CN205808344U - 移位传感器 - Google Patents

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CN205808344U CN201490001237.5U CN201490001237U CN205808344U CN 205808344 U CN205808344 U CN 205808344U CN 201490001237 U CN201490001237 U CN 201490001237U CN 205808344 U CN205808344 U CN 205808344U
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Abstract

本实用新型的目的是抑制由光接收部接收的光量的减少。一种移位传感器(10)，包括：偏振光束分光器(23)，其将检测光和反射检测光分光；和偏振光束分光器(25)，其将入射到变焦镜(27)的光和反射光分光，并且移位传感器设置有法拉第旋转器(24)和四分之一波片(26)，以改变检测光和反射检测光的偏振。通过法拉第旋转器(24)和四分之一波片(26)将由偏振光束分光器(23、25)分光的两个光束的偏光角度设定为偏振光束分光器的P偏振光和S偏振光。结果，偏振光束分光器(23、25)能够将两个光束分光，并且抑制由偏振光束分光器(23、25)分光且由光接收部接收的光量减少。

Description

移位传感器
技术领域
本实用新型涉及一种光学移位传感器。
传统地，已经使用光学移位传感器作为以非接触方式测量测量目标的移位的移位传感器(参见专利文献1)。在该移位传感器中，在从光投射单元发射的光束发射到测量目标、并且通过光接收单元接收从测量目标反射的光束的结构中，发射到测量目标的光束的投射光轴和从测量目标反射的光束的接收光轴配置在相同轴上。基于从光投射单元到测量目标的光路长度以及通过连续地改变从测量目标到光接收单元的光路长度而改变的光接收单元的发射信号，来获取关于到测量目标的距离的信息。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:JP-A-2003-240509
实用新型内容
本实用新型要解决的问题
然而，在传统结构中，将半反射镜用作分开投光侧的光束和受光侧的光束的分光部件。如果将半反射镜用作分光部件，则当通过使用半反射镜使从光投射单元发出的光束朝向投光光轴时，光量减半。而且，当通过使用半反射镜使从测量目标反射的光束朝向光接收单元时，光量减半。由于该原因，出现了由光接收单元接收的光量减少的问题。
本描述公开了一种能够抑制由光接收部接收的光量减少的技术。
解决问题的方案
由本描述公开的移位传感器包括：光投射部，该光投射部发射处于第一偏光状态的检测光；第一分光部件，该第一分光部件具有将入射光分成具有所述第一偏光状态的光和具有第二偏光状态的光并且将其发射的性质，并且该第一分光部件使从所述光投射部入射的处于所述第一偏光状态的检测光透过；第一偏光旋转部件，该第一偏光旋转部件使从所述第一分光部件入射的处于所述第一偏光状态的所述检测光旋转为处于第三偏光状态的检测光；反射部件，该反射部件配置在从所述第一偏光旋转部件到测量目标的光路上，并且该反射部件与光轴的方向垂直地配置；第二分光部件，该第二分光部件具有将入射光分成具有所述第三偏光状态的光和具有第四偏光状态的光并且将其发射的性质，该第二分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于所述第三偏光状态的检测光透过、并且使其引导到所述反射部件，该第二分光部件使由所述反射部件反射的检测光引导到所述测量目标，并且该第二分光部件使由所述测量目标反射的反射检测光在光路上在相反方向上引导，所述检测光沿着所述光路引导到所述测量目标；光接收部，该光接收部通过所述第一偏光旋转部件和所述第一分光部件接收从所述第二分光部件入射的所述反射检测光；第二偏光旋转部件，该第二偏光旋转部件配置在从所述第二分光部件到所述反射部件的光路上；移动控制器，该移动控制器使所述检测光的焦点位置在所述光轴的方向上移动；以及位置判定单元，该位置判定单元根据由所述光接收部接收的光量判定所述测量目标的在所述光轴的方向上的位置，其中，所述第二偏光旋转部件使从所述第二分光部件入射的处于所述第三偏光状态的检测光旋转为处于所述第四偏光状态的检测光、并且使其返回到所述第二分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于所述第四偏光状态的检测光通过所述第二分光部件从而引导到所述测量目标，并且通过所述第二分光部件作为处于所述第四偏光状态的反射检测光，从而再次发射到所述反射部件，其中，所述第二偏光旋转部件还使从所述第二分光部件入射的处于所述第四偏光状态的检测光旋转为处于所述第三偏光状态的检测光并且使其返回到所述第二 分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于所述第三偏光状态的反射检测光通过所述第二分光部件，从而发射到所述第一偏光旋转部件，其中，所述第一偏光旋转部件使从所述第二偏光旋转部件入射的处于所述第三偏光状态的检测光旋转为处于所述第二偏光状态的检测光，并且其中，所述第一分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于所述第二偏光状态的检测光透过，并且使其引导到所述光接收部。
该移位传感器包括第一偏光旋转部件和第二偏光旋转部件。第一偏光旋转部件使从第一偏光状态入射的处于第一偏光状态的检测光入射到第一分光部件，作为处于第二偏光状态的反射检测光。第二偏光旋转部件使从第二分光部件入射到反射部件的处于第三偏光状态的检测光入射到第二分光部件，作为处于第四偏光状态的检测光，并且使处于第四偏光状态的反射检测光入射到第二分光部件，作为处于第三偏光状态的反射检测光。即，由于第一偏光旋转部件和第二偏光旋转部件返回与从第一分光部件和第二分光部件发出的光的偏光状态不同偏光状态的入射光，所以第一分光部件和第二分光部件能够使用偏振将发出的光和入射光分光。
此外，在这些分光部件中，在第一分光部件中，将入射光的偏光状态设定为第一偏光状态和第二偏光状态，并且在第二分光部件中，设定为第三偏光状态和第四偏光状态。由于该原因，分光部件的入射光在不分光的情况下通过，使得与当通过分光部件时分光部件的入射光分光的情况相比，根据由光接收部接收的光量不通过分光减少的量，能够抑制由于分光部件的光量的减少。
而且，上述移位传感器可以构造成，其中，所述反射部件是包括以下部件的变焦镜：薄板状的镜部；和基部，该基部支撑所述镜部，从而使所述镜部能够在与该基部的表面垂直的方向上移动，并且其中，所述移动控制器通过将电压施加于所述变焦镜而使所述镜部的在所述 光轴的方向上的位置相对于所述基部移动，来改变所述镜部的曲率，并且所述移动控制器使所述检测光的所述焦点位置在所述光轴的方向上移动。
在该移位传感器中，反射部件是变焦镜。由于变焦镜自身起到作为聚光透镜或扩散透镜的作用，所以与当聚光透镜或扩散透镜与变焦镜分开配置时相比，能够减少装置的制造成本。
本实用新型的有益效果
根据本实用新型，能够抑制由感光元件接收的光量减少。
附图说明
图1A是移位传感器的示意性构造图。
图1B是焦点位置的放大图。
图2是说明检测光的偏光状态的视图。
图3是说明反射检测光的偏光状态的视图。
图4是另一个实施例的移位传感器的示意性构造图。
图5是另一个实施例的移位传感器的示意性构造图。
参考标记列表
10：移位传感器
11：纤维
12：光源
23：偏振光束分光器
24：法拉第旋转器
25：偏振光束分光器
26：四分之一波片
27：变焦镜
27A：镜部
27B：基部
31：光电二极管
41：位置检测器
45：移动控制器
51：CPU
W：测量目标
具体实施方式
<实施例>
将参考图1至图3描述实施例。
1.移位传感器10的结构
如图1所示，移位传感器10主要由以下形成：纤维(fiber)11，其发出检测光；光电二极管31，其用于接收由测量目标W反射的反射检测光；光学部件组21，其使来自纤维11的检测光聚集并且将其发射到测量目标W，并且使来自测量目标W的反射检测光聚集并且将其发射到光电二极管31；移动控制器45，其使检测光的焦点位置在光轴的方向上移动；和CPU51。纤维11是光投射部的一个实例，光电二极管31是光接收部的一个实例，并且CPU 51是位置判定单元的一个实例。
移位传感器10形成同轴聚焦***，即，光学***，使得发射到测量目标W的检测光的光轴和由测量目标W反射的反射检测光的光轴设置在相同的光轴C1上，并且当检测光的焦点产生在测量目标W上时(在下文中称为对焦状态)，光电二极管31的光接收量最大，并且移位传感器10能够根据处于对焦状态的检测光的焦点位置判定测量目标W的在光轴C1的方向上的位置。
光学部件组21由诸如准直透镜22、偏振光束分光器23和25、法拉第旋转器24、四分之一波片26、变焦镜27和聚焦透镜29这样的多个光学部件形成。偏振光束分光器23和25将入射光分成p偏振光和s偏振光，并且使p偏振光透过和使s偏振光反射。偏振光束分光器23是第一分光部件的一个实例，并且偏振光束分光器25是第二分光部件的一个实例。而且，具有针孔30A的孔板(diaphragm)部30配置在光电二极管31的前方。
当从CPU 51朝着光源12发送光源控制信号Sa时，光源12打开并且从连接于光源12的纤维11发出作为直线偏振光的检测光。然后，检测光通过准直透镜22变换为平行光，并且然后入射到偏振光束分光器23。如图2所示，偏振光束分光器23配置成使得来自纤维11的检测光与偏振光束分光器23的p偏振光一致，并且检测光通过偏振光束分光器23透过，从而在不分光的情况下入射到法拉第旋转器24。偏振光束分光器23的p偏振光是第一偏光状态的一个实例，并且由图2和图3中的P1表示。偏振光束分光器23的s偏振光是第二偏光状态的一个实例，并且由图2和图3中的S 1表示。而且，法拉第旋转器24是第一偏光旋转部件的一个实例。
在检测光仍然是直线偏振光的同时，法拉第旋转器24使透过的检测光的偏光角度旋转45°。由于该原因，入射到偏振光束分光器25的检测光的偏光角度是偏振光束分光器23的p偏振光与s偏振光之间的中间角度。另一方面，偏振光束分光器25配置成使得来自法拉第旋转器24的检测光与偏振光束分光器25的s偏振光一致，并且检测光通过偏振光束分光器25反射，从而在不分光的情况下入射到四分之一波片26。偏振光束分光器25的s偏振光是第三偏光状态的一个实例，并且由图2至图4中的S2表示。偏振光束分光器25的p偏振光是第四偏光状态的一个实例，并且由图2至图4中的P2表示。
四分之一波片26设置在从偏振光束分光器25到变焦镜27的光路上。四分之一波片26是检测光的波长的四分之一波片，并且当由偏振光束分光器25反射的检测光通过变焦镜27的反射面Re反射从而返回到偏振光束分光器25时，使检测光的偏光角度旋转90°。从而，已经从四分之一波片26返回的检测光的偏光角度与偏振光束分光器25的p 偏振光一致，并且检测光在不分光的情况下通过偏振光束分光器25透过。检测光通过由向上侧凸出的变焦镜27的反射面Re反射而聚集，并且发射到测量目标W。四分之一波片26是第二偏光旋转部件的一个实例。
来自测量目标W的反射检测光入射到四分之一波片26。偏振光束分光器25使反射检测光在检测光沿着其朝向测量目标W的光路的反方向上引导。如图3所示，当入射到偏振光束分光器25时的反射检测光的偏光角度保持为发射到测量目标W的检测光的偏光角度，即，偏振光束分光器25的p偏振光，并且偏振光束分光器25使具有偏振光束分光器25的p偏振光的反射检测光透过，从而使其在不分光的情况下入射到四分之一波片26。
当从偏振光束分光器25透过的反射检测光由变焦镜27的反射面Re反射，从而返回偏振光束分光器25时，四分之一波片26使检测光的偏光角度旋转90°，如在检测光的情况中一样。从而，已经从四分之一波片26返回的反射检测光变为偏振光束分光器25的s偏振光，并且反射检测光由偏振光束分光器25反射，从而在不分光的情况下入射到法拉第旋转器24。在这种情况下，反射检测光通过由变焦镜27的反射面Re反射而变换为平行光，并且入射到法拉第旋转器24。
在反射检测光保持为直线偏振光的同时，法拉第旋转器24使透过的反射检测光的偏光角度旋转45°，如在检测光的情况中一样。从而，入射到偏振光束分光器23的反射检测光的偏光角度与偏振光束分光器23的s偏振光一致。即，通过从那里透过的检测光和反射检测光，法拉第旋转器24使偏光角度旋转90°，并且将具有偏振光束分光器23的p偏振光的检测光改变为具有偏振光束分光器23的s偏振光的反射检测光。
由于该原因，反射检测光通过偏振光束分光器23反射，从而在不 分光的情况下通过聚焦透镜29聚集(聚光)。然后，反射检测光通过孔板部30的针孔30A，并且入射到光电二极管31以被接收。由光电二极管31接收的反射检测光在光电二极管31中光电转换，并且然后被输出到CPU 51作为对应于光接收量的光接收信号Sb。
变焦镜27设置有薄板状的镜部27A和以能够在与其表面垂直的方向上移动的方式支撑镜部27A的基部27B，并且设置在从偏振光束分光器23到测量目标W的光路上。镜部27A与光轴C1的方向垂直地配置，并且在下表面上具有反射面Re。基部27B设置有未示出的固定电极，并且移动控制器45电连接到镜部27A和固定电极。变焦镜27是反射部件的一个实例。
当从CPU 51发送控制信号Sc时，移动控制器45将预定频率的脉冲电压或AC电压供给到镜部27A与固定电极之间。从而，静电力作用在镜部27A与固定电极之间，使得镜部27A的中央部相对于基部27B在光轴C的方向上移动。镜部27A的中央部的移动量根据脉冲电压或AC电压的预定频率而变化，并且镜部27A相对于基部27B以预定频率振动。从而，镜部27A的曲率以预定频率改变。
当镜部27A的曲率改变时，检测光的焦点位置变化。如图1中的虚线所示，当镜部27A在光轴C1的方向上在远离测量目标W的方向上移动时，检测光的焦点位置在光轴C1的方向上的靠近变焦镜27的方向上移动(参见图1B)。而且，如图1中的双点划线所示，当镜部27A在光轴C1的方向的靠近测量目标W的方向上移动时，检测光的焦点位置在光轴C1的方向上的远离变焦镜27的方向上改变(参见图1B)。
CPU 51通过使用位置检测器41检测镜部27A的中央部的位置，即，镜部27A的曲率。位置检测器41设置有激光二极管42、光电二极管43和激光驱动控制电路44，并且通过三角测量检测变焦镜27的 镜部27A的位置。当发光信号Sd从CPU 51发送到激光驱动控制电路44时，驱动电流从激光驱动控制电路44流过激光二极管42，使得从激光二极管42发出激光。激光入射到镜部27A的反射面Re的反面上以被反射，并且入射到光电二极管43以被接收。由光电二极管43接收的反射的激光在光电二极管43中光电转换，并且然后被输出到CPU51作为对应于光接收量的光接收信号Se。光接收信号Se是位置信号的一个实例。
CPU 51根据处于光接收信号Sb最大的对焦状态的光接收信号Sb检测镜部27A的曲率，并且获取检测光的焦点位置。由于测量目标W存在于处于对焦状态的检测光的焦点位置，所以能够判定测量目标W的在光轴C1的方向上的位置。
2.本实施例的优点
(1)本实施例的移位传感器10具有法拉第旋转器24。法拉第旋转器24使从偏振光束分光器23入射并且具有偏振光束分光器23的p偏振光的检测光入射到偏振光束分光器23上，作为具有偏振光束分光器23的s偏振光的反射检测光。即，由于法拉第旋转器24返回与从偏振光束分光器23发出的检测光的偏光角度不同的偏光角度的反射检测光，所以作为分开检测光与反射检测光的分光部件，可以使用通过偏振而进行分光的偏振光束分光器。
(2)此外，在该实施例的移位传感器10中，通过法拉第旋转器24等将入射到偏振光束分光器25的检测光的偏光角度设定为偏振光束分光器25的p偏振光或s偏振光。由于该原因，入射到偏振光束分光器25的检测光和反射检测光在不分光的情况下通过(透过或反射)。因此，与当通过偏振光束分光器25时检测光和反射检测光分光的情况相比，根据由光接收部接收的光量不通过分光减少的量，能够抑制分光部件的光量的减少。
(3)该实施例的移位传感器10具有四分之一波片26。四分之一波片26设置在从偏振光束分光器25到变焦镜27的光路上，并且使从偏振光束分光器25入射并且具有偏振光束分光器25的s偏振光的检测光入射到偏振光束分光器25上，作为具有偏振光束分光器25的p偏振光的检测光。而且，其使得从偏振光束分光器25入射并且具有偏振光束分光器25的p偏振光的反射检测光入射到偏振光束分光器25上，作为具有偏振光束分光器25的s偏振光的反射检测光。即，由于四分之一波片26返回与从偏振光束分光器25发出的发射光的偏光角度不同的偏光角度的入射光，所以作为使发射光与入射光分光的光学部件，可以使用通过偏振而进行分光的偏振光束分光器。
(4)此外，在该实施例的移位传感器10中，通过四分之一波片26等将入射到偏振光束分光器25的检测光的偏光角度设定为偏振光束分光器25的p偏振光或s偏振光。由于该原因，入射到偏振光束分光器25的检测光和反射检测光在不分光的情况下通过(透过或反射)。因此，与当通过偏振光束分光器25时检测光和反射检测光分光的情况相比，根据由光接收部接收的光量不通过分光减少的量，能够抑制分光部件的光量的减少。
(5)该实施例的移位传感器10具有变焦镜27。由于变焦镜27自身起到聚光透镜的作用，所以与当聚光透镜与变焦镜27分开配置时相比，能够减少设备的制造成本。
<其它实施例>
本实用新型不限于参考上面给出的描述和附图所描述的实施例，例如，下面的各个实施例也处于本实用新型的技术范围内：
(1)虽然在上述实施例中，通过使用布置成使得来自法拉第旋转器24的检测光与偏振光束分光器25的s偏振光一致、并且变焦镜27和测量目标W配置成在偏振光束分光器25处于其间的情况下互相面对的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，当布置成使得 来自法拉第旋转器24的检测光与偏振光束分光器23的p偏振光一致时，如图4所示，变焦镜27和法拉第旋转器24可以配置成在偏振光束分光器25处于其间的情况下互相面对。
(2)同样地，纤维11和光电二极管31相对于偏振光束分光器23的位置不限于上述实施例。例如，当布置成使得来自纤维11的检测光与偏振光束分光器23的s偏振光一致时，图1所示的纤维11和光电二极管31的位置可以反转。
(3)虽然在上述实施例中，通过使用准直透镜22在检测光的光路上配置于纤维11与偏振光束分光器23之间的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，准直透镜22可以配置在偏振光束分光器23与法拉第旋转器24之间。在这种情况下，由于准直透镜22能够起到使反射检测光聚光的作用，所以不需要将聚焦透镜29与准直透镜22分开地配置。
(4)虽然在上述实施例中，通过使用当使检测光聚光时仅利用变焦镜27进行聚光的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，如图5所示，在检测光的光路上，物镜28和扩散透镜32可以以该顺序从测量目标W侧配置于偏振光束分光器25与测量目标W之间。在这种情况下，变焦镜27的镜部27A可以向下侧凸出以及向上侧凸出，并且用作扩散透镜。当物镜28和扩散透镜32在检测光的光路上配置于偏振光束分光器25与测量目标W之间时，与不配置物镜28和扩散透镜32时相比，能够使检测光的光斑直径小，使得能够在不受到形成在测量目标W的表面上的图案影响的情况下判定测量目标W的在光轴C1的方向上的位置。而且，可以采用仅配置物镜28而不配置扩散透镜32的结构。
(5)虽然在上述实施例中，通过使用当接收反射检测光时、其通过孔板部30的针孔30A、并且接收入射到光电二极管31的反射检测 光的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，用于光接收的光纤可以设定在针孔30A的位置，从而代替它们。通过使用用于光接收的光纤，能够使光接收元件远离测量目标W，以实现头部大小的减小并且提供防噪措施，使得能够精确地判定测量目标W的在光轴C1的方向上的位置。
(6)虽然在上述实施例中，通过使用将纤维11用作发出检测光的部件的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，可以使用激光二极管、发光二极管等。然而，由于与激光二极管相比，纤维11具有稳定在大致固定值的检测光扩展角，所以有助于判定光学部件组21的选择和布置的光学设计。而且，由于纤维11自身不发光，所以与像激光二极管一样自身发光的部件相比，抑制了光学部件组21的温度升高，使得能够抑制由于光学部件组21的温度升高而引起的检测精度的恶化。
(7)虽然在上述实施例中，通过使用检测变焦镜27的镜部27A的位置的位置检测器41是光学移位传感器并且通过三角测量检测位置的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，可以通过聚焦***光学移位传感器检测变焦镜27的镜部27A的位置。
(8)而且，检测变焦镜27的镜部27A的位置的部件不限于光学移位传感器。当变焦镜27的镜部27A由于从移动控制器45供给的预定频率的脉冲电压或AC电压而移位时，可以根据脉冲电压的上升沿或下降沿或者AC电压的相位来检测变焦镜27的镜部27A的位置。
(9)虽然在上述实施例中，通过使用检测光的焦点位置利用变焦镜27和移动控制器45而在光轴C1的方向上移动的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，如在背景技术中一样，可以采用如下结构：配置具有固定曲率的平面反射镜和中间透镜并且通过改变镜子与中间透镜之间的距离而移动检测光的焦点位置，并且可以通过使 用作为用于改变镜子与中间透镜之间的距离的工具的音叉而使中间透镜振动；然而，当中间透镜通过使用音叉而振动时，由于焦点位置相对于光轴C1的方向旋转，所以检测光聚光性能变得恶化。由于该原因，优选地使用不引起上述问题的变焦镜27，并且此外，不需要中间透镜。
(10)虽然在上述实施例中，通过使用偏振光束分光器作为“分光工具”的实例给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，可以使用偏光全息图、直线偏光板等。
(11)虽然在上述实施例中，通过使用四分之一波片作为“第二偏光旋转部件”给出了描述，但是本实用新型不限于此。例如，可以使用法拉第旋转器。

Claims (2)

1.一种移位传感器，包括：
光投射部，该光投射部发射处于第一偏光状态的检测光；
第一分光部件，该第一分光部件具有将入射光分成具有第一偏光状态的光和具有第二偏光状态的光并且将其发射的性质，并且该第一分光部件使从所述光投射部入射的处于第一偏光状态的检测光透过；
第一偏光旋转部件，该第一偏光旋转部件使从所述第一分光部件入射的处于所述第一偏光状态的所述检测光旋转为处于第三偏光状态的检测光；
反射部件，该反射部件配置在从所述第一偏光旋转部件到测量目标的光路上，并且该反射部件与光轴的方向垂直地配置；
第二分光部件，该第二分光部件具有将入射光分成具有第三偏光状态的光和具有第四偏光状态的光并且将其发射的性质，该第二分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的检测光透过、并且使其引导到所述反射部件，该第二分光部件使由所述反射部件反射的检测光引导到所述测量目标，并且该第二分光部件使由所述测量目标反射的反射检测光在光路上在相反方向上引导，所述检测光沿着所述光路引导到所述测量目标；
光接收部，该光接收部通过所述第一偏光旋转部件和所述第一分光部件接收从所述第二分光部件入射的所述反射检测光；
第二偏光旋转部件，该第二偏光旋转部件配置在从所述第二分光部件到所述反射部件的光路上；
移动控制器，该移动控制器使所述检测光的焦点位置在所述光轴的方向上移动；以及
位置判定单元，该位置判定单元根据由所述光接收部接收的光量判定所述测量目标的在所述光轴的方向上的位置，
其中，所述第二偏光旋转部件使从所述第二分光部件入射的处于第三偏光状态的检测光旋转为处于所述第四偏光状态的检测光、并且使其返回到所述第二分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于第四偏光状态的检测光通过所述第二分光部件从而引导到所述测量目标，并且通过所述第二分光部件作为处于第四偏光状态的反射检测光，从而再次发射到所述反射部件，
其中，所述第二偏光旋转部件还使从所述第二分光部件入射的处于第四偏光状态的检测光旋转为处于第三偏光状态的检测光并且使其返回到所述第二分光部件，并且从所述第二偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的反射检测光通过所述第二分光部件，从而发射到所述第一偏光旋转部件，
其中，所述第一偏光旋转部件使从所述第二偏光旋转部件入射的处于第三偏光状态的检测光旋转为处于第二偏光状态的检测光，并且
其中，所述第一分光部件使从所述第一偏光旋转部件入射的处于第二偏光状态的检测光透过，并且使其引导到所述光接收部。
2.根据权利要求1所述的移位传感器，
其中，所述反射部件是包括以下部件的变焦镜：薄板状的镜部；和基部，该基部支撑所述镜部，从而使所述镜部能够在与该基部的表面垂直的方向上移动，并且
其中，所述移动控制器通过将电压施加于所述变焦镜而使所述镜部的在所述光轴的方向上的位置相对于所述基部移动，来改变所述镜部的曲率，并且所述移动控制器使所述检测光的所述焦点位置在所述光轴的方向上移动。
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