CN214795084U - 一种带有智能测试单元的半导体测试设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种带有智能测试单元的半导体测试设备，涉及半导体测试设备技术领域。本实用新型包括测试台和顶板，测试台上表面固定连接有滑动柱和转动块，转动块上表面转动连接有螺杆，滑动柱侧面开设有滑动槽，滑动槽内滑动连接有滑动板，滑动板两端均固定连接有第一限位块和卡块，滑动板下表面固定连接有智能测试针头，滑动柱顶部与顶板固定连接，顶板上表面固定连接有电机，电机侧面转动连接有第一转轴，第一转轴远离电机的一端固定连接有第一齿轮，螺杆顶部固定连接有第二转轴，第二转轴贯穿顶板并固定连接有第二齿轮。本实用新型通过设置滑动柱、移动板和螺杆，便于调整位置，从而提高检测准确性，具有良好的推广前景。

Description

一种带有智能测试单元的半导体测试设备

技术领域

本实用新型属于半导体测试设备技术领域，特别是涉及一种带有智能测试单元的半导体测试设备。

背景技术

半导体器件测试是为了检验规格的一致性而在晶圆级集成电路上进行的电学参数测量，目的是检验并挑选出可接受的电学性能合格的器件，一种半导体测试设备是用于测试制造的半导体器件的故障以及在运输到市场前根据测试结果对半导体器件进行分类的设备，半导体测试设备进行半导体测试时，是通过将探针卡上的探针直接与芯片上的测试垫直接接触，引出芯片讯号从而完成测试，现有的一些半导体测试设备无法更具需要调整测试针头的高度，以及需要测试的半导***置，因此提出一种带有智能测试单元的半导体测试设备，来解决现有的一些半导体测试设备无法根据需要来调整测试针头的高度，以及需要测试的半导***置，造成检测结果可能不准确的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种带有智能测试单元的半导体测试设备，解决现有的一些半导体测试设备无法根据需要来调整测试针头的高度，以及需要测试的半导***置，造成检测结果可能不准确的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种带有智能测试单元的半导体测试设备，包括测试台和顶板，所述测试台上表面固定连接有滑动柱和转动块，所述转动块上表面转动连接有螺杆，所述滑动柱侧面开设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有滑动板，所述滑动板两端均固定连接有第一限位块和卡块，所述滑动板下表面固定连接有智能测试针头，所述滑动柱顶部与顶板固定连接，所述顶板上表面固定连接有电机，所述电机侧面转动连接有第一转轴，所述第一转轴远离电机的一端固定连接有第一齿轮，所述螺杆顶部固定连接有第二转轴，所述第二转轴贯穿顶板并固定连接有第二齿轮，所述测试台上表面固定连接有移动板，所述移动板侧面开设有移动槽，所述移动槽内滑动连接有放置板，所述放置板上表面开设有放置槽，所述移动板侧面固定连接有第二限位块。

进一步地，所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合，通过设置第一齿轮与第二齿轮相互啮合，当第一齿轮转动时，会带动第二齿轮转动。

进一步地，所述螺杆通过第二转轴与第二齿轮固定连接，所述第一齿轮通过第一转轴与电机转动连接，通过设置第一转轴与第一齿轮固定连接，当第一转轴转动，第一转轴带动第一齿轮转动，第一齿轮带动第二齿轮转动，从而使螺杆转动。

进一步地，所述滑动板与滑动槽尺寸相适应，所述滑动板与滑动槽滑动配合，通过在滑动槽内滑动连接滑动板，使滑动板可以调节高度。

进一步地，所述移动槽与放置板尺寸相适应，所述移动槽与放置板滑动配合，通过在移动槽内滑动连接放置板，使放置板方便调节位置。

进一步地，所述螺杆通过转动块与测试台转动连接，通过设置转动块，使螺杆可以在转动块中转动。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过在电机侧面转动连接有第一转轴，第一转轴远离电机的一端固定连接有第一齿轮，螺杆顶部固定连接有第二转轴，第二转轴贯穿顶板并固定连接有第二齿轮，测试台上表面固定连接有移动板，移动板侧面开设有移动槽，移动槽内滑动连接有放置板，放置板上表面开设有放置槽，移动板侧面固定连接有第二限位块，当电机开始工作，电机通过第一转轴带动第一齿轮转动，通过第一齿轮与第二齿轮啮相互啮合，使螺杆在转动块内转动，从而使滑动板上下移动，通过调整第一限位块位置，来限制滑动板距离，通过滑动放置板来调整位置，从而可以根据需要调整位置，提高了检测结果准确性。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一种带有智能测试单元的半导体测试设备的整体示意图；

图2为本实用新型的一种带有智能测试单元的半导体测试设备的放置板示意图；

图3为本实用新型的一种带有智能测试单元的半导体测试设备的前视示意图；

图4为本实用新型的一种带有智能测试单元的半导体测试设备的侧视示意图；

图5为图4的A部分局部放大图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、测试台；2、转动块；3、滑动柱；4、滑动槽；5、第一限位块；6、卡块；7、滑动板；8、智能测试针头；9、移动板；10、移动槽；11、放置板；12、放置槽；13、第二限位块；14、螺杆；15、顶板；16、电机；17、第一转轴；18、第一齿轮；19、第二转轴；20、第二齿轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-5所示，本实用新型为一种带有智能测试单元的半导体测试设备，包括测试台1和顶板15，测试台1上表面固定连接有滑动柱3和转动块2，转动块2上表面转动连接有螺杆14，滑动柱3侧面开设有滑动槽4，滑动槽4内滑动连接有滑动板7，滑动板7两端均固定连接有第一限位块5和卡块6，滑动板7下表面固定连接有智能测试针头8，滑动柱3顶部与顶板15固定连接，顶板15上表面固定连接有电机16，电机16侧面转动连接有第一转轴17，第一转轴17远离电机16的一端固定连接有第一齿轮18，螺杆14顶部固定连接有第二转轴19，第二转轴19贯穿顶板15并固定连接有第二齿轮20，测试台1上表面固定连接有移动板9，移动板9侧面开设有移动槽10，移动槽10内滑动连接有放置板11，放置板11上表面开设有放置槽12，移动板9侧面固定连接有第二限位块13。

优选地，第一齿轮18与第二齿轮20相互啮合，通过设置第一齿轮18与第二齿轮20相互啮合，当第一齿轮18转动时，会带动第二齿轮20转动。

优选地，螺杆14通过第二转轴19与第二齿轮20固定连接，第一齿轮18通过第一转轴17与电机16转动连接，通过设置第一转轴17与第一齿轮18固定连接，当第一转轴17转动，第一转轴17带动第一齿轮18转动，第一齿轮18带动第二齿轮20转动，从而使螺杆14转动。

优选地，滑动板7与滑动槽4尺寸相适应，滑动板7与滑动槽4滑动配合，通过在滑动槽4内滑动连接滑动板7，使滑动板7可以调节高度。

优选地，移动槽10与放置板11尺寸相适应，移动槽10与放置板11滑动配合，通过在移动槽10内滑动连接放置板11，使放置板11方便调节位置。

优选地，螺杆14通过转动块2与测试台1转动连接，通过设置转动块2，使螺杆14可以在转动块2中转动。

如图1-5所示,本实施例为一种带有智能测试单元的半导体测试设备的使用方法：电机16型号为“DS-25RS370”，电机16侧面转动连接有第一转轴17，第一转轴17远离电机16的一端固定连接有第一齿轮18，螺杆14顶部固定连接有第二转轴19，第二转轴19贯穿顶板15并固定连接有第二齿轮20，测试台1上表面固定连接有移动板9，移动板9侧面开设有移动槽10，移动槽10内滑动连接有放置板11，放置板11上表面开设有放置槽12，移动板9侧面固定连接有第二限位块13，当电机16开始工作，电机16通过第一转轴17带动第一齿轮18转动，通过第一齿轮18与第二齿轮20啮相互啮合，使螺杆14在转动块2内转动，从而使滑动板7上下移动，通过调整第一限位块5位置，来限制滑动板7距离。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (6)

1.一种带有智能测试单元的半导体测试设备，包括测试台（1）和顶板（15），其特征在于：所述测试台（1）上表面固定连接有滑动柱（3）和转动块（2），所述转动块（2）上表面转动连接有螺杆（14），所述滑动柱（3）侧面开设有滑动槽（4），所述滑动槽（4）内滑动连接有滑动板（7），所述滑动板（7）两端均固定连接有第一限位块（5）和卡块（6），所述滑动板（7）下表面固定连接有智能测试针头（8），所述滑动柱（3）顶部与顶板（15）固定连接，所述顶板（15）上表面固定连接有电机（16），所述电机（16）侧面转动连接有第一转轴（17），所述第一转轴（17）远离电机（16）的一端固定连接有第一齿轮（18），所述螺杆（14）顶部固定连接有第二转轴（19），所述第二转轴（19）贯穿顶板（15）并固定连接有第二齿轮（20），所述测试台（1）上表面固定连接有移动板（9），所述移动板（9）侧面开设有移动槽（10），所述移动槽（10）内滑动连接有放置板（11），所述放置板（11）上表面开设有放置槽（12），所述移动板（9）侧面固定连接有第二限位块（13）。

2.根据权利要求1所述的一种带有智能测试单元的半导体测试设备，其特征在于，所述第一齿轮（18）与第二齿轮（20）相互啮合。

3.根据权利要求1所述的一种带有智能测试单元的半导体测试设备，其特征在于，所述螺杆（14）通过第二转轴（19）与第二齿轮（20）固定连接，所述第一齿轮（18）通过第一转轴（17）与电机（16）转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种带有智能测试单元的半导体测试设备，其特征在于，所述滑动板（7）与滑动槽（4）尺寸相适应，所述滑动板（7）与滑动槽（4）滑动配合。

5.根据权利要求1所述的一种带有智能测试单元的半导体测试设备，其特征在于，所述移动槽（10）与放置板（11）尺寸相适应，所述移动槽（10）与放置板（11）滑动配合。

6.根据权利要求1所述的一种带有智能测试单元的半导体测试设备，其特征在于，所述螺杆（14）通过转动块（2）与测试台（1）转动连接。

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