CZ206592A3 - Glass for bases of electronic devices and resulting articles - Google Patents

Glass for bases of electronic devices and resulting articles Download PDF

Info

Publication number
CZ206592A3
CZ206592A3 CS922065A CS206592A CZ206592A3 CZ 206592 A3 CZ206592 A3 CZ 206592A3 CS 922065 A CS922065 A CS 922065A CS 206592 A CS206592 A CS 206592A CZ 206592 A3 CZ206592 A3 CZ 206592A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
glass
cao
oxide
glasses
mgo
Prior art date
Application number
CS922065A
Other languages
English (en)
Inventor
Christine Ing Ponthieu
Denis Ing Petitmaire
Didier Ing Jousse
Pascal Fournier
Original Assignee
Saint Gobain Vitrage
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Saint Gobain Vitrage filed Critical Saint Gobain Vitrage
Publication of CZ206592A3 publication Critical patent/CZ206592A3/cs
Publication of CZ285653B6 publication Critical patent/CZ285653B6/cs

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
    • C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
    • C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
    • C03C3/00—Glass compositions
    • C03C3/04—Glass compositions containing silica
    • C03C3/062—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight
    • C03C3/064—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing boron
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Glass Compositions (AREA)

Description

Oblast techniky — —- ^.. ___
Vynález se týká skel, ze kterých je nožno vyrobit tabule, které rozřezány na žádanou velikost mohou být použity jako podklady, na kterých se formují v tenkých filmech tranzistory, nebo které mohou být použity pro výrobu displejů, jako jsou displeje z tekutých krystalů*
Dosavadní stav techniky
Skla známá v této oblasti použití jsou četná a ponejvíce náleží do rozsáhlé skupiny hlinitoborokřemičitých skel, kterážto skupina zahrnuje skla z oxidů alkalických zemin.
Tato skla se vybírají podle fyzikálně chemických vlastností, v
které má mít podklad. Má-li podklad na svém povrchu sít tenkého filmu tranzistorů, je tento film vytvořen po radě operací, během kterých je sklo vystaveno poměrně vysokým teplotám. Sklo se během těchto operací nesmí deformovat a mělo by tedy mít co nejvyšší bod napětí. Dále musí být součinitel tepelné roztažnosti skla tvořícího podklad srovnatelný se součinitelem tepelné roztažnosti filmů, které jsou uloženy na jeho povrchu. Konečně sklo nesmí obsahovat žádné prvky, které jsou náchylné k migraci do vytvářených filmů a které by rozrušily vlastnosti sítě tranzistorů. To je zejména případ alkalických sloučenin.
Tato skla by také měla mít viskozitu a vlastnosti odskelnění přizpůsobené ke způsobu zvolenému pro výrobu tabule skla, jejíž tlouštka a povrch by měly být co možno nejvíce rovnoměrné..
Tato skla umísí také mít dobrou chemickou odolnost proti kyselým prostředím, zejména proti roztokům na bázi kyseliny fluorovodíkové.
Jeden ze způsobů, který může být použit, spočívá v tom, že se sklovina zavede do přístroje, u kterého horní části bočních stěn se směrem dolů sbíhají a působí jako přepad. Sklovina teče podél bočních stěn, takže vytváří dva proudy, které se spojí u vrcholu přístroje před tím, než jsou vytaženy směrem dolů jako rovinná tabule. Takový způsob vyžaduje, aby sklovina měla při teplotě liquidus viskozitu alespoň mezi 2x10^ a 3x10^ poise. Takováto skla jsou například popsána v patentovém spisu Spojených států amerických číslo US-A-4 824 808.
Jiný způsob spočívá v rozlévání skloviny na lázeň roztaveného
-2cínu podle známého způsobu výroby skla plavením* Složení skel, která jsou uzpůsobena ke plavení a jsou vhodná pro použití jako podklady pro ploché displeje jsou zejména popsána v přihlášce vynálezu číslo WO 89/02877.
Tato skla náleží do skupiny hlinitoborokremičitých skel majících vysoký obsah oxidů alkalických zemin. Ačkoliv tato skla mají dobré fyzikálně chemické vlastnostis ohledem na daný způsob použití, jejich složení obsahuje vysoký podíl nákladných oxidů, jako je oxid boritý, oxid strontnatý a oxid barnatý. Tato skla jsou dosti viskozní pro výrobu plavením, posuzováno z příkladů vysvětlujících tento vynález. Ve skutečnosti teplota odpovídající log1|=4 je rovna nebo vyšší než 1150 °C, i vyšší než 1200 °C. Budiž uvedeno, že teplota odpovídající stejné viskozitě obyčejného plaveného skla kremíkosodnovápenatého je mezi 1000 °C a 1050 °C.
Úkolem vynálezu je vytvořit sklo vhodné pro výrobu plavením a mající fyzikálně chemické vlastnosti požadované pro podklady aktivních maticových displejů a které by bylo zajímavé z ekonomického hlediska. Toto sklo vytvořené podle vynálezu by také mělo obsahovat omezené množství drahých složek.
Podstata vynálezu
Vynález řeší úkol tím, že vytváří sklo, které neobsahuje oxid zinečnatý a které má v procentních podílech kationtů tote složení:
SiO2 ♦ 0,0, 57 až 67 %
3 B2°3 a12O3 5 až 20 %
14 až 18 %
+ MgO + BaO + SrO) 18 až 28 %
kde CaO/RO * 0,7 a CaO * 18 %
F2 0 až 3 %
Na20 + 1^0 0 až o, 5 %
Ti02 0 až 2, 5 %
Fe2°3 o, 5 %
přičemž «3e uvažován jako kation.
Skla o složení podle předloženého vynálezu neobsahují oxid zinečnatý, protože ve sklech, která jej obsahují, je tento oxid částečně redukován ve styku s lázní roztaveného cínu a s redukční atmosférou, která je nad touto lázní* Složení povrchu pásu skla je potom značně odlišné od spodních vrstev, což vede na chyby v rovinnosti pásu.
-3Oxid křemičitý a oxid boritý jsou dva základní oxidy, která tvoří skleněnou sít skel podle předloženého vynálezu a která jsou podstatné pro jejich stabilitu.
Je-li součet podílů těchto dvou oxidů menší než 57%, je zjištěn pokles chemické odolnosti skla a také zhoršení jevu odskelnění spojeného s přítomností příliš vysokého podílu jiných složek složení skla podle předloženého vynálezu.
Když součet podílů těchto dvou oxidů je vyšší než 67% a podíl oxidu boritého je nízký, tavení skla se stane obtížným, jeho viskožita značně stoupne a odskelnění ve formě krystalických typů na bázi oxidu křemičitého se zvýší.
V této souvislosti podíl oxidu boritého nemá být nižší než 5% pro udržení odskelnění v přijatelných mezích. Dále je tento oxid nutný pro zlepšení chemické odolnosti skla, zejména s ohledem na kyselinu fluorovodíkovou, pro usnadnění jeho tavení a pro snížení jeho viskozity a také jeho součinitele roztažnosti. Při podílu nad 20% již oxid boritý dále nepřispívá ke zvýšení chemická odolnosti skel podle předloženého vynálezu a snižuje bod napětí. Kromě toho vyšší podíl tohoto oxidu zvyšuje cenu směsi pro výrobu skla a zvýrazňuje problémy vypařování materiálu během tavení, což nepříznivě ovlivňuje homogenitu skla.
Přesněji řečeno, složení skel podle předloženého vynálezu obsahuje přednostně od 42 do 53% oxidu křemičitého.
Oxid hlinitý^xaké splňuje stabilizační úlohu ve složeních skel podle předloženého vynálezu. Zvyšuje bod napětí a v určité míře zvětšuje chemickou odolnost skel. Podíl oxidu hlinitého menší než asi 14% a větší než asi 18% způsobuje zvýšení odskelnění.
Oxidy alkalických zemin taká splňují velmi důležitou úlohu ve sklech podle předloženého vynálezu; podporují tavení skel a snižují jejich viskozitu.
Mezi těmito oxidy splňuje zvláštní úlohu oxid vápenatý. Umožňuje snažší tavení skla a současně snižuje jeho viskozitu i teplotu liquidus. Tento oxid také umožňuje zvýšení bodu napětí bez nadměrného zvýšení součinitele roztažnosti.
K získání těchto účinků ve sklech podle předloženého vynálezu má být procentní podíl kationtu oxidu vápenatého alespoň 18%« Kromě toho procentní podíl kationtu oxidu vápenatého představuje alespoň 70% součtu procentního podílu katioatů všech oxidů alkalických zemin obsažených ve sklu, který je 18 až 25%.
Je-li tento součet menší než 18%, snížení viskozity skla
-4při vysokých teplotách je nedostatečné. Když je tento součet větší než 25%, vzroste značnou měrou sklon k odskelnění, také se zvětší součinitel tepelné roztažnosti a to vše probíhá mnohem rychleji než zvětšování podílu oxidu barnatého a oxidu strontnatého.
Přesněji řečeno, složení skel podle předloženého vynález» obsahují od 0 do 5% oxidu hořečnatého, od 0 do 4% oxidu barnatého a od 0 do 4% oxidu strontnatého,»
Zavedení oxidu hořečnatého umožňuje snížení viskozity a součinitele roztažnosti a zvýšeni chemické odolnosti. Je-li podíl oxidu hořečnatého větší než 5%, odskelnění skla se urychluje a vzniká při velmi vysokých teplotách.
Zavedení oxidu barnatého a/nebo oxidu strontnatého podporuje snížení viskozity skla při vysokých teplotách. Tyto oxidy také umožňují snížení nebezpečí odskelnění. Když jsou tyto oxidy zavedeny do skel podle vynálezu ve značně velkém podílu, zvětšuje se součinitel tepelné roztažnosti skel.
Pro zamezení jevu emigrace prvků do filmu, který pokrývá povrch podkladu, skla podle předloženého vynálezu obsahují velmi malé množství, spíše žádné oxidy alkalických kovů. Maximální podíl těchto oxidů je asi 0,5%, vyjádřeno v procentním podílu kationtů.
Skla podle předloženého vynálezu mohou také obsahovat jiné složky, například oxid titaničitý, který zlepšuje chemickou odolnost skla, fluor, který usnadňuje tavení skla, snižuje jeho viskozitu a zvyšuje jeho chemickou odolnost když je zaveden místo vápna' a také oxidu železitého. Celkový podíl Železa, vyjádřený ve formě oxidu železitého, je menší než 0,5%, vyjádřeno jako procentní podíl kationtů.
Přednostní složení skel podle vynálezu v procentních podílech kationtů jsou tato:
S102 42 až 53 %
B2°3 5 až 20 %
Α1Λ 14 až 18 %
CaO 18 až 22 %
MgO 0 až 5 %
BaO 0 až 4 %
SrO 0 až 4 %
Na20 + K^O 0 až 0»5 %
tío2 0 až 2,5 %
Fe2°3 k 0,5 %
F2 0 a£ 3 %
-5přičemž součet podílů oxidu křemičitého a oxidu boritého je vždy mezi 57 a 67%, a součet podílů oxidů alkalických zemin (R.0) je (ú vždy mezi 18 a 25% při CaO/RO = 0,7.
Za účelem dosažení minimálních nákladů na směsi pro skla podle předloženého vynálezu bez nepříznivého ovlivnění fyzikálně chemických vlastností, které musí skla mít pro zamýšlené použití je součet procentních podílů oxidu barnatého a oxidu strontnatého přednostně nejvýše rovný 6%.Za účelem-zamezení jakékoli migrace prvků do filmů uložených na povrchu podkladu vytvořeného ze skleněné tabule mající výše definované složení mají skla podle předloženého vynálezu procentní podíl oxidu sodného nejvýše rovný 0,2%.
Příklady provedeni vynálezu
Výhody, které poskytují skla podle předloženého vynálezu, budou lépe patrny z příkladů, které jsou uvedeny ve připojené tabulce. - Tepelné charakteristiky, odskelnění a viskozita skel znázorV nujících vynález byly měřeny metodou, která je v oboru dobře známá. Chemická odolnost skel byla zjišťována měřením ztráty hmotnosti destiček o rozměrech 15x30x6 mm na obou stranách vyleštěných, po ponoření do kyselého roztoku. Tato ztráta je vyjádřena v mg.cm . Odolnost proti kyselině fluorovodíkové (Hgp) se měří po- ponoření po dobu 7 hodin při teplotě místnosti do vodného roztoku kyseliny fluorovodíkové a fluoridu amonného. Tento leptací roztok je vyroben- z 50%-ního roztoku kyseliny fluorovodíkové a ze 40%-ního roztoku fluoridu amonného, které se smíchají ve hmotnostním poměru 1: 7o
Skla podle předloženého vynálezu se vyrábě jí ze. zeskelnitelných surovin, z nichž některé jsou přírodní látky a které mají mít co nejnižší obsah nečistot.
Zeskelnitelná směs .použitá pro výrobu 100 g skla odpovídajícího příkladu 1 má toto složení:
Písek Roncevaux 55,327 g
Hydrátovaný oxid hlinitý (Prolabo) 21,760 g
Vápenec Saint-Germain 37,712 g
Uhličitan hořečnatý 0,762 g
Kyselina boritá 15,793 g
Sádra 0,295 g
V tomto příkladu byl použit síran vápenatý jako rafinační
-6činidlo. Fro tuto funkci nohou být při výrobě skel podle vynalezu použity i jiné materiály, například chlorid vápenatý a chlorid barnatý, síran amonný nebo anhydrid arseničitý.
Skla podle předloženého vynálezu mají obecně bod napětí vyšší než 630 °C, součinitel tepelné roztažnosti nižší než asi 55xlO“7/°c a dobrou odolnost proti kyselině fluorovodíkové.
Dále se skla podle předloženého vynálezu vyznačují význačným snížením viskozity při vysokých teplotách. Vskutku, teplota při log/^=3,5 je obecně nižší než 1180 °C a teplota pro log/^=4 u těchto skel je obecně nižší než 1120 °C. Tyto rozličné vlastnosti umožňují, že skla podle předloženého vynálezu mohou být snadno rozlévána po povrchu lázně roztaveného cínu, čímž se technikou výroby plaveného skla získá pás skla, jehož tlouštka je velmi přesně řízena. Z· takového pásu se vyřezávají skleněné desky, které mohou být použity jako podklady.
- Skla podle předloženého vynálezu se také vyznačují velmi nízkou maximální- rychlostí odskelnění. Tato vlastnost způsobuje, že nebezpečí odskelnění skla během jeho tvarování nemusí být uvažováno s ohledem na teplotu liquidus, která může dosáhnout až 1230 °C.
Skla podle předloženého vynálezu mohou být použita jako podklady, na kterých se ukládají rozličné základní filmy nebo povlaky, zejména z křemíku, oxidu křemičitého, india, oxidů cínu (ITO) nebo hliníku, pro účely výroby tranzistorových sítí na jemném filmu (TFT).
Sklo podle předloženého vynálezu může být také použito pro konstrukci barevných filtrů. Sklo se pokryje například filmem z chrómu nebo NiCr, který se potom vyhloubí metodou fotolitografie. Uložení barev červené, zelené, modré se potom vytvoří nanesením barev a fotolitografií. Celé seskupení se potom pokryje filmem z polyimidu a potom ITO.
-ΊTabulka
Př.l ; Př.2 Př.3 ; Př.4
SiO2 I 50.82 50.55 46.63 50.38
Α12θ3 14.61 14.14 14.30 14.37
i CaO j 20.22 19.16 20.02 19.89
MgO 0.47 0.47 0.46 0.47
B2°3 13.75 15.59 18.50 13.67
Fe2°3 0.02 0.02 0.02 0.02
TiO2 1 0.01 0.01 0.01 0. 16
Na2O 0.07 0.03 í 0.03 -
K2° - - - -
SO3 0.03 : 0.02 0.02 0.03
Bod napětí (°c) 659 Š 652 t 647 661
Součinitel roztažnosti (10“7/°C) 50.5 53 47.6 50.5
Liquidus (°C) 1190 ί 1200 1200 1200
i jTepl. cax. rych..odsk. (°c) 1075 ! 1050 1075 1075
♦· ičax. rych. odsk. 0.17 i I 0.25 t 0.17 0.25
Tepl. log η = 3.5 (°c) 1148 1 J 1149 1125 1144
Teplo, log η = 4 (°c) 1095 1092 1068 1088
Rgp (mg/cm ) 9.35 8.87 9.84
Pokračování tabulky
Přo5 ] Pr.6*' J ' Př.7* 1 Př.8 j
SiO2 í 53.07 j 51.00 51.00 52.22 j
A12°3 14.52 I 15.20 15.20 14.41 f
CaO 18.96 18.30 18.30 18.35
• MgO i 2.98 i 3.00 3.00 4.74
SrO ř i 2.00
BaO | 2.00
B O„ í 2 3 1 10.40 i 10.50 10.50 10.20
Fe2°3 i • 1
tío2 i }
Na2O 0.05 i 0.C4
K2° ! í i' i i i l
; i i í !
r ' ' ------------------- S°3 0.02 ; 0.02 i) ;i
Bod napětí (°C) 653 655 1 655 ! Ί
Součinitel roztažnosti (10-7/°C) 53.7 j 53.6 55.2 53.2 :
Liquidus (°C) 1200 i 1180 1170 1230 í'
Tepl. jsax. rych, odsk. (°C) 106C j !· 1140 i í
i Ksx. rych. odsk. (/UE.min ) 0,22 j | 0,51 ί
Τθρ1<> iog q = 3.5 (°C) 1152 1163 1158 i1 1164 I
Tepl. iOg = 4 (°c) 1099 1107 1102 1108 !
(mg/cm ) 10.84 12.13 12.36 10.76
/»/ - Teoretické složení
-9Fokračování tabulky
á Pr.9 . ' Pr.lQ*j Pr.ll· j
SiO_ 51.03 51.00 < i 52.67
A12°3 14.65 ; 15.20 14.20
i | i CaO 19.44 19.30 18.55
1 ] MgO 3.02 3.00 2.76
i | SrO
! BaO
! B2°3 9.78 10.50 9.55
i i Fe„O, !
! 2 3
Ti°2 1.97 i
1 | Na2O 0.06 ; 0.10
i K„O
; 2
F2 1.00 2.13
S°3 0.03 0.03
Bod napětí (°c) 656 646 634 |
Součinitel roztažnosti i i
(10'7/°C) 53.5 53.4 51.70
i S Liquidus (°C) 1210 1200 1210
i Tepl. max. rych. očsk. (°C) 1120 \ i
Max. rych. adsk. (/Um.min“1 0,41 | |
. Teplo iOg R = 3.5 (-c) ! 1160 1164 1176
Tepl. log t = 4 (eC) t 1103 1106 1115
RnF (mg/cm ) 9.67 13.82 9.98
/»/ - Teoretické složení

Claims (8)

1. Skic pře podklady elektronických zářízení,/vyznačující sejtím, ' že obsahuje tyto složky vyjádřené jako procentní podíly žsTTontůr %
% %
%
Si02 + ^2θ3 s B203
R0 (CaO + MgO + BaO + SrO)
57 až 67 5 až 20
14 až 1S
15 až 25
kde CaO/RO ž 0,7 a CaO 18 % Na^O + XLO 0 až 0,5 Ti02 0 až 2,5 Fe2°3 z 0,5 F2 0 až 3
% kde uvazován jako kation.
2« Sklo podle bodu 1, vyznačující se tím, že má podíl oxidu křemičitého vyjádřený jako procentní podíl kationtů rovný 42 až 53#·
3. Sklo podle bodu 1, vyznačující se tím, že obsahuje tyto podíly oxidů alkalických zemin jiných než oxid vápenatý vyjádřené jako procentní podíly kationtů:
MgO
BaO
SrO
4· Sklo podle bodu 1, vyznačující
0 až 5#
0 až 4#
0 až 4# se tím, že obsahuje tyto složky:
Si02 42 až 53 % B2°3 5 až 20 % ai2o3 14 až 18 % CaO 18 až 22 % MgO 0 až 5 # BaO 0 až 4 % SrO 0 až 4 % Na20 + K20 0 až 0,5 % Ti02 0 až 2,5 % Fe2°3 £. 0,5 % F2 0 až 3 %
5. Sklo podle bodu 4, vyznačující se tím, že součet podílů oxidu barnatého a oxidu strontnatého je nejvýše 6%o
6. Sklo podle kteréhokoli z bodů 4 a 5, vyznačující se tím, že podíl oxidu sodného je nižší než 0,2%.
T. Tabule skla vyrobená řezáním pásu skla vytvořeného litím skloviny na povrch lázně roztaveného cínu, vyznačující se tímt
-líže sklo má složení definované v kterémkoli z bodů 1 až 6.
8. Podklad ze skla, na kterém je vytvořena sít tranzistorů z tenkého filmu, vyznačující se tím, že je vyroben z tabule skla definované v bodě 7.
9. Podklad ze skla, na kterém jsou uloženy rozličné filmy pro výrobu barevných filtrů, vyznačující se tím, že je vyroben z tabule skla definované v bodě 7»
CS922065A 1991-07-02 1992-07-01 Sklo pro podklady elektronických zařízení a výsledné výrobky CZ285653B6 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR9108201A FR2678604B1 (fr) 1991-07-02 1991-07-02 Composition de verre trouvant application dans le domaine de l'electronique.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CZ206592A3 true CZ206592A3 (en) 1993-01-13
CZ285653B6 CZ285653B6 (cs) 1999-10-13

Family

ID=9414567

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CS922065A CZ285653B6 (cs) 1991-07-02 1992-07-01 Sklo pro podklady elektronických zařízení a výsledné výrobky

Country Status (12)

Country Link
US (1) US5387560A (cs)
EP (1) EP0526272B1 (cs)
JP (1) JP3179577B2 (cs)
KR (1) KR100229054B1 (cs)
CA (1) CA2072826C (cs)
CZ (1) CZ285653B6 (cs)
DE (1) DE69223874T2 (cs)
ES (1) ES2113417T3 (cs)
FI (1) FI103405B (cs)
FR (1) FR2678604B1 (cs)
PL (1) PL168761B1 (cs)
TW (1) TW203035B (cs)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2692883B1 (fr) * 1992-06-25 1994-12-02 Saint Gobain Vitrage Int Verres thermiquement stables et chimiquement résistants.
US5508237A (en) * 1994-03-14 1996-04-16 Corning Incorporated Flat panel display
EP0714862B1 (en) 1994-11-30 1999-03-31 Asahi Glass Company Ltd. Alkali-free glass and flat panel display
US6236391B1 (en) * 1995-01-24 2001-05-22 Elo Touchsystems, Inc. Acoustic touch position sensor using a low acoustic loss transparent substrate
US5885914A (en) * 1995-07-28 1999-03-23 Asahi Glass Company Ltd. Alkali-free glass and display substrate
FR2747119B1 (fr) * 1996-04-05 1998-05-07 Saint Gobain Vitrage Procede de fabrication de verre en feuille par flottage
FR2774085B3 (fr) 1998-01-26 2000-02-25 Saint Gobain Vitrage Procede de fusion et d'affinage de matieres vitrifiables
AU2761001A (en) 2000-01-05 2001-07-16 Schott Glass Technologies, Inc. Alkaline-earth-free boroalkali silicate glass
DE10133963B4 (de) * 2001-07-17 2006-12-28 Schott Ag Boroalkalisilicatglas und seine Verwendungen
JP4715258B2 (ja) * 2005-03-22 2011-07-06 旭硝子株式会社 ガラスおよびガラス製造方法
FR2886288B1 (fr) * 2005-05-27 2007-07-06 Saint Gobain Substrats de verre pour ecrans plats
CN104250066A (zh) * 2005-08-15 2014-12-31 安瀚视特股份有限公司 玻璃组合物以及玻璃组合物的制造方法
JP5483821B2 (ja) * 2007-02-27 2014-05-07 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 表示装置用ガラス基板および表示装置
CN109896740B (zh) * 2019-04-24 2022-04-22 成都光明光电股份有限公司 光学玻璃及光学元件

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4166747A (en) * 1977-10-13 1979-09-04 Ppg Industries, Inc. Glass fiber composition
JPS60122748A (ja) * 1983-12-06 1985-07-01 Nippon Sheet Glass Co Ltd アルミノシリケ−トガラス
JPS61106437A (ja) * 1984-10-26 1986-05-24 Asahi Glass Co Ltd 多孔質ガラス用組成物及び多孔質ガラスの製造法
JPS62113758A (ja) * 1985-10-25 1987-05-25 株式会社住友金属セラミックス 低温焼成セラミツクス
DE3882039T2 (de) * 1987-10-01 1994-02-03 Asahi Glass Co Ltd Alkalifreies glas.
US4824808A (en) * 1987-11-09 1989-04-25 Corning Glass Works Substrate glass for liquid crystal displays

Also Published As

Publication number Publication date
EP0526272B1 (fr) 1998-01-07
JP3179577B2 (ja) 2001-06-25
CA2072826C (fr) 2002-11-19
FI103405B1 (fi) 1999-06-30
US5387560A (en) 1995-02-07
CA2072826A1 (fr) 1993-01-03
ES2113417T3 (es) 1998-05-01
KR930002259A (ko) 1993-02-22
DE69223874D1 (de) 1998-02-12
FI923051A0 (fi) 1992-07-01
EP0526272A1 (fr) 1993-02-03
PL295071A1 (en) 1993-05-17
FI103405B (fi) 1999-06-30
FI923051A (fi) 1993-01-03
FR2678604B1 (fr) 1993-11-12
TW203035B (cs) 1993-04-01
DE69223874T2 (de) 1998-08-13
KR100229054B1 (ko) 1999-11-01
PL168761B1 (pl) 1996-04-30
JPH05201744A (ja) 1993-08-10
CZ285653B6 (cs) 1999-10-13
FR2678604A1 (fr) 1993-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CA2314295C (en) Alkali-free aluminoborosilicate glass, its use and process for its preparation
US4994415A (en) SiO2 -Al2 O3 -BaO glass substrates with improved chemical resistance for use in display panels and others having thin films
JP2686788B2 (ja) 液晶表示装置の基体用ガラス
KR102341851B1 (ko) 하이브리드 소다-라임 실리케이트 및 알루미노실리케이트 유리 제품
DE69205523T2 (de) Flache Anzeigevorrichtung mit einem Erdalkalialuminoborosilikat-Glassubstrat.
DE69205370T2 (de) Flache Anzeigevorrichtung mit einem Erdalkalialuminoborosilikat-Glassubstrat.
CZ206592A3 (en) Glass for bases of electronic devices and resulting articles
JP3400018B2 (ja) 熱安定性の耐薬品性ガラス組成物
KR960000032B1 (ko) 무알칼리 유리
JPH04325434A (ja) 無アルカリガラス
JP2003335546A (ja) ガラス組成物
KR20080102183A (ko) 평판 디스플레이용 유리 기판
WO2016068631A1 (ko) 폐유리를 원료로한 소다석회 붕규산염계 흡음단열재 유리 뱃지조성물
JP4977474B2 (ja) アルミニウムケイリン酸塩ガラス
KR20060006958A (ko) 기판의 생산을 위한 실리코-소도-칼식 유리 조성물
JPH09110460A (ja) 無アルカリガラス
JPH03146435A (ja) 基板用ガラス
JPH01201041A (ja) ディスプレイ基板用無アルカリガラス
EP3562791A1 (en) Solarization resistant rare earth doped glasses
JPS624335B2 (cs)
JPH04936B2 (cs)
JPH03193639A (ja) 高強度赤色用フリット釉
JPH03174336A (ja) 無アルカリガラス

Legal Events

Date Code Title Description
IF00 In force as of 2000-06-30 in czech republic
MM4A Patent lapsed due to non-payment of fee

Effective date: 20090701