CN205529122U - 电镀*** - Google Patents
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Abstract
本实用新型的电镀***,于一电镀槽中配置有一阴极端,以及至少一阳极端;其至少一阳极端设有复数个呈相互绝缘状态配置的阳极件,另有复数个导电件分别与各阳极件电气连接,使得以透过对任一或任意数个阳极件通电的方式,于电镀槽中产生不同电力线分布状态;尤其,不须更动原有阳极端设备,即可以更为积极、可靠的手段增加电镀质量,并能产生良好的效益。
Description
技术领域
本实用新型有关一种电镀***,特别是指一种可依照产品外形或产品吊挂配置型态不同,配合调整电力分布状态的电镀***。
背景技术
众所周知,“电镀”乃一种利用电解还原反应在物体上镀一层膜的方法,其所使用的机器设备,因电镀产品的不同而有所差异,而无论使用何种形式的机器设备,于电镀区内皆设计有数量不等的电极棒作为阳极,以使电镀液中产生金属离子的游离现象,被镀工件通常设计为阴极。
于进行电镀作业时,则分别在阳极与阴极输入电压,令电镀液因电解反应而析出金属离子,且该些金属离子会沈积于阴极端,而在阴极还原后,形成镀着于被镀工件表面的金属镀层;目前已知的电镀***,则可依电镀金属提供方式区分为溶解性阳极电镀***及不溶解阳极电镀统。
在不溶解性阳极电镀***中,当电流从阳极顶部流至阳极底部时,其电流量会因电阻而递减,换言之,在阳极顶部处,由于通过此处的电流较大,因此较多的金属离子被分解释放,而通过下方部位所通过的电流较通过上方部位的电流少,因此较少的金属离子被分解释放出来,进而在电镀槽中产生电力线分布并不均匀(即电流的密度分布不均匀)的现象。
此现象将造成产品位在电流密度大的地方镀层厚,反之产品位在电流密度小的地方则镀层薄;不但会因为产品表面的镀层不均匀而严重影响产品的质量(尤其是子产品),在某些情况下,电流密度过大(电力线过密)亦容易造成产品焦黑;因此,如何提供一种可依照产品外形或产品吊挂配置型态不同,配合调整电力分布状态的电镀***,长久以来一直是产业界所亟欲解决的课题。
实用新型内容
本实用新型所解决的技术问题即在提供一种可依照产品外形或产品吊挂配置型态不同,配合调整电力分布状态的电镀统,为其主要目的者。
本实用新型所采用的技术手段如下所述。
为了达到上述目的,本实用新型的电镀***,于一电镀槽中配置有一阴极端,以及至少一阳极端;其中:该至少一阳极端设有复数个呈相互绝缘状态配置的阳极件,另有复数个导电件分别与各该阳极件电气连接。
利用上述结构特征,本实用新型的电镀***,可透过对任一或任意数个阳极件通电的方式,于电镀槽中产生不同电力线分布状态;尤其,所欲电镀的产品外型或吊挂配置型态有所改变时,只需透过简单切换电流供应回路的方式,产生对应的电力线分布状态,不须更动原有阳极端设备,即可以更为积极、可靠的手段增加电镀质量,并能产生良好的效益。
依据上述结构特征,所述该至少一阳极端,设有一架体,各该阳极件呈相互绝缘的状态设于该架体上。
依据上述结构特征,所述该至少一阳极端,设有一架体,各该阳极件呈相互绝缘的状态设于该架体上;各该导电件固设于该架体上。
依据上述结构特征,所述该电镀***,进一步包括一供连接外部电源的分电盘,该分电盘供与各该阳极件所设置的导电件电气连接,该分电盘上设有复数供分别控制各该阳极件的电路导通与否的开关电路。
依据上述结构特征,所述该电镀***,进一步包括一供连接外部电源的分电盘,该分电盘供与各该阳极件所设置的导电件电气连接,该分电盘上设有复数供分别控制各该阳极件的电路导通与否的开关电路;该至少一阳极端,设有一架体,各该阳极件呈相互绝缘的状态设于该架体上;各该导电件固设于该架体上;该分电盘设有复数供分别与各该导电件电气连接的导线。
依据上述结构特征,所述各该阳极件设有复数网孔。
所述各该阳极件呈长方形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈圆形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈正方形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈椭圆形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈三角形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈梯形的外型轮廓。
所述各该阳极件呈L形的外型轮廓。
所述该至少一阳极端设有至少两种不同外型轮廓的阳极件。
依据上述结构特征,所述该电镀***,该阳极片连接一摆动装置。
依据上述结构特征,所述该电镀***,该阳极端连接一摆动装置。
依据上述结构特征,所述该电镀***,该阴极端连接一摆动装置。
依据上述结构特征,所述该电镀***,该架体连接一摆动装置。
本实用新型所产生的技术效果如下。
本实用新型所揭露的电镀***,主要利用具有复数可供分别控制电路导通与否的阳极件设计,使得以透过对任一或任意数个阳极件通电的方式,于电镀槽中产生不同电力线分布状态;尤其,所欲电镀的产品外型或吊挂配置型态有所改变时,只需透过简单切换电流供应回路的方式,产生对应的电力线分布状态,不须更动原有阳极端设备,即可以更为积极、可靠的手段增加电镀质量,并能产生良好的效益。
附图说明
图1为本实用新型的电镀***基本组成架构图。
图2为本实用新型第一实施例的阳极端外观立体图。
图3为本实用新型第二实施例的阳极端结构示意图。
图4为本实用新型第三实施例的阳极端结构示意图。
图5为本实用新型第四实施例的阳极端结构示意图。
图6为本实用新型第五实施例的阳极端使用状态示意图。
图7为本实用新型第六实施例的阳极端使用状态示意图。
图号说明:
10电镀槽
20阴极端
30阳极端
31架体
32阳极件
321网孔
33导电件
40分电盘
41导线
50阳极片
70摆动装置。
具体实施方式
本实用新型主要提供一种可依照产品外形或产品吊挂配置型态不同,配合调整电力分布状态的电镀***,如图1所示,本实用新型的电镀***,基本上于一电镀槽10中配置有一阴极端20,以及至少一阳极端30;其中:该至少一阳极端30设有复数个呈相互绝缘状态配置的阳极件32,另有复数个导电件33分别与各该阳极件32电气连接;于实施时,所述该至少一阳极端30,可进一步设有一架体31,各该阳极件32呈相互绝缘的状态设于该架体31上。
原则上,本实用新型的电镀***,于实际运作时,可将成对的阳极端30分别置于电镀槽10内部相对于阴极端20的两侧,且于阴极端20吊挂欲进行电镀的产品,使分别在阳极端30与阴极端20输入电流的状态下,令电镀槽10内的电镀液因电解反应而析出沈积于阴极端的金属离子,待金属离子于阴极还原后,形成镀着于产品表面的金属镀层。
由于,本实用新型的电镀***,设置复数可供分别控制电路导通与否的阳极件32,因此可透过对任一或任意数个阳极件32通电的方式,于电镀槽中产生不同电力线分布状态;尤其,所欲电镀的产品外型或吊挂配置型态有所改变时,只需透过简单切换电流供应回路的方式,产生对应的电力线分布状态,不须更动原有阳极端设备,即可以更为积极、可靠的手段增加电镀质量,并能产生良好的效益。
如图2所示,在所述该至少一阳极端30,设有一架体31,且各该阳极件32呈相互绝缘的状态设于该架体31上的结构型态下,各该导电件33亦可固设于该架体31上,且各该导电件33的一端且相对伸出该架体31预先设定的长度为佳,不但较有利于整体阳极端30的安装架设,更较方便导电件33与外部电源电气连接。
如图3所示,本实用新型的电镀***,可进一步包括一供连接外部电源的分电盘40,该分电盘40供与各该阳极件32所设置的导电件33电气连接,该分电盘40上设有复数供分别控制各该阳极件32的电路导通与否的开关电路。
本实用新型的电镀***,又以进一步包括一供连接外部电源的分电盘40,该分电盘40供与各该阳极件32所设置的导电件33电气连接,该分电盘40上设有复数供分别控制各该阳极件32的电路导通与否的开关电路;该至少一阳极端30,设有一架体31,各该阳极件32呈相互绝缘的状态设于该架体31上,各该导电件33固设于该架体31上,以及该分电盘40设有复数供分别与各该导电件33电气连接的导线41的结构型态呈现为佳。
本实用新型的电镀统,在上揭各种可能实施的结构型态下,所述各该阳极件32设有复数网孔321,亦即所述该阳极件32可以呈网、篮的结构型态呈现,使其电镀槽中的金属离子得以获致较佳的流动性。
以及,在上揭图2所示的实施例中,所述各该阳极件32呈长方形的外型轮廓;于实施时,所述各该阳极件32亦可呈如图3所示圆形的外型轮廓,或者呈如图4所示正方形的外型轮廓,甚至可以分别呈如图5当中所示椭圆形的外型轮廓、三角形的外型轮廓、梯形的外型轮廓及L形的外型轮廓;必要时,所述该至少一阳极端30,亦可设有至少两种不同外型轮廓的阳极件32。再者,亦可如图6所示,于实施时,所述各该阳极端30可进一步设置于阳极片50与阴极端20间,确保电镀质量;或可如图7所示,于实施时,该阳极端30可设置于阳极片50相对于阴极端20的另一侧;进一步,阴极端20、阳极端30及阳极片50可依其需求连接一摆动装置70,达到镀层更均匀的效果。
具体而言,本实用新型所揭露的电镀***,主要利用具有复数可供分别控制电路导通与否的阳极件设计,使得以透过对任一或任意数个阳极件通电的方式,于电镀槽中产生不同电力线分布状态;尤其,所欲电镀的产品外型或吊挂配置型态有所改变时,只需透过简单切换电流供应回路的方式,产生对应的电力线分布状态,不须更动原有阳极端设备,即可以更为积极、可靠的手段增加电镀质量,并能产生良好的效益。
Claims (24)
1.一种电镀***,于一电镀槽(10)中配置有一阴极端(20),以及至少一阳极端(30);其特征在于:该至少一阳极端(30)设有复数个呈相互绝缘状态配置的阳极件(32),另有复数个导电件(33)分别与各该阳极件(32)电气连接。
2.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,该至少一阳极端(30),设有一架体(31),各该阳极件(32)呈相互绝缘的状态设于该架体(31)上。
3.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,该至少一阳极端(30),设有一架体(31),各该阳极件(32)呈相互绝缘的状态设于该架体(31)上;各该导电件(33)固设于该架体(31)上。
4.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,该电镀***,包括一供连接外部电源的分电盘(40),该分电盘(40)供与各该阳极件(32)所设置的导电件(33)电气连接,该分电盘(40)上设有复数供分别控制各该阳极件(32)的电路导通与否的开关电路。
5.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,该电镀***,包括一供连接外部电源的分电盘(40),该分电盘(40)供与各该阳极件(32)所设置的导电件(33)电气连接,该分电盘(40)上设有复数供分别控制各该阳极件(32)的电路导通与否的开关电路;该至少一阳极端(30),设有一架体(31),各该阳极件(32)呈相互绝缘的状态设于该架体(31)上;各该导电件(33)固设于该架体(31)上;该分电盘(40)设有复数供分别与各该导电件(33)电气连接的导线(41)。
6.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)设有复数网孔(321)。
7.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈长方形的外型轮廓。
8.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈圆形的外型轮廓。
9.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈正方形的外型轮廓。
10.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈椭圆形的外型轮廓。
11.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈三角形的外型轮廓。
12.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈梯形的外型轮廓。
13.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,各该阳极件(32)呈L形的外型轮廓。
14.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,该至少一阳极端(30)设有至少两种不同外型轮廓的阳极件(32)。
15.如权利要求1所述的电镀***,其特征在于,该电镀***设有至少一阳极片(50)。
16.如权利要求9所述的电镀***,其特征在于,该阳极端(30)设置于阳极片(50)与阴极端(20)间。
17.如权利要求9所述的电镀***,其特征在于,该阳极端(30)设置于阳极片(50)相对于阴极端(20)的另一侧。
18.如权利要求9所述的电镀***,其特征在于,该阳极片(50)连接一摆动装置(70)。
19.如权利要求10所述的电镀***,其特征在于,该阳极片(50)连接一摆动装置(70)。
20.如权利要求11所述的电镀***,其特征在于,该阳极片(50)连接一摆动装置(70)。
21.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,该阳极端(30)连接一摆动装置(70)。
22.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,该阳极端(30)及阴极端(20)连接一摆动装置(70)。
23.如权利要求1至6其中任一所述的电镀***,其特征在于,该阴极端(20)连接一摆动装置(70)。
24.如权利要求2、 5其中任一所述的电镀***,其特征在于,该架体(31)连接一摆动装置(70)。
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Publications (1)
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