CN216449623U - 一种用于高精密芯片测试的探针台 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于高精密芯片测试的探针台，涉及高精密芯片测试技术领域。本实用新型包括底座，底座上表面设有限位杆、升降丝杆、气缸和支撑架，限位杆表面设有升降台，升降丝杆穿透升降台并与升降台螺纹连接，升降丝杆上表面设有电机，电机输出端同轴连接有连杆，连杆与升降丝杆同轴连接。本实用新型通过气缸，在使用时，启动气缸，从而升降工作台，随后将芯片通过固定槽和支撑块固定，随后启动电机随后带动升降丝杆旋转，从而带动升降台升降，随后移动滑动块将探针移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台，从而对其他位置进行测试，较为便捷。

Description

一种用于高精密芯片测试的探针台

技术领域

本实用新型属于高精密芯片测试技术领域，特别是涉及一种用于高精密芯片测试的探针台。

背景技术

探针台主要用于半导体行业、光电行业、集成电路以及芯片上的高精密电学测量。随着行业的发展，被测器件的种类越来越多，要求也越来越复杂，探针台的功能必须有相应的提升。被测器件对于被测环境的要求越来越多，不同温度的变化是其中非常重要的要求，在此基础上，测试效率也是不可忽视的重要因素。

现有的探针台不能随意调节高度，同时现有的探针台在对不同位置进行检测时，需要人工移动至其他位置从而进行检测，较为麻烦，不便于使用。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于高精密芯片测试的探针台，解决现有的探针台不能随意调节高度，同时现有的探针台在对不同位置进行检测时，需要人工移动至其他位置从而进行检测，较为麻烦，不便于使用的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

本实用新型为一种用于高精密芯片测试的探针台，包括底座，所述底座上表面设有限位杆、升降丝杆、气缸和支撑架，所述限位杆表面设有升降台，所述升降丝杆穿透升降台并与升降台螺纹连接，所述升降丝杆上表面设有电机，所述电机输出端同轴连接有连杆，所述连杆与升降丝杆同轴连接，所述支撑架包括下支架和上支架，所述上支架与下支架滑动连接，所述上支架上表面设有支撑盘，所述支撑盘上表面设有转轴，所述转轴上表面设有工作台，所述工作台通过转轴与支撑盘转动连接，所述工作台上表面设有固定槽，所述固定槽内设有弹簧，所述弹簧一端设有支撑块，所述升降台前表面设有滑动杆，所述滑动杆下表面设有滑槽和滑动块，所述滑动块通过滑槽与滑动杆滑动连接，所述滑动块下表面设有探针；上述结构，在使用时，启动气缸，从而升降工作台，随后将芯片通过固定槽和支撑块固定，随后启动电机随后带动升降丝杆旋转，从而带动升降台升降，随后移动滑动块将探针移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台，从而对其他位置进行测试，较为便捷。

优选地，两个所述限位杆分别位于升降台上表面两端，且所述限位杆上表面设有限位环；保证升降台的稳定。

优选地，四个所述弹簧分别位于工作台左右表面两端；保证支撑块的稳定。

优选地，所述支撑块的尺寸与固定槽相适应，且所述支撑块通过固定槽与工作台滑动连接；保证支撑块可顺利滑动。

优选地，四个所述支撑架分别位于支撑盘下表面四角；保证支撑盘的稳定。

优选地，两个所述支撑块分别位于固定槽内并对称分布；保证可通过支撑块将芯片固定。

优选地，所述转轴分别与支撑盘和工作台同轴连接；保证工作台可顺利旋转。

本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型通过气缸，在使用时，启动气缸，从而升降工作台，随后将芯片通过固定槽和支撑块固定，随后启动电机随后带动升降丝杆旋转，从而带动升降台升降，随后移动滑动块将探针移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台，从而对其他位置进行测试，较为便捷。

当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的一种用于高精密芯片测试的探针台的左侧三维结构示意图；

图2为本实用新型的一种用于高精密芯片测试的探针台的下侧三维结构示意图；

图3为本实用新型的一种用于高精密芯片测试的探针台的左视图；

图4为图1中A区域的放大视图；

图5为图3中B区域的放大视图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、底座；2、升降台；3、电机；300、连杆；4、限位杆；400、限位环；5、升降丝杆；6、滑动杆；600、滑槽；601、滑动块；602、探针；7、气缸；700、支撑盘；701、转轴；8、支撑架；800、下支架；801、上支架；9、工作台；900、固定槽；901、弹簧；902、支撑块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“一端”、“另一端”、“一侧”、“另一侧”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装有”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-5所示，本实用新型为一种用于高精密芯片测试的探针台，包括底座1，底座1上表面设有限位杆4、升降丝杆5、气缸7和支撑架8，限位杆4表面设有升降台2，升降丝杆5穿透升降台2并与升降台2螺纹连接，升降丝杆5上表面设有电机3，电机3输出端同轴连接有连杆300，连杆300与升降丝杆5同轴连接；四个支撑架8分别位于支撑盘700下表面四角；保证支撑盘700的稳定；

支撑架8包括下支架800和上支架801，上支架801与下支架800滑动连接，上支架801上表面设有支撑盘700，支撑盘700上表面设有转轴701，转轴701上表面设有工作台9；

工作台9通过转轴701与支撑盘700转动连接，工作台9上表面设有固定槽900，固定槽900内设有弹簧901，弹簧901一端设有支撑块902，升降台2前表面设有滑动杆6，滑动杆6下表面设有滑槽600和滑动块601，滑动块601通过滑槽600与滑动杆6滑动连接，滑动块601下表面设有探针602；四个弹簧901分别位于工作台9左右表面两端；保证支撑块902的稳定；支撑块902的尺寸与固定槽900相适应，且支撑块902通过固定槽900与工作台9滑动连接；保证支撑块902可顺利滑动；上述结构，在使用时，启动气缸7，从而升降工作台9，随后将芯片通过固定槽900和支撑块902固定，随后启动电机3随后带动升降丝杆5旋转，从而带动升降台2升降，随后移动滑动块601将探针602移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台9，从而对其他位置进行测试，较为便捷。

进一步地，两个限位杆4分别位于升降台2上表面两端，且限位杆4上表面设有限位环400；保证升降台2的稳定

进一步地，两个支撑块902分别位于固定槽900内并对称分布；保证可通过支撑块902将芯片固定。

进一步地，转轴701分别与支撑盘700和工作台9同轴连接；保证工作台9可顺利旋转。

进一步地，电机3的型号为DS-25RS370。

如图1-5所示，本实施例为一种用于高精密芯片测试的探针台的使用方法：在使用时，启动气缸7，从而升降工作台9，随后将芯片通过固定槽900、弹簧901和支撑块902固定，随后启动电机3随后带动升降丝杆5旋转，从而带动升降台2升降，随后移动滑动块601将探针602移动至需要测试的位置，从而对芯片进行测试，当需要对其他位置进行测试时，旋转工作台9，从而对其他位置进行测试，较为便捷。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (7)

1.一种用于高精密芯片测试的探针台，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)上表面设有限位杆(4)、升降丝杆(5)、气缸(7)和支撑架(8)，所述限位杆(4)表面设有升降台(2)，所述升降丝杆(5)穿透升降台(2)并与升降台(2)螺纹连接，所述升降丝杆(5)上表面设有电机(3)，所述电机(3)输出端同轴连接有连杆(300)，所述连杆(300)与升降丝杆(5)同轴连接，所述支撑架(8)包括下支架(800)和上支架(801)，所述上支架(801)与下支架(800)滑动连接，所述上支架(801)上表面设有支撑盘(700)，所述支撑盘(700)上表面设有转轴(701)，所述转轴(701)上表面设有工作台(9)，所述工作台(9)通过转轴(701)与支撑盘(700)转动连接，所述工作台(9)上表面设有固定槽(900)，所述固定槽(900)内设有弹簧(901)，所述弹簧(901)一端设有支撑块(902)，所述升降台(2)前表面设有滑动杆(6)，所述滑动杆(6)下表面设有滑槽(600)和滑动块(601)，所述滑动块(601)通过滑槽(600)与滑动杆(6)滑动连接，所述滑动块(601)下表面设有探针(602)。

2.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：两个所述限位杆(4)分别位于升降台(2)上表面两端，且所述限位杆(4)上表面设有限位环(400)。

3.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：四个所述弹簧(901)分别位于工作台(9)左右表面两端。

4.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：所述支撑块(902)的尺寸与固定槽(900)相适应，且所述支撑块(902)通过固定槽(900)与工作台(9)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：四个所述支撑架(8)分别位于支撑盘(700)下表面四角。

6.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：两个所述支撑块(902)分别位于固定槽(900)内并对称分布。

7.根据权利要求1所述的一种用于高精密芯片测试的探针台，其特征在于：所述转轴(701)分别与支撑盘(700)和工作台(9)同轴连接。

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