JPH0567670A - ウエハリング供給方法 - Google Patents
ウエハリング供給方法Info
- Publication number
- JPH0567670A JPH0567670A JP25696691A JP25696691A JPH0567670A JP H0567670 A JPH0567670 A JP H0567670A JP 25696691 A JP25696691 A JP 25696691A JP 25696691 A JP25696691 A JP 25696691A JP H0567670 A JPH0567670 A JP H0567670A
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- JP
- Japan
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- wafer ring
- wafer
- rails
- straightening
- ring
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Die Bonding (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 確実にウェハリングを供給する。
【構成】 カセット１に収納されたウェハリング２をボ
ンディング装置に供給するにあたり、ウェハリング２の
供給経路に、このウェハリング２の搬送方向と略直交す
る方向に開閉する１対の矯正レール１１、１２を設け、
矯正レール１１、１２を、前記ウェハリング２が該矯正
レール１１、１２間に搬入されるまでは開状態に保ち、
搬入された後に閉状態となるように移動制御する。これ
によりカセット１から押し出されたウェハリング２は、
開状態とされる矯正レール１１、１２間に搬入され、そ
の後、閉状態となる両矯正レール１１、１２により、回
転方向のずれが修正される。
ンディング装置に供給するにあたり、ウェハリング２の
供給経路に、このウェハリング２の搬送方向と略直交す
る方向に開閉する１対の矯正レール１１、１２を設け、
矯正レール１１、１２を、前記ウェハリング２が該矯正
レール１１、１２間に搬入されるまでは開状態に保ち、
搬入された後に閉状態となるように移動制御する。これ
によりカセット１から押し出されたウェハリング２は、
開状態とされる矯正レール１１、１２間に搬入され、そ
の後、閉状態となる両矯正レール１１、１２により、回
転方向のずれが修正される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、粘着テープを介してウ
ェハを保持するウェハリングを、ペレットボンディング
装置に設けられた受台に供給するウェハリング供給方法
に関する。
ェハを保持するウェハリングを、ペレットボンディング
装置に設けられた受台に供給するウェハリング供給方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造工程の１つに、ペレットボ
ンディング工程がある。ここでは、ウェハから１個ずつ
ペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必要
に応じて位置決めポジションを経由して、リードフレー
ム上に搬送し、その所定位置にボンディングする作業が
行われる。
ンディング工程がある。ここでは、ウェハから１個ずつ
ペレットをピックアップし、その後直接、あるいは必要
に応じて位置決めポジションを経由して、リードフレー
ム上に搬送し、その所定位置にボンディングする作業が
行われる。
【０００３】この作業に用いられるペレットボンディン
グ装置に関しては、例えば特開昭５４−４０６２号公報
に記載されているように、粘着テープを介して半導体ウ
ェハを保持するウェハリングを、ペレットボンディング
装置が有する引き延し装置に供給し、この引き延し装置
にて粘着テープを引き延す技術が公知である。
グ装置に関しては、例えば特開昭５４−４０６２号公報
に記載されているように、粘着テープを介して半導体ウ
ェハを保持するウェハリングを、ペレットボンディング
装置が有する引き延し装置に供給し、この引き延し装置
にて粘着テープを引き延す技術が公知である。
【０００４】そしてこのペレットボンディング装置にお
いては、受台を構成する引き延し装置に対して、ウェハ
リングを供給したり排出することが必要となる。そこで
従来においては、図３にその平面図を示すように、カセ
ット１内に複数枚のウェハリング２を収納しておき、先
端に吸盤等の保持部３を有する搬送アーム４を用いて、
このカセット１からウェハリング２を１枚ずつ、固定配
置された１対の搬送レール５、６に沿って搬送し、不図
示の引き延し装置に供給したり、あるいは同レール５、
６を介して使用済みのウェハリング２をカセット１内に
収納するようにしていた。なお図において、７は粘着テ
ープ、８はこの粘着テープ７に貼着されたウェハを示
す。
いては、受台を構成する引き延し装置に対して、ウェハ
リングを供給したり排出することが必要となる。そこで
従来においては、図３にその平面図を示すように、カセ
ット１内に複数枚のウェハリング２を収納しておき、先
端に吸盤等の保持部３を有する搬送アーム４を用いて、
このカセット１からウェハリング２を１枚ずつ、固定配
置された１対の搬送レール５、６に沿って搬送し、不図
示の引き延し装置に供給したり、あるいは同レール５、
６を介して使用済みのウェハリング２をカセット１内に
収納するようにしていた。なお図において、７は粘着テ
ープ、８はこの粘着テープ７に貼着されたウェハを示
す。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、一般にウェ
ハリング２は、図３に示すように、その外周に切り欠き
２ａを有する円環状とされる。そしてこの切り欠き２ａ
を一定の向きに合わせて引き延し装置へ供給するため、
カセット１内において、ウェハリング２はその切り欠き
２ａがカセット１の一方の側板１ａに対向する状態で収
納され、そしてウェハリング２の搬送は、切り欠き２ａ
が一方の搬送レール５に対向する状態で行なわれる。
ハリング２は、図３に示すように、その外周に切り欠き
２ａを有する円環状とされる。そしてこの切り欠き２ａ
を一定の向きに合わせて引き延し装置へ供給するため、
カセット１内において、ウェハリング２はその切り欠き
２ａがカセット１の一方の側板１ａに対向する状態で収
納され、そしてウェハリング２の搬送は、切り欠き２ａ
が一方の搬送レール５に対向する状態で行なわれる。
【０００６】ところが、一般にカセット１の収納部にお
ける幅寸法は、ウェハリング２の径寸法Ｄより幅広に形
成されているため、カセット１の移送の際などにおい
て、カセット１内に収納されているウェハリング２が回
転ずれを生じてしまうことがある。これに対して１対の
搬送レール５、６間の間隔は、切り欠きの寸法ｄに略等
しく設定される。このため、カセット１内におけるウェ
ハリング２の回転ずれが大きい場合には、図３に示すよ
うに、ウェハリング２をカセット１から搬送レール５、
６に搬入する際に、ウェハリング２の縁部２ｂや周部２
ｃが搬送レール５、６に引っ掛かり、以後の搬送アーム
４による搬送が不可能となって供給ミスを生じることが
あった。
ける幅寸法は、ウェハリング２の径寸法Ｄより幅広に形
成されているため、カセット１の移送の際などにおい
て、カセット１内に収納されているウェハリング２が回
転ずれを生じてしまうことがある。これに対して１対の
搬送レール５、６間の間隔は、切り欠きの寸法ｄに略等
しく設定される。このため、カセット１内におけるウェ
ハリング２の回転ずれが大きい場合には、図３に示すよ
うに、ウェハリング２をカセット１から搬送レール５、
６に搬入する際に、ウェハリング２の縁部２ｂや周部２
ｃが搬送レール５、６に引っ掛かり、以後の搬送アーム
４による搬送が不可能となって供給ミスを生じることが
あった。
【０００７】本発明は、ウェハリングを確実に供給する
ことができるウェハリング供給方法を提供することを目
的とする。
ことができるウェハリング供給方法を提供することを目
的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、粘着テープを介してウェハを保持するウェハ
リングを、搬送レールに沿って搬送し、ペレットボンデ
ィング装置に設けられた前記ウェハリングの受台に供給
するウェハリング供給方法において、前記ウェハリング
の供給経路に、前記ウェハリングの搬送方向と略直交す
る方向に開閉する１対の矯正レールを設け、この矯正レ
ールを、該矯正レール間に前記ウェハリングが搬入され
るまでは開状態に保ち、搬入された後に閉状態となるよ
うに移動制御することを特徴とする。
本発明は、粘着テープを介してウェハを保持するウェハ
リングを、搬送レールに沿って搬送し、ペレットボンデ
ィング装置に設けられた前記ウェハリングの受台に供給
するウェハリング供給方法において、前記ウェハリング
の供給経路に、前記ウェハリングの搬送方向と略直交す
る方向に開閉する１対の矯正レールを設け、この矯正レ
ールを、該矯正レール間に前記ウェハリングが搬入され
るまでは開状態に保ち、搬入された後に閉状態となるよ
うに移動制御することを特徴とする。
【０００９】
【作用】本発明によれば、ウェハリングが搬入されるま
では１対の矯正レールが開状態とされて両者間に充分な
間隔が保たれることから、ウェハリングに回転ずれが生
じていたとしても、ウェハリングの供給が正常に行われ
る。
では１対の矯正レールが開状態とされて両者間に充分な
間隔が保たれることから、ウェハリングに回転ずれが生
じていたとしても、ウェハリングの供給が正常に行われ
る。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について、図面を用いて
説明する。
説明する。
【００１１】図１は本発明を実施するために用いられる
ウェハリング搬送装置の一実施例の平面図、図２は図１
のＡ−Ａ断面図である。
ウェハリング搬送装置の一実施例の平面図、図２は図１
のＡ−Ａ断面図である。
【００１２】図において、カセット１内には複数枚のウ
ェハリング２が収納されており、カセット１が不図示の
昇降手段により上下方向にピッチ動させられることによ
り、１枚のウェハリング２が供給位置に位置付けられる
ようになっている。そして、供給位置に位置付けられた
ウェハリング２に対向してプッシャ１０が配置される。
プッシャ１０によるウェハリング２の押し出し方向に
は、１対の矯正レール１１、１２が設けられ、各矯正レ
ール１１、１２にはそれぞれ対向して、受け部１１ａ、
１２ａとガイド部１１ｂ、１２ｂとを有する。ここで一
方の矯正レール１１は固定状態とされ、他方の矯正レー
ル１２はエアシリンダ１３により矯正レール１１に対向
する方向に可動とされる。矯正レール１１、１２の終端
には、不図示のペレットボンディング装置における引き
延し装置１４が配置される。この引き延し装置１４自体
は公知のものであり、引き延し台１５と押し下げ板１６
を有する。
ェハリング２が収納されており、カセット１が不図示の
昇降手段により上下方向にピッチ動させられることによ
り、１枚のウェハリング２が供給位置に位置付けられる
ようになっている。そして、供給位置に位置付けられた
ウェハリング２に対向してプッシャ１０が配置される。
プッシャ１０によるウェハリング２の押し出し方向に
は、１対の矯正レール１１、１２が設けられ、各矯正レ
ール１１、１２にはそれぞれ対向して、受け部１１ａ、
１２ａとガイド部１１ｂ、１２ｂとを有する。ここで一
方の矯正レール１１は固定状態とされ、他方の矯正レー
ル１２はエアシリンダ１３により矯正レール１１に対向
する方向に可動とされる。矯正レール１１、１２の終端
には、不図示のペレットボンディング装置における引き
延し装置１４が配置される。この引き延し装置１４自体
は公知のものであり、引き延し台１５と押し下げ板１６
を有する。
【００１３】矯正レール１１、１２の長手方向に沿っ
て、ウェハリング２の搬送装置１７が設けられる。搬送
装置１７は、先端に吸着盤からなる保持部１８を有する
搬送アーム１９を有し、この搬送アーム１９は支持体２
０に対して上下動できるように支持される。そして支持
体２０は、不図示のピニオンを内蔵しており、このピニ
オンが搬送アーム１９の移動方向に配設されたラック付
きガイド２１に噛合し、さらに支持体２０内のモータに
より回転動させられることにより、支持体２０全体が、
図中左右方向に移動させられるようになっている。
て、ウェハリング２の搬送装置１７が設けられる。搬送
装置１７は、先端に吸着盤からなる保持部１８を有する
搬送アーム１９を有し、この搬送アーム１９は支持体２
０に対して上下動できるように支持される。そして支持
体２０は、不図示のピニオンを内蔵しており、このピニ
オンが搬送アーム１９の移動方向に配設されたラック付
きガイド２１に噛合し、さらに支持体２０内のモータに
より回転動させられることにより、支持体２０全体が、
図中左右方向に移動させられるようになっている。
【００１４】次に作動について説明する。
【００１５】まず不図示の昇降手段により、カセット１
内の所定のウェハリング２が供給位置に位置付けられ
る。その後プッシャ１０が作動し、ウェハリング２は、
その先端が搬送アーム１９の保持ポジションＰの位置に
達するまで押し出される。この時搬送アーム１９の保持
部１８は、保持ポジションＰの上方に位置しており、ウ
ェハリング２が押し出されたことを不図示のセンサが感
知すると、この信号に基づいて下降し、ウェハリング２
の上面縁部を吸着保持するとともに、この後搬送アーム
１９が右方に移動を開始する。これによりウェハリング
２は矯正レール１１、１２間に搬入され、その下面が両
矯正レール１１、１２の受け部１１ａ、１２ａにて支持
されながら移動する。そして矯正レール１１、１２の長
手方向における略中央位置にウェハリング２が到達した
地点で搬送アーム１９は一時停止し、保持部１８による
吸着を解く。
内の所定のウェハリング２が供給位置に位置付けられ
る。その後プッシャ１０が作動し、ウェハリング２は、
その先端が搬送アーム１９の保持ポジションＰの位置に
達するまで押し出される。この時搬送アーム１９の保持
部１８は、保持ポジションＰの上方に位置しており、ウ
ェハリング２が押し出されたことを不図示のセンサが感
知すると、この信号に基づいて下降し、ウェハリング２
の上面縁部を吸着保持するとともに、この後搬送アーム
１９が右方に移動を開始する。これによりウェハリング
２は矯正レール１１、１２間に搬入され、その下面が両
矯正レール１１、１２の受け部１１ａ、１２ａにて支持
されながら移動する。そして矯正レール１１、１２の長
手方向における略中央位置にウェハリング２が到達した
地点で搬送アーム１９は一時停止し、保持部１８による
吸着を解く。
【００１６】ここで矯正レール１１、１２間にウェハリ
ング２が搬入されるに先立ち、図中１点鎖線で示すよう
に、矯正レール１２は矯正レール１１から離れた待機位
置に位置している。そして本実施例においては、矯正レ
ール１２が待機位置に位置する状態にて、両矯正レール
１１、１２のガイド部１１ｂ、１２ｂ間の間隔が、ウェ
ハリング２の径寸法Ｄと略一致する距離に設定される。
そしてウェハリング２が搬送アーム１９によって搬入さ
れ、上述の一時停止に伴い、エアシリンダ１３が作動し
て、図中実線で示すように、矯正レール１２は矯正レー
ル１１方向に移動する。そしてこの移動により、ウェハ
リング２は両矯正レール１１、１２にて挟持状態とさ
れ、丁度切り欠き２ａが矯正レール１１のガイド部１１
ｂに倣う状態で回転方向の位置決めがなされる。その
後、矯正レール１２は待機位置に復帰する。ウェハリン
グ２の位置決めが終了すると、搬送アーム１９の保持部
１８にてウェハリング２は再び吸着保持され、そして搬
送アーム１９の移動により、引き延し装置１４まで搬送
されて装着される。この後、搬送アーム１９はボンディ
ング作業の邪魔にならない位置まで退避するとともに、
引き延し装置１４においては、引き延し台１５に対して
押し下げ板１６が下動する。これによりウェハリング２
における粘着テープ７は延ばされ、ウェハ８における個
々のペレット間に間隙が形成されることとなる。以後
は、通常のペレットボンディング作業が行なわれる。
ング２が搬入されるに先立ち、図中１点鎖線で示すよう
に、矯正レール１２は矯正レール１１から離れた待機位
置に位置している。そして本実施例においては、矯正レ
ール１２が待機位置に位置する状態にて、両矯正レール
１１、１２のガイド部１１ｂ、１２ｂ間の間隔が、ウェ
ハリング２の径寸法Ｄと略一致する距離に設定される。
そしてウェハリング２が搬送アーム１９によって搬入さ
れ、上述の一時停止に伴い、エアシリンダ１３が作動し
て、図中実線で示すように、矯正レール１２は矯正レー
ル１１方向に移動する。そしてこの移動により、ウェハ
リング２は両矯正レール１１、１２にて挟持状態とさ
れ、丁度切り欠き２ａが矯正レール１１のガイド部１１
ｂに倣う状態で回転方向の位置決めがなされる。その
後、矯正レール１２は待機位置に復帰する。ウェハリン
グ２の位置決めが終了すると、搬送アーム１９の保持部
１８にてウェハリング２は再び吸着保持され、そして搬
送アーム１９の移動により、引き延し装置１４まで搬送
されて装着される。この後、搬送アーム１９はボンディ
ング作業の邪魔にならない位置まで退避するとともに、
引き延し装置１４においては、引き延し台１５に対して
押し下げ板１６が下動する。これによりウェハリング２
における粘着テープ７は延ばされ、ウェハ８における個
々のペレット間に間隙が形成されることとなる。以後
は、通常のペレットボンディング作業が行なわれる。
【００１７】ボンディング作業によって使用済みとなっ
たウェハリング２は、上記と逆の動作により、カセット
１内に返送される。なおウェハリング２は引き延し装置
１４において正確に位置決めされることから、この返送
時、矯正レール１２の開閉動は特に必要としない。
たウェハリング２は、上記と逆の動作により、カセット
１内に返送される。なおウェハリング２は引き延し装置
１４において正確に位置決めされることから、この返送
時、矯正レール１２の開閉動は特に必要としない。
【００１８】上記実施例によれば、ウェハリング２がカ
セット１から矯正レール１１、１２間に搬入される時、
両矯正レール１１、１２間には、ウェハリング２の径寸
法Ｄと略一致する間隔が設定されているため、たとえカ
セット１に収納されているウェハリング２に回転ずれが
生じていたとしても、従来のように引っ掛かることな
く、矯正レール１１、１２間に確実に搬入することがで
き、従って引き延ばし装置１４に対するウェハリング２
の供給ミスが防止できる。
セット１から矯正レール１１、１２間に搬入される時、
両矯正レール１１、１２間には、ウェハリング２の径寸
法Ｄと略一致する間隔が設定されているため、たとえカ
セット１に収納されているウェハリング２に回転ずれが
生じていたとしても、従来のように引っ掛かることな
く、矯正レール１１、１２間に確実に搬入することがで
き、従って引き延ばし装置１４に対するウェハリング２
の供給ミスが防止できる。
【００１９】また、回転ずれを生じた状態で矯正レール
１１、１２間に搬入されたウェハリング２は、両矯正レ
ールによる挟持動作によりその回転ずれが修正されるた
め、引き延ばし装置１４へウェハリング２を正確な向き
で供給することもできる。
１１、１２間に搬入されたウェハリング２は、両矯正レ
ールによる挟持動作によりその回転ずれが修正されるた
め、引き延ばし装置１４へウェハリング２を正確な向き
で供給することもできる。
【００２０】なお上記実施例においては、矯正レール１
１、１２の移動手段としてエアシリンダ１３を使用した
例で説明したが、これに限定されるものではなく、例え
ばカム機構であってもよく、また矯正レール１１を固定
とし、矯正レール１２を可動に構成したが、共に可動と
してもよい。また開状態時におけるガイド部１１ｂ、１
２ｂ間の間隔を、ウェハリング２の径寸法Ｄと略一致す
る距離に設定したが、この間隔はウェハリング２のずれ
量を考慮して適宜設定すればよい。
１、１２の移動手段としてエアシリンダ１３を使用した
例で説明したが、これに限定されるものではなく、例え
ばカム機構であってもよく、また矯正レール１１を固定
とし、矯正レール１２を可動に構成したが、共に可動と
してもよい。また開状態時におけるガイド部１１ｂ、１
２ｂ間の間隔を、ウェハリング２の径寸法Ｄと略一致す
る距離に設定したが、この間隔はウェハリング２のずれ
量を考慮して適宜設定すればよい。
【００２１】また両矯正レール１１、１２にてウェハリ
ング２を挟持するに先立ち、搬送アーム１９の保持部１
８による保持動作を一時的に解いたが、例えば保持部１
８が搬送アーム１９に対して首振り状態に保持されてい
ればこの動作は特に必要ない。
ング２を挟持するに先立ち、搬送アーム１９の保持部１
８による保持動作を一時的に解いたが、例えば保持部１
８が搬送アーム１９に対して首振り状態に保持されてい
ればこの動作は特に必要ない。
【００２２】さらに両矯正レール１１、１２の閉動作時
におけるガイド部１１ｂ、１２ｂ間の間隔を検出し、こ
の検出値と予め記憶させてある切り欠きの寸法ｄとを比
較することによって、ウェハリング２の位置決め動作が
正確に行なわれたかを検出するようにしてもよい。
におけるガイド部１１ｂ、１２ｂ間の間隔を検出し、こ
の検出値と予め記憶させてある切り欠きの寸法ｄとを比
較することによって、ウェハリング２の位置決め動作が
正確に行なわれたかを検出するようにしてもよい。
【００２３】また、ウェハリング２を矯正レール１１、
１２から引き延ばし装置１４に直接供給する例で説明し
たが、矯正レール１１、１２と引き延ばし装置１４との
間に、従来と同様な搬送レール５、６を設けるようにし
てもよい。
１２から引き延ばし装置１４に直接供給する例で説明し
たが、矯正レール１１、１２と引き延ばし装置１４との
間に、従来と同様な搬送レール５、６を設けるようにし
てもよい。
【００２４】さらに、ウェハリング２をその受台を構成
する引き延ばし装置１４に供給する例で説明したが、引
き延ばし装置を有しないペレットボンディング装置のペ
レット供給台等に対して、例えば隣接ペレット間にすで
に間隔が形成されたウェハを保持するウェハリングを供
給する場合にも本発明を適用することは可能である。
する引き延ばし装置１４に供給する例で説明したが、引
き延ばし装置を有しないペレットボンディング装置のペ
レット供給台等に対して、例えば隣接ペレット間にすで
に間隔が形成されたウェハを保持するウェハリングを供
給する場合にも本発明を適用することは可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、ウェハリングを確実に
供給することができる。
供給することができる。
【図１】本発明を実施するために用いられるウェハリン
グ搬送装置の一実施例の平面図を示す。
グ搬送装置の一実施例の平面図を示す。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図を示す。
【図３】従来のウェハリング搬送装置を示す平面図であ
る。
る。
１ カセット ２ ウェハリング １１ 矯正レール １２ 矯正レール １３ エアシリンダ １７ 搬送装置 １８ 保持部 １９ 搬送アーム
Claims (1)
- 【請求項１】 粘着テープを介してウェハを保持するウ
ェハリングを、搬送レールに沿って搬送し、ペレットボ
ンディング装置に設けられた前記ウェハリングの受台に
供給するウェハリング供給方法において、前記ウェハリ
ングの供給経路に、前記ウェハリングの搬送方向と略直
交する方向に開閉する１対の矯正レールを設け、この矯
正レールを、該矯正レール間に前記ウェハリングが搬入
されるまでは開状態に保ち、搬入された後に閉状態とな
るように移動制御することを特徴とするウェハリング供
給方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25696691A JP3323215B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ウェハリング供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25696691A JP3323215B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ウェハリング供給方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567670A true JPH0567670A (ja) | 1993-03-19 |
| JP3323215B2 JP3323215B2 (ja) | 2002-09-09 |
Family
ID=17299849
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25696691A Expired - Fee Related JP3323215B2 (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | ウェハリング供給方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3323215B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6376052B1 (en) | 1997-10-14 | 2002-04-23 | Ibiden Co., Ltd. | Multilayer printed wiring board and its production process, resin composition for filling through-hole |
| WO2009032612A1 (en) * | 2007-08-29 | 2009-03-12 | Texas Instruments Incorporated | Quick changeover apparatus and methods for wafer handler |
| KR100986167B1 (ko) * | 2008-04-23 | 2010-10-07 | 세크론 주식회사 | 웨이퍼 링을 안내하기 위한 장치 |
| US8965572B2 (en) | 2011-07-15 | 2015-02-24 | Hitachi High-Tech Instruments Co., Ltd. | Frame feeding system and frame feeding method |
| CN116798923A (zh) * | 2023-06-09 | 2023-09-22 | 乐孜芯创半导体设备(上海)有限公司 | 一种晶圆载具环定心定向装置 |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP25696691A patent/JP3323215B2/ja not_active Expired - Fee Related
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