CN218547241U - 一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，涉及匀胶台技术领域，本实用新型包括底台和匀胶台，底台上表面安装有匀胶台，底台上端安装有操作板，底台表面设置有安装槽，安装槽内部连接有伸缩支杆，伸缩支杆顶端与操作板连接，安装槽内部连接有转动马达，转动马达的输出端连接有连接轴，连接轴一端贯穿操作板，且连接轴一端与匀胶台连接，安装槽内部还连接有加热器，操作板表面连接有导热管，加热器一端与导热管连接，导热管一端与匀胶台连接，底台侧表面安装有风机。本实用新型底台一侧连接风机，其导风管一端连接出风板，配合出风口对适应位置的匀胶台处的陶瓷薄膜集成电路进行涂胶加工时的辅助干燥，均匀度高。

Description

一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台

技术领域

本实用新型涉及匀胶台技术领域，特别涉及一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台。

背景技术

匀胶台是一种旋转涂覆设备，是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，匀胶台可应用于陶瓷薄膜集成电路的加工；

目前的匀胶台进行胶液涂覆中缺乏相应的辅助烘干设备，操作效率不足，并且人工干燥过程中均匀度不够，实际工作效果有待加强；为此，我们提出一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，以解决背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，包括底台和匀胶台，所述底台上表面安装有匀胶台，所述底台上端安装有操作板，所述匀胶台设置于操作板表面，所述底台表面设置有安装槽，所述安装槽内部连接有伸缩支杆，所述伸缩支杆顶端与操作板连接，所述安装槽内部连接有转动马达，所述转动马达的输出端连接有连接轴，所述连接轴一端贯穿操作板，且所述连接轴一端与匀胶台连接，所述安装槽内部还连接有加热器，所述操作板表面连接有导热管，所述加热器一端与导热管连接，所述导热管一端与匀胶台连接，所述底台侧表面安装有风机，所述风机的输出端连接有导风管，所述导风管一端连接有出风板，所述出风板与匀胶台位置相适应。

所述底台侧表面连接有控制面板，所述控制面板分别与转动马达、加热器和风机电性连接，操作控制自适应力强。

所述底台侧表面设置有凹槽，所述风机连接于凹槽内部，对风机进行安装连接。

所述底台两相对侧表面均连接有散热板，加强匀胶设备运行稳定性。

所述出风板侧表面设置有若干出风口，对干燥风进行导出。

所述底台内部安装有储物槽，所述储物槽一侧连接有拉把，提升储物能力。

所述底台底端螺纹连接有底脚，对设备进行支撑固定。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，利用转动马达配合连接轴对匀胶台进行横转，以对胶液进行涂覆均匀，同时加热器经导热管对匀胶台进行加热，对涂覆的胶液进行快速烘干，提升工作效率。

本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，底台一侧连接风机，其导风管一端连接出风板，配合出风口对适应位置的匀胶台处的陶瓷薄膜集成电路进行涂胶加工时的辅助干燥，均匀度高，加工效果加强。

附图说明

图1为本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台的整体结构示意图；

图2为本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台的风机位置结构示意图；

图3为本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台的侧视结构示意图；

图4为本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台的图3中A-A面的剖视图；

图5为本实用新型陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台的底面结构示意图。

图中：1、底台；2、匀胶台；3、操作板；4、伸缩支杆；5、转动马达；6、连接轴；7、安装槽；8、控制面板；9、加热器；10、导热管；11、凹槽；12、风机；13、导风管；14、出风板；15、出风口；16、散热板；17、储物槽；18、拉把；19、底脚。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1-图5所示，本实用新型为一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，包括底台1和匀胶台2，底台1上表面安装有匀胶台2，底台1上端安装有操作板3，底台1表面设置有安装槽7，安装槽7内部连接有伸缩支杆4，伸缩支杆4顶端与操作板3连接，安装槽7内部连接有转动马达5，转动马达5的输出端连接有连接轴6，连接轴6一端贯穿操作板3，且连接轴6一端与匀胶台2连接，安装槽7内部还连接有加热器9，操作板3表面连接有导热管10，加热器9一端与导热管10连接，导热管10一端与匀胶台2连接，底台1侧表面安装有风机12，风机12的输出端连接有导风管13，导风管13一端连接有出风板14，出风板14与匀胶台2位置相适应，对胶液进行辅助干燥。

底台1侧表面连接有控制面板8，控制面板8分别与转动马达5、加热器9和风机12电性连接，操作控制自动化程度高；底台1侧表面设置有凹槽11，风机12连接于凹槽11内部，对风机12进行安装连接；底台1两相对侧表面均连接有散热板16，对该匀胶设备形成散热维护效果；出风板14侧表面设置有若干出风口15，干燥均匀度高；底台1内部安装有储物槽17，储物槽17一侧连接有拉把18，提高储物能力，并便于对储物槽17进行导入导出；底台1底端螺纹连接有底脚19，对该匀胶设备进行支撑固定。

需要说明的是，本实用新型为陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，底台1表面安装槽7内分别安装转动马达5和加热器9，转动马达5配合连接轴6对匀胶台2进行横转，以对胶液进行涂覆均匀，利用加热器9经导热管10对匀胶台2进行加热，能够对涂覆的胶液进行快速烘干，提升陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台2的工作效率；

在此过程中，底台1一侧连接风机12，风机12的输出端连接导风管13，且导风管13一端连接出风板14，配合出风口15对适应位置的匀胶台2处的陶瓷薄膜集成电路进行加工时的辅助干燥，干燥均匀度高，操作适应性强；其中，方案中转动马达5的使用额定输出功率为1.8KW，加热器9的使用额定输出功率为0.85KW，风机12的使用额定输出功率为1.2KW。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，包括底台(1)和匀胶台(2)，所述底台(1)上表面安装有匀胶台(2)，其特征在于：所述底台(1)上端安装有操作板(3)，所述底台(1)表面设置有安装槽(7)，所述安装槽(7)内部连接有伸缩支杆(4)，所述伸缩支杆(4)顶端与操作板(3)连接，所述安装槽(7)内部连接有转动马达(5)，所述转动马达(5)的输出端连接有连接轴(6)，所述连接轴(6)一端贯穿操作板(3)，且所述连接轴(6)一端与匀胶台(2)连接，所述安装槽(7)内部还连接有加热器(9)，所述操作板(3)表面连接有导热管(10)，所述加热器(9)一端与导热管(10)连接，所述导热管(10)一端与匀胶台(2)连接，所述底台(1)侧表面安装有风机(12)，所述风机(12)的输出端连接有导风管(13)，所述导风管(13)一端连接有出风板(14)，所述出风板(14)与匀胶台(2)位置相适应。

2.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述底台(1)侧表面连接有控制面板(8)，所述控制面板(8)分别与转动马达(5)、加热器(9)和风机(12)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述底台(1)侧表面设置有凹槽(11)，所述风机(12)连接于凹槽(11)内部。

4.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述底台(1)两相对侧表面均连接有散热板(16)。

5.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述出风板(14)侧表面设置有若干出风口(15)。

6.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述底台(1)内部安装有储物槽(17)，所述储物槽(17)一侧连接有拉把(18)。

7.根据权利要求1所述的一种陶瓷薄膜集成电路光刻匀胶台，其特征在于：所述底台(1)底端螺纹连接有底脚(19)。

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