CN217418803U - 用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜*** - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜***。基片夹具包括：底板和面板，底板和面板可拆卸地相连，底板和面板能够沿预设方向排列设置，预设方向能够与底板和面板中的每一者的厚度方向一致，底板和面板之间能够限定出用于夹持工件的夹持腔，底板设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口和/或面板设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口，第一镀膜窗口能够在预设方向上与夹持腔相对以便能够与夹持腔连通，第二镀膜窗口能够在预设方向上与夹持腔相对以便能够与夹持腔连通。通过利用根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。

Description

用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜***

技术领域

本实用新型涉及镀覆技术领域，具体地，涉及用于真空镀膜的基片夹具，还涉及包括该基片夹具的上下料设备和连续真空镀膜***。

背景技术

为了提高工件(例如燃料电池的金属双极板)的耐腐蚀性能，可以利用真空镀膜的方式在工件的表面镀覆薄膜或涂层。例如，燃料电池的金属双极板的耐腐蚀性相对较差，在燃料电池的使用环境中，金属双极板腐蚀后溶出的金属离子会污染燃料电池的质子交换膜，降低电堆的整体性能进而造成电堆失效。此外，腐蚀后金属表面生成的钝化膜会增大金属双极板表面的接触电阻，也会降低电堆的性能。因此，在金属双极板的加工成型工艺过程中，表面镀膜处理作为关键工序，可以有效提升金属双极板的耐蚀性和耐久性，降低接触电阻。

包括金属双极板在内的工件的挂装和卸料是工件镀膜生产中的重要一环，直接影响着镀膜的效率、质量和成本。目前，相关技术中工件的镀膜过程中，挂装和卸料都是人工进行，需依靠人力将工件依次挂装到镀膜转架并用弹簧装置勾紧，以防止工件在镀膜腔室中掉落，保证工件与转架间有良好的导电性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本实用新型的实施例提出一种用于真空镀膜的基片夹具、上下料设备和连续真空镀膜***。

根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具包括：底板和面板，所述底板和所述面板可拆卸地相连，所述底板和所述面板能够沿预设方向排列设置，所述预设方向能够与所述底板和所述面板中的每一者的厚度方向一致，所述底板和所述面板之间能够限定出用于夹持工件的夹持腔，其中所述底板设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口和/或所述面板设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口，所述第一镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通，所述第二镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通。

通过利用根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本。

可选地，所述底板和所述面板中的每一者的形状为多边形，所述底板的形状与所述面板的形状相同，其中所述底板和所述面板通过紧固件可拆卸地相连，所述紧固件能够设置在所述底板和所述面板中的每一者的拐角处。

可选地，所述底板具有在其厚度方向上相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个第一凹槽，每个所述第一凹槽的底壁面设有所述第一镀膜窗口；所述面板具有在其厚度方向上相对的第三表面和第四表面，所述第三表面上设有多个第二凹槽，每个所述第二凹槽的底壁面设有所述第二镀膜窗口，其中所述第一表面和所述第三表面能够在所述预设方向上相对设置，多个所述第一凹槽和多个所述第二凹槽能够在所述预设方向上一一相对，相对的所述第一凹槽和所述第二凹槽形成所述夹持腔。

可选地，所述夹持腔、所述第一镀膜窗口和所述第二镀膜窗口中的每一者排列成多行多列。

可选地，每个所述第一凹槽的所述底壁面的未设置所述第一镀膜窗口的部分构成第一夹持面，每个所述第二凹槽的所述底壁面的未设置所述第二镀膜窗口的部分构成第二夹持面，其中所述第一夹持面和所述第二夹持面中的每一者为环形面。

可选地，所述用于真空镀膜的基片夹具进一步包括用于压制工件的弹性件，所述弹性件的一端能够抵靠在所述夹持腔的壁面上，所述弹性件能够处于形变状态以便将工件推向所述底板和所述面板中的一者。

可选地，所述用于真空镀膜的基片夹具进一步包括用于压制工件的压制件，所述弹性件的另一端能够抵靠在所述压制件上，所述弹性件能够处于形变状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板和所述面板中的一者上。

可选地，所述夹持腔能够具有在所述预设方向上相对的第一夹持面和第二夹持面，所述弹性件的所述一端能够抵靠在所述第二夹持面上，其中所述弹性件能够处于压缩状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述第一夹持面上。

可选地，所述弹性件的一端能够抵靠在所述面板上以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板上。

可选地，所述基片夹具包括至少四个所述弹性件和至少四个压制件，至少两个所述弹性件能够在第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述弹性件能够在第二方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能够在所述第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能够在所述第二方向上相对且间隔设置，所述第一方向、所述第二方向和所述预设方向彼此垂直，其中所述弹性件的另一端能够一一对应地抵靠在所述压制件上。

可选地，在所述第一方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第一方向延伸。

根据本实用新型实施例的上下料设备包括：基片夹具，所述基片夹具为根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具；以及上料机械手和下料机械手，所述上料机械手和所述下料机械手中的每一者包括吸盘，所述上料机械手与所述基片夹具配合以便将工件放置在所述基片夹具上，所述下料机械手与所述基片夹具配合以便从所述基片夹具上取走工件。

根据本实用新型实施例的上下料设备具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低的优点。

根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***包括基片夹具，所述基片夹具为根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具。

根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低的优点。

附图说明

图1是根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具的结构示意图。

图2是根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具的***图。

图3是根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具的剖视图。

图4是图3中的A区域的放大图。

图5是根据本实用新型实施例的真空镀膜***1000的局部结构示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

如图1-图4所示，根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具100包括底板1和面板2，底板1和面板2可拆卸地相连。底板1和面板2能够沿预设方向排列设置，预设方向能够与底板1和面板2中的每一者的厚度方向一致，底板1和面板2之间能够限定出用于夹持工件200的夹持腔7。也就是说，工件200能够被夹持在底板1和面板2之间。

“底板1和面板2能够沿预设方向排列设置，预设方向能够与底板1和面板2中的每一者的厚度方向一致，底板1和面板2之间能够限定出用于夹持工件200的夹持腔7”是指：当底板1和面板2相连时，底板1和面板2沿该预设方向排列设置，该预设方向与底板1和面板2中的每一者的厚度方向一致，底板1和面板2之间限定出用于夹持工件200的夹持腔7。也就是说，当底板1和面板2不相连时，底板1和面板2可以不沿该预设方向排列设置，底板1和面板2之间可以不限定出夹持腔7。

底板1设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口11和/或面板2设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口21。换言之，第一镀膜窗口11沿底板1的厚度方向贯通底板1，第二镀膜窗口21沿面板2的厚度方向贯通面板2。

第一镀膜窗口11能够在该预设方向上与夹持腔7相对以便能够与夹持腔7连通，第二镀膜窗口21能够在该预设方向上与夹持腔7相对以便能够与夹持腔7连通。即，当底板1和面板2相连时，第一镀膜窗口11在该预设方向上与夹持腔7相对以便与夹持腔7连通，第二镀膜窗口21在该预设方向上与夹持腔7相对以便与夹持腔7连通。当底板1和面板2不相连时，第一镀膜窗口11在该预设方向上可以不与夹持腔7相对且不与夹持腔7连通，第二镀膜窗口21在该预设方向上可以不与夹持腔7相对且不与夹持腔7连通。

下面参考图1-图4简要地描述基片夹具100的使用过程。首先，将底板1大体水平地放置，然后利用上料机械手将工件200放置在底板1上以便实现工件200的自动放置。待工件200被放置在底板1上后，将面板2放置在底板1上且与底板1相连。此时，底板1和面板2之间限定出夹持腔7，工件200被夹持在夹持腔7内，工件200的待处理部分与镀膜窗口(第一镀膜窗口11、第二镀膜窗口21)相对，即工件200的待处理部分从镀膜窗口露出。

接着，将夹持有工件200的基片夹具100大体竖直地放置，使基片夹具100进入到功能室(例如清洗室、镀膜室)以便对基片夹具100上的工件200进行相应的处理(清洗、镀膜)。对工件200处理完毕后，使基片夹具100离开功能室。最后，将夹持有工件200的基片夹具100大体水平地放置，并将面板2从底板1上拆卸下来，用下料机械手将工件200从底板1上取走。

由此可以利用机械手自动完成工件200的取放，只需人工完成面板2的安装和拆卸即可，从而提高工件200的挂装和卸料效率、降低人力成本。此外，还可以提高工件200的挂装一致性，进而提高工件200的镀膜一致性，以便提高产品合格率。

而且，可以根据不同的镀膜需求，通过更换不同形状的底板1和/或面板2，可以使底板1和/或面板2起到掩膜板的作用，以便对工件200的特定区域进行镀膜。例如，可以在不更换面板2的情况下，更换具有异形的镀膜窗口的底板1，从而可以只对燃料电池的金属双极板(工件200)的流道区进行镀膜。

通过利用根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具100，可以提高工件挂装和卸料的自动化程度、提高工件的挂装和卸料效率、降低人力成本、提高产品合格率。

如图1-图4所示，根据本实用新型实施例的用于真空镀膜的基片夹具100包括底板1和面板2。底板1和面板2中的每一者的形状可以是多边形，即底板1和面板2都可以是多边形板。

可选地，底板1的形状与面板2的形状相同，由此可以更加容易地将底板1和面板2连接在一起。例如，底板1和面板2都可以是矩形板。

如图1-图3所示，底板1和面板2通过紧固件3(例如螺钉、螺栓等)可拆卸地相连，紧固件3能够设置在底板1和面板2中的每一者的拐角处。

底板1具有在其厚度方向上相对的第一表面12和第二表面13。当底板1大体水平放置时，底板1的厚度方向可以与上下方向一致，第一表面12可以是底板1的上表面，第二表面13可以是底板1的下表面。当底板1大体竖直放置时，底板1的厚度方向可以与前后方向一致，第一表面12可以是底板1的前表面，第二表面13可以是底板1的后表面。上下方向如图2中的箭头B所示，前后方向如图3中的箭头C所示。

第一表面12上设有多个第一凹槽14，每个第一凹槽14的底壁面141设有第一镀膜窗口11。换言之，第一镀膜窗口11沿底板1的厚度方向贯通底板1，多个第一镀膜窗口11和多个第一凹槽14在底板1的厚度方向上一一相对。由此在放置工件200时，可以利用上料机械手将工件200放置在第一凹槽14内，从而可以利用第一凹槽14对工件200进行限位，避免在安装面板2时造成工件200移动，以便精确地露出工件200的待处理部分。其中，工件200可以是燃料电池的金属双极板。

面板2具有在其厚度方向上相对的第三表面22和第四表面23。当面板2大体水平放置时，面板2的厚度方向可以与上下方向一致，第三表面22可以是面板2的下表面，第四表面23可以是面板2的上表面。当面板2大体竖直放置时，面板2的厚度方向可以与前后方向一致，第三表面22可以是面板2的后表面，第四表面23可以是面板2的前表面。

第三表面22上设有多个第二凹槽24，每个第二凹槽24的底壁面241设有第二镀膜窗口21。换言之，第二镀膜窗口21沿面板2的厚度方向贯通面板2，多个第二镀膜窗口21和多个第二凹槽24在面板2的厚度方向上一一相对。

当底板1和面板2连接在一起时，底板1和面板2沿该预设方向排列设置，第一表面12和第三表面22在该预设方向上相对设置，多个第一凹槽14和多个第二凹槽24在该预设方向上一一相对，相对的第一凹槽14和第二凹槽24形成夹持腔7。也就是说，当底板1和面板2连接在一起时，基片夹具100可以具有多个夹持腔7。由此，可以同时将多个工件200放置(夹持)在基片夹具100上，从而可以同时对多个工件200进行处理，以便提高工件200的处理效率。

如图1和图2所示，夹持腔7、第一镀膜窗口11和第二镀膜窗口21中的每一者可以排列成多行多列。由此可以使上料机械手和下料机械手只需要沿相互垂直的两个方向移动，就可以完成工件200的取放操作，从而可以降低工件200的取放操作的难度。

可选地，第一镀膜窗口11可以沿底板1的长度方向和宽度方向排列成多行多列，第二镀膜窗口21可以沿面板2的长度方向和宽度方向排列成多行多列。当底板1和面板2连接在一起时，底板1的长度方向和宽度方向分别与面板2的长度方向和宽度方向一致，由此夹持腔7可以沿底板1(面板2)的长度方向和宽度方向排列成多行多列。底板1的长度方向如图1中的箭头D所示，底板1的宽度方向如图1中的箭头E所示。

如图2和图4所示，每个第一凹槽14的底壁面141的未设置第一镀膜窗口11的部分构成第一夹持面142，每个第二凹槽24的底壁面241的未设置第二镀膜窗口21的部分构成第二夹持面242。其中，第一夹持面142和第二夹持面242中的每一者为环形面。也就是说，第一凹槽14的底壁面141的边沿位于与该第一凹槽14相对的第一镀膜窗口11的边沿的外侧，第二凹槽24的底壁面241的边沿位于与该第二凹槽24相对的第二镀膜窗口21的边沿的外侧。即，第一凹槽14的底壁面141的边沿环绕与该第一凹槽14相对的第一镀膜窗口11的边沿设置，第二凹槽24的底壁面241的边沿环绕与该第二凹槽24相对的第二镀膜窗口21的边沿设置。

如图3和图4所示，，基片夹具100进一步包括用于压制工件200的弹性件4，弹性件4的一端能够抵靠在夹持腔7的壁面上，弹性件4能够处于形变状态以便将工件200推向底板1和面板2中的一者。也就是说，当底板1和面板2连接在一起且工件200被放置在夹持腔7内时，弹性件4处于形变状态(例如压缩状态)，弹性件4的一端抵靠在夹持腔7的壁面上，弹性件4的另一端抵靠在工件200上以便将工件200压制在底板1和面板2中的一者。

通过设置弹性件4，从而可以将工件200压制在底板1和面板2中的一者，以便使工件200与底板1和面板2中的该一者更好地接触导电，即使工件200和基片夹具100更好地接触导电，由此更加有利于提高工件200表面镀层的致密性。

如图3和图4所示，基片夹具100进一步包括用于压制工件200的压制件5，弹性件4的另一端能够抵靠在压制件5上，弹性件4能够处于形变状态以便能够通过压制件5将工件200压制在底板1和面板2中的该一者上。也就是说，当底板1和面板2连接在一起且工件200被放置在夹持腔7内时，弹性件4处于形变状态(例如压缩状态)，弹性件4的一端抵靠在夹持腔7的壁面上，弹性件4的另一端抵靠在压制件5上，压制件5压在工件200上，以便弹性件4通过压制件5将工件200压制在底板1和面板2中的该一者上。

与利用弹性件4直接压制工件200(弹性件4与工件200直接接触)相比，通过设置压制件5，可以使压制件5直接压制工件200(压制件5与工件200直接接触)，从而可以增加压制件5和工件200的接触面积，即增加工件200的被压制部分的面积。由此使工件200与底板1和面板2中的该一者更好地接触导电，即使工件200和基片夹具100更好地接触导电，进而更加有利于提高工件200表面镀层的致密性。

如图4所示，夹持腔7能够具有在该预设方向上相对的第一夹持面142和第二夹持面242，即第一夹持面142和第二夹持面242能够在该预设方向上相对设置。弹性件4的一端能够抵靠在第二夹持面242上，弹性件4能够处于压缩状态以便能够通过压制件5将工件200压制在第一夹持面142上。

也就是说，当底板1和面板2连接在一起且工件200被放置在夹持腔7内时，弹性件4的一端抵靠在面板2上，弹性件4处于压缩状态以便通过压制件5将工件200压制在底板1上。换言之，底板1的第一凹槽14的壁面不与弹性件4相连。

由此在利用上料机械手将工件200放置在第一凹槽14内时，由于此时第一凹槽14内没有弹性件4和压制件5，从而可以使工件200的全部或大部分位于第一凹槽14内，以便可以利用第一凹槽14更好地对工件200进行限位，避免在安装面板2时造成工件200移动，进而精确地露出工件200的待处理部分。

如图4所示，基片夹具100包括至少四个弹性件4和至少四个压制件5，弹性件4的另一端能够一一对应地抵靠在压制件5上。也就是说，弹性件4的数量可以等于压制件5的数量，每个弹性件4的另一端抵靠在一个压制件5上，每个压制件5上抵靠有一个弹性件4。

至少两个弹性件4能够在第一方向上相对且间隔设置，至少两个弹性件4能够在第二方向上相对且间隔设置，至少两个压制件5能够在该第一方向上相对且间隔设置，至少两个压制件5能够在该第二方向上相对且间隔设置。其中，第一方向、第二方向和该预设方向彼此垂直。由此可以使工件200与底板1和面板2中的该一者更好地接触导电，即使工件200和基片夹具100更好地接触导电，从而更加有利于提高工件200表面镀层的致密性。

当底板1和面板2连接在一起且工件200被放置在夹持腔7内时，该第一方向和该第二方向中的一者可以与底板1(面板2)的长度方向一致，该第一方向和该第二方向中的另一者可以与底板1(面板2)的宽度方向一致。

可选地，在该第一方向上相对且间隔设置的压制件5能够沿该第二方向延伸，在该第二方向上相对且间隔设置的压制件5能够沿该第一方向延伸。由此可以增加压制件5和工件200的接触面积，即增加工件200的被压制部分的面积，从而使工件200与底板1和面板2中的该一者更好地接触导电，即使工件200和基片夹具100更好地接触导电，以便更加有利于提高工件200表面镀层的致密性。

如图4所示，弹性件4包括在该第一方向上相对且间隔设置的第一弹性件4a和第二弹性件4b以及在该第二方向上相对且间隔设置的第三弹性件和第四弹性件，压制件5包括在该第一方向上相对且间隔设置的第一压制件5a和第二压制件5b以及在该第二方向上相对且间隔设置的第三压制件和第四压制件。该第一方向可以是底板1的宽度方向。

第一弹性件4、第二弹性件4、第三弹性件4和第四弹性件4中的每一者能够处于压缩状态且其一端能够抵靠在第二夹持面242上，第一弹性件4a的另一端能够抵靠在第一压制件5a上，第二弹性件4b的另一端能够抵靠在第二压制件5b上，第三弹性件的另一端能够抵靠在第三压制件上，第四弹性件的另一端能够抵靠在第四压制件上。

本实用新型还提供上下料设备。根据本实用新型实施例的上下料设备包括上料机械手、下料机械手和根据本实用新型上述实施例的基片夹具100。该上料机械手和该下料机械手中的每一者包括吸盘，该吸盘可以吸附工件200。上料机械手与基片夹具100配合以便将工件200放置在基片夹具100上，下料机械手与基片夹具100配合以便从基片夹具100上取走工件200。

根据本实用新型实施例的上下料设备具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低、产品合格率高等优点。

本实用新型还提供连续真空镀膜***1000。根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***1000包括根据本实用新型上述实施例的基片夹具100。

根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***1000具有工件挂装和卸料自动化程度高、工件挂装和卸料效率高、人力成本低、产品合格率高等优点。

如图5所示，根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***1000还可以包括上料室300、下料室400和多个功能单元500。每个功能单元500包括依次相连的第一过渡室510、功能室520和第二过渡室530，即功能室520位于第一过渡室510与第二过渡室530之间。上料室300、多个功能单元500和下料室400依次相连，即上料室300、功能单元500、......、功能单元500和下料室400依次排列。

基片夹具100以及挂装在基片夹具100上的工件200可以依次经过上料室300、功能单元500、......、功能单元500和下料室400。

上料室300和相邻的功能单元500的第一过渡室510相连，下料室400和相邻的功能单元500的第二过渡室530相连。换言之，上料室300和多个功能单元500中的与其相邻的一者的第一过渡室510相连，下料室400和多个功能单元500中的与其相邻的一者的第二过渡室530相连。相邻两个功能单元500中的一者的第二过渡室530和相邻两个功能单元500中的另一者的第一过渡室510相连，即相邻两个功能单元500的功能室520之间存在至少两个过渡室。

来自上料室300或前一个(上游)功能单元500的基片夹具100以及挂装在基片夹具100上的工件200进入到本功能单元500的第一过渡室510内，进而进入到功能室520内以便进行相应的处理。如果只需对工件200进行一次处理，则处理后的工件200可以进入到本功能单元500的第二过渡室530内，进而进入到后一个(下游)功能单元500或下料室400内。

如果需要对工件200进行多次处理，则经过一次处理后的工件200可以先进入到第二过渡室530内，再回到功能室520内以便对工件200进行再次处理。如此反复，直至完成工件200在该功能单元500的全部处理。由于对工件200进行多次处理只需要占用功能室520和第二过渡室530，因此在对工件200进行多次处理的同时，上料室300或前一个功能单元500的工件200可以进入到本功能单元500的第一过渡室510内。由此可以避免工件200留滞在上料室300或前一个功能单元500内，从而不会影响后续工件上料、也不会影响前一个功能单元500处理后续工件。

如果没有后续工件进入到本功能单元500的第一过渡室510内，工件200也可以从功能室520回到第一过渡室510内，进而再次进入到功能室520内以便对工件200进行再次处理。

根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***1000通过使每个功能单元500包括功能室520以及位于功能室520两侧的第一过渡室510和第二过渡室530，从而能够在不影响后续工件进入该功能单元500的情况下、实现对工件200进行多次处理。由此不仅可以提高连续真空镀膜***1000的处理效率和处理量，而且可以提高工件200的处理效果。

相关技术中为了对工件进行多次处理，需要在功能室内设置多个处理装置，每个处理装置对工件进行一次处理。由于工件200能够在本申请的功能室520与第二过渡室530(第一过渡室510)之间往返移动(来回移动)，因此只需要在功能室520内设置较少数量、甚至一个处理装置，就可以对工件200进行多次处理。由此不仅可以简化功能单元500和连续真空镀膜***1000的结构、降低功能单元500和连续真空镀膜***1000的制造成本和制造难度，而且可以减小功能单元500和连续真空镀膜***1000占用的空间，降低维持功能单元500的真空度的成本。

此外，当功能单元500、下料室400因发生故障等原因而暂时无法使用时，可以将进行完相应处理的工件200暂存在前一个功能单元500的第二过渡室530内。此时，前一个功能单元500可以利用其第一过渡室510和功能室520对后续工件进行处理，从而避免因功能单元500、下料室400暂时无法使用而导致整个连续真空镀膜***1000停止运行，以便进一步提高连续真空镀膜***1000的处理效率和处理量。

因此，根据本实用新型实施例的连续真空镀膜***1000具有处理效率和处理量高、处理效果好、制造成本和制造难度低、运行成本低等优点。

如图5所示，多个功能单元500可以包括清洗单元500a、第一镀膜单元500b和第二镀膜单元500c。可选地，上料室300、多个功能单元500和下料室400沿某一方向依次相连。例如，上料室300、清洗单元500a、第一镀膜单元500b、第二镀膜单元500c和下料室400沿某一方向依次相连。

如图5所示，清洗单元500a包括依次相连的第一过渡室510a、清洗室520a和第二过渡室530a，清洗单元500a的第一过渡室510a和上料室300相连。第一镀膜单元500b包括依次相连的第一过渡室510b、第一镀膜室520b和第二过渡室530b，第一镀膜单元500b的第一过渡室510b和清洗单元500a的第二过渡室530a相连。第二镀膜单元500c包括依次相连的第一过渡室510c、第二镀膜室520c和第二过渡室530c，第二镀膜单元500c的第一过渡室510c和第一镀膜单元500b的第二过渡室530b相连，第二镀膜单元500c的第二过渡室530c和下料室400相连。

可选地，上料室300、第一过渡室510a、清洗室520a、第二过渡室530a、第一过渡室510b、第一镀膜室520b、第二过渡室530b、第一过渡室510c、第二镀膜室520c、第二过渡室530c和下料室400沿某一方向(例如水平方向)依次相连。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本实用新型中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本实用新型的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本实用新型的限制，本领域的普通技术人员在本实用新型的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (13)

1.一种用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，包括：

底板和面板，所述底板和所述面板可拆卸地相连，所述底板和所述面板能够沿预设方向排列设置，所述预设方向能够与所述底板和所述面板中的每一者的厚度方向一致，所述底板和所述面板之间能够限定出用于夹持工件的夹持腔，其中所述底板设有沿其厚度方向贯通的第一镀膜窗口和/或所述面板设有沿其厚度方向贯通的第二镀膜窗口，所述第一镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通，所述第二镀膜窗口能够在所述预设方向上与所述夹持腔相对以便能够与所述夹持腔连通。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述底板和所述面板中的每一者的形状为多边形，所述底板的形状与所述面板的形状相同，其中所述底板和所述面板通过紧固件可拆卸地相连，所述紧固件能够设置在所述底板和所述面板中的每一者的拐角处。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，

所述底板具有在其厚度方向上相对的第一表面和第二表面，所述第一表面上设有多个第一凹槽，每个所述第一凹槽的底壁面设有所述第一镀膜窗口；

所述面板具有在其厚度方向上相对的第三表面和第四表面，所述第三表面上设有多个第二凹槽，每个所述第二凹槽的底壁面设有所述第二镀膜窗口，其中所述第一表面和所述第三表面能够在所述预设方向上相对设置，多个所述第一凹槽和多个所述第二凹槽能够在所述预设方向上一一相对，相对的所述第一凹槽和所述第二凹槽形成所述夹持腔。

4.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述夹持腔、所述第一镀膜窗口和所述第二镀膜窗口中的每一者排列成多行多列。

5.根据权利要求3所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，每个所述第一凹槽的所述底壁面的未设置所述第一镀膜窗口的部分构成第一夹持面，每个所述第二凹槽的所述底壁面的未设置所述第二镀膜窗口的部分构成第二夹持面，其中所述第一夹持面和所述第二夹持面中的每一者为环形面。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，进一步包括用于压制工件的弹性件，所述弹性件的一端能够抵靠在所述夹持腔的壁面上，所述弹性件能够处于形变状态以便将工件推向所述底板和所述面板中的一者。

7.根据权利要求6所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，进一步包括用于压制工件的压制件，所述弹性件的另一端能够抵靠在所述压制件上，所述弹性件能够处于形变状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板和所述面板中的一者上。

8.根据权利要求7所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述夹持腔能够具有在所述预设方向上相对的第一夹持面和第二夹持面，所述弹性件的所述一端能够抵靠在所述第二夹持面上，其中所述弹性件能够处于压缩状态以便能够通过所述压制件将工件压制在所述第一夹持面上。

9.根据权利要求8所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述弹性件的一端能够抵靠在所述面板上以便能够通过所述压制件将工件压制在所述底板上。

10.根据权利要求7所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，所述基片夹具包括至少四个所述弹性件和至少四个压制件，至少两个所述弹性件能够在第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述弹性件能够在第二方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能够在所述第一方向上相对且间隔设置，至少两个所述压制件能够在所述第二方向上相对且间隔设置，所述第一方向、所述第二方向和所述预设方向彼此垂直，其中所述弹性件的另一端能够一一对应地抵靠在所述压制件上。

11.根据权利要求10所述的用于真空镀膜的基片夹具，其特征在于，在所述第一方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第二方向延伸，在所述第二方向上相对且间隔设置的所述压制件能够沿所述第一方向延伸。

12.一种上下料设备，其特征在于，包括：

基片夹具，所述基片夹具为根据权利要求1-11中任一项所述的用于真空镀膜的基片夹具；以及

上料机械手和下料机械手，所述上料机械手和所述下料机械手中的每一者包括吸盘，所述上料机械手与所述基片夹具配合以便将工件放置在所述基片夹具上，所述下料机械手与所述基片夹具配合以便从所述基片夹具上取走工件。

13.一种连续真空镀膜***，其特征在于，包括基片夹具，所述基片夹具为根据权利要求1-11中任一项所述的用于真空镀膜的基片夹具。

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