CN217615762U - 一种匀胶装置 - Google Patents

Abstract

本申请属于显示技术领域，涉及一种匀胶装置。本申请提供的技术方案包括：机体；匀胶机构，所述匀胶机构包括匀胶底座和转动组件，所述匀胶底座设于所述机体内且与所述转动组件连接，所述转动组件驱动匀胶底座转动以对所述匀胶底座上的工件进行匀胶处理；真空干燥机构，所述真空干燥机构与所述机体连通，用于对工件进行真空干燥。本申请将匀胶工作和真空干燥工作进行整合，在匀胶工作后即可进行真空干燥工作，避免匀胶工艺后的玻璃基板转移，能够快速进行真空干燥，对高沸点溶剂成膜不均匀的问题进行了改善，尤其是在进行高沸点OLED/QLED墨水材料的基础器件验证领域，保证了均匀成膜，对该类型工艺制作的器件提供了最基础的成膜性能保证。

Description

一种匀胶装置

技术领域

本申请涉及显示技术，更具体的说，特别涉及一种匀胶装置。

背景技术

显示行业基础研究领域中，在小型玻璃基板上(例如30mm×30mm的玻璃基板)进行器件工艺开发研究，在这个器件制作过程中，涉及到在玻璃基板上进行均匀成膜，一般常用到匀胶机，即，在玻璃基板上滴落功能性墨水材料(例如OLED墨水材料或者QLED墨水材料)，设置转速后，进行匀胶的工艺，当匀胶工艺结束后，再将玻璃基板转移至真空干燥设备中进行干燥。

在当前的工艺流程中，主要存在以下问题：在匀胶工艺与真空干燥工艺之间，需要人为进行玻璃基板的转移，造成成膜过程中变化因素较多，例如取片的方式、转移的时间等，均会对真空干燥的效果起到影响；在使用高沸点的溶剂体系墨水材料时，现有的工艺存在匀胶过程与真空干燥过程分离，造成溶剂不能在有效时间内实现干燥等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种匀胶装置，避免匀胶工艺后的玻璃基板转移，能够快速进行真空干燥，从而能够在有效时间内实现真空干燥。

为了解决以上提出的问题，本实用新型实施例提供了如下所述的技术方案：

一种匀胶装置，包括：

机体；

匀胶机构，所述匀胶机构包括匀胶底座和转动组件，所述匀胶底座设于所述机体内且与所述转动组件连接，所述转动组件驱动匀胶底座转动以对所述匀胶底座上的工件进行匀胶处理；

真空干燥机构，所述真空干燥机构与所述机体连通，用于对所述工件进行真空干燥。

在一些实施例中，所述真空干燥机构包括多个真空干燥管，所述真空干燥管一端与所述机体连通，另一端与所述与外部真空泵连通。

在一些实施例中，所述真空干燥机构还包括设于所述机体内的真空分散板，所述真空分散板位于所述匀胶底座和所述真空干燥管之间，所述真空分散板设有若干等间距分布的真空干燥孔。

在一些实施例中，所述机体包括基座、盖体和升降组件，所述盖体与所述升降组件连接，所述升降组件驱动所述盖体与所述基座闭合或分离。

在一些实施例中，所述升降组件包括升降件和机体连接件，所述机体连接件分别与所述升降件和所述盖体连接。

在一些实施例中，所述匀胶装置还包括控制***，所述控制***与所述转动组件、升降组件和真空干燥机构连接。

在一些实施例中，所述匀胶装置还包括设于所述基座和/或盖体的密封件。

在一些实施例中，所述转动组件包括驱动件和底座连接件，所述底座连接件设于所述驱动件，所述匀胶底座可拆卸连接于所述底座连接件。

在一些实施例中，所述底座连接件内设有与外部真空泵连接的真空通道，所述匀胶底座设有若干与所述真空通道连接的真空吸附孔。

在一些实施例中，所述匀胶底座通过卡扣、磁吸或螺纹连接于所述底座连接件。

与现有技术相比，本实用新型实施例主要有以下有益效果：

本实用新型通过在机体内设置匀胶机构，并设置与机体连通的真空干燥机构，将匀胶工作和真空干燥工作进行整合，在匀胶工作后即可进行真空干燥工作，避免匀胶工艺后的玻璃基板转移，能够快速进行真空干燥，从而能够在有效时间内实现真空干燥，对高沸点溶剂成膜不均匀的问题进行了改善，尤其是在进行高沸点OLED/QLED墨水材料的基础器件验证领域，保证了均匀成膜，对该类型工艺制作的器件提供了最基础的成膜性能保证；此外，通过设置真空分散板及在真空分散板上设置真空干燥孔，能够均匀地进行真空干燥，从而使得玻璃基板匀胶后的膜层能够均匀干燥，达到了均匀成膜的目的。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中匀胶装置机体打开时的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中匀胶装置机体闭合时的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中匀胶装置的俯视图；

图4为本实用新型实施例中匀胶底座和底座连接件的结构示意图；

图5为本实用新型实施例中匀胶底座上真空吸附孔的分布示意图。

附图标记说明：

1、机体；11、基座；12、盖体；13、升降组件；131、升降件；132、机体连接件；2、匀胶机构；21、匀胶底座；211、真空吸附孔；212、方形放置区域；213、圆形放置区域；22、转动组件；221、驱动件；222、底座连接件；223、真空通道；3、真空干燥机构；31、真空干燥管；32、真空分散板；4、密封件。

具体实施方式

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。在本实用新型的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本实用新型。本实用新型的说明书和权利要求书及上述附图说明中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排它的包含。本实用新型的说明书和权利要求书或上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本实用新型的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

为了使本领域技术人员更好地理解本实用新型方案，下面将参照相关附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

如图1和图2所示，图1为本实用新型实施例中匀胶装置机体打开时的结构示意图，图2为本实用新型实施例中匀胶装置机体闭合时的结构示意图。本实用新型实施例提供一种匀胶装置，该匀胶装置包括机体1、匀胶机构2和真空干燥机构3；匀胶机构2包括匀胶底座21和转动组件22，匀胶底座21设于机体1内且与转动组件22连接，转动组件22驱动匀胶底座21转动以对匀胶底座21上的工件进行匀胶处理；真空干燥机构3与机体1连通，用于对工件进行真空干燥。更具体的，用于对匀胶后的工件进行真空干燥。

需要说明的是，匀胶底座21可放置工件，例如玻璃基板，在玻璃基板上滴落功能性墨水材料(例如OLED墨水材料或者QLED墨水材料)，转动组件22驱动匀胶底座21转动，以进行匀胶工作，当匀胶工作结束后，真空干燥机构3对匀胶后的玻璃基板进行干燥，以使墨水材料中的溶剂挥发，墨水材料中的溶质沉积形成膜层。本实用新型实施例提供的匀胶装置，通过在机体1内设置匀胶机构2，并设置与机体1连通的真空干燥机构3，将匀胶工作和真空干燥工作进行整合，在匀胶工作后即可进行真空干燥工作，避免匀胶工艺后的玻璃基板转移，能够快速进行真空干燥，从而能够在有效时间内实现真空干燥，对高沸点溶剂成膜不均匀的问题进行了改善，尤其是在进行高沸点OLED/QLED墨水材料的基础器件验证领域，保证了均匀成膜，对该类型工艺制作的器件提供了最基础的成膜性能保证。

所述机体1包括基座11、盖体12和升降组件13，所述盖体12与所述升降组件13连接，所述升降组件13驱动所述盖体12与所述基座11闭合或分离，匀胶装置处于工作状态时，基座11与盖体12闭合形成便于匀胶工作和真空干燥工作的密封腔。

在一些实施例中，匀胶装置还包括设于基座11和盖体12的密封件4，密封件4设置在基座11和盖体12相互朝向的一面且对应设置，密封件4也可单独设置在基座11朝向盖体12一面，或单独设置在盖体12朝向基板一面，保证基座11与盖体12闭合时形成密封腔即可。具体的，密封件4为密封硅胶。

在一些实施例中，升降组件13包括升降件131和机体连接件132，机体连接件132分别与升降件131和盖体12连接。可选的，升降件131为升降电机、气缸或油缸，升降电机通过丝杠或齿轮齿条结构驱动机体连接件132升降，从而驱动盖体12升降，实现盖体12与基座11闭合或分离。

转动组件22包括驱动件221和底座连接件222，底座连接件222设于驱动件221，匀胶底座21可拆卸连接于底座连接件222，驱动件221通过底座连接件222驱动匀胶底座21转动。可选的，驱动件221可为伺服电机。

在一些实施例中，匀胶底座21通过卡扣、磁吸或螺纹连接于底座连接件222，便于匀胶底座21的更换。

如图4和图5所示，图4为本实用新型实施例中匀胶底座和底座连接件的结构示意图，图5为本实用新型实施例中匀胶底座上真空吸附孔的分布示意图。匀胶底座21设有用于若干放置区域。可选的，匀胶底座21设有用于放置方形玻璃衬底的方形放置区域212和用于放置圆形硅片或者其他材质衬底圆形放置区域213，也可设置其它形状的放置区域，放置区域可为放置槽，能够对应不同尺寸的基板衬底进行匀胶工艺。

在一些实施例中，底座连接件222的中心部为空心结构，可在底座连接件222内设置用于真空吸附的真空通道223，真空通道223可与外部的真空泵连通，匀胶底座21设有若干与真空通道223连通的真空吸附孔211，结合图2和图4，真空泵工作时，与真空通道223连通的真空吸附孔211产生吸附力，将玻璃基板吸附在匀胶底座21上。具体的，真空吸附孔211可分布在放置区域的中心位置和放置区域的边缘位置，除放置区域的中心位置和放置区域的边缘位置以外，也可分布在放置区域的其它位置，或者，真空吸附孔211在放置区域内均匀分布。

如图1和图3所示，真空干燥机构3包括多个真空干燥管31，真空干燥管31设于所述基座11，真空干燥管31一端与机体1连通，另一端与外部的真空泵连通。

真空干燥机构3还包括设于机体1内的真空分散板32，可选的，真空分散板32通过支架固定在基座11上，且真空分散板21位于匀胶底座21和真空干燥管31之间。

所述真空分散板32设有若干真空干燥孔(未示出)。具体的，真空干燥孔在真空分散板32上等间距分布分布。图3为本实用新型实施例中匀胶装置的俯视图，展现了匀胶装置机体1内的结构布局，可选的，真空干燥管31为4个，并均匀地设置在真空分散板32下面。

如图2所示，匀胶底座21中放入玻璃基板后，机体1进入闭合状态，匀胶底座21上的真空吸附孔211进入真空吸附状态，然后进行匀胶工艺，此时匀胶底座21按照设定程序的转速运行，待匀胶工艺结束后，真空分散板32下面的真空干燥管31进入真空工作状态，真空干燥管31对机体1进行抽气，通过在匀胶底座21和真空干燥管31之间设置真空分散板32，以及在真空分散板32上设置真空干燥孔，真空干燥管31进入真空工作状态时，能够均匀地对匀胶底座21进行真空干燥，从而使得玻璃基板匀胶后的膜层能够均匀干燥，达到了均匀成膜的目的。

在一些实施例中，匀胶装置还包括控制***，控制***与转动组件22、升降组件13和真空干燥机构3连接，控制***可对转动组件22、升降组件13和真空干燥机构3发出控制指令，实现旋转匀胶、机体1升降和真空干燥等动作的控制，保证了匀胶工艺以及真空干燥工艺的衔接。

示例性的，如图1和图2所示，例如要进行OLED器件旋涂成膜制作，先将玻璃基板放置于匀胶底座21的放置区域上，此时，匀胶底座21上的真空吸附孔211工作，将玻璃基板吸附在匀胶底座21上，再将某种OLED墨水滴落在玻璃基板上，此时，升降组件13驱动盖体12下降，直至盖体12与基座11贴合使机体1完全闭合后，将设定好的匀胶程序开启(注：设定好的匀胶程序可以为多种工艺条件，例如在某个时间t1内，转速达到某个数值，然后t2时间内，转速达到某个数值)；执行完匀胶工艺后，控制***发出指令，开始执行真空干燥工艺，真空干燥管31在外部真空泵的作用下，开始进行抽气动作，同样按照设定好的真空干燥程序执行该工艺步骤，待真空干燥工艺完成后，升降组件13驱动盖体12上升，该玻璃基板上完成均匀成膜制作。

显然，以上所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，附图中给了本实用新型的较佳实施例，但并不限制本实用新型的专利范围。本实用新型可以以许多不同的形式来实现，相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容的理解更加透彻全面。尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员而言，其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理在本实用新型专利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种匀胶装置，其特征在于，包括：

机体；

匀胶机构，所述匀胶机构包括匀胶底座和转动组件，所述匀胶底座设于所述机体内且与所述转动组件连接，所述转动组件驱动匀胶底座转动以对所述匀胶底座上的工件进行匀胶处理；

真空干燥机构，所述真空干燥机构与所述机体连通，用于对所述工件进行真空干燥。

2.根据权利要求1所述的匀胶装置，其特征在于，所述真空干燥机构包括：

多个真空干燥管，所述真空干燥管一端与所述机体连通，另一端与外部真空泵连通。

3.根据权利要求2所述的匀胶装置，其特征在于，所述真空干燥机构还包括：

设于所述机体内的真空分散板，所述真空分散板位于所述匀胶底座和所述真空干燥管之间，所述真空分散板设有若干等间距分布的真空干燥孔。

4.根据权利要求1所述的匀胶装置，其特征在于，所述机体包括：

基座、盖体和升降组件，所述盖体与所述升降组件连接，所述升降组件驱动所述盖体与所述基座闭合或分离。

5.根据权利要求4所述的匀胶装置，其特征在于，所述升降组件包括：

升降件和机体连接件，所述机体连接件分别与所述升降件和所述盖体连接。

6.根据权利要求4所述的匀胶装置，其特征在于，所述匀胶装置还包括：

控制***，所述控制***与所述转动组件、所述升降组件和所述真空干燥机构连接。

7.根据权利要求4所述的匀胶装置，其特征在于，所述匀胶装置还包括：

设于所述基座和/或盖体的密封件。

8.根据权利要求1所述的匀胶装置，其特征在于，所述转动组件包括：

驱动件和底座连接件，所述底座连接件设于所述驱动件，所述匀胶底座可拆卸连接于所述底座连接件。

9.根据权利要求8所述的匀胶装置，其特征在于，所述底座连接件内设有与外部真空泵连通的真空通道，所述匀胶底座设有若干与所述真空通道连通的真空吸附孔。

10.根据权利要求8所述的匀胶装置，其特征在于，所述匀胶底座通过卡扣、磁吸或螺纹连接于所述底座连接件。

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