CN116798923B - 一种晶圆载具环定心定向装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种晶圆载具环定心定向装置，包括：底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；驱动控制单元，用于驱动控制所述第一单元运动，进而使所述第一单元带动两个所述第二单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一单元和所述第二单元的运动路径相互垂直；所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接。本发明能够实现晶圆载具环的定心定向，且结构简单、成本低、可靠性高。

Description

一种晶圆载具环定心定向装置

技术领域

本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体涉及一种晶圆载具环定心定向装置。

背景技术

通常半导体芯片在硅晶圆上加工，一般需要在硅晶圆上做光刻、刻蚀、离子注入、沉积等工艺，这些工艺都是在微观上进行，也就要求硅晶圆有足够的强度和刚度，这样硅晶圆在前道工艺加工的时候要保证有足够的厚度，但是硅晶圆很厚的话，在封装成芯片后，因芯片太厚散热性能会变差，因此在做完前道工艺后，会把硅晶圆减薄子再进行后道封装，减薄的硅晶圆会变得很软，这时候机械手就没办法直接搬送硅晶圆了，通常为了解决搬送问题，会使用一个晶圆载具环固定住薄晶圆，通常晶圆载具环比晶圆大一圈，在晶圆载具环上下面粘贴两个蓝薄膜夹住晶圆，晶圆分布在晶圆载具中心，这样机械手搬送晶圆载具环就能实现晶圆的搬送，进而实现后道的切片、贴片、焊线等封装工艺。

市面上通常搬送晶圆载具环给到封装工序的划片机把硅晶圆切片成一个个裸芯片，再进行贴片和焊线等工艺，常规的封装过程，不需要晶圆载具环搬送装置对晶圆载具环进行定心定向，只需要送到切片机，由切片机做定心定向就可以了。

但是随着半导体加工的摩尔定律慢慢的接近物理极限，已经很难通过减小微观电路的线宽增加二极管的数量了，为了增加二极管数量来提高芯片的性能，半导体加工提出了一个新的工艺：先进封装，先进封装分为：倒装焊、扇入扇出、2.5D封装、3D封装等，是通过把多个裸芯片封装在一起，通过硅通孔工艺互联，再与电路板之间通过凸点互联，实现不增加电路线宽，来显著增加二极管数量的工艺，已经在芯片加工厂商广泛使用。

先进封装在使用2.5D和3D封装的时候，需要先把晶圆减薄到可以进行封装的厚度，这个时候就需要使用晶圆载具环固定硅晶圆，而硅晶圆的先进封装需要在硅晶圆表面做凸点工艺，这时候就需要对硅晶圆做光刻、刻蚀、沉积等工艺了，一般做这些工艺的时候，要求搬送模块不仅能实现硅晶圆的搬送功能，也需要能实现硅晶圆的定心和定向功能，通常搬送硅晶圆的搬送模块会配有硅晶圆对准单元实现硅晶圆的定心定向功能。

在先进封装的工艺中，晶圆搬送模块面临搬送硅晶圆和晶圆载具环的问题，通常会设计兼容的机械手指可以搬送硅晶圆和晶圆载具，实现了硅晶圆和晶圆载具的搬送功能，不过当前市面上还没有专门使用的晶圆载具环的定心定向模块。

因此，如何解决晶圆载具环的定心定向，是本领域技术人员关注的问题。

发明内容

本发明的目的是提出一种晶圆载具环定心定向装置，能够解决晶圆载具环的定心定向问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种晶圆载具环定心定向装置，包括：

底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；

所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；

驱动控制单元，用于驱动控制所述第一单元运动，进而使所述第一单元带动两个所述第二单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一单元和所述第二单元的运动路径相互垂直；

所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接。

可选方案中，所述第一运动单元包括：第一导轨，安装在所述底板上；

第一滑块，可滑动地安装在所述第一导轨上；

横向导向块，固定在所述第一滑块的上方，所述横向导向块具有所述两个端部。

可选方案中，所述第二单元包括：第二导轨，安装在所述底板上，所述第一导轨和所述第二导轨相互垂直；

第二滑块，可滑动地安装在所述第二导轨上；

夹紧件，所述夹紧件连接于所述第二滑块和所述横向导向块的所述端部；所述横向导向块带动所述第二滑块沿所述第二导轨运动，进而使所述夹紧件沿所述第二导轨方向运动。

可选方案中，所述夹紧件包括：滑动块，所述滑动块具有朝向所述的晶圆载具环中心的第一端和远离所述晶圆载具环中心的第二端；

其中所述第一端与所述第二滑块、所述横向导向块的所述端部连接，所述第二端设有夹紧块；

所述夹紧块包括导向块和位于所述导向块两侧的滚柱，所述导向块与所述晶圆载具环的切边相对应，所述滚柱能够与所述切边两侧的圆弧边滚动相切。

可选方案中，所述横向导向块的所述端部具有轴承，所述滑动块具有45°导向槽，所述轴承在所述45°导向槽内滚动，从而使所述横向导向块和所述夹紧件的运动速度相同。

可选方案中，所述底板上安装有夹紧传感器，所述横向导向块上安装有触发薄片，所述触发薄片具有缺口，当所述晶圆载具环夹紧到位时，所述夹紧传感器的光轴穿过所述缺口，所述夹紧传感器被触发。

可选方案中，所述驱动控制单元包括气缸，所述气缸上设有第一传感器和第二传感器；当所述气缸的伸缩杆处于缩回位置时，所述第一传感器被触发，当所述伸缩杆处于夹紧位置时，所述夹紧传感器被触发，当所述伸缩杆伸出距离超出夹紧位置时，所述第二传感器被触发。

可选方案中，所述驱动控制单元还包括：电气板卡、第一电磁阀和第二电磁阀；所述第一电磁阀的气管与所述气缸的进气节流阀连接，所述第二电磁阀的气管与所述气缸的出气节流阀连接，所述电气板卡用于控制所述第一电磁阀和所述第二电磁阀的开关。

可选方案中，所述底板上设有多个立柱，多个所述立柱分布在同一个圆周上，所述多个立柱用于承载所述晶圆载具环，且所述圆周的中心和所述晶圆载具环的中心重合。

可选方案中，所述弹性部件包括压缩弹簧。

本发明的有益效果在于：

本发明结构简单、成本低、可靠性高。

进一步地，采用45°导向槽和轴承的方式实现了运动方向的改变，而且导向槽是上下镜像结构，机构运行时的一致性好，定心定向精度高。

进一步地，气缸和夹紧件之间通过弹性部件传递动能，在夹紧件夹持到晶圆载具环的时候，因弹性部件的存在，碰撞冲击会被弹性部件吸收，保护晶圆载具环的安全。

进一步地，安装三组传感器，分别检测缩回位、夹紧位、过夹位，可以显示自动识别各个位置的状态，特别是过夹位传感器，当晶圆掉落或者被弹起时，会触发过夹传感器，触发异常报警，保护物料安全。

附图说明

通过结合附图对本发明示例性实施例进行更详细的描述，本发明的上述以及其它目的、特征和优势将变得更加明显，在本发明示例性实施例中，相同的参考标号通常代表相同部件。

图1为本发明实施例中晶圆载具环定心定向装置的轴侧图，晶圆载具环处于夹紧状态。

图2为本发明实施例中晶圆载具环定心定向装置的俯视图，气缸处于缩回状态，晶圆载具环未夹紧状态。

图3为本发明实施例中晶圆载具环定心定向装置的俯视图，气缸处于伸出状态，晶圆载具环夹紧状态。

图4为本发明实施例中晶圆载具环定心定向装置的俯视图，气缸处于最大伸出状态，处于过夹紧触状态。

图5为本发明实施例中两个第二运动单元的运动状态示意图，从左到右三个视图依次是：缩回状态、夹紧状态、过夹紧状态。

图6为本发明实施例夹紧传感器的示意图，从左到右三个视图依次是：缩回状态、夹紧状态、过夹紧状态的传感器光轴与缺口的位置关系。

图7为本发明实施例夹紧传感器的触发原理示意图。

附图标记说明：

1-底板；2-晶圆载具环；3a-树脂立柱；3b-树脂立柱；3c-树脂立柱；3d-树脂立柱；4-电气板卡；5-第一电磁阀；6-气缸；7a-进气节流阀；7b-出气节流阀；8a-第一传感器；8b-夹紧传感器；8c-第二传感器；9-弹簧；10-第二导轨；10a-滑块；10b-滑块；10c-滑块；10d-滑块；11-第一导轨；11a-滑块；12-横向导向块；12a-轴承；12b-轴承；13-触发薄片；14-上滑动块；14a-上滑动块的45°导向槽；15-下滑动块；15a-下滑动块的45°导向槽；16-下夹紧块；16a-下导向块；16b-下树脂滚柱；16c-下树脂滚柱；17-上夹紧块；17a-上导向块；17b-上树脂滚柱；17c-上树脂滚柱；18-夹紧传感器的光轴；19-缺口。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细说明。根据下面的说明和附图，本发明的优点和特征将更清楚，然而，需说明的是，本发明技术方案的构思可按照多种不同的形式实施，并不局限于在此阐述的特定实施例。附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

应当明白，当元件或层被称为“在...上”、“与...相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在...上”、“与...直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、第二、第三等描述各种元件、部件、区、层和/或部分，这些元件、部件、区、层和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层或部分与另一个元件、部件、区、层或部分。因此，在不脱离本发明教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分。

空间关系术语例如“在...下”、“在...下面”、“下面的”、“在...之下”、“在...之上”、“上面的”等，在这里可为了方便描述而被使用从而描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语意图还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，然后，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在...下面”和“在...下”可包括上和下两个取向。器件可以另外地取向(旋转90度或其它取向)并且在此使用的空间描述语相应地被解释。

在此使用的术语的目的仅在于描述具体实施例并且不作为本发明的限制。在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也意图包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应明白术语“组成”和/或“包括”，当在该说明书中使用时，确定所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但不排除一个或更多其它的特征、整数、步骤、操作、元件、部件和/或组的存在或添加。在此使用时，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。

实施例1

参照图1至图7，本实施例提供了一种晶圆载具环定心定向装置，包括：

底板1，所述底板1上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；

所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；

驱动控制单元，用于驱动控制所述第一单元运动，进而使所述第一单元带动两个所述第二单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环2；所述第一单元和所述第二单元的运动路径相互垂直；

所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接。

具体地，本实施例中，所述第一运动单元包括：第一导轨11，安装在所述底板1上；第一滑块(滑块11a)，可滑动地安装在所述第一导轨11上；横向导向块12，固定在滑块11a的上方，所述横向导向块12具有两个端部，每个端部具有一个轴承，分别为轴承12a和轴承12b。

本实施例中，第二单元包括：第二导轨10，安装在所述底板1上，所述第一导轨11和所述第二导轨10相互垂直；第二滑块，可滑动地安装在所述第二导轨10上；夹紧件，所述夹紧件连接于所述第二滑块和所述横向导向块12的所述端部；所述横向导向块12带动所述第二滑块沿所述第二导轨10运动，进而使所述夹紧件沿所述第二导轨10方向运动。夹紧件包括：滑动块，所述滑动块具有朝向所述的晶圆载具环中心的第一端和远离所述晶圆载具环中心的第二端；其中所述第一端与所述第二滑块、所述横向导向块12的所述端部连接，所述第二端设有夹紧块；所述夹紧块包括导向块和位于所述导向块两侧的滚柱，所述导向块与所述晶圆载具环2的切边相对应，所述滚柱能够与所述切边两侧的圆弧边滚动相切。滚柱的材料可以为树脂。所述滑动块具有45°导向槽，所述轴承在所述45°导向槽内滚动，从而使所述横向导向块和所述夹紧件的运动速度相同。

参照图2，第二单元为对称设置的两个，上面的第二单元的第二滑块为滑块10a和滑块10b，滑块10a、滑块10b安装在第二导轨10上，滑块10a和滑块10b可以在第二导轨10上面做上下的自由滑动。下面的第二单元的第二滑块为滑块10c和滑块10d，滑块10c、滑块10d安装在第二导轨10上，滑块10c和滑块10d可以在第二导轨10上面做上下的自由滑动。上面的第二单元的滑动块为上滑动块14，上滑动块14的第二端设有上夹紧块17，上夹紧块17包括上导向块17a和位于所述上导向块17a两侧的上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c，上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c可以自由转动。下面的第二单元的滑动块为下滑动块15，下滑动块15的第二端设有下夹紧块16，下夹紧块16包括下导向块16a和位于所述下导向块16a两侧的下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c，下树脂滚柱17b、下树脂滚柱17c可以自由转动。

本实施例中，所述底板1上设有4个立柱，立柱的材料为树脂(分别为树脂立柱3a、树脂立柱3b、树脂立柱3c、树脂立柱3d)，4个所述立柱分布在同一个圆周上，所述4个立柱用于承载所述晶圆载具环2，且所述圆周的中心和所述晶圆载具环的中心重合。本装置只有上夹紧块17、下夹紧块16组件的高度和晶圆载具环2高度一致，其他零部件高度均低于晶圆载具环2，保证晶圆载具环2在夹紧过程中时的物料安全。

本实施例中，所述底板1上安装有夹紧传感器8b，夹紧传感器8b为对射式传感器。所述横向导向块12上安装有触发薄片13，所述触发薄片13具有缺口19，当所述晶圆载具环夹2紧到位时，所述夹紧传感器8b的光轴穿过所述缺口19，所述夹紧传感器8b被触发(当触发薄片13遮挡夹紧传感器8b的光轴时，夹紧传感器8b不能被触发)。

本实施例中，所述驱动控制单元包括气缸6，气缸6和横向导向块12之间没有刚性连接，而是通过弹性部件相连接。本实施例中，弹性部件为弹簧9，气缸6与横向导向块12之间通过柔性弹簧9传输动力，可以有效吸收夹紧机构在接触晶圆载具环2时的动力冲击，保护了物料的安全。气缸6推出后会压缩弹簧9，弹簧9的弹力会推动横向导向块12沿着第一导轨11做横向的滑动。横向导向块12上的轴承12a卡在上滑动块的45°导向槽14a上；横向导向块12的轴承12b卡在下滑动块的45°导向槽15a上。本装置的运动方向转换采用的是轴承与45°导向槽结构设计，轴承在导向槽中滑动运动时，因轴承可自由旋转，保证结构不会出现卡死或者顿挫的现象，卡死和顿挫会显著削弱装置的寿命，影响可靠性，此设计显著提高装置可靠性。

本实施例中，夹紧机构(包括第一运动单元和第二运动单元)沿着第一导轨11的中心线为上下镜像关系。

所述气缸6上设有第一传感器8a和第二传感器8c；当所述气缸6的伸缩杆处于缩回位置时，所述第一传感器8a被触发，当所述伸缩杆处于夹紧位置时，所述夹紧传感器8b被触发，当所述伸缩杆伸出距离超出夹紧位置时，所述第二传感器8c被触发。

本实施例中，驱动控制单元还包括：电气板卡4、第一电磁阀5和第二电磁阀(图中未示出)；所述第一电磁阀的气管与所述气缸的进气节流阀7a连接，所述第二电磁阀的气管与所述气缸的出气节流阀7b连接，所述电气板卡4用于控制所述第一电磁阀和所述第二电磁阀的开关。电气板卡4控制第一电磁阀和第二电磁阀的开关，实现气体的方向切换，进气节流阀7a和出气节流阀7b可以调节气体的流量实现控制气缸6的伸出缩回速度，减少冲击对物料的损害。

本装置的工作原理如下：

参照图2和图5，气缸6伸出压缩弹簧9，弹簧9推动横向导向块12往右运动(箭头所示)，横向导向块12的轴承12a在上滑动块14的45°导向槽14a滑动，造成上滑动块14往下运动，因导向槽14a是45°角度，横向导向块12的运动速度和上滑动块14的运动速度一致，如图5上方的箭头所示；同理，横向导向块12的轴承12b在下滑动块15的45°导向槽15b滑动，造成下滑动块15往上运动，也是与横向导向块12速度一致。气缸6的横向运动最终会带动上滑动块14、下滑动块15做相向运动，速度相同方向相反，上滑动块14和下滑动块15分别带动上夹紧块17和下夹紧块16上下运动，如图5所示，从左到右的运动过程，夹持机构会先走到夹紧位置，若是没有晶圆载具环存在的话，夹紧机构会继续夹紧到过夹位置，气缸6达到最大行程。

如图6所示，气缸6在伸出过程中，夹紧传感器8b的状态从左到右分别是：在左侧的气缸缩回位时，触发薄片13遮挡夹紧传感器8b的光轴18，夹紧传感器8b不触发，此时触发第一传感器8a；在中间的气缸伸出到夹紧位置时，触发薄片13的缺口19会运动到夹紧传感器8b的光轴18位置，不遮挡光轴18，夹紧传感器8b触发；右侧的气缸最大行程位置时，触发薄片13的缺口19已经通过夹紧传感器8b的光轴18，触发薄片13再次遮挡光轴18，夹紧传感器8b不触发，第二传感器8c触发。

如图2、图3、图4所示，本装置共有3个位置，气缸6缩回位置、晶圆载具环2夹紧位置、气缸6最大伸出位置，气缸6缩回位置会触发第一传感器8a，晶圆载具环2的夹紧位置会触发夹紧传感器8b，气缸6的最大伸出位置会触发第三传感器8c，这样每个工位都有传感器触发来判断是否自动完成相应动作。通常情况下，本装置在正确使用时，只会用到气缸6缩回位置和晶圆载具环2夹紧位置，只有当晶圆载具环2没有被正确放置在装置上或者掉落时，因夹紧机构夹不到晶圆载具环2，而造成气缸6运动到最大行程位置(也可叫过夹位置)，此时第二传感器8c会触发，上报给整机软件，装置处于异常状态。

如图2、图3、图4所示，在气缸6伸出过程中，下夹紧块16和上夹紧块17会分别带动下导向块16a、下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c与上导向块17a、上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c运动，速度相同方向相反，下导向块16a、下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c与上导向块17a、上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c会同时接触晶圆载具环2。晶圆载具环2通常被SEMI标准约束外形尺寸，上下左右有四条正方形的切边，相邻的是同圆心的圆弧边，这点至关重要。下导向块16a、上导向块17a会与晶圆载具环2的上下平边同时接触，当晶圆载具环2角度有一定偏差时，下导向块16a、上导向块17a会修正角度偏差，实现晶圆载具环2的定向功能，因只用一个气缸6同时驱动下导向块16a、上导向块17a夹紧和缩回，下导向块16a、上导向块17a速度相同方向相反，故夹紧一致性高，定向重复性精度高。

如图2、图3、图4所示，下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c和上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c分别与晶圆载具环2的四个圆弧边同时接触，此时下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c和上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c形成的中心与晶圆载具环2的中心重合，实现晶圆载具环2的定心功能，因只用一个气缸6同时驱动下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c和上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c夹紧和缩回，下树脂滚柱16b、下树脂滚柱16c和上树脂滚柱17b、上树脂滚柱17c速度相同方向相反，故夹紧一致性高，定心重复性精度高。另外因树脂滚柱可以自由转动，可以保证晶圆载具环2在定心过程中是以旋转的方式实现定心，减少了滑动摩擦，减少了颗粒的形成，保证环境洁净度。

本装置结构简单、成本低、可靠性高。进一步地，采用45°导向槽和轴承的方式实现了运动方向的改变，而且导向槽是上下镜像结构，机构运行时的一致性好，定心定向精度高。进一步地，气缸和夹紧件之间通过弹性部件传递动能，在夹紧件夹持到晶圆载具环的时候，因弹性部件的存在，碰撞冲击会被弹性部件吸收，保护晶圆载具环的安全。进一步地，安装三组传感器，分别检测缩回位、夹紧位、过夹位，可以显示自动识别各个位置的状态，特别是过夹位传感器，当晶圆掉落或者被弹起时，会触发过夹传感器，触发异常报警，保护物料安全。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (10)

1.一种晶圆载具环定心定向装置，其中所述晶圆载具环的上下左右有四条正方形的切边，相邻的所述切边之间通过同圆心的圆弧边相连，其特征在于，所述晶圆载具环定心定向装置包括：

底板，所述底板上安装有第一运动单元和两个对称设置的第二运动单元；

所述第一运动单元具有两个端部，所述两个端部分别可活动的连接于两个所述第二运动单元；

驱动控制单元，用于驱动控制所述第一运动单元运动，进而使所述第一运动单元带动两个所述第二运动单元相互靠近或远离，两个所述第二运动单元的相对的端部用于夹紧所述晶圆载具环；所述第一运动单元和所述第二运动单元的运动路径相互垂直；

所述驱动控制单元和所述第一运动单元之间通过弹性部件相连接；

所述第二运动单元包括夹紧块，所述夹紧块包括导向块和分别位于所述导向块两侧的滚柱，所述导向块与所述晶圆载具环的切边相对应，所述滚柱能够与所述切边两侧的圆弧边滚动相切；

在所述驱动控制单元的控制下，两个所述第二运动单元分别带动各自的所述导向块和两侧的滚柱运动，且速度相同方向相反；使各自的导向块分别与晶圆载具环的上下平边同时接触， 使四个滚柱分别与晶圆载具环的四个圆弧边同时接触，进而使四个滚柱形成的中心与晶圆载具环的中心重合，实现晶圆载具环的定心定向。

2.如权利要求1所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述第一运动单元包括：

第一导轨，安装在所述底板上；

第一滑块，可滑动地安装在所述第一导轨上；

横向导向块，固定在所述第一滑块的上方，所述横向导向块具有所述两个端部。

3.如权利要求2所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述第二运动单元包括：

第二导轨，安装在所述底板上，所述第一导轨和所述第二导轨相互垂直；

第二滑块，可滑动地安装在所述第二导轨上；

夹紧件，所述夹紧件连接于所述第二滑块和所述横向导向块的所述端部；所述横向导向块带动所述第二滑块沿所述第二导轨运动，进而使所述夹紧件沿所述第二导轨方向运动。

4.如权利要求3所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述夹紧件包括：

滑动块，所述滑动块具有朝向所述的晶圆载具环中心的第一端和远离所述晶圆载具环中心的第二端；

其中所述第一端与所述第二滑块、所述横向导向块的所述端部连接，所述第二端设有所述夹紧块。

5.如权利要求4所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述横向导向块的所述端部具有轴承，所述滑动块具有45°导向槽，所述轴承在所述45°导向槽内滚动，从而使所述横向导向块和所述夹紧件的运动速度相同。

6.如权利要求2所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述底板上安装有夹紧传感器，所述横向导向块上安装有触发薄片，所述触发薄片具有缺口，当所述晶圆载具环夹紧到位时，所述夹紧传感器的光轴穿过所述缺口，所述夹紧传感器被触发。

7.如权利要求6所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述驱动控制单元包括气缸，所述气缸上设有第一传感器和第二传感器；当所述气缸的伸缩杆处于缩回位置时，所述第一传感器被触发，当所述伸缩杆处于夹紧位置时，所述夹紧传感器被触发，当所述伸缩杆伸出距离超出夹紧位置时，所述第二传感器被触发。

8.如权利要求7所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述驱动控制单元还包括：电气板卡、第一电磁阀和第二电磁阀；所述第一电磁阀的气管与所述气缸的进气节流阀连接，所述第二电磁阀的气管与所述气缸的出气节流阀连接，所述电气板卡用于控制所述第一电磁阀和所述第二电磁阀的开关。

9.如权利要求1所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述底板上设有多个立柱，多个所述立柱分布在同一个圆周上，所述多个立柱用于承载所述晶圆载具环，且所述圆周的中心和所述晶圆载具环的中心重合。

10.如权利要求1所述的晶圆载具环定心定向装置，其特征在于，所述弹性部件包括压缩弹簧。