JPH09110460A - 無アルカリガラス - Google Patents
無アルカリガラスInfo
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- JPH09110460A JPH09110460A JP26960295A JP26960295A JPH09110460A JP H09110460 A JPH09110460 A JP H09110460A JP 26960295 A JP26960295 A JP 26960295A JP 26960295 A JP26960295 A JP 26960295A JP H09110460 A JPH09110460 A JP H09110460A
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
- C03C3/093—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium containing zinc or zirconium
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来技術におけるTFT 用基板としての不都合
点を解消し、歪点が 660℃以上、熱膨張率が36〜39 (×
10-7／℃) 、作業温度 (粘度104 ポイズを示す温度) が
1290℃以下、かつ失透温度が1290℃未満のフロート法成
形に適した無アルカリガラスを提供する。 【解決手段】 重量％表示で、SiO2 60.5 〜62、Al2O3
13.5〜16.5、B2O3 6.5〜8.5 、ZrO2 0.3〜2 、MgO 0.5
〜2 、CaO 5 〜7 、SrO 5 〜7 、およびBaO 1 〜4 の範
囲で含有し、かつ実質的にアルカリ金属酸化物並びにPb
O 、ZnO 、As2O3、およびSb2O3 を含有しない無アルカ
リガラスであって、該無アルカリガラス 100重量％に対
し、調製時にフッ化物を F換算で 0.5重量％以下の範囲
で外挿添加した無アルカリガラス。
点を解消し、歪点が 660℃以上、熱膨張率が36〜39 (×
10-7／℃) 、作業温度 (粘度104 ポイズを示す温度) が
1290℃以下、かつ失透温度が1290℃未満のフロート法成
形に適した無アルカリガラスを提供する。 【解決手段】 重量％表示で、SiO2 60.5 〜62、Al2O3
13.5〜16.5、B2O3 6.5〜8.5 、ZrO2 0.3〜2 、MgO 0.5
〜2 、CaO 5 〜7 、SrO 5 〜7 、およびBaO 1 〜4 の範
囲で含有し、かつ実質的にアルカリ金属酸化物並びにPb
O 、ZnO 、As2O3、およびSb2O3 を含有しない無アルカ
リガラスであって、該無アルカリガラス 100重量％に対
し、調製時にフッ化物を F換算で 0.5重量％以下の範囲
で外挿添加した無アルカリガラス。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、耐熱性、耐薬品
性、光学的均質性に優れ、電子工業分野における電子部
品素材として多用され、特に薄膜半導体 (TFT)形のアク
ティブマトリックス液晶ディスプレイ用基板として有用
で、かつフロート法による成形 (製板) が容易な無アル
カリガラスに関する。
性、光学的均質性に優れ、電子工業分野における電子部
品素材として多用され、特に薄膜半導体 (TFT)形のアク
ティブマトリックス液晶ディスプレイ用基板として有用
で、かつフロート法による成形 (製板) が容易な無アル
カリガラスに関する。
【０００２】
【従来技術】近年、ディスプレイ等の基板として、ガラ
スの表面に金属や金属酸化物等の薄膜を形成した無アル
カリガラス基板が多く使用されている。これらの無アル
カリガラス基板は、電子部品素材、殊に TFT用基板とし
て採用するうえで、また製造上各種の特性が必要とされ
る。
スの表面に金属や金属酸化物等の薄膜を形成した無アル
カリガラス基板が多く使用されている。これらの無アル
カリガラス基板は、電子部品素材、殊に TFT用基板とし
て採用するうえで、また製造上各種の特性が必要とされ
る。
【０００３】すなわちガラス基板上への成膜工程におい
て高温での熱処理が施されるが、それに耐え得る高耐熱
性が必要であり、歪点において約 650℃以上であること
が、また、基板上に形成される薄膜、特にSi系薄膜は、
熱膨張率が約36〜39×10-7／℃であり、膜を歪や亀裂等
が生ずることなく密着させるためにはそれに近似した熱
膨張率が、また薄膜のパターニング工程において酸やア
ルカリ等の薬液によってエッチングされるが、基板ガラ
ス自体が浸食されないだけの耐薬品性が、さらにガラス
中に気泡、分相、脈理が存在すると、ディスプレイ等の
光学的欠陥となるため光学的均質性等が要求される。
て高温での熱処理が施されるが、それに耐え得る高耐熱
性が必要であり、歪点において約 650℃以上であること
が、また、基板上に形成される薄膜、特にSi系薄膜は、
熱膨張率が約36〜39×10-7／℃であり、膜を歪や亀裂等
が生ずることなく密着させるためにはそれに近似した熱
膨張率が、また薄膜のパターニング工程において酸やア
ルカリ等の薬液によってエッチングされるが、基板ガラ
ス自体が浸食されないだけの耐薬品性が、さらにガラス
中に気泡、分相、脈理が存在すると、ディスプレイ等の
光学的欠陥となるため光学的均質性等が要求される。
【０００４】加えて工業的に生産するうえで、溶融が容
易であり、成形し易いものでなければならず、特に雰囲
気、炉材等による汚染が少なく連続溶融可能な直接通電
法による電気溶融、表面平滑性に優れ連続成形に適した
フロート法成形が適用できるガラス組成物であることが
望まれる。
易であり、成形し易いものでなければならず、特に雰囲
気、炉材等による汚染が少なく連続溶融可能な直接通電
法による電気溶融、表面平滑性に優れ連続成形に適した
フロート法成形が適用できるガラス組成物であることが
望まれる。
【０００５】従来SiO2−Al2O3 −B2O3系−RO (二価成分
酸化物：MgO 、caO 、SrO 、BaO 等) よりなる成分系の
ガラスは公知であり、その幾つかは市場に供されてい
る。特開平4-325434号、特開平4-325436号に開示される
ガラスは概してSiO2をはじめとするガラスの網目構造形
成用酸化物が過少で相対的にRO成分が多く、歪点が低く
熱膨張率が高いという点でTFT 用基板として適当とはい
えない。特開平4-325435号に開示されるガラスは歪点は
高いが、CaO 、SrO が過多、B2O3が過少であり熱膨張率
が大きい点でTFT 用基板として不適当である。
酸化物：MgO 、caO 、SrO 、BaO 等) よりなる成分系の
ガラスは公知であり、その幾つかは市場に供されてい
る。特開平4-325434号、特開平4-325436号に開示される
ガラスは概してSiO2をはじめとするガラスの網目構造形
成用酸化物が過少で相対的にRO成分が多く、歪点が低く
熱膨張率が高いという点でTFT 用基板として適当とはい
えない。特開平4-325435号に開示されるガラスは歪点は
高いが、CaO 、SrO が過多、B2O3が過少であり熱膨張率
が大きい点でTFT 用基板として不適当である。
【０００６】また、特開平4-160030号には高歪点で低熱
膨張率のガラスが開示されているがZnO 、PbO 、La2O
3 、As2O3 、またはSb2O3 の少なくとも一種を含んでお
り、フロート法成形には適さず、さらに比較的B2O3が多
い等耐酸性に劣る傾向にある。
膨張率のガラスが開示されているがZnO 、PbO 、La2O
3 、As2O3 、またはSb2O3 の少なくとも一種を含んでお
り、フロート法成形には適さず、さらに比較的B2O3が多
い等耐酸性に劣る傾向にある。
【０００７】加えて特開平6-263473号には高歪点で低熱
膨張率のガラスが開示されているが、作業温度 (粘度10
4 ポイズを示す温度) が高い等フロート法成形に適当と
はいえない。該成分系をベースとする市販のガラスには
As2O3 等の溶融助剤の含有が不可避であるが先述のごと
くフロート法成形には忌避されるべきものである。
膨張率のガラスが開示されているが、作業温度 (粘度10
4 ポイズを示す温度) が高い等フロート法成形に適当と
はいえない。該成分系をベースとする市販のガラスには
As2O3 等の溶融助剤の含有が不可避であるが先述のごと
くフロート法成形には忌避されるべきものである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
都合点を解消し、歪点が 660℃以上、熱膨張率が36〜39
(×10-7／℃) 、作業温度 (粘度104 ポイズを示す温度)
が1290℃以下、かつ失透温度が1290℃未満のフロート
法成形に適した無アルカリガラスを提供することを目的
とする。
都合点を解消し、歪点が 660℃以上、熱膨張率が36〜39
(×10-7／℃) 、作業温度 (粘度104 ポイズを示す温度)
が1290℃以下、かつ失透温度が1290℃未満のフロート
法成形に適した無アルカリガラスを提供することを目的
とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は重量％表示で、
SiO2 60.5 〜62、Al2O3 13.5〜16.5、B2O3 6.5〜8.5、Z
rO2 0.3〜2 、MgO 0.5 〜2 、CaO 5 〜7 、SrO 5 〜7
、およびBaO 1 〜4 の範囲で含有し、かつ実質的にア
ルカリ金属酸化物並びにPbO 、ZnO 、As2O3 、およびSb
2O3 を含有しない無アルカリガラスであって、該無アル
カリガラス 100重量％に対し、調製時にフッ化物を F換
算で 0.5重量％以下の範囲で外挿添加したこと、前記無
アルカリガラスにおいて、CaO 、MgO 、BaO 、およびSr
O の和を14.5〜17.5重量％の範囲としたこと、さらに調
製時にフッ化物を F換算で 0.1〜 0.5重量％の範囲で外
挿添加したこと、加えて歪点が 660℃以上、熱膨張率が
36〜39 (×10-7／℃) であること、からなる。
SiO2 60.5 〜62、Al2O3 13.5〜16.5、B2O3 6.5〜8.5、Z
rO2 0.3〜2 、MgO 0.5 〜2 、CaO 5 〜7 、SrO 5 〜7
、およびBaO 1 〜4 の範囲で含有し、かつ実質的にア
ルカリ金属酸化物並びにPbO 、ZnO 、As2O3 、およびSb
2O3 を含有しない無アルカリガラスであって、該無アル
カリガラス 100重量％に対し、調製時にフッ化物を F換
算で 0.5重量％以下の範囲で外挿添加したこと、前記無
アルカリガラスにおいて、CaO 、MgO 、BaO 、およびSr
O の和を14.5〜17.5重量％の範囲としたこと、さらに調
製時にフッ化物を F換算で 0.1〜 0.5重量％の範囲で外
挿添加したこと、加えて歪点が 660℃以上、熱膨張率が
36〜39 (×10-7／℃) であること、からなる。
【００１０】本発明の成分系において、SiO2はガラスの
主成分であり、重量％において60.5％未満ではガラスの
耐酸、耐フッ酸性が低下する。62％を越えるとガラス融
液の高温粘度が高くなり、溶融性が劣り、またガラスの
失透傾向が増大し、特にSiO2系結晶が析出し易くなる。
従って 60.5 〜62％の範囲がよい。
主成分であり、重量％において60.5％未満ではガラスの
耐酸、耐フッ酸性が低下する。62％を越えるとガラス融
液の高温粘度が高くなり、溶融性が劣り、またガラスの
失透傾向が増大し、特にSiO2系結晶が析出し易くなる。
従って 60.5 〜62％の範囲がよい。
【００１１】Al2O3 はSiO2に対し適宜範囲で導入するこ
とによりガラス融液の高温下の粘度の上昇を抑え、歪点
を上昇させる効果を奏する。またSiO2系とB2O3−RO系の
分相の起生を抑制して均質化し、さらにSiO2−CaO(−Mg
O)系の失透を抑制する作用を有するが、13.5％未満では
それら作用効果が不充分であり、16.5％を越えると溶融
性を悪化し、かつガラスの耐酸性が低下する。従って1
3.5〜16.5％の範囲がよい。
とによりガラス融液の高温下の粘度の上昇を抑え、歪点
を上昇させる効果を奏する。またSiO2系とB2O3−RO系の
分相の起生を抑制して均質化し、さらにSiO2−CaO(−Mg
O)系の失透を抑制する作用を有するが、13.5％未満では
それら作用効果が不充分であり、16.5％を越えると溶融
性を悪化し、かつガラスの耐酸性が低下する。従って1
3.5〜16.5％の範囲がよい。
【００１２】B2O3はガラス融液の高温粘度を下げ、溶融
性を向上させる。またこれを含むガラスはフッ酸に対し
て耐久性を示す。 6.5％未満ではそれらの効果が小さ
く、 8.5％を越えるとガラスの耐熱性が低下し、また耐
酸性も低下する。従って 6.5〜8.5％の範囲がよい。
性を向上させる。またこれを含むガラスはフッ酸に対し
て耐久性を示す。 6.5％未満ではそれらの効果が小さ
く、 8.5％を越えるとガラスの耐熱性が低下し、また耐
酸性も低下する。従って 6.5〜8.5％の範囲がよい。
【００１３】ZrO2はそれ自体SiO2より高融点であるが、
CaO 、MgO 、BaO 、SrO 等の共存により低い温度で共融
する。また、ガラスの歪点を上昇させ、耐酸. 耐アルカ
リ性を向上するのでガラス中に含有せしめることが望ま
しい。ただし0.3 ％未満ではそれらの効果が充分得られ
ず、 2％を越えると脈理が発生し易く、またZrO2に起因
する失透を生じ易く溶融性を悪化する。従って0.3 〜 2
％の範囲とするのが好ましい。
CaO 、MgO 、BaO 、SrO 等の共存により低い温度で共融
する。また、ガラスの歪点を上昇させ、耐酸. 耐アルカ
リ性を向上するのでガラス中に含有せしめることが望ま
しい。ただし0.3 ％未満ではそれらの効果が充分得られ
ず、 2％を越えると脈理が発生し易く、またZrO2に起因
する失透を生じ易く溶融性を悪化する。従って0.3 〜 2
％の範囲とするのが好ましい。
【００１４】上記SiO2、B2O3、Al2O3 およびZrO2等の酸
性ないし中性酸化物、特にSiO2、Al 2O3 、ZrO2に対し、
以下に述べる塩基性酸化物であるCaO 、MgO 、BaO 、Sr
O 等を共存させガラス溶融時の媒溶剤として作用させる
ことにより、溶融を容易とする。すなわち、CaO はガラ
ス融液の高温粘性を下げ、溶融性を向上させ、かつ失透
傾向を抑制する。 5％未満ではそれらの効果が不充分で
あり、 7％を越えるとガラスの歪点を低下させ、また前
記分相が発生し易い。従って 5〜 7％の範囲とするもの
である。
性ないし中性酸化物、特にSiO2、Al 2O3 、ZrO2に対し、
以下に述べる塩基性酸化物であるCaO 、MgO 、BaO 、Sr
O 等を共存させガラス溶融時の媒溶剤として作用させる
ことにより、溶融を容易とする。すなわち、CaO はガラ
ス融液の高温粘性を下げ、溶融性を向上させ、かつ失透
傾向を抑制する。 5％未満ではそれらの効果が不充分で
あり、 7％を越えるとガラスの歪点を低下させ、また前
記分相が発生し易い。従って 5〜 7％の範囲とするもの
である。
【００１５】SrO はCaO 同様にガラス融液の高温粘性を
下げ、溶融性を向上させ、かつ失透傾向を抑制する。ま
た、CaO に比べガラスの歪点、耐薬品性を向上する。 5
％未満ではそれらの効果が不充分であり、 7％を越える
とガラスの歪点を低下させ、また熱膨張率を増大させ
る。従って 5〜 7％の範囲とするものである。
下げ、溶融性を向上させ、かつ失透傾向を抑制する。ま
た、CaO に比べガラスの歪点、耐薬品性を向上する。 5
％未満ではそれらの効果が不充分であり、 7％を越える
とガラスの歪点を低下させ、また熱膨張率を増大させ
る。従って 5〜 7％の範囲とするものである。
【００１６】MgO はガラスの熱膨張係数を増大させずに
溶融性を向上させ、失透の抑制に効果があるが、0.5 ％
未満ではその効果が小さく 2％を越えると特にフッ酸系
液により点食を受け白濁を生じ易く、またSiO2−Al2O3
−MgO 系結晶が析出し易くなりガラスの失透傾向が大き
くなる。従って0.5 〜2 ％の範囲とする。
溶融性を向上させ、失透の抑制に効果があるが、0.5 ％
未満ではその効果が小さく 2％を越えると特にフッ酸系
液により点食を受け白濁を生じ易く、またSiO2−Al2O3
−MgO 系結晶が析出し易くなりガラスの失透傾向が大き
くなる。従って0.5 〜2 ％の範囲とする。
【００１７】BaO はCaO およびMgO との共存下で溶融性
を向上させ、ガラスの失透傾向を抑制するが、1 ％未満
ではその効果が不充分である。 4％を越えるとガラスの
耐酸性が低下し、またガラスの熱膨張率が増大する。従
って 1〜 4％の範囲とするのがよい。
を向上させ、ガラスの失透傾向を抑制するが、1 ％未満
ではその効果が不充分である。 4％を越えるとガラスの
耐酸性が低下し、またガラスの熱膨張率が増大する。従
って 1〜 4％の範囲とするのがよい。
【００１８】さらに、上記組成範囲内において、CaO ＋
MgO ＋BaO ＋SrO を14.5〜17.5％の範囲にすることによ
って、ガラスの溶融性を良好な範囲に維持しつつ、粘度
−温度勾配を適度として成形性を良好とし、耐熱性、耐
酸性等に優れ、失透傾向の小さい無アルカリガラスを得
ることができる。CaO ＋MgO ＋BaO ＋SrO が17.5％を越
えると、溶融性は向上するが、特に熱膨張率が増大し、
耐薬品性が低下する。14.5％未満では、熱膨張率は低下
するが高温粘度が上昇して溶融および成形を困難とし、
失透傾向も増大し、さらに溶融時の電気抵抗が高くなり
直接通電による電気溶融に適さない。従って14.5〜17.5
％の範囲とするのが望ましい。
MgO ＋BaO ＋SrO を14.5〜17.5％の範囲にすることによ
って、ガラスの溶融性を良好な範囲に維持しつつ、粘度
−温度勾配を適度として成形性を良好とし、耐熱性、耐
酸性等に優れ、失透傾向の小さい無アルカリガラスを得
ることができる。CaO ＋MgO ＋BaO ＋SrO が17.5％を越
えると、溶融性は向上するが、特に熱膨張率が増大し、
耐薬品性が低下する。14.5％未満では、熱膨張率は低下
するが高温粘度が上昇して溶融および成形を困難とし、
失透傾向も増大し、さらに溶融時の電気抵抗が高くなり
直接通電による電気溶融に適さない。従って14.5〜17.5
％の範囲とするのが望ましい。
【００１９】F分はCaF2、MgF2等の金属フッ化物として
導入するもので F分の過半は溶融段階で蒸発するが、本
成分系においては F分がガラス融液の粘性、表面張力を
降下させ溶融、清澄性に顕著な作用を呈し、ひいては欠
陥のきわめて少ないガラス成形品を得ることができると
いう点において含有せしめることが望ましい。具体的に
は上記した酸化物ガラス 100重量％に対して、調製時の
Fの導入量が0.5 重量％を越える場合はガラスの分相傾
向が増大しまた炉材の浸食等に問題を有するので、0.5
重量％以下の範囲で導入するのが好ましい。更に好まし
くは0.1 〜0.5％の範囲とすることにより前記作用効果
を充分に発揮せしめる。
導入するもので F分の過半は溶融段階で蒸発するが、本
成分系においては F分がガラス融液の粘性、表面張力を
降下させ溶融、清澄性に顕著な作用を呈し、ひいては欠
陥のきわめて少ないガラス成形品を得ることができると
いう点において含有せしめることが望ましい。具体的に
は上記した酸化物ガラス 100重量％に対して、調製時の
Fの導入量が0.5 重量％を越える場合はガラスの分相傾
向が増大しまた炉材の浸食等に問題を有するので、0.5
重量％以下の範囲で導入するのが好ましい。更に好まし
くは0.1 〜0.5％の範囲とすることにより前記作用効果
を充分に発揮せしめる。
【００２０】本発明においてはアルカリ金属酸化物はガ
ラスの耐熱性を低下させ、特に電子部品素材としてガラ
スに金属薄膜等を形成させる場合にアルカリ金属イオン
が表面湧出し膜特性が劣化するので、実質的に存在して
はならない。
ラスの耐熱性を低下させ、特に電子部品素材としてガラ
スに金属薄膜等を形成させる場合にアルカリ金属イオン
が表面湧出し膜特性が劣化するので、実質的に存在して
はならない。
【００２１】また直接通電による電気溶融を可能とする
ために、汎用されるモリブデン等の電極と反応して合金
を形成したりするようなことは避けねばならず、従って
反応性を有するZnO や清澄剤としてのAs2O3 、Sb2O3 を
含有してはならない。
ために、汎用されるモリブデン等の電極と反応して合金
を形成したりするようなことは避けねばならず、従って
反応性を有するZnO や清澄剤としてのAs2O3 、Sb2O3 を
含有してはならない。
【００２２】さらにフロート法成形による量産を容易と
し、窒素および水素等の還元雰囲気下で揮発したり、ガ
ラスに着色を与えないようにするために、PbO 、ZnO 等
の揮発成分やAs2O3 、Sb2O3 等の反応着色成分も実質的
に含有してはならない。
し、窒素および水素等の還元雰囲気下で揮発したり、ガ
ラスに着色を与えないようにするために、PbO 、ZnO 等
の揮発成分やAs2O3 、Sb2O3 等の反応着色成分も実質的
に含有してはならない。
【００２３】なお、前記アルカリ金属酸化物や通電溶融
用電極との反応性成分、還元雰囲気との反応、揮発性成
分およびFe2O3 、MnO2、SO3 その他不純物としての極微
量の混入は本発明を妨げるものではない。
用電極との反応性成分、還元雰囲気との反応、揮発性成
分およびFe2O3 、MnO2、SO3 その他不純物としての極微
量の混入は本発明を妨げるものではない。
【００２４】
【実施例】珪砂、水酸化アルミニウム、ホウ酸、炭酸マ
グネシウム、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、炭酸スト
ロンチウム、ジルコン砂、亜砒酸およびフッ化カルシウ
ムよりなる調合原料を白金製耐火坩堝に充填し電気炉内
で1630℃、約６時間加熱溶融した。次に溶融ガラスを鋳
型に流込み、約 200mm□×35mm厚の大きさのガラスブロ
ックとし、 700℃に保持した電気炉に移入して炉内で徐
冷した。
グネシウム、炭酸カルシウム、炭酸バリウム、炭酸スト
ロンチウム、ジルコン砂、亜砒酸およびフッ化カルシウ
ムよりなる調合原料を白金製耐火坩堝に充填し電気炉内
で1630℃、約６時間加熱溶融した。次に溶融ガラスを鋳
型に流込み、約 200mm□×35mm厚の大きさのガラスブロ
ックとし、 700℃に保持した電気炉に移入して炉内で徐
冷した。
【００２５】原料調合に基づくガラス (酸化物) 組成を
表１に示す。なおCaF2のかたちで導入されるF 分につい
ては酸化物組成計100 重量％に対する外挿添加量 (重量
％)で示した。
表１に示す。なおCaF2のかたちで導入されるF 分につい
ては酸化物組成計100 重量％に対する外挿添加量 (重量
％)で示した。
【００２６】これらのガラス試料について、室温〜 300
℃における平均熱膨張率 X10-7／℃) 、歪点 (ガラスが
粘度1014.5ポイズを示す温度) 、溶融温度 (102 ポイズ
の温度) 、および作業温度(104ポイズの温度) 、失透温
度を測定した。また耐酸性 (1/100N HNO3 水溶液に95
℃、20時間浸漬し減量mg/cm2を測定) について調査し
た。それらの結果を表１に示す。
℃における平均熱膨張率 X10-7／℃) 、歪点 (ガラスが
粘度1014.5ポイズを示す温度) 、溶融温度 (102 ポイズ
の温度) 、および作業温度(104ポイズの温度) 、失透温
度を測定した。また耐酸性 (1/100N HNO3 水溶液に95
℃、20時間浸漬し減量mg/cm2を測定) について調査し
た。それらの結果を表１に示す。
【００２７】
【表１】
【００２８】表1 中実施例NO.1〜NO.8は本発明によるガ
ラスであり、歪点は660 ℃以上で耐熱性に優れる。熱膨
張率もSi薄膜の熱膨張率36×10-7／℃に近似しており、
作業温度は1290℃以下で失透温度は作業温度を下回って
おり、フロート成形が可能である。耐酸減量も0.14mg/c
m2以下であり液晶ディスプレイ用等の基板として充分な
耐酸性を有する。
ラスであり、歪点は660 ℃以上で耐熱性に優れる。熱膨
張率もSi薄膜の熱膨張率36×10-7／℃に近似しており、
作業温度は1290℃以下で失透温度は作業温度を下回って
おり、フロート成形が可能である。耐酸減量も0.14mg/c
m2以下であり液晶ディスプレイ用等の基板として充分な
耐酸性を有する。
【００２９】他方、比較例NO.1においては歪点が低く、
熱膨張率が高すぎ、またNO.2においては作業温度が高
く、フロート法成形には適さない。
熱膨張率が高すぎ、またNO.2においては作業温度が高
く、フロート法成形には適さない。
【００３０】
【発明の効果】本発明の無アルカリガラスは、耐熱性、
耐薬品性等に優れ、熱膨張率も適度であるため、ガラス
表面に金属や金属酸化物の薄膜を形成し、該薄膜をエッ
チングしてパターンを形成させるためのガラス基板、特
にTFT 用基板として好適であり、またガラスの直接通電
法による溶融性およびフロート法による成形性に適し、
均質なガラスを連続的に低いコストで製造することが可
能であり、量産に適するという効果を奏する。
耐薬品性等に優れ、熱膨張率も適度であるため、ガラス
表面に金属や金属酸化物の薄膜を形成し、該薄膜をエッ
チングしてパターンを形成させるためのガラス基板、特
にTFT 用基板として好適であり、またガラスの直接通電
法による溶融性およびフロート法による成形性に適し、
均質なガラスを連続的に低いコストで製造することが可
能であり、量産に適するという効果を奏する。
Claims (4)
- 【請求項１】重量％表示で、SiO2 60.5 〜62、Al2O3 1
3.5〜16.5、B2O3 6.5〜8.5 、ZrO2 0.3〜2 、MgO 0.5
〜2 、CaO 5 〜7 、SrO 5 〜7 、およびBaO 1 〜4 の範
囲で含有し、かつ実質的にアルカリ金属酸化物並びにPb
O 、ZnO 、As2O3 、およびSb2O 3 を含有しない無アルカ
リガラスであって、該無アルカリガラス 100重量％に対
し、調製時にフッ化物を F換算で 0.5重量％以下の範囲
で外挿添加したことを特徴とする無アルカリガラス。 - 【請求項２】CaO 、MgO 、BaO 、およびSrO の和を14.5
〜17.5重量％の範囲としたことを特徴とする請求項１記
載の無アルカリガラス。 - 【請求項３】調製時にフッ化物を F換算で 0.1〜 0.5重
量％の範囲で外挿添加したことを特徴とする請求項１ま
たは２記載の無アルカリガラス。 - 【請求項４】歪点が 660℃以上、熱膨張率が36〜39 (×
10-7／℃) であることを特徴とする請求項１ないし３記
載の無アルカリガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26960295A JPH09110460A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 無アルカリガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26960295A JPH09110460A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 無アルカリガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09110460A true JPH09110460A (ja) | 1997-04-28 |
Family
ID=17474656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26960295A Pending JPH09110460A (ja) | 1995-10-18 | 1995-10-18 | 無アルカリガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09110460A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11292563A (ja) * | 1998-04-03 | 1999-10-26 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 無アルカリガラス基板 |
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-
1995
- 1995-10-18 JP JP26960295A patent/JPH09110460A/ja active Pending
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