CN213878015U - 一种扫描电镜用样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种扫描电镜用样品台，属于扫描电镜测试技术领域，包括圆柱形的样品台本体；在所述样品台本体的上表面开设有N组滑道；每组滑道包括位于同一直线上的两条滑道，每条滑道的一端位于样品台本体的侧面，每条滑道的长度小于样品台本体的半径；所述直线与样品台本体的一条直径重合；在每条滑道上安装有一根立柱，所述立柱包括与所述滑道配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；在所述立杆上套接有压片；在所述立杆上开设有与螺母配合的外螺纹，所述滑道的轴截面成凸字形。本实用新型不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。
Description
技术领域
本实用新型属于扫描电镜测试技术领域，具体涉及一种扫描电镜用样品台。
背景技术
众所周知，扫描电子显微镜(SEM)是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的一种观察手段。其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过光束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大，视野大，成像立体效果好。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用。因此扫描电子显微镜在科学研究领域具有重大作用。
目前，扫描电镜测试中一般使用碳导电胶带固定样品，但对于减薄后的样品或InP、铌酸锂等易碎片，用碳胶带固定后，取样时容易造成样品断裂。且导电性差的样品通常需要喷金或者搭导电胶带改善导电性。
实用新型内容
本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种不需要碳胶带固定样品，便于取放样品的扫描电镜用样品台。
本实用新型的目的是提供一种扫描电镜用样品台，包括圆柱形的样品台本体(1)；
在所述样品台本体(1)的上表面开设有N组滑道(5)；每组滑道(5)包括位于同一直线上的两条滑道(5)，每条滑道(5)的一端位于样品台本体(1)的侧面，每条滑道(5)的长度小于样品台本体(1)的半径；所述直线与样品台本体(1)的一条直径重合；N为大于1的自然数；
在每条滑道(5)上安装有一根立柱(2)，所述立柱(2)包括与所述滑道(5)配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；
在所述立杆上套接有压片(4)；
在所述立杆上开设有与螺母(3)配合的外螺纹。
优选地，N等于2。
优选地，所述滑道(5)的轴截面成凸字形。
优选地，所述样品台本体(1)、立柱(2)和压片(4)均为铝材质制成。
优选地，所述滑块和立杆为一体成型结构。
本实用新型具有的优点和积极效果是：
本申请通过采用上述技术方案，不需要碳胶带固定样品，便于取放样品，减小薄片、易碎片的碎片风险。压片与样片上表面直接接触，改善样品的导电性，利于导电性差样品的测试。
附图说明
图1是本实用新型优选实例的俯视图；
图2是本实用新型优选实例的局部结构俯视图，主要用于显示样品台和滑道的关系；
图3是本实用新型优选实例中滑道的主视图；
图4是本实用新型优选实例中立柱的结构图；
图5为本实用新型优选实例中压片的结构图。
其中：1、样品台本体；2、立柱；3、螺母；4、压片；5、滑道；6、样品。
具体实施方式
为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
如图1至图5所示，本实用新型的技术方案为：
一种扫描电镜用样品台，包括圆柱形的样品台本体1；
在所述样品台本体1的上表面开设有两组(根据实际需要，滑道组的数量可以调整，但是不少于两组)滑道5；每组滑道5包括位于同一直线上的两条滑道5，每条滑道5的一端位于样品台本体1的侧面，每条滑道5的长度小于样品台本体1的半径；所述直线与样品台本体1的一条直径重合；在每条滑道5上安装有一根立柱2，所述立柱2包括与所述滑道5配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；所述滑块和立杆为一体成型结构。
在所述立杆上套接有压片4；
在所述立杆上开设有与螺母3配合的外螺纹。
如图3所示，所述滑道5的轴截面成凸字形。滑块从样品台本体1侧壁划入，进而嵌入滑道5下部的大口径部位，立杆从滑道5上部的小口径通道穿出；
所述样品台本体1、立柱2和压片4均为铝材质制成。
上述优选实施例的工作原理为：样品台本体上带有立柱滑道，带螺纹的立柱可沿滑道移动。将样品6放在样品台本体上表面的中心位置，推动立柱使其移到样品附近，将压片套在立柱上，通过螺母固定压片的方式固定样品。
以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种扫描电镜用样品台；包括圆柱形的样品台本体(1)；其特征在于：
在所述样品台本体(1)的上表面开设有N组滑道(5)；每组滑道(5)包括位于同一直线上的两条滑道(5)，每条滑道(5)的一端位于样品台本体(1)的侧面，每条滑道(5)的长度小于样品台本体(1)的半径；所述直线与样品台本体(1)的一条直径重合；N为大于1的自然数；
在每条滑道(5)上安装有一根立柱(2)，所述立柱(2)包括与所述滑道(5)配合运动的滑块、固定于滑块上表面的立杆；
在所述立杆上套接有压片(4)；
在所述立杆上开设有与螺母(3)配合的外螺纹。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜用样品台，其特征在于，N等于2。
3.根据权利要求1或2所述的扫描电镜用样品台，其特征在于，所述滑道(5)的轴截面成凸字形。
4.根据权利要求1所述的扫描电镜用样品台，其特征在于，所述样品台本体(1)、立柱(2)和压片(4)均为铝材质制成。
5.根据权利要求4所述的扫描电镜用样品台，其特征在于，所述滑块和立杆为一体成型结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022987863.6U CN213878015U (zh) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | 一种扫描电镜用样品台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022987863.6U CN213878015U (zh) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | 一种扫描电镜用样品台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213878015U true CN213878015U (zh) | 2021-08-03 |
Family
ID=77067422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022987863.6U Active CN213878015U (zh) | 2020-12-10 | 2020-12-10 | 一种扫描电镜用样品台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213878015U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115491642A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-12-20 | 研博智创任丘科技有限公司 | 一种电弧蒸发镀膜装置 |
-
2020
- 2020-12-10 CN CN202022987863.6U patent/CN213878015U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115491642A (zh) * | 2022-09-23 | 2022-12-20 | 研博智创任丘科技有限公司 | 一种电弧蒸发镀膜装置 |
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