JPH10190394A - 弾性表面波共振子フィルタ - Google Patents
弾性表面波共振子フィルタInfo
- Publication number
- JPH10190394A JPH10190394A JP8345477A JP34547796A JPH10190394A JP H10190394 A JPH10190394 A JP H10190394A JP 8345477 A JP8345477 A JP 8345477A JP 34547796 A JP34547796 A JP 34547796A JP H10190394 A JPH10190394 A JP H10190394A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- resonator filter
- weighting
- electrodes
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6436—Coupled resonator filters having one acoustic track only
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1064—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices
- H03H9/1092—Mounting in enclosures for surface acoustic wave [SAW] devices the enclosure being defined by a cover cap mounted on an element forming part of the surface acoustic wave [SAW] device on the side of the IDT's
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/46—Filters
- H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
- H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
- H03H9/6433—Coupled resonator filters
- H03H9/6483—Ladder SAW filters
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 通過帯域の高域側における大きな不要スプリ
アスを効果的に抑圧することができ、選択度が改善され
た縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを得る。 【解決手段】 圧電基板２上に第１のＩＤ電極３と第
２，第３のＩＤ電極４，５とを配置し、それらの設けら
れている領域の両側に反射器８，９を形成してなり、第
１のＩＤ電極３と第２の電極４との最も近接し合ってい
る電極指の中心間距離Ｌ1 と、第１のＩＤ電極３と第３
のＩＤ電極５の最も近接し合っている電極指の中心間距
離Ｌ2 とを異ならせてなる構造において、ＩＤ電極３に
重み付けを施してなる、３電極型の縦結合型ＳＡＷ共振
子フィルタ１。
アスを効果的に抑圧することができ、選択度が改善され
た縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを得る。 【解決手段】 圧電基板２上に第１のＩＤ電極３と第
２，第３のＩＤ電極４，５とを配置し、それらの設けら
れている領域の両側に反射器８，９を形成してなり、第
１のＩＤ電極３と第２の電極４との最も近接し合ってい
る電極指の中心間距離Ｌ1 と、第１のＩＤ電極３と第３
のＩＤ電極５の最も近接し合っている電極指の中心間距
離Ｌ2 とを異ならせてなる構造において、ＩＤ電極３に
重み付けを施してなる、３電極型の縦結合型ＳＡＷ共振
子フィルタ１。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、インターデジタル
電極が設けられている領域の両側に反射器を形成してな
る縦結合型弾性表面波共振子フィルタに関し、より詳細
には、電極構造の改良により不要スプリアスを抑圧した
構造を有する縦結合型弾性表面波共振子フィルタに関す
る。
電極が設けられている領域の両側に反射器を形成してな
る縦結合型弾性表面波共振子フィルタに関し、より詳細
には、電極構造の改良により不要スプリアスを抑圧した
構造を有する縦結合型弾性表面波共振子フィルタに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、各種通信機器用の帯域通過型フィ
ルタとして、弾性表面波（以下、ＳＡＷ）フィルタが用
いられている。帯域通過型フィルタでは、通過帯域幅の
確保及び高選択性を有することが強く求められている。
従って、例えば高周波段に用いられるＳＡＷフィルタに
おいても、目的とする通過帯域幅の確保及び高選択特性
が要求されている。特に、ＣＴ−１、ＣＴ−１+ 及びＣ
Ｔ−２などの規格のコードレス電話におけるＲＦ段用Ｓ
ＡＷフィルタでは、使用する中間周波段フィルタにもよ
るが、中心周波数から±２０ＭＨｚ離れた点及び±４０
ＭＨｚ離れた点における減衰量の確保が重要であるとさ
れており、より選択特性に優れたフィルタが要求されて
いる。
ルタとして、弾性表面波（以下、ＳＡＷ）フィルタが用
いられている。帯域通過型フィルタでは、通過帯域幅の
確保及び高選択性を有することが強く求められている。
従って、例えば高周波段に用いられるＳＡＷフィルタに
おいても、目的とする通過帯域幅の確保及び高選択特性
が要求されている。特に、ＣＴ−１、ＣＴ−１+ 及びＣ
Ｔ−２などの規格のコードレス電話におけるＲＦ段用Ｓ
ＡＷフィルタでは、使用する中間周波段フィルタにもよ
るが、中心周波数から±２０ＭＨｚ離れた点及び±４０
ＭＨｚ離れた点における減衰量の確保が重要であるとさ
れており、より選択特性に優れたフィルタが要求されて
いる。
【０００３】他方、低損失化、帯域外減衰量の増大及び
小型化を図る上では、ＳＡＷフィルタの中でも、共振子
型のものが有利であるとされている。例えば、３６°Ｙ
カットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3 などからなる圧電基板上にイ
ンターデジタル（以下、ＩＤ）電極を等間隔に３個近接
配置し、ＩＤ電極が設けられている領域の両側に反射器
を設けてなる縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの多段接続
品を用いれば、上述した要求を一応満たすことが可能で
ある。
小型化を図る上では、ＳＡＷフィルタの中でも、共振子
型のものが有利であるとされている。例えば、３６°Ｙ
カットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3 などからなる圧電基板上にイ
ンターデジタル（以下、ＩＤ）電極を等間隔に３個近接
配置し、ＩＤ電極が設けられている領域の両側に反射器
を設けてなる縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの多段接続
品を用いれば、上述した要求を一応満たすことが可能で
ある。
【０００４】しかしながら、従来の縦結合型ＳＡＷ共振
子フィルタでは、通過帯域よりも高周波側に不要スプリ
アスが発生するという問題があった。図３は、従来の縦
結合型ＳＡＷ共振子フィルタの減衰量周波数特性を示す
図であり、実線Ａは、実線Ｂで示す特性の要部を縦軸の
右側のスケールで拡大した特性を示す。図３に示す減衰
量周波数特性は、通過帯域が８６４〜８６８ＭＨｚであ
る縦結合型弾性表面波共振子フィルタの特性であるが、
通過帯域よりも高周波数側、すなわち８９０ＭＨｚ付近
において矢印Ｃで示す大きなスプリアスが表れている。
従って、この付近で十分大きな減衰量を得ることができ
なかった。
子フィルタでは、通過帯域よりも高周波側に不要スプリ
アスが発生するという問題があった。図３は、従来の縦
結合型ＳＡＷ共振子フィルタの減衰量周波数特性を示す
図であり、実線Ａは、実線Ｂで示す特性の要部を縦軸の
右側のスケールで拡大した特性を示す。図３に示す減衰
量周波数特性は、通過帯域が８６４〜８６８ＭＨｚであ
る縦結合型弾性表面波共振子フィルタの特性であるが、
通過帯域よりも高周波数側、すなわち８９０ＭＨｚ付近
において矢印Ｃで示す大きなスプリアスが表れている。
従って、この付近で十分大きな減衰量を得ることができ
なかった。
【０００５】上記のようなスプリアスＣを抑圧する方法
として、特開平８−１９１２２９号公報には、中央のＩ
Ｄ電極と両側のＩＤ電極との距離を左右で異ならせる方
法が開示されている。この特開平８−１９１２２９号公
報に開示されている縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを、
図４に平面図で示す。
として、特開平８−１９１２２９号公報には、中央のＩ
Ｄ電極と両側のＩＤ電極との距離を左右で異ならせる方
法が開示されている。この特開平８−１９１２２９号公
報に開示されている縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを、
図４に平面図で示す。
【０００６】縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０は、圧
電基板１１上にＩＤ電極１２，１３，１４を表面波伝搬
方向に沿って並設した構造を有する。すなわち、第１の
ＩＤ電極１４の両側に第２，第３のＩＤ電極１２，１３
が配置されている。ＩＤ電極１２〜１４の設けられてい
る領域の表面波伝搬方向両側には、反射器１５，１５が
形成されている。
電基板１１上にＩＤ電極１２，１３，１４を表面波伝搬
方向に沿って並設した構造を有する。すなわち、第１の
ＩＤ電極１４の両側に第２，第３のＩＤ電極１２，１３
が配置されている。ＩＤ電極１２〜１４の設けられてい
る領域の表面波伝搬方向両側には、反射器１５，１５が
形成されている。
【０００７】ＩＤ電極１２，１３は入力端２１に接続さ
れており、ＩＤ電極１４が出力端２２に接続されてい
る。ＩＤ電極１２，１３に電圧を印加することにより、
表面波が励振され、該表面波が反射器１５，１５間で挟
まれた領域に閉じ込められ、定在波が生じ、該定在波に
基づく出力がＩＤ電極１４から取り出される。
れており、ＩＤ電極１４が出力端２２に接続されてい
る。ＩＤ電極１２，１３に電圧を印加することにより、
表面波が励振され、該表面波が反射器１５，１５間で挟
まれた領域に閉じ込められ、定在波が生じ、該定在波に
基づく出力がＩＤ電極１４から取り出される。
【０００８】縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０では、
第１のＩＤ電極１４と第２のＩＤ電極１２との距離、す
なわち両者の最も近接し合っている電極指の中心間距離
Ｌ1と、第１のＩＤ電極１４と第３のＩＤ電極１３の最
も近接し合っている電極指の中心間距離Ｌ2 とが異なら
されている。
第１のＩＤ電極１４と第２のＩＤ電極１２との距離、す
なわち両者の最も近接し合っている電極指の中心間距離
Ｌ1と、第１のＩＤ電極１４と第３のＩＤ電極１３の最
も近接し合っている電極指の中心間距離Ｌ2 とが異なら
されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図４に
示した従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０を（２
段接続したフィルタを）用いた場合、上記中心間距離Ｌ
1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、通過帯域の高域側に
矢印Ｆで示す減衰極が形成され、該減衰極付近で大きな
減衰量が得られるが、前述した大きな不要スプリアスＣ
をある程度は抑圧し得るものの、実際には、その減衰量
周波数特性は図５に示す通りであり、スプリアスＣを完
全に抑圧することはできない。図５は、上記縦結合型Ｓ
ＡＷ共振子フィルタ１０の減衰量周波数曲線を示し、実
線Ｄは、実線Ｅで示す特性の要部を縦軸の右側のスケー
ルで拡大して示す特性である。矢印Ｃで示す不要スプリ
アスについては、図３と比較すれば明らかなように、さ
ほど改善されていないことがわかる。
示した従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０を（２
段接続したフィルタを）用いた場合、上記中心間距離Ｌ
1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、通過帯域の高域側に
矢印Ｆで示す減衰極が形成され、該減衰極付近で大きな
減衰量が得られるが、前述した大きな不要スプリアスＣ
をある程度は抑圧し得るものの、実際には、その減衰量
周波数特性は図５に示す通りであり、スプリアスＣを完
全に抑圧することはできない。図５は、上記縦結合型Ｓ
ＡＷ共振子フィルタ１０の減衰量周波数曲線を示し、実
線Ｄは、実線Ｅで示す特性の要部を縦軸の右側のスケー
ルで拡大して示す特性である。矢印Ｃで示す不要スプリ
アスについては、図３と比較すれば明らかなように、さ
ほど改善されていないことがわかる。
【００１０】本発明の目的は、通過帯域の高域側に現れ
る大きなスプリアスをより効果的に抑圧することがで
き、それによって選択特性のより一層の改善が図られた
縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを提供することにある。
る大きなスプリアスをより効果的に抑圧することがで
き、それによって選択特性のより一層の改善が図られた
縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、第１のＩＤ電極、第１のＩＤ電極の表面波伝搬方向
両側に配置された第２，第３のＩＤ電極及び反射器を有
し、最も近接し合っている第１のＩＤ電極の電極指と第
２のＩＤ電極の電極指との中心間距離Ｌ1 と、最も近接
し合っている第１のＩＤ電極の電極指と第３のＩＤ電極
の電極指との中心間距離Ｌ2 とが異ならされている縦結
合型弾性表面波共振子フィルタにおいて、前記第１〜第
３のＩＤ電極のうち、少なくとも１つのＩＤ電極が重み
付けされていることを特徴とする。
は、第１のＩＤ電極、第１のＩＤ電極の表面波伝搬方向
両側に配置された第２，第３のＩＤ電極及び反射器を有
し、最も近接し合っている第１のＩＤ電極の電極指と第
２のＩＤ電極の電極指との中心間距離Ｌ1 と、最も近接
し合っている第１のＩＤ電極の電極指と第３のＩＤ電極
の電極指との中心間距離Ｌ2 とが異ならされている縦結
合型弾性表面波共振子フィルタにおいて、前記第１〜第
３のＩＤ電極のうち、少なくとも１つのＩＤ電極が重み
付けされていることを特徴とする。
【００１２】請求項２に記載の発明では、上記縦結合型
ＳＡＷ共振子フィルタにおいて、重み付けが、ＩＤ電極
の中心に対して非対称に施されている。請求項３に記載
の発明では、上記重み付けが、間引き重み付けにより施
されていることを特徴とする。
ＳＡＷ共振子フィルタにおいて、重み付けが、ＩＤ電極
の中心に対して非対称に施されている。請求項３に記載
の発明では、上記重み付けが、間引き重み付けにより施
されていることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
に係る弾性表面波共振子フィルタの構造例を説明する。
に係る弾性表面波共振子フィルタの構造例を説明する。
【００１４】図１は、本発明に係る縦結合型ＳＡＷ共振
子フィルタの一構造例を示す平面図である。縦結合型Ｓ
ＡＷ共振子フィルタ１は、圧電基板２を用いて構成され
ている。圧電基板２は、例えば、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮ
ｂＯ3 もしくは水晶などの圧電単結晶、またはチタン酸
ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックス
により構成され得る。
子フィルタの一構造例を示す平面図である。縦結合型Ｓ
ＡＷ共振子フィルタ１は、圧電基板２を用いて構成され
ている。圧電基板２は、例えば、ＬｉＴａＯ3 、ＬｉＮ
ｂＯ3 もしくは水晶などの圧電単結晶、またはチタン酸
ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電セラミックス
により構成され得る。
【００１５】圧電基板２上には、第１のＩＤ電極３と、
ＩＤ電極３の表面波伝搬方向両側に配置された第２，第
３のＩＤ電極４，５とが形成されている。第１〜第３の
ＩＤ電極は、それぞれ、間挿し合う少なくとも１本の電
極指を有する一対のくし歯電極により構成されている。
ＩＤ電極３の表面波伝搬方向両側に配置された第２，第
３のＩＤ電極４，５とが形成されている。第１〜第３の
ＩＤ電極は、それぞれ、間挿し合う少なくとも１本の電
極指を有する一対のくし歯電極により構成されている。
【００１６】本構造例では、第２，第３のＩＤ電極４，
５が入力側インターデジタルトランスデューサを構成し
ており、ＩＤ電極４，５の一方のくし歯電極が入力端子
６に電気的に接続されている。第１のＩＤ電極３は、出
力側インターデジタルトランスデューサを構成してお
り、一方のくし歯電極が出力端子７に電気的に接続され
ている。
５が入力側インターデジタルトランスデューサを構成し
ており、ＩＤ電極４，５の一方のくし歯電極が入力端子
６に電気的に接続されている。第１のＩＤ電極３は、出
力側インターデジタルトランスデューサを構成してお
り、一方のくし歯電極が出力端子７に電気的に接続され
ている。
【００１７】ＩＤ電極３〜５が設けられている領域の表
面波伝搬方向両側に反射器８，９が形成されている。反
射器８，９は、複数本の電極指を表面波伝搬方向に直交
する方向に配置し、該複数本の電極指を全て短絡した構
造を有する。
面波伝搬方向両側に反射器８，９が形成されている。反
射器８，９は、複数本の電極指を表面波伝搬方向に直交
する方向に配置し、該複数本の電極指を全て短絡した構
造を有する。
【００１８】上記ＩＤ電極３〜５及び反射器８，９は、
導電性材料をパターニングすることにより形成される
が、この導電性材料については特に限定されるものでは
なく、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などの適
宜の金属材料を用いることができる。
導電性材料をパターニングすることにより形成される
が、この導電性材料については特に限定されるものでは
なく、例えばアルミニウムやアルミニウム合金などの適
宜の金属材料を用いることができる。
【００１９】縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１の特徴
は、第１のＩＤ電極３と、第２のＩＤ電極４の最も近接
し合っている電極指間の中心間距離Ｌ1 が、第１のＩＤ
電極３と第３のＩＤ電極５の最も近接し合っている電極
指間の中心間距離Ｌ2 とが異ならされており、かつＩＤ
電極３が重み付けされていることにある。
は、第１のＩＤ電極３と、第２のＩＤ電極４の最も近接
し合っている電極指間の中心間距離Ｌ1 が、第１のＩＤ
電極３と第３のＩＤ電極５の最も近接し合っている電極
指間の中心間距離Ｌ2 とが異ならされており、かつＩＤ
電極３が重み付けされていることにある。
【００２０】すなわち、ＳＡＷ共振子フィルタ１では、
上記中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、図
４に示したＳＡＷ共振子フィルタ１０と同様に通過帯域
よりも高域側における大きな不要スプリアスの抑圧が図
られている。
上記中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、図
４に示したＳＡＷ共振子フィルタ１０と同様に通過帯域
よりも高域側における大きな不要スプリアスの抑圧が図
られている。
【００２１】加えて、中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせ
ただけでは、通過帯域よりも高域側における不要スプリ
アスを完全に抑圧することができないことに鑑み、ＩＤ
電極３が重み付けされている。ＩＤ電極３の重み付け
は、図１から明らかなように、ＩＤ電極３の表面波伝搬
方向において非対称に施されている。
ただけでは、通過帯域よりも高域側における不要スプリ
アスを完全に抑圧することができないことに鑑み、ＩＤ
電極３が重み付けされている。ＩＤ電極３の重み付け
は、図１から明らかなように、ＩＤ電極３の表面波伝搬
方向において非対称に施されている。
【００２２】すなわち、ＩＤ電極３は、通常の正規型Ｉ
Ｄ電極であれば、電極指３ａ，３ｃ，３ｅ，３ｇ，３
ｉ，３ｋ，３ｍ，３ｏがアース電位に、また、電極指３
ｂ，３ｄ，３ｆ，３ｈ，３ｊ，３ｌ，３ｎが出力端子７
にそれぞれ接続されるのに対し、図の例では、電極指３
ｈと３ｌがアース端子に接続されている。
Ｄ電極であれば、電極指３ａ，３ｃ，３ｅ，３ｇ，３
ｉ，３ｋ，３ｍ，３ｏがアース電位に、また、電極指３
ｂ，３ｄ，３ｆ，３ｈ，３ｊ，３ｌ，３ｎが出力端子７
にそれぞれ接続されるのに対し、図の例では、電極指３
ｈと３ｌがアース端子に接続されている。
【００２３】一般に、信号端子（入力あるいは出力端
子）に接続される電極指をアース端子への接続に変え
る、あるいは、反対にアース端子に接続される電極指を
信号端子への接続に変えることを電極指を間引くとい
い、これを複数の電極指に対して操作し、ＩＤ電極の電
極指の配列構造を変化させることを間引き重み付けとい
う。すなわち、ＩＤ電極３では、上記のようにＩＤ電極
の表面波伝搬方向中心に対して非対称となるように間引
き重み付けにより重み付けが施されている。
子）に接続される電極指をアース端子への接続に変え
る、あるいは、反対にアース端子に接続される電極指を
信号端子への接続に変えることを電極指を間引くとい
い、これを複数の電極指に対して操作し、ＩＤ電極の電
極指の配列構造を変化させることを間引き重み付けとい
う。すなわち、ＩＤ電極３では、上記のようにＩＤ電極
の表面波伝搬方向中心に対して非対称となるように間引
き重み付けにより重み付けが施されている。
【００２４】縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１では、上
記のように中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせた構成にお
いて、ＩＤ電極３が上記のように重み付けされているた
め、通過帯域よりも高域側において不要スプリアスを効
果的に抑圧することができる。これは、中心間距離
Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより通過帯域よりも高域
側に減衰極を形成し、該高域側における減衰量の拡大を
図り得る構成において、さらに本願発明者が鋭意検討し
た結果、実験的に見出した知見に基づくものである。
記のように中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせた構成にお
いて、ＩＤ電極３が上記のように重み付けされているた
め、通過帯域よりも高域側において不要スプリアスを効
果的に抑圧することができる。これは、中心間距離
Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより通過帯域よりも高域
側に減衰極を形成し、該高域側における減衰量の拡大を
図り得る構成において、さらに本願発明者が鋭意検討し
た結果、実験的に見出した知見に基づくものである。
【００２５】すなわち、従来、ＳＡＷフィルタのＩＤ電
極に重み付けを施して周波数特性を調整することが試み
られているが、このような重み付けによるスプリアスの
抑圧は、主として、ＩＤ電極のサイドローブにおけるス
プリアスの抑圧や横モードスプリアスの低減に利用され
ているものに過ぎない。言い換えれば、ＩＤ電極のメイ
ンローブ内にあるスプリアスに対しては、重み付けによ
ってスプリアスを抑圧することはできないと考えられて
いた。
極に重み付けを施して周波数特性を調整することが試み
られているが、このような重み付けによるスプリアスの
抑圧は、主として、ＩＤ電極のサイドローブにおけるス
プリアスの抑圧や横モードスプリアスの低減に利用され
ているものに過ぎない。言い換えれば、ＩＤ電極のメイ
ンローブ内にあるスプリアスに対しては、重み付けによ
ってスプリアスを抑圧することはできないと考えられて
いた。
【００２６】これに対して、本願発明者は、上記縦結合
型ＳＡＷ共振子フィルタにおいて中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2
を異ならせた構成において、少なくとも１つのＩＤ電極
を重み付けすれば、メインローブ内のスプリアスを抑圧
し得ることを初めて見出し、本発明を成すに至った。
型ＳＡＷ共振子フィルタにおいて中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2
を異ならせた構成において、少なくとも１つのＩＤ電極
を重み付けすれば、メインローブ内のスプリアスを抑圧
し得ることを初めて見出し、本発明を成すに至った。
【００２７】従って、本発明におけるＩＤ電極の重み付
けは、従来より慣用されていた、ＩＤ電極のサイドロー
ブにおけるスプリアスの抑圧や横モードスプリアスの低
減に用いられている重み付けから想起されるものではな
い。
けは、従来より慣用されていた、ＩＤ電極のサイドロー
ブにおけるスプリアスの抑圧や横モードスプリアスの低
減に用いられている重み付けから想起されるものではな
い。
【００２８】特に、ＩＤ電極に非対称に重み付けする方
法は、上記のように中心間距離Ｌ1，Ｌ2 を異ならせた
場合にのみ効果を発揮するものである。従来の中心間距
離Ｌ 1 ，Ｌ2 が異ならされていない０次モード及び２次
モードを利用した３電極型縦結合型ＳＡＷ共振子フィル
タにおいて、ＩＤ電極に非対称に重み付けを施すと、フ
ィルタ特性の対称性が崩れ、１次モードが通過帯域内に
大きなスプリアスとして発生する。
法は、上記のように中心間距離Ｌ1，Ｌ2 を異ならせた
場合にのみ効果を発揮するものである。従来の中心間距
離Ｌ 1 ，Ｌ2 が異ならされていない０次モード及び２次
モードを利用した３電極型縦結合型ＳＡＷ共振子フィル
タにおいて、ＩＤ電極に非対称に重み付けを施すと、フ
ィルタ特性の対称性が崩れ、１次モードが通過帯域内に
大きなスプリアスとして発生する。
【００２９】すなわち、本発明におけるＩＤ電極の重み
付けは、３電極型縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタにおい
て、上記中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせた構造に限
り、上記スプリアス抑圧効果を発揮するものである。
付けは、３電極型縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタにおい
て、上記中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせた構造に限
り、上記スプリアス抑圧効果を発揮するものである。
【００３０】本発明に係る縦結合型ＳＡＷ共振子フィル
タは、従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタにおいてメ
インローブ内のスプリアス抑圧に効果がないと考えられ
ていた重み付け法を、中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 が異ならさ
れた特定の構造においてあえて利用することにより、通
過帯域よりも高域側に発生する不要スプリアスの抑圧を
果たし、選択特性を向上したことに特徴を有する。
タは、従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタにおいてメ
インローブ内のスプリアス抑圧に効果がないと考えられ
ていた重み付け法を、中心間距離Ｌ1 ，Ｌ2 が異ならさ
れた特定の構造においてあえて利用することにより、通
過帯域よりも高域側に発生する不要スプリアスの抑圧を
果たし、選択特性を向上したことに特徴を有する。
【００３１】なお、実施例では、ＩＤ電極３に重み付け
を施していたが、ＩＤ電極４，５にも重み付けを施して
もよく、ＩＤ電極３ではなく、ＩＤ電極４及び５の少な
くとも一方にのみ重み付けを施してもよい。また、上記
のように表面波伝搬方向中心に対して非対称に重み付け
を施さず、対称に重み付けを施してもよい。もっとも、
非対称に重み付けすることにより、通過帯域の高域側に
おけるスプリアスをより効果的に抑圧し得るため、非対
称に重み付けすることが好ましい。
を施していたが、ＩＤ電極４，５にも重み付けを施して
もよく、ＩＤ電極３ではなく、ＩＤ電極４及び５の少な
くとも一方にのみ重み付けを施してもよい。また、上記
のように表面波伝搬方向中心に対して非対称に重み付け
を施さず、対称に重み付けを施してもよい。もっとも、
非対称に重み付けすることにより、通過帯域の高域側に
おけるスプリアスをより効果的に抑圧し得るため、非対
称に重み付けすることが好ましい。
【００３２】さらに、重み付け方法についても、上述し
た電極間引き法による重み付けに限らず、交差幅重み付
け、傾斜型重み付けなどの他の重み付け手法を採用して
もよい。
た電極間引き法による重み付けに限らず、交差幅重み付
け、傾斜型重み付けなどの他の重み付け手法を採用して
もよい。
【００３３】また、圧電基板２１に代えて、絶縁基板上
に圧電薄膜を形成してなる圧電性基板を用いてもよく、
その場合には、ＩＤ電極３〜５や反射器８，９は、圧電
薄膜の上面及び下面の何れに形成してもよい。
に圧電薄膜を形成してなる圧電性基板を用いてもよく、
その場合には、ＩＤ電極３〜５や反射器８，９は、圧電
薄膜の上面及び下面の何れに形成してもよい。
【００３４】
【実施例】本発明に係る縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ
の効果を、具体的な実施例に基づき明らかにする。
の効果を、具体的な実施例に基づき明らかにする。
【００３５】図１に示したＳＡＷ共振子フィルタ１とし
て、圧電基板２を３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3 、
ＩＤ電極３の電極指の本数を７１本、ＩＤ電極４，５の
電極指の本数を４１本、中心間距離Ｌ1 ＝０．３５λ、
Ｌ2 ＝０．７１λ、反射器８，９の電極指の本数をそれ
ぞれ１７０本、ＩＤ電極３〜５及び反射器８，９の電極
膜厚をλの３．６％とし、さらにＩＤ電極３について
は、表面波伝搬方向において非対称となるように間引き
法により重み付けした。間引き重み付けの詳細は、ＩＤ
電極３において通常の正規型ＩＤ電極の電極指の配列構
造から、図１で説明すると、左側より、３０、３２、３
４、３６、３８、５４、５８、６２、６６、６８本目の
電極指をアース端子側に接続するように電極指を間引い
た。λは、反射器の電極ピッチで決まる表面波の波長で
ある。なお、上記ＩＤ電極３〜５及び反射器８，９の電
極材料としてはＡｌを用いた。
て、圧電基板２を３６°ＹカットＸ伝搬ＬｉＴａＯ3 、
ＩＤ電極３の電極指の本数を７１本、ＩＤ電極４，５の
電極指の本数を４１本、中心間距離Ｌ1 ＝０．３５λ、
Ｌ2 ＝０．７１λ、反射器８，９の電極指の本数をそれ
ぞれ１７０本、ＩＤ電極３〜５及び反射器８，９の電極
膜厚をλの３．６％とし、さらにＩＤ電極３について
は、表面波伝搬方向において非対称となるように間引き
法により重み付けした。間引き重み付けの詳細は、ＩＤ
電極３において通常の正規型ＩＤ電極の電極指の配列構
造から、図１で説明すると、左側より、３０、３２、３
４、３６、３８、５４、５８、６２、６６、６８本目の
電極指をアース端子側に接続するように電極指を間引い
た。λは、反射器の電極ピッチで決まる表面波の波長で
ある。なお、上記ＩＤ電極３〜５及び反射器８，９の電
極材料としてはＡｌを用いた。
【００３６】上記のようにして得た縦結合型ＳＡＷ共振
子フィルタ１を２個用い、二段接続し、中心周波数が８
６６ＭＨｚであるＣＴ−２規格のコードレス電話用ＲＦ
フィルタとして用いた場合の減衰量周波数特性を測定し
た。結果を図２に示す。なお、図２において、実線Ｇ
は、実線Ｈで示す特性の要部を縦軸の挿入損失について
右側のスケールで拡大して示す特性である。
子フィルタ１を２個用い、二段接続し、中心周波数が８
６６ＭＨｚであるＣＴ−２規格のコードレス電話用ＲＦ
フィルタとして用いた場合の減衰量周波数特性を測定し
た。結果を図２に示す。なお、図２において、実線Ｇ
は、実線Ｈで示す特性の要部を縦軸の挿入損失について
右側のスケールで拡大して示す特性である。
【００３７】比較のために、ＩＤ電極３が重み付けを施
されていないことを除いては、上記と同様にして構成し
た比較例の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０（図４に
示した構造）を、二段接続し、同様にＣＴ−２規格のコ
ードレス電話用ＲＦフィルタとして用いた場合の減衰量
周波数特性を測定した。この測定結果は、前述した図５
に示す特性曲線Ｄ，Ｅで表される。
されていないことを除いては、上記と同様にして構成し
た比較例の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ１０（図４に
示した構造）を、二段接続し、同様にＣＴ−２規格のコ
ードレス電話用ＲＦフィルタとして用いた場合の減衰量
周波数特性を測定した。この測定結果は、前述した図５
に示す特性曲線Ｄ，Ｅで表される。
【００３８】前述した通り、図５に示す特性では、中心
間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、減衰極が形
成され矢印Ｆで示す部分の減衰量が改善され、不要スプ
リアスＣのレベルも若干低下したものの完全には消滅せ
ず、減衰量はおよそ３０ｄＢに留まっていた。
間距離Ｌ1 ，Ｌ2 を異ならせることにより、減衰極が形
成され矢印Ｆで示す部分の減衰量が改善され、不要スプ
リアスＣのレベルも若干低下したものの完全には消滅せ
ず、減衰量はおよそ３０ｄＢに留まっていた。
【００３９】これに対して、図２に示した特性から明ら
かなように、実施例のＳＡＷ共振子フィルタでは、通過
帯域の高域側に現れている大きなスプリアスＣがより効
果的に抑圧され、減衰量は４０ｄＢ以上確保され得るこ
とがわかる。また、間引き法により重み付けしていた
が、通過帯域外における挿入損失の悪化や通過帯域幅の
減少も見られなかった。
かなように、実施例のＳＡＷ共振子フィルタでは、通過
帯域の高域側に現れている大きなスプリアスＣがより効
果的に抑圧され、減衰量は４０ｄＢ以上確保され得るこ
とがわかる。また、間引き法により重み付けしていた
が、通過帯域外における挿入損失の悪化や通過帯域幅の
減少も見られなかった。
【００４０】
【発明の効果】以上のように、請求項１に記載の発明に
係る縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタでは、第１〜第３の
ＩＤ電極が配置されており、上記中心間距離Ｌ1 と中心
間距離Ｌ2 とが異ならされていることにより、通過帯域
の高域側において減衰極が形成されて通過帯域の高域側
におけるスプリアスの抑制が図られているだけでなく、
さらに、少なくとも１つのＩＤ電極が重み付けされてい
るため、通過帯域の高域側に現れる大きなスプリアスを
より効果的に抑圧することが可能となる。
係る縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタでは、第１〜第３の
ＩＤ電極が配置されており、上記中心間距離Ｌ1 と中心
間距離Ｌ2 とが異ならされていることにより、通過帯域
の高域側において減衰極が形成されて通過帯域の高域側
におけるスプリアスの抑制が図られているだけでなく、
さらに、少なくとも１つのＩＤ電極が重み付けされてい
るため、通過帯域の高域側に現れる大きなスプリアスを
より効果的に抑圧することが可能となる。
【００４１】従って、例えばコードレス電話のＲＦフィ
ルタとして用いた場合、中心周波数から±２０ＭＨｚ離
れた点及び４０ＭＨｚ離れた点における減衰量を確実に
確保することができ、高選択度のフィルタを提供するこ
とが可能となる。
ルタとして用いた場合、中心周波数から±２０ＭＨｚ離
れた点及び４０ＭＨｚ離れた点における減衰量を確実に
確保することができ、高選択度のフィルタを提供するこ
とが可能となる。
【００４２】請求項２に記載の発明では、上記重み付け
がＩＤ電極の中心に対して非対称に施されているため、
通過帯域の高域側における大きなスプリアスをより効果
的に重み付けにより抑圧することができる。
がＩＤ電極の中心に対して非対称に施されているため、
通過帯域の高域側における大きなスプリアスをより効果
的に重み付けにより抑圧することができる。
【００４３】請求項３に記載の発明では、重み付けが間
引き重み付け法により行われているため、設計及びパタ
ーニングも比較的容易に行うことができる。
引き重み付け法により行われているため、設計及びパタ
ーニングも比較的容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの一構
造例を示す平面図。
造例を示す平面図。
【図２】本発明の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの実施
例の減衰量周波数特性を示す図。
例の減衰量周波数特性を示す図。
【図３】従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの減衰量
周波数特性を示す図。
周波数特性を示す図。
【図４】従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの一例を
示す平面図。
示す平面図。
【図５】従来の縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタの減衰量
周波数特性であって、比較例として用意したものの特性
を示す図。
周波数特性であって、比較例として用意したものの特性
を示す図。
１…縦結合型ＳＡＷ共振子フィルタ ２…圧電基板 ３…第１のＩＤ電極 ４，５…第２，第３のＩＤ電極 ３ａ〜３ｏ…電極指 ８，９…反射器 Ｌ1 ，Ｌ2 …中心間距離
Claims (3)
- 【請求項１】 第１のインターデジタル電極、第１のイ
ンターデジタル電極の表面波伝搬方向両側に配置された
第２，第３のインターデジタル電極及び反射器を有し、
最も近接し合っている第１のインターデジタル電極の電
極指と第２のインターデジタル電極の電極指との中心間
距離Ｌ1 と、最も近接し合っている第１のインターデジ
タル電極の電極指と第３のインターデジタル電極の電極
指との中心間距離Ｌ2 とが異ならされている縦結合型弾
性表面波共振子フィルタにおいて、 前記第１〜第３のインターデジタル電極のうち、少なく
とも１つのインターデジタル電極が重み付けされている
ことを特徴とする縦結合型弾性表面波共振子フィルタ。 - 【請求項２】 前記重み付けが、インターデジタル電極
の中心に対して非対称に施されていることを特徴とす
る、請求項１に記載の縦結合型弾性表面波共振子フィル
タ。 - 【請求項３】 前記重み付けが間引き重み付けにより施
されている請求項１または２に記載の縦結合型弾性表面
波共振子フィルタ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8345477A JPH10190394A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 弾性表面波共振子フィルタ |
| TW086218902U TW353552U (en) | 1996-12-25 | 1997-11-11 | Surface acoustic wave resonator filter |
| US08/976,798 US5986524A (en) | 1996-12-25 | 1997-11-24 | Surface acoustic wave resonator filter with a weighted asymmetrical interdigital electrode |
| DE19753664A DE19753664B4 (de) | 1996-12-25 | 1997-12-03 | Oberflächenwellen-Resonatorfilter |
| SG1997004462A SG71073A1 (en) | 1996-12-25 | 1997-12-17 | Surface-acoustic-wave resonator filter |
| MYPI97006253A MY113662A (en) | 1996-12-25 | 1997-12-23 | Surface-acoustic-wave resonator filter with a weighted asymmetrical interdigital electrode |
| KR1019970072653A KR100280608B1 (ko) | 1996-12-25 | 1997-12-23 | 탄성표면파공진자필터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8345477A JPH10190394A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 弾性表面波共振子フィルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10190394A true JPH10190394A (ja) | 1998-07-21 |
Family
ID=18376862
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8345477A Pending JPH10190394A (ja) | 1996-12-25 | 1996-12-25 | 弾性表面波共振子フィルタ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5986524A (ja) |
| JP (1) | JPH10190394A (ja) |
| KR (1) | KR100280608B1 (ja) |
| DE (1) | DE19753664B4 (ja) |
| MY (1) | MY113662A (ja) |
| SG (1) | SG71073A1 (ja) |
| TW (1) | TW353552U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002353769A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| US6621380B2 (en) | 2000-05-22 | 2003-09-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter having narrow electrode finger pitch sections |
| KR100482669B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2005-04-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 필터 및 통신 장치 |
Families Citing this family (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19638451A1 (de) * | 1996-09-19 | 1998-04-02 | Siemens Matsushita Components | Reaktanzfilter mit OFW-Resonatoren |
| US6259336B1 (en) * | 1998-05-27 | 2001-07-10 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Surface acoustic wave filter device |
| DE19938748B4 (de) * | 1999-08-16 | 2007-02-01 | Epcos Ag | Dualmode-Oberflächenwellen-Filter mit verbesserter Symmetrie und erhöhter Sperrdämpfung |
| JP3391346B2 (ja) * | 2000-04-18 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
| JP3358615B2 (ja) * | 2000-06-26 | 2002-12-24 | 株式会社村田製作所 | 縦結合共振子型弾性表面波フィルタ |
| JP2002152001A (ja) * | 2000-11-09 | 2002-05-24 | Nec Corp | 弾性表面波フィルタおよび弾性表面波フィルタ装置 |
| JP3534080B2 (ja) * | 2001-03-23 | 2004-06-07 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波フィルタ装置 |
| KR100609219B1 (ko) * | 2001-04-09 | 2006-08-02 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성표면파 장치 및 통신 장치 |
| JP3824499B2 (ja) * | 2001-04-20 | 2006-09-20 | 富士通株式会社 | 弾性表面波共振子及び弾性表面波フィルタ |
| JP2003133889A (ja) * | 2001-10-25 | 2003-05-09 | Murata Mfg Co Ltd | 縦結合型弾性表面波共振子フィルタ |
| DE10352640B4 (de) * | 2003-11-11 | 2014-02-13 | Epcos Ag | DMS-Filter |
| JP2006295434A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Epson Toyocom Corp | 弾性表面波フィルタ |
| DE102007010040B4 (de) * | 2007-03-01 | 2014-08-07 | Epcos Ag | Mit Oberflächenwellen arbeitendes DMS-Filter |
| US9048807B2 (en) * | 2010-03-18 | 2015-06-02 | University Of Maine System Board Of Trustees | Surface acoustic wave resonator with an open circuit grating for high temperature environments |
| JP2018110291A (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-12 | 株式会社村田製作所 | 弾性波デバイス |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0259628B1 (de) * | 1986-08-29 | 1992-03-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Wandler für eine Filteranordnung mit akustischen Wellen |
| JP2601543B2 (ja) * | 1989-04-25 | 1997-04-16 | 日本無線株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JPH036913A (ja) * | 1989-06-05 | 1991-01-14 | Hitachi Ltd | 弾性表面波フィルタ及びそれを用いた移動無線装置 |
| JPH03112210A (ja) * | 1989-09-27 | 1991-05-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波装置 |
| JPH05121997A (ja) * | 1991-10-30 | 1993-05-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 弾性表面波フイルタ |
| US5309126A (en) * | 1991-11-18 | 1994-05-03 | Motorola, Inc. | Spatially varying multiple electrode acoustic wave filter and method therefor |
| JPH05315886A (ja) * | 1992-05-14 | 1993-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 弾性表面波フィルタ |
| JP3001349B2 (ja) * | 1993-05-19 | 2000-01-24 | 日本電気株式会社 | 弾性表面波フィルタ |
| JPH07212177A (ja) * | 1994-01-14 | 1995-08-11 | Murata Mfg Co Ltd | 表面波フィルタ |
| JP3000861B2 (ja) * | 1994-09-28 | 2000-01-17 | 豊田合成株式会社 | ステアリングホイール |
| JP3393945B2 (ja) * | 1995-01-10 | 2003-04-07 | 東洋通信機株式会社 | 縦結合２重モードｓａｗフィルタ |
| JPH08330889A (ja) * | 1995-05-30 | 1996-12-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Ｓａｗフィルタ |
-
1996
- 1996-12-25 JP JP8345477A patent/JPH10190394A/ja active Pending
-
1997
- 1997-11-11 TW TW086218902U patent/TW353552U/zh unknown
- 1997-11-24 US US08/976,798 patent/US5986524A/en not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-03 DE DE19753664A patent/DE19753664B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-12-17 SG SG1997004462A patent/SG71073A1/en unknown
- 1997-12-23 KR KR1019970072653A patent/KR100280608B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1997-12-23 MY MYPI97006253A patent/MY113662A/en unknown
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6621380B2 (en) | 2000-05-22 | 2003-09-16 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Longitudinally coupled resonator type surface acoustic wave filter having narrow electrode finger pitch sections |
| JP2002353769A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-06 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 弾性表面波デバイス |
| KR100482669B1 (ko) * | 2001-07-27 | 2005-04-13 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 탄성 표면파 필터 및 통신 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE19753664B4 (de) | 2004-07-08 |
| KR100280608B1 (ko) | 2001-02-01 |
| US5986524A (en) | 1999-11-16 |
| KR19980064527A (ko) | 1998-10-07 |
| TW353552U (en) | 1999-02-21 |
| SG71073A1 (en) | 2000-03-21 |
| MY113662A (en) | 2002-04-30 |
| DE19753664A1 (de) | 1998-07-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH10190394A (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ | |
| US8487720B2 (en) | Acoustic wave resonator and acoustic wave filter using the same | |
| US7479855B2 (en) | Longitudinally-coupled-resonator-type elastic wave filter device | |
| JPH0955640A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3228223B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3001350B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP2002076838A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH06338756A (ja) | 共振子型弾性表面波フィルタ | |
| JP3255128B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3873802B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3201017B2 (ja) | 梯子型弾性表面波フィルタ | |
| JP2011087282A (ja) | 弾性境界波フィルタ及びそれを備える分波器 | |
| WO2010137648A1 (ja) | ラダー型フィルタ及び弾性波共振子 | |
| JP3896907B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ、分波器、通信機 | |
| US10298205B2 (en) | Elastic wave resonator, elastic wave filter, and duplexer | |
| JP3077052B2 (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ装置 | |
| US8339221B2 (en) | Elastic wave filter device having narrow-pitch electrode finger portions | |
| JP3915322B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH11340774A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP4525862B2 (ja) | 弾性波フィルタ装置 | |
| WO2021015187A1 (ja) | 弾性波フィルタ | |
| JP3324424B2 (ja) | 縦結合型弾性表面波共振子フィルタ | |
| JPH10294640A (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3780496B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JP3309721B2 (ja) | 弾性表面波装置 |