CN216669797U - 一种扫描电子显微镜用ebsd可调样品固定台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，包括螺纹杆A，还包括样品固定台，所述螺纹杆A上端固定连接有基底块，所述基底块上端可拆卸连接有增高垫件A，所述增高垫件A上端可拆卸连接有增高垫件B，所述增高垫件B上端螺纹连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B上端固定连接有双面固定件，所述增高垫件A以及增高垫件B均由垫块和螺纹杆C组成，所述垫块下端固定连接有螺纹杆C，所述样品固定台底部固定连接有底柱。该一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台提供一系列EBSD样品的携带和位置、角度调整组件，可根据需求提前调整样品的高度和角度，提高测试效率，其与大部分扫描电子显微镜的EBSD台兼容，制作成本低。
Description
技术领域
本实用新型涉及扫描电子显微镜应用技术领域，特别涉及一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台。
背景技术
扫描电子显微镜是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品,通过光束与物质间的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大,视野大,成像立体效果好。此外,扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合,可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。
在一般的EBSD样品制备与测试流程中，样品需要在现场进行固定，消耗额外的机时，受限于样品和EBSD探头位置，有时候需要大幅调节样品高度，有时候需要倾侧样品，但在样品较小的情况下，大幅度倾转扫描电镜内置样品台容易导致组件间的碰撞。为此，我们提出一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台。
实用新型内容
本实用新型的主要目的在于提供一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，提供一系列EBSD样品的携带和位置、角度调整组件，可根据需求提前调整样品的高度和角度，提高测试效率，其与大部分扫描电子显微镜的EBSD台兼容，制作成本低，可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：
一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，包括螺纹杆A，还包括样品固定台，所述螺纹杆A上端固定连接有基底块，所述基底块上端可拆卸连接有增高垫件A，所述增高垫件A上端可拆卸连接有增高垫件B，所述增高垫件B上端螺纹连接有螺纹杆B，所述螺纹杆B上端固定连接有双面固定件，所述增高垫件A以及增高垫件B均由垫块和螺纹杆C组成，所述垫块下端固定连接有螺纹杆C，所述样品固定台底部固定连接有底柱。
与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：将样品固定台和样品粘连固定后，可使用任意数量的增高垫件来适配样品与EBSD探头位置，双面固定件提供20°和70°两个常用倾转面，侧面用紧定螺丝对***的样品固定台进行固定，可根据需求提前调整样品的高度和角度，提高测试效率。
附图说明
图1为本实用新型一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台的拆解结构示意图。
图2为本实用新型一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台的增高垫件结构示意图。
图中：1、螺纹杆C；2、样品固定台；3、底柱；4、螺纹杆A；5、基底块；6、增高垫件A；7、增高垫件B；8、螺纹杆B；9、双面固定件；10、垫块。
具体实施方式
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
如图1-2所示，一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，包括螺纹杆A4，还包括样品固定台2，所述螺纹杆A4上端固定连接有基底块5，所述基底块5上端可拆卸连接有增高垫件A6，所述增高垫件A6上端可拆卸连接有增高垫件B7，所述增高垫件B7上端螺纹连接有螺纹杆B8，所述螺纹杆B8上端固定连接有双面固定件9，所述增高垫件A6以及增高垫件B7均由垫块10和螺纹杆C1组成，所述垫块10下端固定连接有螺纹杆C1，所述样品固定台2底部固定连接有底柱3。
需要说明的是，本实用新型为一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，工作时，将样品固定台2和样品粘连固定后，可使用任意数量的增高垫件来适配样品与EBSD探头位置，双面固定件9提供20°和70°两个常用倾转面，侧面用紧定螺丝对***的样品固定台2进行固定，可根据需求提前调整样品的高度和角度，提高测试效率。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (1)
1.一种扫描电子显微镜用EBSD可调样品固定台，包括螺纹杆A(4)，其特征在于：还包括样品固定台(2)，所述螺纹杆A(4)上端固定连接有基底块(5)，所述基底块(5)上端可拆卸连接有增高垫件A(6)，所述增高垫件A(6)上端可拆卸连接有增高垫件B(7)，所述增高垫件B(7)上端螺纹连接有螺纹杆B(8)，所述螺纹杆B(8)上端固定连接有双面固定件(9)，所述增高垫件A(6)以及增高垫件B(7)均由垫块(10)和螺纹杆C(1)组成，所述垫块(10)下端固定连接有螺纹杆C(1)，所述样品固定台(2)底部固定连接有底柱(3)。
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