JP6335495B2 - 変位センサ - Google Patents
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Description
一実施形態を、図1から図3を用いて説明する。
1.変位センサ10の構成
図1に示すように、変位センサ10は、検出光を出射するファイバ11と、被測定対象物Wで反射された反射検出光を受光するためのフォトダイオード31と、ファイバ11からの検出光を収束させて被測定対象物Wに出射させるとともに、被測定対象物Wからの反射検出光を収束させてフォトダイオード31に出射させる光学部材群21と、検出光の焦点位置を光軸方向に移動させるための移動制御部45と、CPU51とを主体として構成される。ファイバ11は投光部の一例であり、フォトダイオード31は受光部の一例であり、CPU51は位置決定部の一例である。
(1)本実施形態の変位センサ10は、ファラデーローテータ24を有する。ファラデーローテータ24は、偏光ビームスプリッタ23から入射された偏光ビームスプリッタ23のP偏光を有する検出光を偏光ビームスプリッタ23のS偏光を有する反射検出光として偏光ビームスプリッタ23に入射する。つまり、ファラデーローテータ24は、偏光ビームスプリッタ23から出射された検出光と異なる偏光角度の反射検出光を戻すことから、検出光と反射検出光とを分岐する光学部材として、偏光により分岐する偏光ビームスプリッタを使用することができる。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような種々の態様も本発明の技術的範囲に含まれる。
(1)上記実施形態では、ファラデーローテータ24からの検出光が偏光ビームスプリッタ25のS偏光と一致するように配置されており、偏光ビームスプリッタ25を介して可変焦点ミラー27と被測定対象物Wが対向して配置される例を用いて説明を行ったが、これに限られない。例えば、ファラデーローテータ24からの検出光が偏光ビームスプリッタ23のP偏光と一致するように配置されている場合には、図4に示すように、偏光ビームスプリッタ25を介して可変焦点ミラー27とファラデーローテータ24が対向して配置されてもよい。
Claims (2)
- 第1偏光状態の検出光を出射する投光部と、
入射される光を第1偏光状態を有する光と第2偏光状態を有する光に分岐して出射する性質を有し、前記投光部から入射される第1偏光状態の検出光を通過させる第1分岐部材と、
前記第1分岐部材から入射された第1偏光状態の検出光を第3偏光状態の検出光に回転させるファラデーローテータと、
前記ファラデーローテータから被測定対象物に至る光路中に配置され、光軸方向に対して垂直に配置された反射部材と、
入射される光を第3偏光状態を有する光と第4偏光状態を有する光に分岐して出射する性質を有し、前記ファラデーローテータから入射された第3偏光状態の検出光を通過させて前記反射部材へと導くとともに、前記反射部材で反射された検出光を被測定対象物へと導き、かつ、被測定対象物で反射された反射検出光を、当該被測定対象物へ検出光を導いた光路を逆方向に導く第2分岐部材と、
前記第2分岐部材から入射された反射検出光を前記ファラデーローテータ及び前記第1分岐部材を介して受光する受光部と、
前記第2分岐部材から前記反射部材に至る光路中に配置された第2偏光回転部材と、
検出光の焦点位置を光軸方向に移動させる移動制御部と、
前記受光部の受光量から光軸方向における被測定対象物の位置を決定する位置決定部と、
を備え、
前記第2偏光回転部材は、前記第2分岐部材から入射された第3偏光状態の検出光を第4偏光状態の検出光に回転させて前記第2分岐部材に戻し、前記第2偏光回転部材から入射された第4偏光状態の検出光は、前記第2分岐部材を通過して被測定対象物へと導かれ、第4偏光状態の反射検出光として前記第2分岐部材を通過して再び前記反射部材に出射され、
前記第2偏光回転部材は、更に、前記第2分岐部材から入射された第4偏光状態の検出光を第3偏光状態の検出光に回転させて前記第2分岐部材に戻し、前記第2偏光回転部材から入射された第3偏光状態の反射検出光は、前記第2分岐部材を通過して前記ファラデーローテータへと出射され、
前記ファラデーローテータは、前記第2偏光回転部材から入射された第3偏光状態の検出光を第2偏光状態の検出光に回転させ、
前記第1分岐部材は、前記ファラデーローテータから入射される第2偏光状態の検出光を通過させて前記受光部へと導く構成であり、前記ファラデーローテータから前記第2分岐部材に入射された前記第3偏向状態の検出光が前記第2分岐部材を通過するように光軸周りの角度が設定されている、変位センサ。 - 請求項1記載の変位センサであって、
前記反射部材は、薄板状のミラー部と、前記ミラー部をその表面に垂直な方向に移動可能に支持するベース部とを具備する可変焦点ミラーであり、
前記移動制御部は、前記可変焦点ミラーに電圧を印加することで前記ベース部に対して前記ミラー部の位置を光軸方向に移動させて前記ミラー部の曲率を変化させ、検出光の焦点位置を光軸方向に移動させる、変位センサ。
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