JP2010173847A - ウエハリング搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエハ3が貼り付けられた粘着シート2を保持しているウエハリング1をガイドする一対のガイドレール11、12が、リング供給部と搬送目的位置との間に配設されて、ウエハリング1をリング供給部から搬送目的位置まで搬送するウエハリング搬送装置である。ガイドレール11、12は、ウエハリング1の外径面の軸心に関して180°反対の位置に配設される切欠部5、7に対してそれぞれ転動して、ウエハリング1のリング供給部から搬送目的位置までの連続搬送を許容する切欠部案内体15、16を有する。相対向するガイドレール11、12の切欠部案内体15、16が相対的に接近・離間する方向に平行移動する。
【選択図】図1
Description
1a 内径面
2 粘着シート
3 ウエハ
5、6、7、8 切欠部
11,12 ガイドレール
15,16 切欠部案内体
17 回転ローラ
24b ピストンロッド
30 引っ掛け機構
31 搬送手段
32 フック部
36 制御手段
Claims (8)
- ウエハが貼り付けられた粘着シートを保持しているウエハリングをガイドする一対のガイドレールが、リング供給部と搬送目的位置との間に配設されて、ウエハリングをリング供給部から搬送目的位置まで搬送するウエハリング搬送装置であって、
前記ガイドレールは、ウエハリングの外径面の軸心に関して180°反対の位置に配設される切欠部に対してそれぞれ直接又は間接に接触して、ウエハリングをリング供給部から搬送目的位置までの連続搬送を許容する切欠部案内体を有し、かつ、相対向するガイドレールの切欠部案内体が相対的に接近・離間する方向に平行移動することを特徴とするウエハリング搬送装置。 - ウエハリングのガイドレール間への搬送前においては、ガイドレールの切欠部案内体の間隔寸法がウエハリングの切欠部間寸法よりも大きな間隔とされ、ウエハリングがガイドレール間へ搬送された際に、切欠部案内体が相互に接近してこのウエハリングを切欠部案内体にて挟持するように制御する制御手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載のウエハリング搬送装置。
- 切欠部案内体は、ウエハリングの搬送方向に沿って所定ピッチで配設される複数の回転ローラから構成されることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記ローラがベアリングであることを特徴とする請求項3に記載のウエハリング搬送装置。
- ウエハリングを引っ掛け機構にて引っ掛けてリング供給部から搬送目的位置まで引っ張る搬送手段を備えたことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
- 引っ掛け機構は、ウエハリングの内径面に係止するフック部を備えたことを特徴とする請求項5に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記リング供給部は、複数のウエハリングが収納されたリング収納用カセットであることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
- 前記搬送目的位置は、ボンディング装置の引き延ばし装置であることを特徴とする請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載のウエハリング搬送装置。
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