CN1511262A - 电路布图检查装置和电路布图检查方法及记录媒体 - Google Patents

Abstract

提供可确实且容易地检测电路基板缺陷的电路检查装置。在对至少端部为列状排列、基部相互连接的通用布图(20)，和排列在通用布图(20)的列状布图之间，与其他布图非接触的条状布图群(30)进行检查时，向两布图交替提供交流信号，另一方接地电平，用另一方端部设置的传感器(131)、(132)、(133)检测交流信号。

Description

电路布图检查装置和电路布图检查方法及记录媒体

技术领域

本发明涉及可检查在基板上例如在玻璃基板上形成的导电布图是否良好的电路布图检查装置和电路布图检查方法以及记录媒体。

背景技术

作为检查基板上形成的电路布图是否良好的方法，已知的有现有的针孔式触点法。针孔式触点法是让检查对象的导电布图的两端分别与针型测头直接接触，让电流从一方的针型测头流过，测出另一方针型测头的电压值，从而求出该导电布图的电阻值，用这种方法进行两端间的通路检查的方式。

由于在针孔式触点法中，直接与针型测头接触，因此具有SN比较高的优点。但是，在对微细间距的基板进行检查时，使针竖立较困难，另外，也很难确定针与目标布图接触的位置。

因此，提出了一种让针型测头与检查对象的导电布图的一端直接接触，附加含有交流成分的检查信号，另一端测头不与导电布图接触，而是位于离开一定间隔的位置上，通过电容耦合对所述检查信号进行检测的非接触-接触并用的方法。

由于在这种非接触-接触并用的方法中，线路另一端的测头不用像针型测头那样与线路图直接接触，因此对位置确定的精度要求较低。另外，由于多个线路可共用非接触部，因此可减少测头个数。这样，可在导电布图的间隔很微小时也能适用。

另外，还有一种检查装置用一对测头，一边对一根一根布图的两端进行描画，一边进行检查。这种描画方法的优点是无需每一工件都制作专用的夹具。

但是，针孔式触点法和非接触-接触并用的方法，由于设置在导电布图两端位置的测头和对测头发出的检测信号的处理等，是受导电性布图设置间隔控制的，导电布图的形状是被预先确定的，如果导电布图不同，则必须制作与之相适应的夹具。

另外，在描画方法中，导电布图的间隔在一方的端部附近和另一方的端部附近必须是相同的，假如在一方端部附近和另一方端部附近，布图的间隔不同，则不能描画两端，也就不能进行检查。

发明内容

本发明的目的是为了解决上述问题而作出发明，提供例如使布图两端都为非接触式的，即使是在一方端部附近和另一方端部附近布图间隔不同的导电布图，也可容易地对布图是否良好进行检查的电路图检查装置。

作为达到上述目的一个装置，具有例如以下的构成：

即，其特征在于，本发明是对具有至少端部为列状排列、基部互相连接的梳形导电布图，和至少一部分排列在前述梳状导电布图的列状齿部布图之间，与其他布图非接触的导电性条状布图群的基板的导电布图的状态进行检查的电路布图检查装置，具有：在前述梳形导电布图端部的前端附近，与前述梳形导电布图端部和条状布图的各布图，分别以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的端部电容耦合装置；

与前述梳形导电布图基部的所有公共连接布图部，在规定宽度，以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的公共部电容耦合装置；以非接触的方式，与在靠近前述梳形导电布图公共连接布图部的分离成梳形的列状部分并且排列在前述列状部之间的前述条状布图的前端附近，在规定宽度，具有耦合电容，可进行电容耦合的条状部公共电容耦合装置；向前述公共部电容耦合装置和前述条状部公共电容耦合装置的任意一方，提供检查信号的检查信号提供装置，利用前述端部电容耦合装置和前述检查信号提供装置，检测出前述各列状齿部布图前端和前述各条状布图的检测信号的变化的检测装置；本发明可利用前述检测装置，通过向前述公共部电容耦合装置提供检查信号时的检查结果，及向前述条状部公共电容耦合装置提供检查信号时的检查结果，检查前述梳形导电布图和前述条状布图群的状态。

则例如，其特征在于，前述基板主要由玻璃构成，前述梳形导电布图的列状部和前述条状布图群在玻璃上相互按规定宽度形成近似条状的导电布图。

另外例如，其特征在于，前述各电容耦合装置，包括与导电布图具有规定间隙定位的非接触板。或者，前述端部电容耦合装置中的前述非接触板不比应进行电容耦合的布图的宽度宽。

再例如，其特征在于，前述公共部电容耦合装置和前述条状部公共电容耦合装置的非接触板，具有与该非接触板相对的应进行电容耦合的导电布图的面积大致相等的面积。

另外例如，其特征在于，检查信号为交流信号，由前述公共部电容耦合装置和前述条状部公共电容耦合装置的任意一方，向前述导电性布图提供交流信号。

另外，其特征在于，本发明还是对与至少端部为列状排列，基部互相连接的通用导电布图，和交替排列在通用布图的列状布图之间的与其他布图非接触的导电布图群进行检查的电路布图检查装置，具有：向前述通用布图的基部、前述通用布图基部连接的列状部的全部、以及前述条状布图群端部的全部的任意一方提供信号，另一方维持通用电位，从前述通用布图的列状布图端部和前述条状布图群的另一方端部，检测出前述提供的交流信号，同时，继续使前述通用布图的基部、与前述通用布图基部连接的列状布图部、以及前述条状布图群端部的交流信号提供部，维持在通用电位，同时，向维持通用电位的部分提供交流信号的交流信号提供控制装置；和从前述通用布图的列状布图端部及前述条状布图群另一方端部，检测出前述被提供的交流信号的检测装置。

再者，其特征在于，本发明是检查具有至少端部为列状排列、基部相互连接的梳形导电布图，和至少一部分排列在前述梳状导电布图的列状齿部布图之间，与其他布图非接触的导电性条状布图群的基板的导电布图状态的电路图检查装置的电路图检查方法，以非接触方式，向前述梳形导电布图基部的所有公共连接布图部，在规定宽度具有耦合电容，可进行电容耦合的公共部电容耦合装置，或者，在靠近前述梳形导电布图的公共连接布图部的分离成梳齿形的列状部分，并且排列在前述列状部之间的前述条状布图前端附近，在规定宽度具有耦合电容，可进行电容耦合的条状部公共电容耦合装置的任意一方，提供交流信号，向检查对象布图输出交流信号，另一方维持接地电平的状态，利用在前述梳形导电布图端部的前端附近，前述梳形导电布图端部和条状布图的各布图，分别以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的端部电容耦合装置，检测前述输出的交流信号，完成对所有检查对象布图的交流信号的检测后，将前述交流信号提供公共部电容耦合装置，或条状部公共电容耦合装置保持接地电平，同时，向维持接地电平的前述交流信号提供公共部电容耦合装置，或条状部公共电容耦合装置提供交流信号，利用前述可电容耦合的端部电容耦合装置，检测前述输出的交流信号。通过两个检测结果，可对检查对象布图是否良好进行检查。

另外，本发明其特征在于，检查至少端部为列状排列、基部相互连接的通用布图，和交替排列在通用布图的列状布图之间，与其他布图非接触的条状布图群的电路图检查装置的电路图检查方法，向前述通用布图的基部、与前述通用布图基部连接的列状布图的全部、以及前述条状布图群端部的全部的任意一方提供信号，另一方维持通用电位，从前述通用布图的列状布图端部和前述条状布图群另一方端部，检测前述提供的交流信号，同时，继续将前述通用布图的基部、与前述通用布图基部连接的列状布图部、以及前述条状布图群端部的交流信号提供部，维持在通用电位，同时，向维持在通用电位的部分提供交流信号。从前述通用布图的列状布图端部和前述条状布图群另一方端部，分别检测前述提供的交流信号。

附图说明

图1是对本发明的一个实施例的电路布图检查原理进行说明的图。

图2是对本实施例的检查原理进行说明的图。

图3是对本实施例的导电布图的检查控制进行说明的流程图。

图4是表示在本实施例中的导电性布图与之相邻接触的短路基板的检测例的图。

图5是表示在本实施例中的导电性布图的一部分断开开放(open状态)状态的基板的检测例的图。

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的一个实施例进行详细说明。以下的说明是以对作为应检查的布图的，形成液晶显示板的点矩阵显示用板，在组装前的点矩阵布图是否良好进行检查的电路检查装置为例进行的。

但是，本发明不局限于以下说明的例子。只要是在一方端部的端部布图不同的布图群的位置，可设置分别被公共电容耦合的通用传感器的布图，就不受限制。

图1是对本发明的一个实施例的布图检查原理进行说明的图。

在图1中，10是设置有本实施例应检查的导电布图的配置的基板。在本实施例中，使用的是用作液晶显示板的玻璃制基板。

在玻璃制基板10的表面，设置有由本实施例电路布图检查装置进行检查的用于形成点矩阵显示板的导电布图20、30。

20是由至少是列状设置的列状布图20A和在列状布图20A的基部相互连接的连接布图20B组成的梳形通用布图。30是条状布图群，斜线所示的条状布图群30设置在通用布图20的列状布图20A的各条状列布图之间，分别与独立的通用布图20也是非接触的。

在图1所示例中，除通用布图20基部的连接布图20B外，列状设置的各布图20A和条状布图群30的各条状布图的图宽大致相同，各图间隔也大致相等。

110是通用供电面板，可在检查时以非接触方式位于通用布图20的连接布图20B的对面，具有至少能覆盖通用布图20的连接布图20B全域的宽度，具有耦合电容，通过电容耦合构成公共部电容耦合装置，并将交流电源220的交流信号提供给通用布图20。

120是条状供电面板，以非接触方式位于，与通用布图20上与列状布图20A连接的布图20B侧基部、条状布图30的通用布图20的基部方向端的前述通用供电面板110相邻的位置，与通用供电面板110的大小大致相同，具有耦合电容，构成可电容耦合的条状部公共电容耦合装置，将交流电源230的交流信号提供给通用布图20和各条状布图群30。

在本实施例中，通用供电面板110和条状供电面板的面积大致相同，形成与该面板110、120相对的检查对象导电性布图的面积也大致相同，可抑制由交流信号提供板的变更所引起的检测信号电平的变动。

130是以非接触方式位于条状布图群30和通用布图20的列状布图20A的两方的端部附近的传感器板，在传感器板130上等间距地设置有传感器131、132、133。

传感器131、132、133，以至少具有通用布图20的列状部和条状布图群30的各导电布图的设置间隔的多倍的间隔，设置在传感器板130上。对各导电布图具有耦合电容，构成可电容耦合的条状部公共电容耦合装置(图1例所示虽为3个，该数量可为任意)。

传感器131、132、133构成为，可检测通用供电面板110或条状供电面板120提供的、通过被供给的导电布图发送的交流信号。

在本实施例中，通用供电面板110或条状供电面板120的任意一方提供交流信号，另一方为接地电平，让基板10沿箭头方向以一定速度移动，传递给通用布图20或条状布图群30的通用供电面板110或条状供电面板120提供的交流信号通过各传感器131、132、133检测。

210可对设置在传感器板130上的各传感器131、132、133的电场强度变化作为检测信号进行增幅整形，作为模拟信号，或者，根据需要进行模拟数字变换，可输出相应的数字信号。

220和230是交流信号生成部，生成规定频率的交流信号，将生成的交流信号经通用供电面板110或条状供电面板120向通用布图20或各条状布图群30提供。

图1的例子中的交流信号生成部220、230是分别构成。如后述那样交流信号向通用供电面板110或条状供电面板120的任意一方供给，不是同时向双方供电时，可共用交流信号发生部。

将交流信号生成部共用，向通用供电面板110或条状供电面板120的任意一方提供交流信号，另一方也可控制连接成通用电位(如接地电位)。

本实施例的上述通用供电面板110和条状供电面板120表面、传感器板130，都被装在一个传感器面板上，将各通用供电面板110和条状供电面板120表面与配置在传感器板130上的传感器131、132、133表面配置在同一平面内。

本实施例的导电布图的检查原理参照图2进行说明。图2是说明本实施例检查原理的图。图2(A)表示检查的导电布图为正常的情况，(B)为布图断开的情况，(C)为与相邻的导电布图接触的情况。

图2(B)所示为，用传感器检测的在图1的B、C位置的布图断开的示例，与导电布接触的例子用传感器检测图1的A所示的部位。

在图2(A)所示的导电布图正常的情况下，由交流信号生成部向一方的供电面板提供的交流信号(交流电)，经过导电布图，由传感器检测，如右端所示，规定的检测电平的检测结果被传感器输出处理回路210输出。

另外，如图2(B)所示，在导电布图的至少一处为断开的情况下，由交流信号生成部向一方的供电面板提供的交流信号(交流电)，由于导电布图的断开而不能提供给传感器，如右端所示，由传感器检测的信号仅为一点点或根本检不出来。

另外，如图2(C)所示，在与相邻的导电布图接触等的情况下，由交流信号生成部向一方的供电面板提供的交流信号(交流电)，经过导电布图，不仅传到传感器，还由于与相邻布图相对的供电面板被控制在接地电平，因此交流电流通过与相邻导电布图的接触部，也流向相邻导电布图，如右端所示，由传感器检测的信号比正常时少，比断开时大。

参照图3的流程图，对以上说明的本实施例的导电布图的检查控制进行说明。

在本实施例中，设置导电布图的基板为玻璃基板，步骤S1，表面形成有例如图1所示的检查对象的导电布图的玻璃基板，由不图示的输送装置被输送到本实施例的电路布图检查装置的位置(工作位置)。

步骤S2，被输送到本实施例电路布图检查装置位置的检查对象基板，由不图示的夹具(基板放置台)固定。

该夹具构成为通过XYZ角度的4轴控制，可在三维方向进行控制的结构。检查对象基板一旦被上升到与装有本实施例的各通用供电面板110、条状供电面板120和传感器131、132、133的传感器面板当接的位置，那么距与传感器面板当接位置一定距离的位置就被确定了。这种测定前的作为基准的定位，例如如图1所示的位置关系。

由于检查基板的测定位置已确定，可进行步骤S3，首先控制交流信号生成部230使条状供电面板120接地。

然后是步骤S4，控制交流信号生成部220，向通用供电面板110提供交流信号。即，首先如图1所示那样，将通用供电面板120接地，然后向条状供电面板110附加交流信号。

步骤S5，将检查基板从图1所示位置移向箭头方向的下一测定位置。同时，在步骤S6，传感器输出电路210，将各传感器131、132、133的检测信号分别按时间序列检测，记忆在不图示的内藏存储器中。

传感器输出处理电路210，将各传感器131、132、133的检测信号，用放大电路增幅至一定的信号电平，通过信号倍增器等变换成数字信号，存入内藏的存储器。

步骤S7，调查检查基板的移动距离是否符合传感器配置间隔。若检查基板的移动距离不符合传感器配置间隔，则返回步骤5 S5继续检查。

在步骤S7中，当检查基板的移动距离符合传感器的配置间隔时，进入到步骤S8，控制交流信号生成部220，使通用供电面板110接地。

然后进入步骤S9，控制交流信号生成部230，向条状供电面板120提供交流信号。使图1所示的交流信号生成部220、230的开关向相反方向切换。

步骤S10，与S5一样让检查基板向下一测定位置移动。同时，在步骤S11中，传感器输出电路210，将各传感器131、132、133的检测信号，分别按时间序列检测，记忆在不图示的内藏存储器中。

步骤S12，同步骤S7一样，调查检查基板的移动距离是否符合传感器的配置间隔。在检查基板的移动距离不符合传感器配置间隔的情况下，返回到步骤S10继续检查。

如果，在步骤S12中，检查基板的移动距离符合传感器的配置间隔时，前进至步骤S13。在步骤S6和步骤S11中，将各传感器的检测结果进行合成，将检查结果转变成规定电平的检测信号，对检测信号的状态进行解析。

在步骤S14中，调查解析后的所有检测信号的导电布图位置上的传感器检测信号的信号电平是否是规定范围的信号电平。如果，检测信号的信号电平，是图2(A)右端所示那样的规定范围内的信号电平，则前进至S15，当基板的所有导电性布图正常时该处理结束。将检查基板下降至输送位置，放置在输送带上，然后被送走。在连续检查的情况下，将下一块检查基板输送至工作位置，此的再进行步骤S2以下的处理。

若在步骤S14中，检测信号的信号电平不是规定范围内的信号电平，则进入步骤S16，判定检查对象基板配置布图不良，处理结束。然后将检查基板下降至输送位置，放置在输送带上。或被输送至下一步骤，或将不良基板从输送带上除去等的处理。

传感器输出表现为图1下部所示的检测信号的变化。本实施例实际的检查装置的检查结果如图4和图5所示。图4为与本实施例导电布图相邻接触的短路基板的检测示例，图5为本实施例导电性布图的一部分呈断开状态的基板的检测示例。

在图4和图5中，上半部表示检测信号的整体检测结果，下半部表示部分放大的检测结果。

图4下半部左侧导槽表示的部分是导电布图与相邻布图短路部分的检测结果。在向通用供电面板110提供交流信号时，由于检测的是2个布图相连时的交流信号，因此检测的电平上升。

与此相对，在向条状供电面板120提供交流信号时，由于一部分交流信号流向通用供电面板110，传感器检测的电平大大地减少了2个布图的份。这样，由于分别显示出了两方面检测结果的特征，可以防止由于噪音等使检测结果失误的现象产生。

在图5中，用“COM open”表示的检测结果是通用布图20的一部分断开的布图的检测结果。用“FLOW open”表示的检测结果是条状布图群30的一处导电布图断开打开的布图的检测结果。用“COM/FLOWopen”表示的检测结果是相邻的通用布图20和条状布图30的一部分断开的布图的检测结果。用“F·C·F”表示的检测结果是相邻的条状布图30、通用布图20、与条状布图30连续一部分断开的布图的检测结果。

如图5所示，通过向通用供电面板110和条状供电面板120两方交替提供交流信号，将另一方接地，可以使传感器131、132、133的检测信号的波形有很大不同，得到不同的检测结果，因此可以容易地对布图的状况进行判断，容易地将产生不良的原因判定为特定。

特别是在连续的相邻布图断开的情况下，通过在不同时间分别向通用供电面板110和条状供电面板120两方供电，传感器131、132、133的检测结果，显示出与单独布图断开时的检测结果有很大区别的检测信号波形，因此可容易地对布图状况进行判断，容易地特定地判定不良产生的原因，决定是否可以修复。

特别是由于不仅一方检测信号波形产生变化，而是两个检测波形都不同，因此可以容易地判别是检测信号中混入了噪音时的检测结果，还是布图不良的检测结果。这样可提高基板检查的可信度。

另外，在以上的说明中，如图1所示那样，通用布图20和条状布图群30，从基部到端部以几乎不变的等间距设置的。但是，在本实施例中，并不是相对于检查对象布图两端附近设置供电端子和传感器的，在基部侧也不是每个布图都有独立的传感器面板，而是使用按检测对象布图设置宽度大小的公共供电面板。

因此，对两端部布图的设置间距没有限制，即使两端部间布图设置间距不同，也不用改造就可进行检查。在基部，即使布图是集中的基板，也可不改变控制，照常适用。

以上，是对检查对象基板，只是设置成图1所示布图的示例进行说明的。检查对象基板也可设置多个图1所示检查布图，在后工序进行分离，形成商品化。在这种情况下，优选给每组布图配置供电面板和传感器面板。传感器输出处理回路210，通过对各传感器的检测信号进行分时处理可各组公用。在形成并列的数组布图时，在一块基板上，纵横方向可设置多组布图。另外，形成的布图不限于图1所示的示例，当然也适用于点阵数量多的大型面板。图4和图5的示例，是并列4组相同布图时的检测例。

用以上说明的本发明，确实可检测检查布图的不良。

而且，可容易地识别布图的不良状况。即使在检查结果中混入噪音，也可通过对2个检测信号进行比较，容易地去除。

Claims (12)

1.一种电路布图检查装置，其特征在于，对至少端部为列状排列、基部互相连接的梳形导电布图和至少一部分排列在所述梳状导电布图的列状齿部布图之间，且与其他布图非接触的导电性条状布图群的基板的导电布图的状态进行检查的电路图检查装置，

具有：在所述梳形导电布图端部的前端附近，所述梳形导电布图端部和条状布图的各布图，分别以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的端部电容耦合装置；

所述梳形导电布图基部的所有公共连接布图部，在规定宽度以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的公共部电容耦合装置；

在靠近所述梳形导电布图公共连接布图部的分离成梳形的列状部分，并且排列在所述列状部之间的所述条状布图前端附近，在规定宽度以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的条状部公共电容耦合装置；

向所述公共部电容耦合装置和所述条状部公共电容耦合装置的任意一方，提供检查信号的检查信号提供装置；

检测出由所述端部电容耦合装置和所述检查信号提供装置提供的检查信号对应的所述各列状齿部布图前端和所述各条状布图的检测信号的变化的检查装置；

利用所述检测装置，通过向所述公共部电容耦合装置提供检查信号时的检查结果，以及向所述条状部公共电容耦合装置提供检查信号时的检查结果，检查所述梳形导电布图和所述条状布图群的状态的电路图检查装置。

2.根据权利要求1所述的电路布图检查装置，其特征在于，所述基板主要由玻璃构成，所述梳形导电布图的列状部和所述条状布图群在玻璃上相互按规定宽度形成近似条状的导电布图。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的电路布图检查装置，其特征在于，所述各电容耦合装置，包括与导电布图具有规定间隙定位的非接触板。

4.根据权利要求3所述的电路布图检查装置，其特征在于，所述端部电容耦合装置中的所述非接触板不比应进行电容耦合的布图的宽度宽。

5.根据权利要求3或权利要求4所述的电路布图检查装置，其特征在于，所述公共部电容耦合装置和所述条状部公共电容耦合装置的非接触板，具有与该非接触板相对的应进行电容耦合的导电布图的面积大致相等的面积。

6.根据权利要求1至权利要求5中的任一项所述的电路布图检查装置，其特征在于，检查信号为交流信号，由所述公共部电容耦合装置和所述条状部公共电容耦合装置的任意一方，向所述导电布图提供交流信号。

7.一种电路布图检查装置，其特征在于，对与至少端部为列状排列、基部互相连接的通用导电布图，与交替排列在通用布图的列状布图之间的其他布图非接触的导电布图群进行检查的电路图检查装置，

具有：向所述通用布图的基部、所述通用布图基部连接的列状部的全部、以及所述条状布图群端部的全部的任意一方提供信号，而另一方维持通用电位，从所述通用布图的列状布图端部和所述条状布图群的另一方端部检测出所述提供的交流信号，同时，继续将所述通用布图的基部、连接在所述通用布图基部的列状布图部、以及所述条状布图群端部的交流信号提供部，维持在通用电位，同时，向维持通用电位的部分提供交流信号的交流信号提供控制装置；

从所述通用布图的列状布图端部及所述条状布图群另一方端部，检测所述被提供的交流信号的检测装置。

8.一种电路布图检查方法，对具有至少端部为列状排列、基部相互连接的梳形导电布图和至少一部分排列在所述梳状导电布图的列状齿部布图之间、与其他布图非接触的导电性条状布图群的基板的导电性布图的状态进行检查的电路布图检查装置中的电路图检查方法，其特征在于，

以非接触方式，与所述梳形导电性布图基部的所有公共连接布图部，在规定宽度具有耦合电容，可进行电容耦合的公共部电容耦合装置或在靠近所述梳形导电布图的公共连接布图部的分离成梳齿形的列状部分，并且在排列在所述列状部之间的所述条状布图前端附近，在规定宽度具有耦合电容，可控制进行电容耦合的条状部公共电容耦合装置的任意一方中提供交流信号，向检查对象布图输出交流信号，另一方维持接地电平的状态，

由利用在所述梳形导电布图端部的前端附近，所述梳形导电布图端部和条状布图的各布图，分别以非接触方式具有耦合电容，可进行电容耦合的端部电容耦合装置，检测所述输出的交流信号，

完成对所有检查对象布图的交流信号的检测后，将所述交流信号提供公共部电容耦合装置或条状部公共电容耦合装置保持接地电平，同时，向维持接地电平的所述交流信号提供公共部电容耦合装置，或条状部公共电容耦合装置提供交流信号，利用所述可电容耦合的端部电容耦合装置，检测所述输出的交流信号；

通过两个检测结果，可对检查对象布图是否良好进行检查。

9.根据权利要求8所述的电路布图检查方法，其特征在于，所述各电容耦合装置包括，被控制定位在与导电布图具有规定间隙位置上的非接触板。

10.根据权利要求8或权利要求9所述的电路布图检查方法，其特征在于，所述公共部电容耦合装置和所述条状部公共电容耦合装置的非接触板，具有与该非接触板相对的应电容耦合的导电布图的面积大致相同的面积，抑制因交流信号提供处的变化导致的检测结果的变化。

11.一种电路布图检查方法，对至少端部为列状排列、基部相互连接的通用布图、交替排列在通用布图的列状布图之间，与其他布图非接触的条状布图群的电路图检查装置的电路图检查方法，其特征在于，

向所述通用布图的基部、与所述通用布图基部连接的列状布图的全部、以及所述条状布图群端部的全部的任意一方提供信号，另一方维持通用电位，从所述通用布图的列状布图端部和所述条状布图群另一方端部，检测所述提供的交流信号，同时，继续将所述通用布图的基部、与所述通用布图基部连接的列状布图部、以及所述条状布图群端部的交流信号提供部，维持在通用电位，同时，向维持在通用电位的部分提供交流信号。

从所述通用布图的列状布图端部和所述条状布图群另一方端部，分别检测所述提供的交流信号的电路图检查方法。

12.为在计算机控制下实现权利要求8至权利要求11记载的任意一种电路图检查方法的记录计算机程序的计算机可读记录媒体。

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