CN213814290U - 一种用于旋涂设备的定位辅助装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台，升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘，且真空吸盘连接外部气泵，升降式旋涂操作台上设有保护罩，升降式旋涂操作台后侧设有安装底座，且安装底座前端固定装配有支撑杆，支撑杆前端固定装配有位于升降式旋涂操作台上方的定位辅助装置本体；方案采用定位辅助装置本体对基片进行准确定位，通过添加定位块的数量实现对不同尺寸的基片圆心位置的准确定位，提高了适用范围；方案采用的定位辅助装置本体操作方便，通过螺纹杆对增设的定位块进行连接固定，提高定位精度，利于胶层的均匀涂覆。

Description

一种用于旋涂设备的定位辅助装置

技术领域

本实用新型涉及定位辅助装置技术领域，具体为一种用于旋涂设备的定位辅助装置。

背景技术

纳米压印技术是一种新型的微纳加工技术。是通过光刻胶辅助，将模板上的微纳结构转移到待加工材料上的技术。要想实现图形的精确复制和转移，首先要实现光刻胶在基片上的均匀涂覆。

目前最常用的涂胶方式是旋涂。市面上旋涂设备如匀胶机、旋涂仪层出不穷，但工作原理都是通过真空将基片固定在真空吸盘上，设置适当的加速度及转速，利用离心力使光刻胶在基片上均匀铺展。因此，基片圆心的准确定位尤为重要。一旦偏离圆心，就会出现胶层厚度不均匀或无法完全覆盖基片等问题影响压印效果。目前常用的定位辅助装置一般为单尺寸，定位不同尺寸的基片更换麻烦。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于旋涂设备的定位辅助装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台，升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘，且真空吸盘连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台上设有保护罩，所述升降式旋涂操作台后侧设有安装底座，且安装底座前端固定装配有支撑杆，所述支撑杆前端固定装配有位于升降式旋涂操作台上方的定位辅助装置本体。

优选的，所述定位辅助装置本体包括固定装配于支撑杆前端的第一定位块，且第一定位块前后壁上开设有第一螺纹通孔，所述第一定位块内环面贴合有第二定位块，且第二定位块前后侧壁开设有与第一螺纹通孔位于一条直线上的第二螺纹通孔，所受第一螺纹通孔和第二螺纹通孔内螺接有螺纹杆。

优选的，所述第一定位块和第二定位块的圆心与真空吸盘的圆心重合。

优选的，所述定位辅助装置本体的高度高于保护罩升起的高度。

与现有技术相比，本方案设计了一种用于旋涂设备的定位辅助装置，具有下述有益效果：

(1)方案采用定位辅助装置本体对基片进行准确定位，通过添加定位块的数量实现对不同尺寸的基片圆心位置的准确定位，提高了适用范围。

(2)方案采用的定位辅助装置本体操作方便，通过螺纹杆对增设的定位块进行连接固定，提高定位精度，利于胶层的均匀涂覆。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型中第二定位块未添加结构示意图；

图3为本实用新型中第一定位块与螺纹杆装配结构示意图。

图中：1升降式旋涂操作台、2真空吸盘、3保护罩、4安装底座、5支撑杆、6定位辅助装置本体、61第一定位块、62第一螺纹通孔、63第二定位块、64第二螺纹通孔、65螺纹杆。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、图2和图3，本实用新型提供一种技术方案：一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台1，升降式旋涂操作台1的上表面中部设有真空吸盘2，且真空吸盘2连接外部气泵，升降式旋涂操作台1上设有保护罩3，升降式旋涂操作台1后侧设有安装底座4，且安装底座4前端固定装配有支撑杆5，支撑杆5前端固定装配有位于升降式旋涂操作台1上方的定位辅助装置本体6。

采用定位辅助装置本体6对基片进行准确定位，通过添加定位块的数量实现对不同尺寸的基片圆心位置的准确定位，提高了适用范围；升降式旋涂操作台1连接外部电源，通过开关控制所在电路通断，能够进行旋转和升降的控制。

定位辅助装置本体6包括固定装配于支撑杆5前端的第一定位块61，且第一定位块61前后壁上开设有第一螺纹通孔62，第一定位块61内环面贴合有第二定位块63，且第二定位块63前后侧壁开设有与第一螺纹通孔62位于一条直线上的第二螺纹通孔64，所受第一螺纹通孔62和第二螺纹通孔64内螺接有螺纹杆65。

如图2和3所示，以8寸和6寸晶圆旋涂为例，用于升降式旋涂操作台1的定位辅助装置本体6操作步骤如下：

通过升降式旋涂操作台1控制真空吸盘2升降，首先升起真空吸盘2，8寸第一定位块61为最大尺寸，无需改动，直接将8寸基片放在真空吸盘2表面，使基片边缘与第一定位块61边缘贴合，打开真空吸盘2的真空，降下真空吸盘2，升起保护罩3，进行旋涂。

当更换6寸基片时，将6寸第二定位块63与8寸第一定位块61贴合，镂空的第一螺纹通孔62和第二螺纹通孔64在一条直线上，将螺纹杆65旋入第一螺纹通孔62和第二螺纹通孔64内完成固定，升起真空吸盘2，将6寸基片与第二定位块63边缘贴合，打开真空吸盘2的真空，降下真空吸盘2，升起保护罩3，进行旋涂，以此类推，可更换更小尺寸基片进行旋涂，直接将对应尺寸的定位块附加到第一定位块61上即可，既方便又节省时间，提高效率。

第一定位块61和第二定位块63的圆心与真空吸盘2的圆心重合，保证第一定位块61和第二定位块63分别贴合8寸、6寸基片的边缘；定位辅助装置本体6的高度高于保护罩3升起的高度，使得真空吸盘2下降后升起保护罩3时，定位辅助装置本体6不会对保护罩3造成阻碍。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (4)

1.一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台(1)，其特征在于：升降式旋涂操作台(1)的上表面中部设有真空吸盘(2)，且真空吸盘(2)连接外部气泵，所述升降式旋涂操作台(1)上设有保护罩(3)，所述升降式旋涂操作台(1)后侧设有安装底座(4)，且安装底座(4)前端固定装配有支撑杆(5)，所述支撑杆(5)前端固定装配有位于升降式旋涂操作台(1)上方的定位辅助装置本体(6)。

2.根据权利要求1所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述定位辅助装置本体(6)包括固定装配于支撑杆(5)前端的第一定位块(61)，且第一定位块(61)前后壁上开设有第一螺纹通孔(62)，所述第一定位块(61)内环面贴合有第二定位块(63)，且第二定位块(63)前后侧壁开设有与第一螺纹通孔(62)位于一条直线上的第二螺纹通孔(64)，所受第一螺纹通孔(62)和第二螺纹通孔(64)内螺接有螺纹杆(65)。

3.根据权利要求2所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述第一定位块(61)和第二定位块(63)的圆心与真空吸盘(2)的圆心重合。

4.根据权利要求2所述的一种用于旋涂设备的定位辅助装置，其特征在于：所述定位辅助装置本体(6)的高度高于保护罩(3)升起的高度。

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