detecting sections of substantially the same composition and dimensions for detecting subtantially identical temperature ranges
JPH07167714A (ja) * 1993-12-15 1995-07-04 Ngk Insulators Ltd 温度センサ及びその製造方法
JP3175890B2 (ja) * 1993-12-27 2001-06-11 日本碍子株式会社 温度センサ
US5990810A (en) * 1995-02-17 1999-11-23 Williams; Ross Neil Method for partitioning a block of data into subblocks and for storing and communcating such subblocks
JPH08292108A (ja) * 1995-02-23 1996-11-05 Nippondenso Co Ltd サーミスタ式温度センサ
DE19542162C2 (de) * 1995-11-11 2000-11-23 Abb Research Ltd Überstrombegrenzer
DE19621001A1 (de) * 1996-05-24 1997-11-27 Heraeus Sensor Nite Gmbh Sensoranordnung zur Temperaturmessung und Verfahren zur Herstellung der Anordnung
DE19633486C1 (de) * 1996-08-20 1998-01-15 Heraeus Sensor Nite Gmbh Verfahren zur Herstellung einer Leiterplatte mit dünnen Leiterbahnen und Anschluß-Kontaktierungsbereichen sowie deren Verwendung
DE19731900A1 (de) * 1997-07-24 1999-02-11 Heraeus Electro Nite Int Leitfähige Schicht mit veränderlichem elektrischen Widerstand, Verfahren zu ihrer Herstellung und Verwendung
DE19742236C2 (de) * 1997-09-25 2000-10-05 Heraeus Electro Nite Int Elektrischer Sensor, insbesondere Temperatur-Sensor, mit Leiterplatte
DE19823685C2 (de) * 1998-05-27 2000-12-07 Siemens Ag Elektronisches Steuergerät für ein Kraftfahrzeug
DE19900017C2 (de) * 1999-01-02 2003-10-30 Bosch Gmbh Robert Gassensor
DE19901184C1 (de) * 1999-01-14 2000-10-26 Sensotherm Temperatursensorik Platintemperatursensor und Verfahren zur Herstellung desselben
DE19901183C2 (de) * 1999-01-14 2001-01-25 Sensotherm Temperatursensorik Platintemperatursensor und Herstellungsverfahren für denselben
US6194990B1 (en) * 1999-03-16 2001-02-27 Motorola, Inc. Printed circuit board with a multilayer integral thin-film metal resistor and method therefor
DE19934110C2 (de) * 1999-07-21 2001-07-12 Bosch Gmbh Robert Temperaturfühler
DE19934109C1 (de) * 1999-07-21 2001-04-05 Bosch Gmbh Robert Temperaturfühler und Verfahren zu seiner Herstellung
JP2002048655A (ja) * 2000-05-24 2002-02-15 Ngk Spark Plug Co Ltd 温度センサ及びその製造管理方法
DE10045940B4 (de) * 2000-09-16 2017-08-03 Robert Bosch Gmbh Temperaturfühler
US6365880B1 (en) * 2000-12-19 2002-04-02 Delphi Technologies, Inc. Heater patterns for planar gas sensors
DE10225602A1 (de) 2002-06-07 2004-01-08 Heraeus Sensor-Nite Gmbh Halbleiterbauelement mit integrierter Schaltung, Kühlkörper und Temperatursensor
DE20211328U1 (de) * 2002-07-26 2002-10-17 Guenther Gmbh & Co Temperaturfühler und Heizvorrichtung für Heißkanalsysteme
DE102004047725A1 (de) * 2004-09-30 2006-04-06 Epcos Ag Sensorvorrichtung
US7119655B2 (en) * 2004-11-29 2006-10-10 Therm-O-Disc, Incorporated PTC circuit protector having parallel areas of effective resistance
DE102006033856B3 (de) * 2006-07-21 2008-02-21 Georg Bernitz Temperaturmesssensor und Verfahren zu dessen Herstellung
TW201347600A (zh) * 2012-01-26 2013-11-16 Vishay Dale Electronics Inc 發光二極體應用積體電路元件及電子電路
CN102879434B (zh) * 2012-09-04 2014-08-20 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种薄膜烧蚀传感器及其制备方法
DE102012110849A1 (de) * 2012-11-12 2014-05-15 Epcos Ag Temperaturfühler und Verfahren zur Herstellung eines Temperaturfühlers
JP6122147B2 (ja) * 2014-04-21 2017-04-26 京セラ株式会社 配線基板および測温体
JP6532259B2 (ja) * 2015-03-27 2019-06-19 東京コスモス電機株式会社 温度センサ
DE102016101246A1 (de) 2015-11-02 2017-05-04 Epcos Ag Sensoranordnung und Verfahren zur Herstellung einer Sensoranordnung
EP3460430B1 (en) * 2017-04-26 2020-08-12 Kyocera Corporation Temperature sensor and temperature measuring device
CN107084801B (zh) * 2017-06-27 2023-05-05 深圳刷新生物传感科技有限公司 可以迅速响应的高精度集成式热敏电路及其制造方法
US20210223114A1 (en) * 2018-08-10 2021-07-22 Semitec Corporation Temperature sensor and device equipped with temperature sensor
JP6668426B2 (ja) * 2018-08-27 2020-03-18 東京コスモス電機株式会社 温度センサ
DE202018004354U1 (de) * 2018-09-19 2018-10-15 Heraeus Sensor Technology Gmbh Widerstandsbauelement zur Oberflächenmontage auf einer Leiterplatte und Leiterplatte mit zumindest einem darauf angeordneten Widerstandsbauelement
US11114223B1 (en) 2020-07-27 2021-09-07 Tronics MEMS, Inc. Three-dimensional thermistor platform and a method for manufacturing the same
EP3961170A1 (de) * 2020-08-27 2022-03-02 Heraeus Nexensos GmbH Temperatursensor und verfahren zur herstellung eines derartigen temperatursensors
FR3116116B1 (fr) * 2020-11-12 2022-11-18 Commissariat Energie Atomique Système amélioré de détermination de coefficient d'échange thermique

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE250576C (cs) *
DE2919433A1 (de) * 1979-05-15 1980-12-04 Bosch Gmbh Robert Messonde zur messung der masse und/oder temperatur eines stroemenden mediums und verfahren zu ihrer herstellung
DE7931134U1 (de) * 1979-11-03 1980-02-28 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Schneller temperatursensor fuer eine brennkraftmaschine
DE3017947A1 (de) * 1980-05-10 1981-11-12 Bosch Gmbh Robert Elektrochemischer messfuehler fuer die bestimmung des sauerstoffgehaltes in gasen und verfahren zum herstellen von sensorelementen fuer derartige messfuehler
DE3029446A1 (de) * 1980-08-02 1982-03-11 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Duennschichtanordnung
DE3111948A1 (de) * 1981-03-26 1982-10-07 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Schneller temperatursensor fuer eine brennkraftmaschine
DE3206903A1 (de) * 1982-02-26 1983-09-15 Bosch Gmbh Robert Gassensor, insbesondere fuer abgase von brennkraftmaschinen
JPS59995A (ja) * 1982-06-16 1984-01-06 富士通株式会社 銅導体多層構造体の製造方法
DD250576A1 (de) * 1983-11-03 1987-10-14 Hermsdorf Keramik Veb Temperaturempfindliches element und verfahren zu seiner herstellung
US4579643A (en) * 1983-11-18 1986-04-01 Ngk Insulators, Ltd. Electrochemical device
DD221297A1 (de) * 1983-12-14 1985-04-17 Adw Ddr Verfahren zur herstellung von duennschichtwiderstaenden hoher praezision
US4645552A (en) * 1984-11-19 1987-02-24 Hughes Aircraft Company Process for fabricating dimensionally stable interconnect boards
JPS61138156A (ja) * 1984-12-11 1986-06-25 Ngk Spark Plug Co Ltd 空燃比検出装置
JPS61147155A (ja) * 1984-12-20 1986-07-04 Ngk Insulators Ltd 電気化学的装置
WO1988000527A1 (en) * 1986-07-24 1988-01-28 Clark-Schwebel, Fiberglass Corporation A method of treating glass surfaces with coupling agents and resins to provide an improved surface for bonding a final resin
DE3733192C1 (de) * 1987-10-01 1988-10-06 Bosch Gmbh Robert PTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von PTC-Temperaturfuehlerelementen fuer den PTC-Temperaturfuehler
JP2564845B2 (ja) * 1987-09-04 1996-12-18 株式会社村田製作所 白金温度センサ
DE3733193C1 (de) * 1987-10-01 1988-11-24 Bosch Gmbh Robert NTC-Temperaturfuehler sowie Verfahren zur Herstellung von NTC-Temperaturfuehlerelementen
DE3806308A1 (de) * 1988-02-27 1989-09-07 Bosch Gmbh Robert Temperaturfuehler
DE4025715C1 (cs) * 1990-08-14 1992-04-02 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart, De

Also Published As

Publication number Publication date
EP0543828B1 (de) 1997-04-16
DE59108665D1 (de) 1997-05-22
JPH06500628A (ja) 1994-01-20
KR0172133B1 (ko) 1999-05-01
WO1992003711A1 (de) 1992-03-05
SK399392A3 (en) 1993-09-09
DE4025715C1 (cs) 1992-04-02
EP0543828A1 (de) 1993-06-02
US5406246A (en) 1995-04-11
KR930701731A (ko) 1993-06-12
JP3048635B2 (ja) 2000-06-05
ES2100233T3 (es) 1997-06-16
CZ399392A3 (en) 1993-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CZ279661B6 (cs) Teplotní čidlo a způsob jeho výroby
KR970003282B1 (ko) Ptc 온도 감지기 및 그에 대한 ptc 온도 감지 소자 제조 공정
US4307373A (en) Solid state sensor element
KR960011154B1 (ko) SiC 박막더어미스터 및 그 제조방법
JPH07190863A (ja) 温度センサ
JPH0221545B2 (cs)
JPS61109289A (ja) セラミツクヒ−タおよびその製造方法
JPS6066145A (ja) 外部雰囲気検知装置
US4450428A (en) Gas detecting sensor
JP4693304B2 (ja) 酸素センサ
JP3860768B2 (ja) 酸素センサ素子
JP2002156355A (ja) ガスセンサ素子及びこれを備えるガス濃度測定装置
JP3874691B2 (ja) ガスセンサ素子及びガスセンサ
JP3793563B2 (ja) 酸素センサの製造方法
JPS61167857A (ja) 酸素ガスセンサ−
JPH03103760A (ja) ガス検知器
JP4540222B2 (ja) 酸素センサおよびその製法
JPH10199661A (ja) ヒーター装置及びその製造方法
JP4565739B2 (ja) 空燃比センサ素子
JPS5842965A (ja) 酸素センサ素子
JPH0522178B2 (cs)
JPS6034064B2 (ja) 積層型膜構造酸素センサ
JP2984095B2 (ja) ガスセンサの製造方法
JPH04160790A (ja) ヒータ基板
JP2002202280A (ja) ガスセンサ素子及びこれを備えるガスセンサ

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20000725