CN208801354U - 一种三轴机械手 - Google Patents
一种三轴机械手 Download PDFInfo
- Publication number
- CN208801354U CN208801354U CN201821519175.3U CN201821519175U CN208801354U CN 208801354 U CN208801354 U CN 208801354U CN 201821519175 U CN201821519175 U CN 201821519175U CN 208801354 U CN208801354 U CN 208801354U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- axis
- control system
- axis mechanism
- frock clamp
- slide rail
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种三轴机械手，包括X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、升降气缸和工装夹具；所述Y轴机构通过X轴滑座固定在X轴机构上，Z轴机构通过Y轴滑座垂直固定在Y轴机构上；Z轴机构下设有升降气缸和工装夹具，工装夹具上安装有物料、防撞传感器；通过PLC控制***内的电气控制***控制三轴机械手的各个机构运作，当抓取过程中出现错误，物料、防撞传感器会发送信息给PLC控制***内的电气控制***，停止各机构运行，并发出警报。本实用新型通过在插片清洗设备内设置三个轴独立的驱动装置，并在Z轴上安装特定的工装夹具，抓取插片机内的硅片花篮，实现其在插片机与清洗设备之间的快速交换。
Description
技术领域
本实用新型涉及机械手臂，具体涉及半导体硅片插片清洗一体机机用的内置硅片承载器搬运机械手，属于机械臂的技术领域。
背景技术
目前，随着全自动高速插片机和清洗设备的不断升级，插片机中的硅片承载器(以下简称“花篮”)的搬运工作，通常是人工搬运硅片承载，严重影响了整个生产效率的提高，
发明内容
本实用新型的目的是提供一种解决插片机与清洗设备之间的花篮搬运问题，实现花篮在插片机与清洗设备之间的快速交换，并且中间无需人工搬运的全自动机械手装置。
为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案是提供了一种三轴机械手，包括X轴机构、Y轴机构、Z轴机构、升降气缸和工装夹具；
所述X轴机构包括X轴引拔臂，所述X轴引拔臂的一端设有X轴电机；所述X轴引拔臂上设有X轴线性滑轨，所述X轴滑座通过X轴带轮可移动的设在X轴线性滑轨上，通过X轴带轮，X轴滑座可在X轴引拔臂上的X轴线性滑轨内移动；
所述Y轴机构包括Y轴引拔臂，所述Y轴引拔臂的一端设有Y轴电机；所述Y轴引拔臂上设有Y轴线性滑轨，所述Y轴滑座通过Y轴带轮可移动的设在Y轴线性滑轨上，通过Y轴带轮，Y轴滑座可在Y轴引拔臂上的Y轴线性滑轨内移动；
所述Y轴机构通过X轴滑座固定在X轴机构上，所述Y轴机构与X轴机构在水平面上相互垂直；Y轴机构通过X轴滑座下的X轴带轮在X轴机构的X轴线性滑轨内移动；
所述Z轴机构通过Y轴滑座垂直固定在Y轴机构上，Z轴机构通过Y轴滑座下的Y轴带轮在Y轴机构的Y轴线性滑轨内移动；
所述Z轴机构下设有升降气缸，所述升降气缸与电磁阀连接，用于控制气缸的升降，所述升降气缸下设有工装夹具；
所述三轴机械手与PLC控制***相连，通过PLC控制***内的电气控制***控制三轴机械手的各个机构运作。
优选地，所述工装夹具通过夹具安装板与升降气缸连接。
优选地，所述工装夹具上设有感应开关，若在抓取过程中出现错误，通过感应开关把信号传送给PLC控制***，PLC控制***内的电气控制***会停止各机构工作，并报警。
优选地，所述工装夹具下对称设有防掉篮挂钩，所述防掉篮挂钩与感应开关相连，所述防掉篮挂钩通过感应开关把信号传给PLC控制***。
优选地，所述工装夹具上设有对称设有防压篮钩子，所述防压篮钩子与感应开关相连，所述防压篮钩子通过感应开关把信号传给PLC控制***。
优选地，所述工装夹具上设有对称设有防压篮钩子。
本实用新型通过在插片清洗设备内设置三个轴独立的驱动装置，并在Z轴上安装特定的工装夹具，抓取插片机内的硅片花篮，实现其在插片机与清洗设备之间的快速交换。本实用新型可以实现对物料的、上下运动；整个花篮的搬运过程所占时间大大减少，提高整个工作效率。
附图说明
图1为本实用新型提供的一种三轴机械手中的X轴机构结构示意图；
图2为本实用新型提供的一种三轴机械手中的Y轴机构结构示意图；
图3为本实用新型提供的一种三轴机械手中的Z轴机构结构示意图；
图4为本实用新型提供的一种三轴机械手中的工装夹具结构示意图；
图5为本实用新型提供的一种三轴机械手的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。
如图1至图5所示，为本实用新型提供的一种三轴机械手，包括X轴机构10、Y轴机构11、Z轴机构12、升降气缸6和工装夹具7；
所述X轴机构10包括X轴引拔臂10-1、X轴电机10-2、X轴线性滑轨10-3、X轴滑座3和X轴带轮10-4；所述X轴引拔臂10-1的一端设有X轴电机10-2；所述X轴引拔臂10-1上设有X轴线性滑轨10-3，所述X轴滑座3通过X轴带轮10-4可移动的设在X轴线性滑轨10-3上，通过X轴带轮10-4，X轴滑座3可在X轴引拔臂10-1上的X轴线性滑轨10-3内移动；
所述Y轴机构11包括Y轴引拔臂11-1、Y轴电机11-2、Y轴线性滑轨11-3、Y轴滑座5和Y轴带轮11-4；所述Y轴引拔臂11-1的一端设有Y轴电机11-2；所述Y轴引拔臂11-1上设有Y轴线性滑轨11-3，所述Y轴滑座5通过Y轴带轮11-4可移动的设在Y轴线性滑轨11-3上，通过Y轴带轮11-4，Y轴滑座5可在Y轴引拔臂11-1上的Y轴线性滑轨11-3内移动；
所述Y轴机构11通过X轴滑座3固定在X轴机构10上，所述Y轴机构11与X轴机构10在水平面上相互垂直；Y轴机构11通过X轴滑座3下的X轴带轮10-4在X轴机构10的X轴线性滑轨10-3内移动；
所述Z轴机构12通过Y轴滑座5垂直固定在Y轴机构11上，Z轴机构12通过Y轴滑座5下的Y轴带轮11-4在Y轴机构11的Y轴线性滑轨11-3内移动；
所述Z轴机构12通过下安装有升降气缸6，升降气缸6与Z轴机构12上的电磁阀8连接，用于控制气缸的升降；所述升降气缸6下设有工装夹具7，工装夹具7下设有一对防掉篮挂钩7-1，用于钩篮子和搬运篮子。
所述三轴机械手与PLC控制***相连，通过PLC控制***内的电气控制***控制三轴机械手的各个机构运作；电气控制***通过伺服驱动器控制X轴电机10-2、Y轴电机。
进一步，工装夹具7下还设有一对对称的防压篮钩子7-2，防掉篮挂钩7-1和防压篮钩子7-2可以通过工装夹具7的两侧的感应开关7-4把信号传给PLC；当机械手运行的位置不正确，气缸往下降的时压到花篮，该感应开关7-4会把信号立刻传给PLC控制***，通过PLC控制***内的电气控制***控制停止各机构的运行，并报警；当篮子在机械手上掉了的话，感应开关7-4会把信号传给PLC控制***，通过PLC控制***内的电气控制***控制停止各机构的运行，并报警。
本实用新型的所述三轴机械手与PLC控制***相连，通过PLC控制***内的电气控制***控制三轴机械手的各个机构运作；操作时，在PLC控制***内预设好X轴电机10-2、Y轴电机11-2的移动轨迹，当需要搬运花篮时，清洗设备内的三轴机械手X轴机构10、Y轴机构11运动到PLC控制***预设的位置，此时电磁阀8通电，带动升降气缸6上下动作，下降到花篮抓取点，随后X轴机构10、Z轴机构12再次运动，通过工装夹具7下的防掉篮挂钩7-1将花篮抓起；工装夹具7上装有感应开关7-4，能够避免物料抓取不牢和碰撞，当机械手运行的位置不正确，气缸往下降的时压到花篮，该感应开关7-4会把信号立刻传给PLC控制***，通过PLC控制***内的电气控制***控制停止各机构的运行，并报警；当篮子在机械手上掉了的话，感应开关7-4会把信号传给PLC控制***，通过PLC控制***内的电气控制***控制停止各机构的运行，并报警。
本实用新型的三轴机械手是连接插片机和清洗机的中间环节，使这两种机器可以无缝对接。当插片机上的花篮插满硅片后会到一个指定的位置。指定的位置上装有传感器，三轴机械手感应到有花篮然后把夹具移动到指定的位子，抓住花篮再放到清洗机的指定位置，清洗机上感应到花篮已放入后，三轴机械手的一个过程完成。
本实用新型通过在插片清洗设备内设置三个轴独立的驱动装置，并在Z轴上安装特定的工装夹具，抓取插片机内的硅片花篮，实现其在插片机与清洗设备之间的快速交换。本实用新型可以实现对物料的、上下运动；整个花篮的搬运过程所占时间大大减少，提高整个工作效率。
Claims (5)
1.一种三轴机械手，其特征在于，包括X轴机构(10)、Y轴机构(11)、Z轴机构(12)、升降气缸(6)和工装夹具(7)；
所述X轴机构(10)包括X轴引拔臂(10-1)，所述X轴引拔臂(10-1)的一端设有X轴电机(10-2)；所述X轴引拔臂(10-1)上设有X轴线性滑轨(10-3)，所述X轴滑座(3)通过X轴带轮(10-4)可移动的设在X轴线性滑轨(10-3)上，通过X轴带轮(10-4)，X轴滑座(3)可在X轴引拔臂(10-1)上的X轴线性滑轨(10-3)内移动；
所述Y轴机构(11)包括Y轴引拔臂(11-1)，所述Y轴引拔臂(11-1)的一端设有Y轴电机(11-2)；所述Y轴引拔臂(11-1)上设有Y轴线性滑轨(11-3)，所述Y轴滑座(5)通过Y轴带轮(11-4)可移动的设在Y轴线性滑轨(11-3)上，通过Y轴带轮(11-4)，Y轴滑座(5)可在Y轴引拔臂(11-1)上的Y轴线性滑轨(11-3)内移动；
所述Y轴机构(11)通过X轴滑座(3)固定在X轴机构(10)上，所述Y轴机构(11)与X轴机构(10)在水平面上相互垂直；Y轴机构(11)通过X轴滑座(3)下的X轴带轮(10-4)在X轴机构(10)的X轴线性滑轨(10-3)内移动；
所述Z轴机构(12)通过Y轴滑座(5)垂直固定在Y轴机构(11)上，Z轴机构(12)通过Y轴滑座(5)下的Y轴带轮(11-4)在Y轴机构(11)的Y轴线性滑轨(11-3)内移动；
所述Z轴机构(12)下设有升降气缸(6)，所述升降气缸(6)与电磁阀(8)连接，用于控制气缸的升降，所述升降气缸(6)下设有工装夹具(7)；
所述三轴机械手与PLC控制***相连，通过PLC控制***内的电气控制***控制三轴机械手的各个机构运作。
2.如权利要求1所述的一种三轴机械手，其特征在于，所述工装夹具(7)通过夹具安装板(7-3)与升降气缸(6)连接。
3.如权利要求2所述的一种三轴机械手，其特征在于，所述工装夹具(7)上设有感应开关(7-4)，若在抓取过程中出现错误，通过感应开关(7-4)把信号传送给PLC控制***，PLC控制***内的电气控制***会停止各机构工作，并报警。
4.如权利要求3所述的一种三轴机械手，其特征在于，所述工装夹具(7)下对称设有防掉篮挂钩(7-1)，所述防掉篮挂钩(7-1)通过感应开关(7-4)把信号传给PLC。
5.如权利要求4所述的一种三轴机械手，其特征在于，所述工装夹具(7)上设有对称设有防压篮钩子(7-2)，所述防压篮钩子(7-2)通过感应开关(7-4)把信号传给PLC。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821519175.3U CN208801354U (zh) | 2018-09-17 | 2018-09-17 | 一种三轴机械手 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821519175.3U CN208801354U (zh) | 2018-09-17 | 2018-09-17 | 一种三轴机械手 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN208801354U true CN208801354U (zh) | 2019-04-30 |
Family
ID=66237330
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821519175.3U Active CN208801354U (zh) | 2018-09-17 | 2018-09-17 | 一种三轴机械手 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN208801354U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112499237A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-16 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工件取放组件 |
-
2018
- 2018-09-17 CN CN201821519175.3U patent/CN208801354U/zh active Active
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112499237A (zh) * | 2020-12-03 | 2021-03-16 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工件取放组件 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3192699U (ja) | 移動台車装置を用いた加工装置及びその移動台車装置 | |
| CN207711409U (zh) | 一种机械手*** | |
| CN104525769A (zh) | 一种自动接送料冲压生产线 | |
| CN111573260B (zh) | 一种花键轴输送机器人 | |
| CN208801354U (zh) | 一种三轴机械手 | |
| CN207170665U (zh) | 一种五金智能加工*** | |
| CN210282287U (zh) | 一种牛头式三轴机械手 | |
| CN206139849U (zh) | 用于环类零件加工的数控车床及其下料装置 | |
| CN211761534U (zh) | 一种三轴桁架机械手***和一种三轴桁架机械手控制*** | |
| CN207480285U (zh) | 一种机器人打磨*** | |
| CN211945322U (zh) | 一种用于数控机床的上下料吸盘机械手 | |
| CN212096390U (zh) | 一种加工设备用机械手和生产线 | |
| CN218639278U (zh) | 一种镜片粗胚铣磨设备 | |
| JP2005280996A (ja) | 材料を板形状に加工する機械のための板状要素の荷役装置 | |
| CN215248103U (zh) | 一种电气自动控制的移料装置 | |
| CN208117839U (zh) | 一种搬运汽车轮胎的机械手 | |
| CN106670292A (zh) | 板材拉伸件自动化生产线控制*** | |
| CN217894448U (zh) | 轮辐落圆盘自动码垛装置 | |
| CN207789006U (zh) | 一种抓取搬运装置 | |
| CN206263960U (zh) | 柔性机械手结构 | |
| CN110190013A (zh) | 晶圆上料装置、晶圆上料方法及晶圆清洗设备 | |
| CN210763098U (zh) | 一种多位置智能抓取设备 | |
| CN106743713B (zh) | 一种含闭环子链的六自由度码垛机 | |
| CN106736958B (zh) | 修边单元离子渗氮强化的金属板材修边设备 | |
| CN214421734U (zh) | 一种真空吸附移载机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CP03 | Change of name, title or address | ||
| CP03 | Change of name, title or address |
Address after: No. 209, Zhangjing East Section, Xigang Road, Xibei Town, Xishan District, Wuxi City, Jiangsu Province, 214194 Patentee after: Wuxi Fuchuan Technology Co.,Ltd. Address before: 201808 Building 1, 89 Wuxiang Road, Xuxing Town, Jiading District, Shanghai Patentee before: Shanghai Fuchuan Intelligent Technology Co.,Ltd. Address after: 201808 Building 1, 89 Wuxiang Road, Xuxing Town, Jiading District, Shanghai Patentee after: Shanghai Fuchuan Intelligent Technology Co.,Ltd. Address before: 201800 Room J1078, Floor 2, Building 39, No. 52, Chengliu Road, Jiading District, Shanghai Patentee before: SHANGHAI FUCHUAN AUTOMATION EQUIPMENT Co.,Ltd. |