CN204123233U - 旋转靶材的抛光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于旋转靶材制造设备技术领域，涉及一种旋转靶材的抛光装置，包括第一拖板，所述第一拖板顶面设有滑轨，第二拖板滑动连接于所述第一拖板的导轨上，并在第一拖板上固定有底座，在底座上部固定有第一电动机，在底座下部转动设有一根传动轴，第一电动机的输出轴端固定有主动轮，传动轴对应于主动轮一侧轴端固定有从动轮，传动轴另一侧轴端固定有磨轮；第一皮带张紧于所述主动轮、从动轮上；所述底座上部固定有支撑套，支撑臂滑动设于所述支撑套中，并在支撑臂上套设有弹簧。该抛光装置能够有效进行自动化抛光作业，同时将切割功能集成于该装置上，有效实现产品的紧凑集约化。
Description
技术领域
本实用新型属于旋转靶材制造设备技术领域，涉及一种旋转靶材的抛光装置。
背景技术
旋转靶材在等离子喷涂结束后，其外表面需要进行抛光处理，由于旋转靶材是典型的易碎件，抛光过程中涂层极易开裂，常用的抛光方法是手动抛光，但是手动抛光效率低，劳动强度大而且抛光不均匀，抛光效果不理想。另外，在旋转靶材抛光完后，还需要进行切割处理，目前，常用的方法是在抛光处理完好，再将靶材拿到切割设备处进行切割处理，导致效率低下，不能满足高效生产要求。
发明内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的不足，提供一种结构简单、巧妙、合理的旋转靶材的抛光装置，该抛光装置能够有效进行自动化抛光作业，同时将切割功能集成于该装置上，有效实现产品的紧凑集约化。
按照本实用新型提供的技术方案：一种旋转靶材的抛光装置，特征在于：包括第一拖板，所述第一拖板顶面设有滑轨，第二拖板滑动连接于所述第一拖板的导轨上，并在第一拖板上固定有底座，在底座上部固定有第一电动机，在底座下部转动设有一根传动轴，第一电动机的输出轴端固定有主动轮，传动轴对应于主动轮一侧轴端固定有从动轮，传动轴另一侧轴端固定有磨轮；第一皮带张紧于所述主动轮、从动轮上，；所述底座上部固定有支撑套，支撑臂滑动设于所述支撑套中，并在支撑臂上套设有弹簧，且弹簧两端分别顶紧于支撑套上部端面及支撑臂表面凸起轴肩上，纠偏轮转动设置于所述支撑臂上端，砂带张紧于所述纠偏轮与磨轮上；在底座上对应于支撑套的下方设有拉杆，所述拉杆的横臂穿设于支撑臂底部通孔中；所述第二拖板上对应于砂带的外侧固定有一支撑板，在支撑板上固定有第二电动机，所述第二电动机的输出轴通过第二皮带与切割滚轴相连接，在切割滚轴端部固定有切割片。
作为本实用新型的进一步改进，所述砂带上罩设有防护罩，所述防护罩下端对应于切割片一侧设有缺口，磨轮外圈从所述缺口中伸出。
作为本实用新型的进一步改进，所述拉杆的连接端铰接于底座侧壁上，拉杆的自由端向上延伸。
作为本实用新型的进一步改进，所述支撑臂顶端设有固定座，纠偏轮转动设置于所述固定座上，并在固定座外侧设置纠偏旋钮。
本实用新型与现有技术相比，优点在于：本实用新型产品结构简单，可以有效实现对靶材的自动化抛光处理，同时还可以根据加工需要通过调节纠偏轮及拉杆来实现对砂带松紧的调节；同时在本产品中对应于砂带的端部设置有切割片，通过切割片来实现对于抛光处理好的靶材的切割处理。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为图1的右视图。
具体实施方式
下面结合具体附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
如图1、图2所示，包括第一拖板1、第二拖板2、底座3、第一电动机4、主动轮5、第一皮带6、从动轮7、支撑臂8、拉杆9、磨轮10、纠偏轮11、砂带12、切割片13、第二皮带14、第二电动机15、纠偏旋钮16、弹簧17、防护罩18、靶材19等。
如图1、2所示，本实用新型一种旋转靶材的抛光装置，包括第一拖板1，所述第一拖板1顶面设有滑轨，第二拖板2滑动连接于所述第一拖板1的导轨上，并在第一拖板1上固定有底座3，在底座3上部固定有第一电动机4，在底座3下部转动设有一根传动轴，第一电动机4的输出轴端固定有主动轮5，传动轴对应于主动轮5一侧轴端固定有从动轮7，传动轴另一侧轴端固定有磨轮10；第一皮带6张紧于所述主动轮5、从动轮7上，；所述底座3上部固定有支撑套，支撑臂8滑动设于所述支撑套中，并在支撑臂8上套设有弹簧17，且弹簧17两端分别顶紧于支撑套上部端面及支撑臂8表面凸起轴肩上，纠偏轮11转动设置于所述支撑臂8上端，砂带12张紧于所述纠偏轮11与磨轮10上；在底座3上对应于支撑套的下方设有拉杆9，所述拉杆9的横臂穿设于支撑臂8底部通孔中；所述第二拖板2上对应于砂带12的外侧固定有一支撑板，在支撑板上固定有第二电动机15，所述第二电动机15的输出轴通过第二皮带14与切割滚轴相连接，在切割滚轴端部固定有切割片13。
所述砂带12上罩设有防护罩18，所述防护罩18下端对应于切割片13一侧设有缺口，磨轮10外圈从所述缺口中伸出。
所述拉杆9的连接端铰接于底座3侧壁上，拉杆9的自由端向上延伸。
所述支撑臂8顶端设有固定座，纠偏轮11转动设置于所述固定座上，并在固定座外侧设置纠偏旋钮16。
本实用新型中纠偏轮11的工作过程如下：向下拉动拉杆9使得顶部纠偏轮11降低，之后砂带12可以很容易套在磨轮10与纠偏轮11上，松开拉杆9后，由于弹簧17的作用，使得纠偏轮11上升，从而使得砂带12张紧，通过调整纠偏旋钮16，可以调整纠偏轮11的倾斜度，从而使得砂带12平稳运转，不会从纠偏轮11及磨轮10上脱落。
本实用新型产品的抛光处理过程如下：第一电动机4转动，通过第一皮带6，带动磨轮10转动，磨轮10又带动砂带12转动，从而可以进行抛光，通过调节车床第二拖板2，可以使得砂带12靠近或原理靶材19，从而调节磨削量的大小；在抛光处理好后，第二电动机15转动，通过第二皮带14带动切割片13转动，通过调节第二拖板2的位置来调节切削量。
图1、2所示，本实用新型的原理如下：通过纠偏轮11张紧砂带12，实现对于砂带12松紧的调节，确保主动轮5与从动轮7之间的转动，切割片13可以连同支撑板可以进行前后移动调节，确保每次的磨削量大小。采用砂带12紧贴旋转靶材19的外表面进行抛光，砂带12由第一电机4带动匀速转动，旋转靶材19在车床的带动下与砂带12转动相反方向转动，同时砂带12在沿旋转靶材19的轴向驱动下沿靶材表面来回移动，对靶材涂层打磨比较均匀，打磨熟读比较快，降低人工强度，确保靶材表面质量。
另一方面，本实用新型中的切割片13安装在车床第二拖板2上，可以前后调节，调节砂带12施加在旋转靶材上的外表面力，既能调节打磨速度也能适合不同旋转靶材的打磨需要，适用比较广。
本实用新型产品可以很方便地对靶材19两端进行切削加工，同时还能够对靶材表面进行有效抛光处理，而不需要更换设备和工具。
Claims (4)
1.一种旋转靶材的抛光装置，其特征在于：包括第一拖板（1），所述第一拖板（1）顶面设有滑轨，第二拖板（2）滑动连接于所述第一拖板（1）的导轨上，并在第一拖板（1）上固定有底座（3），在底座（3）上部固定有第一电动机（4），在底座（3）下部转动设有一根传动轴，第一电动机（4）的输出轴端固定有主动轮（5），传动轴对应于主动轮（5）一侧轴端固定有从动轮（7），传动轴另一侧轴端固定有磨轮（10）；第一皮带（6）张紧于所述主动轮（5）、从动轮（7）上；所述底座（3）上部固定有支撑套，支撑臂（8）滑动设于所述支撑套中，并在支撑臂（8）上套设有弹簧（17），且弹簧（17）两端分别顶紧于支撑套上部端面及支撑臂（8）表面凸起轴肩上，纠偏轮（11）转动设置于所述支撑臂（8）上端，砂带（12）张紧于所述纠偏轮（11）与磨轮（10）上；在底座（3）上对应于支撑套的下方设有拉杆（9），所述拉杆（9）的横臂穿设于支撑臂（8）底部通孔中；所述第二拖板（2）上对应于砂带（12）的外侧固定有一支撑板，在支撑板上固定有第二电动机（15），所述第二电动机（15）的输出轴通过第二皮带（14）与切割滚轴相连接，在切割滚轴端部固定有切割片（13）。
2.如权利要求1所述的旋转靶材的抛光装置，其特征在于：所述砂带（12）上罩设有防护罩（18），所述防护罩（18）下端对应于切割片（13）一侧设有缺口，磨轮（10）外圈从所述缺口中伸出。
3.如权利要求1所述的旋转靶材的抛光装置，其特征在于：所述拉杆（9）的连接端铰接于底座（3）侧壁上，拉杆（9）的自由端向上延伸。
4.如权利要求1所述的旋转靶材的抛光装置，其特征在于：所述支撑臂（8）顶端设有固定座，纠偏轮（11）转动设置于所述固定座上，并在固定座外侧设置纠偏旋钮（16）。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107953207A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-04-24 | 佛山市艾乐博机器人科技有限公司 | 一种打磨设备及其加工方法 |
| CN111975465A (zh) * | 2020-08-14 | 2020-11-24 | 合肥江丰电子材料有限公司 | 一种钼靶材溅射面的抛光工艺 |
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