CN214123830U - 一种针对蔡司扫描电镜ebsd测试过程的样品台 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，包括：T字型样品台，包括长方体形状的竖梁，竖梁的顶端连接有横梁，横梁的形状为四棱柱，横梁的顶面与水平面的夹角为20°，横梁的前表面与顶面相互垂直，沿着前表面和顶面的长度方向均匀设置有多个第一螺纹孔；样品座，固定连接在竖梁的底端；载物平台，包括分别与第一螺纹孔螺纹连接的固定杆，固定杆的顶端连接有载物片；侧板，分别连接在前表面和顶面的两侧且与前表面和顶面垂直，侧板上设置有多个与第一螺纹孔一一对应的第二螺纹孔，每个第二螺纹孔内设置有螺杆，螺杆靠近载物片的一端连接有夹紧片；本实用新型提供了一种一次能承载多个样品的EBSD样品台。
Description
技术领域
本实用新型属于扫描电镜耗材技术领域，具体涉及一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台。
背景技术
随着科学技术的进步，新材料产业发展突飞猛进，带动了材料研究领域的技术革新，显微结构下的材料研究愈加频繁，而材料的研究成果也推动了其发展。在EBSD条件下，材料的微观组织结构及微织构表征的研究是研究工作者的一项极其重要的工作。目前，做EBSD分析用的样品台装置是一个具有70°斜面的样品台，该样品台为铜制材料，较软，易破损，且样品不容易固定，易漂移，尤其是斜面面积太小，仅有10mm大小，每次只能安装一个样品进行EBSD分析，若要继续分析下一个样品，需要将样品重新取下再次安装新的样品，大大增加了实验周期，整个操作流程过于频繁，不利于样品的快速高效分析。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，提供了一种一次能承载多个样品的EBSD样品台。
本实用新型所采用的技术方案是，一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，包括：
T字型样品台，包括长方体形状的竖梁，竖梁的顶端连接有横梁，横梁的形状为四棱柱，横梁的顶面与水平面的夹角为20°，横梁的前表面与顶面相互垂直，沿着前表面和顶面的长度方向均匀设置有多个第一螺纹孔；
样品座，固定连接在竖梁的底端；
载物平台，包括分别与第一螺纹孔螺纹连接的固定杆，固定杆的顶端连接有载物片；
侧板，分别连接在前表面和顶面的两侧且与前表面和顶面垂直，侧板上设置有多个与第一螺纹孔一一对应的第二螺纹孔，每个第二螺纹孔内设置有螺杆，螺杆靠近载物片的一端连接有夹紧片。
第一螺纹孔分别与前表面和顶面垂直，第二螺纹孔与侧板垂直，夹紧片与螺杆垂直。
前表面和顶面的两侧分别设置有深凹槽，侧板通过深凹槽分别与前表面和顶面可拆卸连接。
螺杆上远离夹紧片的一端拆卸连接有限位片。
载物片与夹紧片的高度一致。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，通过夹紧片和载物片将样品分别锁紧在顶面和前表面上时，可实现20°、70°方向的扫描，并且在顶面和前表面上均能实现每次多个样品装样，避免了频繁地放真空—装样—抽真空等操作，实现了多个样品批量扫描，提高了扫描测试的速率；具体操作时，可以通过螺杆在夹紧片和载物片之间夹持多种形状的样品，比如可以放置规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，放置好之后，通过转动螺杆将样品夹紧，因此提高了电镜扫描样品的实用性。
附图说明
图1是本实用新型一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台的立体图；
图2是本实用新型一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台的侧视图。
图中，1.T字型样品台，2.竖梁，3.横梁，4.顶面，5.前表面，6.第一螺纹孔，7.样品座，8.载物平台，9.固定杆，10.载物片，11.侧板，12.第二螺纹孔，13螺杆，14.限位片，15.夹紧片，16.深凹槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进行详细说明。以下实施例仅用于更加清楚的说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护方案。
实施例1
本实用进行公开的针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台如图1-图2所示，包括T字型样品台1、样品座7、载物平台8以及侧板11等，其中T字型样品台1包括长方体形状的竖梁2，竖梁2的顶端连接有横梁3，横梁3的形状为四棱柱，横梁3的顶面4与水平面的夹角为20°，横梁3的前表面5与顶面4相互垂直，沿着前表面5和顶面4的长度方向均匀设置有多个第一螺纹孔6；样品座7固定连接在竖梁2的底端；载物平台8包括分别与第一螺纹孔6螺纹连接的固定杆9，固定杆的顶端连接有载物片10；侧板11分别连接在前表面5和顶面4的两侧且与前表面5和顶面4垂直，侧板11上设置有多个与第一螺纹孔6一一对应的第二螺纹孔12，每个第二螺纹孔12内设置有螺杆13，螺杆13靠近载物片10的一端连接有夹紧片15，载物片10与夹紧片15的高度一致，螺杆13上远离夹紧片15的一端拆卸连接有限位片14，限位片14用在在螺杆转动的时候时候限制螺杆13的位置。
进一步的，第一螺纹孔6分别与前表面5和顶面4垂直，第二螺纹孔12与侧板11垂直，夹紧片15与螺杆13垂直。
前表面5和顶面4的两侧分别设置有深凹槽16，侧板11通过深凹槽16分别与前表面5和顶面4可拆卸连接；使用时，直接将侧板11插在深凹槽16内，待测试完成后，将螺纹杆旋出后可以直接将侧板11从深凹槽16拔出，从而方便测试台的存放。
本实用新型公开的针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台在工作时，通过夹紧片15和载物片10将样品分别锁紧在顶面4和前表面5上时，可实现20°、70°方向的扫描，并且在顶面4和前表面5上均能实现每次多个样品装样，避免了频繁地放真空—装样—抽真空等操作，实现了多个样品批量扫描，提高了扫描测试的速率；具体操作时，可以通过螺杆13在夹紧片15和载物片10之间夹持多种形状的样品，比如可以放置规则长方体、不规则块状体和薄片状样品，放置好之后，通过转动螺杆13将样品夹紧，因此提高了电镜扫描样品的实用性。
以上所述的实施例仅为本实用新型较佳的具体实施方式，本实用新型的保护范围不限于此，任何熟悉本领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可显而易见的得到的技术方案的简单变化或者等效替换，均属于本实用新型的保护范围。
Claims (3)
1.一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，其特征在于，包括：
T字型样品台(1)，包括长方体形状的竖梁(2)，所述竖梁(2)的顶端连接有横梁(3)，所述横梁(3)的形状为四棱柱，所述横梁(3)的顶面(4)与水平面的夹角为20°，所述横梁(3)的前表面(5)与所述顶面(4)相互垂直，沿着所述前表面(5)和顶面(4)的长度方向均匀设置有多个第一螺纹孔(6)；
样品座(7)，固定连接在所述竖梁(2)的底端；
载物平台(8)，包括分别与所述第一螺纹孔(6)螺纹连接的固定杆(9)，所述固定杆的顶端连接有载物片(10)；
侧板(11)，分别连接在所述前表面(5)和顶面(4)的两侧且与所述前表面(5)和顶面(4)垂直，所述侧板(11)上设置有多个与所述第一螺纹孔(6)一一对应的第二螺纹孔(12)，每个所述第二螺纹孔(12)内设置有螺杆(13)，所述螺杆(13)靠近所述载物片(10)的一端连接有夹紧片(15)；
所述前表面(5)和顶面(4)的两侧分别设置有深凹槽(16)，所述侧板(11)通过所述深凹槽(16)分别与所述前表面(5)和顶面(4)可拆卸连接；
所述螺杆(13)上远离所述夹紧片(15)的一端拆卸连接有限位片(14)，限位片(14)用在螺杆转动的时候限制螺杆(13)的位置。
2.根据权利要求1所述的一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，其特征在于，所述第一螺纹孔(6)分别与所述前表面(5)和顶面(4)垂直，所述第二螺纹孔(12)与所述侧板(11)垂直，所述夹紧片(15)与所述螺杆(13)垂直。
3.根据权利要求1所述的一种针对蔡司扫描电镜EBSD测试过程的样品台，其特征在于，所述载物片(10)与所述夹紧片(15)的高度一致。
Priority Applications (1)
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN115128109A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-09-30 | 北京化工大学 | 基于取向标定校正的ebsd样品台及图像获取方法 |
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2021
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Cited By (2)
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| CN115128109A (zh) * | 2022-09-02 | 2022-09-30 | 北京化工大学 | 基于取向标定校正的ebsd样品台及图像获取方法 |
| CN115128109B (zh) * | 2022-09-02 | 2022-11-25 | 北京化工大学 | 基于取向标定校正的ebsd样品台及图像获取方法 |
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