JPH1197966A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents

弾性表面波フィルタ

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JPH1197966A
JPH1197966A JP27517497A JP27517497A JPH1197966A JP H1197966 A JPH1197966 A JP H1197966A JP 27517497 A JP27517497 A JP 27517497A JP 27517497 A JP27517497 A JP 27517497A JP H1197966 A JPH1197966 A JP H1197966A
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surface acoustic
acoustic wave
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Michiyuki Nakazawa
道幸 中澤
Katsunori Osanai
勝則 小山内
Katsuo Sato
勝男 佐藤
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 縦結合型二重モード弾性表面波フィルタにお
いて、その入出力の両方、または入力か出力かのいずれ
かの端子を平衡型とし、かつそのインピーダンスを従来
構成の50Ωからその4倍の200Ω前後に上昇させる
と共に、これによるフィルタの大型化を避ける。 【解決手段】 弾性表面波伝搬方向に沿って3個のID
Tを近接配置し、0次対称モードと2次対称モードとの
結合を利用する構成において、中央のIDTを2分割
し、音響的には縦続接続、電気的には直列接続となるよ
うにする。また、弾性表面波伝搬方向に沿って2個のI
DTを近接配置し、0次対称モードと1次反対称モード
との結合を利用する構成において、前記2個のIDTの
一方を2分割し、音響的には縦続接続、電気的には直列
接続となるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、携帯電話等に使用
される弾性表面波フィルタに関するものであって、さら
に詳しくは3個の弾性表面波変換器(Interdigital Tra
nsducer、以下、IDTと略記する)を用い、0次と2
次の二つの対称モードの結合を利用し、かつ電気信号の
平衡出力を可能とし、半導体能動素子への直接信号入力
を可能とした縦結合型二重モード弾性表面波フィルタ、
および2個のIDTを用い、0次対称モードと1次反対
称モードとの結合を利用し、かつ電気信号の平衡出力を
可能とし、半導体能動素子への直接信号入力を可能とし
た縦結合型二重モード弾性表面波フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、自動車に取り付けた自動車電話か
ら始まった移動体通信装置は、個々の携帯化、いわゆる
携帯電話へと移行し急速に普及しつつある。この携帯用
電話機は、その普及にともない小型・軽量・低損失化に
対する要求がますます大きくなり、内部に使用される個
々の部品に対しても、小型・軽量・低損失化が求められ
ている。移動体通信装置における主要な構成部品である
高周波フィルタには、この要求に応え得るものとして弾
性表面波フィルタが用いられつつある。弾性表面波フィ
ルタは、固体表面を伝搬する弾性表面波を利用したフィ
ルタであり、その構成法についてはこれまで数多く報告
されている。
【0003】移動体通信、特に携帯電話に利用されてい
る周波数は、800MHz〜1GHz、1.5GHz近傍、1.
8〜2GHzであり、さらに今後、需要の増加に伴い2GHz
を超える周波数帯も利用されるものと思われる。これら
の周波数帯域で使用されるフィルタには、低損失、広い
通過帯域が要求され、この要求実現に好適な構成方法と
して、弾性表面波を用いた縦結合型二重モードフィルタ
があることはすでに公知である。
【0004】縦結合型二重モードフィルタの構成例の一
つとして、特公平7−1859号公報に開示されたもの
が挙げられる。同公報には、圧電性基板(この場合は、
Xカット112°回転Y伝搬のタンタル酸リチウムが使
われている)上に、弾性表面波伝搬方向に沿って3個の
IDTを配置し、その両外側に格子状反射器を配置する
ことにより、中心に対して対称な、いわゆる偶数次モー
ドである0次と2次のモードを励起し、これらの結合に
より二重モードフィルタを構成することが示されてい
る。ここで、縦結合と呼ぶのは、これら二つのモードが
弾性表面波伝搬方向と同一方向に励起されることによ
る。このような二重モードフィルタは、水晶バルク波を
用いたモノリシックフィルタにおいて古くから知られて
おり、その設計に際しては、二つのモードの周波数配置
が重要なことが知られている。同公報においても、この
周波数配置として、0次モードの共振周波数と2次モー
ドの***振周波数とをほぼ一致させる、すなわち両周波
数の正規化周波数差が0.0005より小さくなるよう
にすることが示されている。そして、この構成により、
比帯域幅(通過帯域幅を中心周波数で除した値)0.4
0%のフィルタが得られたことが示されている。
【0005】一方、二つのIDTを弾性表面波伝搬方向
に近接配置し、その両外側に反射器を配置した構成の縦
結合型二重モードフィルタの構成例としては、例えば、
特公平3−51330号公報に記載されたものが挙げら
れる。この場合は、中心に対して対称な0次のモード
と、反対称な1次のモードとを励起し、これらの結合に
より二重モードフィルタを構成する。ここで引用した従
来例においては、圧電基板としてタンタル酸リチウム、
STカット水晶が使われ、その基板上に形成するIDT
の総対数、および交差幅を制御することによって、構成
されるフィルタの通過帯域幅が制御できることが示され
ている。なお、同公報には、タンタル酸リチウムのカッ
ト角および弾性表面波伝搬方向についての明確な記述は
ないが、温度特性の記述からXカット112°回転Y伝
搬であることが予想される。
【0006】さて、現在国内外で実用となっている移動
体通信、すなわち携帯電話、コードレス電話システムに
は、米国のAMPS方式、欧州のGSM、EGSMおよ
びCT−2方式、日本国内のPHS、PDCおよびNT
ACS方式等、各種のものが存在し、さらには、CDM
A方式、W−CDMA(ワイドバンドCDMA)方式も
実用に供されようとしている。これらのシステムの高周
波回路部に使用されるフィルタでは、通過帯域幅が数メ
ガヘルツから数十メガヘルツまで各種仕様のものが要求
されるが、前記縦結合型二重モード弾性表面波フィルタ
は、この広範囲な仕様要求に応え得るものとされてい
る。具体的には、圧電基板を電気機械結合係数の大きな
材料から構成すると、通過帯域幅を広くすることがで
き、また、2個のIDTを設けて0次対称モードと1次
反対称モードとを利用するよりも、3個のIDTを設け
て0次対称モードと2次対称モードとを利用したほうが
広帯域化が可能となる。圧電基板として電気機械結合係
数の大きな64°回転Yカットニオブ酸リチウムを用
い、これに2個のIDTを設けた構造は、例えば特開平
4−207615号公報に開示されており、64°回転
Yカットニオブ酸リチウムに3個のIDTを設けた構造
は、例えば特開平5−267990号公報に開示されて
いる。このように、縦結合型二重モード弾性表面波フィ
ルタにおいて使用する圧電基板と設置するIDTの個数
とは、要求仕様に応じ適宜組み合わせられる。
【0007】以上述べたように、移動体通信端末機の高
周波回路部には、弾性表面波フィルタがその小型軽量と
いう特徴のために多用されている。そして、多様な要求
仕様に応えるためには、設計自由度の大きな縦結合型二
重モードフィルタが適当である。
【0008】ところで、移動体通信端末、具体的には携
帯電話機の構成をみると、前記弾性表面波フィルタは、
通常、受信高周波回路部のローノイズアンプとミキサー
との間、またはローノイズアンプの前段に配されてい
る。ミキサーやアンプなどの能動素子は、入出力インピ
ーダンスが、通常、200Ωであり、また、低電圧でダ
イナミックレンジを広くし、高いゲインを得るために、
入出力が平衡型とされるようになってきている。しか
し、上述した従来の弾性表面波フィルタでは、入出力イ
ンピーダンスが50Ωとされ、かつ入出力のそれぞれの
端子対の一方の端子が接地される不平衡型となっている
ために、周辺能動素子への直接接続ができず、また接地
条件によりノイズの影響が除去できないという問題があ
る。
【0009】能動素子の入出力の平衡化と、そこに使わ
れる弾性表面波フィルタの入出力の平衡化とに関する課
題については、例えば「電子情報通信学会総合大会講演
論文集(基礎・境界)講演番号A−11−17、p29
2、1997年」において報告されている。この報告で
は、アンテナ側への不平衡50Ω整合とアンプ側への平
衡200Ω整合とに対応できるRF用SAWフィルタと
して、100Ω系SAW共振子フィルタ4素子を用い、
入力側は並列、出力側は直列接続とすることで、50Ω
−200Ωインピーダンスを実現している。そして、平
衡出力側において一方のSAWフィルタをIDTの向き
の逆転により入出力位相反転させ、平衡信号が出力され
る構成としている。しかし、この構成では素子サイズが
大きくなり、その結果、ウェーハ当たりの取り個数が減
り、コスト高となってしまう問題がある。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、縦結
合型二重モードフィルタにおいて、その入出力の両方、
または入力か出力かのいずれかの端子を平衡型とし、か
つそのインピーダンスを従来構成の50Ωからその4倍
の200Ω前後に上昇させると共に、これによるフィル
タの大型化を避けることである。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的は、下記(1)
および(2)のいずれかの構成により達成される。 (1) 圧電基板上に、弾性表面波伝搬方向に沿って3
個のIDTを近接配置し、その両外側に反射器を配置
し、0次対称モードと2次対称モードとの結合を利用し
た縦結合型二重モード弾性表面波フィルタであって、中
央のIDTを2分割し、音響的には縦続接続、電気的に
は直列接続となるように構成した弾性表面波フィルタ。 (2) 圧電基板上に、弾性表面波伝搬方向に沿って2
個のIDTを近接配置し、その両外側に反射器を配置
し、0次対称モードと1次反対称モードとの結合を利用
した縦結合型二重モード弾性表面波フィルタであって、
前記2個のIDTの一方を2分割し、音響的には縦続接
続、電気的には直列接続となるように構成した弾性表面
波フィルタ。
【0012】
【作用および効果】本発明では、従来50Ωに設定され
ていた一つのIDTを2分割し、かつ、これらを音響的
に縦続(カスケード)接続、電気的に直列接続となるよ
うに配置するので、従来の縦結合型二重モードフィルタ
に対し素子寸法を増大させることなく、インピーダンス
を従来の4倍の200Ωに上昇させることができ、周辺
能動素子の入力インピーダンスと整合させることができ
る。また、従来IDT電極指を挟んで対向してあった外
部端子への接続用バスバーを同一縁に形成することがで
きるので、平衡型入出力端子対の両端子とも外側から見
て同一の電気長とすることができ、特性的に好ましい。
【0013】
【実施例】以下、実施例をもとに、本発明を詳細に説明
する。
【0014】図1は、本発明の弾性表面波フィルタの一
実施例を示す電極構造概略図である。この弾性表面波フ
ィルタでは、圧電基板(図示せず)上に、中央IDT1
1が配置され、その両外側に外側IDT12、13が配
置され、さらにその両外側に反射器14、14が配置さ
れている。
【0015】この実施例では、圧電基板には64°回転
YカットX伝搬ニオブ酸リチウムを用い、電極はスパッ
タ成膜したAl−0.5wt%Cu合金を用いたが、他
の成膜方法であってもよいし、電極材も純Alや他のA
l合金であってもよい。また、この実施例では、IDT
周期λを4.648μmとし、このλで規格化した電極
厚さを3.55%としたが、これらは要求仕様に応じて
適宜設定すればよい。
【0016】次に、IDT、反射器の諸元について記す
と、中央IDT11の実効対数は17対であり、外側I
DT12、13の実効対数はそれぞれ11対であり、電
極指交差幅は56λである。この構成では、中央IDT
11の左右の音響ポートが互いに反対極性となるため、
その両外側の外側IDT12、13は、互いに上下反転
となるように形成してある。しかし、中央IDTからの
距離を半波長ずらすことによって、外側IDT12、1
3を反転関係とせずに同一構造とすることもできる。反
射器14は、反射ストライプ数を250本とし、そのピ
ッチは、IDTコンダクタンス最大位置が反射器ストッ
プバンド内に入るように、若干広く設定した。
【0017】図1の構成は、中央IDT11に接続され
ている出力端子15、16が共に接地されていない平衡
出力型であり、出力端子15、16を弾性表面波伝搬路
からほぼ等しい電気長で取り出せるため、特性的に好ま
しい。そして、中央IDT11を二分割しかつ直列接続
としているので、出力インピーダンスが200Ωとな
る。なお、この構成において、中央IDT11を分割直
列接続構成とせずに従来構造とした場合、入出力インピ
ーダンスは共に50Ωであることを、別途確認した。こ
の構成では、外側IDT12、13に接続されている入
力端子17を不平衡型としているので、50Ω不平衡入
力−200Ω平衡出力の構成となる。ただし、出力端子
15、16を入力端子として用い、入力端子17を出力
端子として用いれば、200Ω平衡入力−50Ω不平衡
出力の構成とすることができる。どちらの構成とするか
は、弾性表面波フィルタの適用箇所に応じて適宜選択す
ればよい。なお、出力端子と入力端子とを逆にしてもよ
いことは、以下に説明する他の実施例においても同様で
ある。
【0018】なお、分割の元となる50Ω系の中央ID
Tが偶数本の電極指を有する場合には、図1に示すよう
に電極指数が等しくなるように2分割すればよいが、分
割の元となる50Ω系の中央IDTが奇数本の電極指を
有する場合には、分割直列構成となる2つのIDTは、
電極指数が1本異なることになる。
【0019】図2に、本発明の他の実施例を示す。従来
から、フィルタの帯域外減衰量の確保のため、縦結合型
二重モードフィルタを二段縦続接続構成とすることが知
られていたが、この二段縦続接続構成に本発明を適用し
た例が、図2に示す実施例である。この構成は、両側を
反射器14a、14aに挟まれた3個のIDTを有する
1段目の縦結合型二重モードフィルタ1aにおいて、中
央IDT11aを、図1に示す中央IDT11と同様に
分割直列接続構成とし、出力端子15a、16aを平衡
型としたものである。2段目の縦結合型二重モードフィ
ルタ1bは、両側を反射器14b、14bに挟まれた3
個のIDTのうち、入力端子17を接続した中央IDT
11bを従来の構成としたものである。そして、両外側
IDT同士、すなわち外側IDT12aと外側IDT1
2b、および外側IDT13aと外側IDT13bとを
接続して縦続接続構成とすることにより、50Ω不平衡
入力−200Ω平衡出力の構成で、かつ帯域外減衰量の
大きなフィルタが得られている。
【0020】図3に、本発明の他の実施例を示す。この
構成は、1段目の縦結合型二重モードフィルタ1aおよ
び2段目の縦結合型二重モードフィルタ1bにおいて、
それぞれの中央IDT11aおよび中央IDT11b
を、図1に示す中央IDT11と同様に分割直列接続構
成とし、出力端子15a、16aおよび入力端子15
b、16bを平衡型としたものである。そして、両外側
IDT同士、すなわち外側IDT12aと外側IDT1
2b、および外側IDT13aと外側IDT13bとを
接続して縦続接続構成としたものである。すなわち、図
1に示す縦結合型二重モードフィルタを、その不平衡入
力側が段間接続部となるように配置した二段縦続接続構
成である。この構成により、平衡型−平衡型の入出力関
係が得られ、かつ入出力インピーダンスを200Ωとす
ることができるので、フィルタの前後に能動素子のある
回路部への適用に適する。そして、この構成では、入力
側および出力側の両方の端子対をいずれも同一電気長と
できる。
【0021】以上、3個のIDTを用いた縦結合型二重
モードフィルタに本発明を適用した場合の構成について
説明したが、2個のIDTを用い、0次対称モードと1
次反対称モードとの結合を利用する縦結合型二重モード
フィルタにおいても、本発明により平衡型入出力構成を
実現することができる。
【0022】図4、図5、図6に、2個のIDTを設け
た縦結合型二重モードフィルタに本発明を適用した場合
の実施例をそれぞれ示す。
【0023】図4は、圧電基板(図示せず)上に、弾性
表面波伝搬方向に沿って2個のIDT21、22を近接
配置し、その両外側に反射器14、14を配置し、0次
対称モードと1次反対称モードとの結合を利用する縦結
合型二重モード弾性表面波フィルタであり、一方のID
T21を2分割し、図1における中央IDT11と同様
に、音響的には縦続接続、電気的には直列接続構成とな
るように構成したものである。この構成においても、図
1の構成と同様に、出力端子15、16が平衡型であ
り、入力端子17が不平衡型であって、50Ω不平衡入
力−200Ω平衡出力の構成となる。
【0024】この構成における圧電基板の構成材料は特
に限定されないが、2個のIDTを設ける構成とするの
は、比較的狭帯域の特性が要求される場合なので、圧電
基板としては比較的電気機械結合係数の小さな36°回
転YカットX伝搬タンタル酸リチウムや、Xカット11
2°回転Y伝搬タンタル酸リチウムが多用される。
【0025】2個のIDTを設ける構成の場合も、前述
した3個のIDTを設ける構成の場合と同様に、帯域外
減衰量向上のため、通常、二段縦続接続して使用され
る。
【0026】二段縦続接続した実施例を、図5に示す。
図4と図5との関係は、図1と図2との関係と同様であ
る。すなわち、この構成は、1段目の縦結合型二重モー
ドフィルタ1aにおいて、一方のIDT21aを、図4
のIDT21と同様に分割直列接続構成とし、出力端子
15a、16aを平衡型としたものである。2段目の縦
結合型二重モードフィルタ1bは、入力端子17を接続
した一方のIDT22bを従来の構成としたものであ
る。そして、他方のIDT同士、すなわちIDT22a
とIDT21bとを接続して縦続接続構成とすることに
より、50Ω不平衡入力−200Ω平衡出力の構成で、
かつ帯域外減衰量の大きなフィルタが得られている。
【0027】二段縦続接続した他の実施例を、図6に示
す。図4と図6との関係は、図1と図3との関係と同様
である。すなわち、この構成は、1段目の縦結合型二重
モードフィルタ1aおよび2段目の縦結合型二重モード
フィルタ1bにおいて、それぞれの一方のIDT21a
および一方のIDT22bを、図4のIDT21と同様
に分割直列接続構成とし、出力端子15a、16aおよ
び入力端子15b、16bを平衡型としたものである。
そして、他方のIDT同士、すなわちIDT22aとI
DT21bとを接続して縦続接続構成としたものであ
る。すなわち、図4に示す縦結合型二重モードフィルタ
を、その不平衡入力側が段間接続部となるように配置し
た二段縦続接続構成である。この構成により、200Ω
平衡−200Ω平衡の入出力関係が得られるので、フィ
ルタの前後に能動素子のある回路部への適用に適する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タにおけるIDTの構成を示す平面図である。
【図2】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タを、二段縦続接続による平衡−不平衡構成とした場合
のIDTの構成を示す平面図である。
【図3】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タを、二段縦続接続による平衡−平衡構成とした場合の
IDTの構成を示す平面図である。
【図4】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タにおけるIDTの構成を示す平面図である。
【図5】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タを、二段縦続接続による平衡−不平衡構成とした場合
のIDTの構成を示す平面図である。
【図6】本発明の縦結合型二重モード弾性表面波フィル
タを、二段縦続接続による平衡−平衡構成とした場合の
IDTの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
1a、1b 1段構成の縦結合型二重モードフィルタ 11、11a、11b 中央IDT 12、12a、12b、13、13a、13b 外側I
DT 14、14a、14b 反射器 15、15a、16、16a 出力端子 15b、16b、l7 入力端子 21、21a、21b、22、22a、22b IDT

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 圧電基板上に、弾性表面波伝搬方向に沿
    って3個のIDTを近接配置し、その両外側に反射器を
    配置し、0次対称モードと2次対称モードとの結合を利
    用した縦結合型二重モード弾性表面波フィルタであっ
    て、中央のIDTを2分割し、音響的には縦続接続、電
    気的には直列接続となるように構成した弾性表面波フィ
    ルタ。
  2. 【請求項2】 圧電基板上に、弾性表面波伝搬方向に沿
    って2個のIDTを近接配置し、その両外側に反射器を
    配置し、0次対称モードと1次反対称モードとの結合を
    利用した縦結合型二重モード弾性表面波フィルタであっ
    て、前記2個のIDTの一方を2分割し、音響的には縦
    続接続、電気的には直列接続となるように構成した弾性
    表面波フィルタ。
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Cited By (28)

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