CN217561644U - 一种新型线型探针测试结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针、被测晶圆和PCB板，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板设置在底板下方，所述被测晶圆设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，所述顶板包括第一顶板、第二顶板和第三顶板，所述底板包括第一底板、第二底板和第三底板，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30°。本实用新型通过设置倾斜的引导孔，在将线型探针用治具按压于PCB板时，减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损，通过使线型探针挠曲，产生的弹性力，能够使线型探针可靠地与PCB板端子接触，增强该测试结构的测试稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及探针测试技术领域，具体为一种新型线型探针测试结构。
背景技术
随着半导体芯片发展越来越快，越来越多的智能设备包括5G手机，无人驾驶汽车等融入生活，芯片也越来越向体积小的方向发展，这样就出现了小间距芯片的诞生。间距变小，就需要特定的极细线型探针来测试导通及电特性，由于线型探针直径很小，通常直径为≤0.040mm，可用于测试间距(pitch)≤0.065mm的晶圆。为了保证能够使线型探针的两端可靠地与晶圆的端子和PCB板的端子接触且不易产生线型探针的磨损，需要设计一种测试治具来完成。当重复进行将线型探针用治具按压的动作时，线型探针会在前后端侧贯穿孔中滑动。因此，特别是在后端侧贯穿孔的开口处容易产生磨损。当因磨损而使滑动阻力增加时，会出现线型探针无法在后端侧贯穿孔中顺畅地滑动，线型探针的前端不能与被测晶圆与PCB板的端子接触)，会出现测试电性能及导通不佳等问题。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种新型线型探针测试结构，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针、被测晶圆和PCB板，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板设置在底板下方，所述被测晶圆设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，所述顶板包括第一顶板、第二顶板和第三顶板，所述底板包括第一底板、第二底板和第三底板，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30°。
作为进一步地优化，所述第一顶板、第二顶板和第三顶板相互平行设置。
作为进一步地优化，所述第一底板、第二底板和第三底板相互平行设置。
作为进一步地优化，当第一顶板、第二顶板和第三顶板对齐后，第一顶板、第二顶板和第三顶板上的引导孔轴线对应重合。
作为进一步地优化，当第一底板、第二底板和第三底板对齐后，第一底板、第二底板和第三底板上的引导孔轴线对应重合。
作为进一步地优化，所述第一顶板和第一底板之间设置有支撑柱。
作为进一步地优化，所述线型探针的两端部分别贯穿顶板、底板与被测晶圆和PCB板导通。
有益效果
本实用新型所提供的一种新型线型探针测试结构，通过设置倾斜的引导孔，使得线型探针倾斜连接，在将线型探针用治具按压于PCB板时，减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损，通过使线型探针挠曲，产生的弹性力，能够使线型探针可靠地与PCB板端子接触，增强该测试结构的测试稳定性。
附图说明
图1为本实用新型的三维结构示意图；
图2为本实用新型的主视图；
图3为本实用新型背景技术中现有结构示意图。
附图标记
第一顶板1，第二顶板2，第三顶板3，被测晶圆4，线型探针5，第一底板6，第二底板7，第三底板8，PCB板9，支撑柱10。
具体实施方式
以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。
实施例
参照图1和图2，一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针5、被测晶圆4和PCB板9，顶板设置在底板上方，PCB板9设置在底板下方，被测晶圆4设置在顶板上方，顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针5的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，顶板包括第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3，底板包括第一底板6、第二底板7和第三底板8，引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且a为15°，采用这样的结构，在将线型探针5用治具按压于PCB板时，使得线型探针挠曲，能够使线型探针可靠地与PCB板9的端子接触，3块板结构比使用传统2块板的结构上下各多了一引导孔，对比2块板结构有利于调整线型探针的导向使测试状态比2块板的更稳定，与传统2块板子的治具相比还不易产生线型探针的磨损。
在本实施例中，当第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3对齐后，第一顶板1、第二顶板2和第三顶板3上的引导孔轴线对应重合，当第一底板6、第二底板7和第三底板8对齐后，第一底板6、第二底板7和第三底板8上的引导孔轴线对应重合，使得线型探针5能够倾斜设置，在将线型探针用治具按压于PCB板时，减少线型探针在引导孔中滑动导致的磨损。
在本实施例中，第一顶板1和第一底板6之间设置有支撑柱10，防止线型探针5过度挠曲导致折断。
在本实施例中，线型探针5的两端部分别贯穿顶板、底板与被测晶圆4和PCB板9导通。
工作原理：用治具按压于被检查器件时，通过使线型探针挠曲，从而产生使线型探针的前端自线型探针用治具突出的弹性力，线型探针的两端部能够可靠地与PCB板和被测晶圆接触，形成稳定的导通测试电路。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型性的保护范围之内的实用新型内容。
Claims (7)
1.一种新型线型探针测试结构，包括顶板、底板、线型探针(5)、被测晶圆(4)和PCB板(9)，所述顶板设置在底板上方，所述PCB板(9)设置在底板下方，所述被测晶圆(4)设置在顶板上方，所述顶板、底板上均设置有多个引导孔，线型探针(5)的两端分别插接在顶板、底板的引导孔中，其特征在于：所述顶板包括第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)，所述底板包括第一底板(6)、第二底板(7)和第三底板(8)，所述引导孔的轴线与竖直线的夹角设置为a，且0<a<30°。
2.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)相互平行设置。
3.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述第一底板(6)、第二底板(7)和第三底板(8)相互平行设置。
4.根据权利要求2所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：当第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)对齐后，第一顶板(1)、第二顶板(2)和第三顶板(3)上的引导孔轴线对应重合。
5.根据权利要求3所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：当第一底板(6)、第二底板(7)和第三底板(8)对齐后，第一底板(6)、第二底板(7)和第三底板(8)上的引导孔轴线对应重合。
6.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述第一顶板(1)和第一底板(6)之间设置有支撑柱(10)。
7.根据权利要求1所述的一种新型线型探针测试结构，其特征在于：所述线型探针(5)的两端部分别贯穿顶板、底板与被测晶圆(4)和PCB板(9)导通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202220179559.5U CN217561644U (zh) | 2022-01-24 | 2022-01-24 | 一种新型线型探针测试结构 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
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|---|---|
| CN217561644U true CN217561644U (zh) | 2022-10-11 |
Family
ID=83468460
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202220179559.5U Active CN217561644U (zh) | 2022-01-24 | 2022-01-24 | 一种新型线型探针测试结构 |
Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN217561644U (zh) |
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2022
- 2022-01-24 CN CN202220179559.5U patent/CN217561644U/zh active Active
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