CN116460928A - Ir滤光片全自动裂片设备 - Google Patents

Abstract

本发明属于IR滤光片裂片技术领域，尤其涉及一种IR滤光片全自动裂片设备，包括柜体、存取料装置及裂片装置；存取料装置、裂片装置均安装于柜体上；裂片装置包括定位组件、裂片方向控制组件、裂片驱动组件及刮板组件，定位组件安装于存取料装置的至少部分的上方，裂片方向控制组件安装于定位组件的上方，裂片驱动组件与裂片方向控制组件之间连接有阻尼组件，阻尼组件用于缓解裂片方向控制组件产生的顿挫或震动，刮板组件与裂片驱动组件之间连接有感应组件。本设备能够自动完成晶圆环入料及回料，还能够实现两个方向上的滤光片裂片，整个过程无需人工参与，大大降低人工成本，同时保证裂片力度的量化，提高滤光片的良品率。

Description

IR滤光片全自动裂片设备

技术领域

本申请涉及IR滤光片生产技术领域，特别涉及一种IR滤光片全自动裂片设备。

背景技术

在感光行业中，需要将IR滤光片中片经过一系列工艺变成IR滤光片小片，具体为，将4片IR滤光片中片用UV膜平整地覆在晶圆环上，然后再用激光切割机对IR滤光片中片横向、竖向进行切割，此时IR滤光片中片并未完全裂开，然后再经过裂片工艺把IR滤光片中片***成小片。

在相关技术中，裂片工艺采用人工手动裂片的方式，这种操作方式效率低，裂片手法、力度因人而异，不能量化，而且离不开操作人员，生产成本高。

需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

鉴于以上技术问题中的至少一项，本申请提供一种IR滤光片全自动裂片设备，解决了在相关技术中，裂片工艺采用人工手动裂片的方式，这种操作方式效率低，裂片手法、力度因人而异，不能量化，而且离不开操作人员，生成成本高的问题。

本申请实施例，提供一种IR滤光片全自动裂片设备，包括柜体、存取料装置及裂片装置；

存取料装置、裂片装置均安装于柜体上，存取料装置用于将覆有IR滤光片的晶圆环送至裂片装置下方，或从裂片装置下方回收经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环；

裂片装置包括定位组件、裂片方向控制组件、裂片驱动组件及刮板组件，定位组件安装于存取料装置的至少部分的上方，裂片方向控制组件安装于定位组件的上方，裂片驱动组件与裂片方向控制组件之间连接有阻尼组件，阻尼组件用于缓解裂片方向控制组件产生的顿挫或震动，刮板组件与裂片驱动组件之间连接有感应组件。

本申请具有如下技术效果：本设备能够自动完成晶圆环入料及回料，还能够实现两个方向上的滤光片裂片，整个过程无需人工参与，大大降低人工成本，同时保证裂片力度的量化，提高滤光片的良品率。

在一种实现方式中，存取料装置包括储料组件及取放组件，储料组件、取放组件均安装于柜体上，取放组件位于储料组件一侧，且该取放组件位于定位组件的下方，取放组件用于将覆有IR滤光片的晶圆环从储料组件送至定位组件上，或将经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环从定位组件送至储料组件中。

在一种实现方式中，取放组件包括第一移动模组、连接片及夹环气爪，第一移动模组沿第一方向安装于定位组件下方，夹环气爪通过连接片与第一移动模组连接，夹环气爪的两移动端上分别连接有第一夹块及第二夹块，第一夹块上具有第一夹持面，第二夹块上具有第二夹持面，第一夹持面与第二夹持面相对设置，第一夹持面、第二夹持面分别与晶圆环的边缘平行。

在一种实现方式中，第一移动模组上具有第一滑台，连接片上具有向储料组件延伸的延伸部，夹环气爪与延伸部连接用于使夹环气爪偏置于第一滑台的上方。

在一种实现方式中，定位组件包括支撑底座、抵接件、固环气缸及固定架，支撑底座安装于柜体上，抵接件安装于支撑底座上，抵接件包括第一主体及抵接部，第一主体安装于支撑底座上，该第一主体的上表面与支撑底座的上沿平齐，抵接部设置于第一主体的边缘并突出第一主体，固环气缸的数量具有两个且相对设于存取料装置的至少部分的两侧，固定架的数量具有两个且滑动连接于支撑底座上，固环气缸与固定架传动连接。

在一种实现方式中，阻尼组件包括第一转盘及第二转盘，第一转盘固定在裂片方向控制组件的本体上，第二转盘与裂片方向控制组件的输出端连接，第二转盘与裂片驱动组件连接，第一转盘与第二转盘之间通过缓冲机构连接。

在一种实现方式中，第一转盘上间隔分布有多个第一装配孔，第二转盘上间隔分布有多个第二装配孔；

缓冲机构包括第一固定件、第二固定件及拉簧，第一固定件安装在第一装配孔中，第二固定件安装在第二装配孔中，拉簧的一端与第一固定件连接，拉簧的另一端与第二固定件连接。

在一种实现方式中，刮板组件包括固定块、固定轴、旋转夹板及裂片刮板，固定块与感应组件连接，固定轴与固定块连接，旋转夹板套设于固定轴上，该旋转夹板能够绕固定轴的轴线转动，裂片刮板安装在旋转夹板上。

在一种实现方式中，裂片刮板的刮片端的截面呈V型。

在一种实现方式中，感应组件为压力传感器。

下面结合附图与实施例，对本发明进一步说明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例的IR滤光片全自动裂片设备的结构图；

图2是本申请实施例的储料组件的***结构图；

图3是本申请实施例的取放组件的***结构图；

图4是本申请实施例的定位组件的结构图；

图5是图4中A处的放大结构图；

图6是本申请实施例的固定架的结构图；

图7是本申请实施例的阻尼组件的结构图；

图8是本申请实施例的刮板组件的***结构图；

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请实施例中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。

在本申请实施例中，空间坐标轴的X轴方向表示第一方向(即左、右方向)，空间坐标轴的Y轴方向表示第二方向(即前、后方向)，空间坐标轴的Z轴方向表示第三方向(即上、下方向)。

在感光行业中，需要将IR滤光片中片经过一系列工艺变成IR滤光片小片，具体为，将4片IR滤光片中片用UV膜平整地覆在晶圆环上，然后再用激光切割机对IR滤光片中片横向、竖向进行切割，此时IR滤光片中片并未完全裂开，然后再经过裂片工艺把IR滤光片中片***成小片。

在相关技术中，裂片工艺采用人工手动裂片的方式，这种操作方式效率低，裂片手法、力度因人而异，不能量化，而且离不开操作人员，生成成本高。本设备能够自动完成晶圆环入料及回料，还能够实现两个方向上的滤光片裂片，整个过程无需人工参与，大大降低人工成本，同时保证裂片力度的量化，提高滤光片的良品率。

请参见图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7及图8，其中，图1是本申请实施例的IR滤光片全自动裂片设备的结构图；图2是本申请实施例的储料组件的***结构图；图3是本申请实施例的取放组件的***结构图；图4是本申请实施例的定位组件的结构图；图5是图4中A处的放大结构图；图6是本申请实施例的固定架的结构图；图7是本申请实施例的阻尼组件的结构图；图8是本申请实施例的刮板组件的***结构图；本申请实施例提供一种IR滤光片全自动裂片设备，包括柜体100、存取料装置200及裂片装置300；

以下对本申请实施例提供的IR滤光片全自动裂片设备的具体结构、工作原理进行详细介绍。

如图1所示，存取料装置200、裂片装置300均安装于柜体100上，存取料装置200用于将覆有IR滤光片的晶圆环送至裂片装置300下方，或从裂片装置300下方回收经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环；

裂片装置300包括定位组件310、裂片方向控制组件320、裂片驱动组件330及刮板组件340，定位组件310安装于存取料装置200的至少部分的上方，裂片方向控制组件320安装于定位组件310的上方，裂片驱动组件330与裂片方向控制组件320之间连接有阻尼组件350，阻尼组件350用于缓解裂片方向控制组件320产生的顿挫或震动，刮板组件340与裂片驱动组件330之间连接有感应组件360。

例如，本申请实施例的设备在工作时，首先在晶圆环上覆有UV膜，然后将IR滤光片覆在IR滤光片上。将多个覆有IR滤光片的晶圆环层叠放置在存取料装置200中，存取料装置200每一次取一个晶圆环并送至裂片装置300上进行裂片操作。完成裂片后，从裂片装置300回收经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环。

存取料装置200每一次取一个晶圆环并送至裂片装置300上进行裂片操作，其中，存取料装置200将一个晶圆环送至定位组件310上，定位组件310对晶圆环进行定位固定，然后裂片方向控制组件320控制裂片驱动组件330及刮板组件340的方向，使刮板组件340在第一方向、第二方向上对IR滤光片进行裂片。

在另一些示例中，裂片方向控制组件320可以包括第三移动模组321、连接架322及旋转气缸323，第三移动模组321安装于定位组件310的正上方，且沿第三方向延伸设置，连接架322呈L形，连接架322与第三移动模组321连接，旋转气缸323与连接架322连接，阻尼组件350与旋转气缸323的输出端连接，旋转气缸323的输出端的旋转面平行于柜体100平面。

第三移动模组321为常见的直线驱动机构，可以为直线电机，也可以为丝杆传动机构。在本申请实施例中，第三移动模组321为直线电机。

例如，第三移动模组321用于带动连接架322、旋转气缸323沿第三方向往复移动，进一步地带动阻尼组件350、裂片组件组件及刮板组件340沿第三方向往复移动，使刮板组件340靠近或远离定位组件310上的晶圆环。当刮板组件340靠近晶圆环并与之接触，刮板组件340对晶圆环进行裂片操作。当刮板组件340远离晶圆环，此时方便存取料装置200取出或存放晶圆环。

又例如，旋转气缸323用于带动阻尼组件350、裂片驱动组件330及刮板组件340转动90°，其中，旋转气缸323可以让刮板组件340沿第一方向设置改变为沿第二方向设置，也可以让刮板组件340沿第二方向设置改变为沿第一方向设置，如此，从两个方向对滤光片进行裂片，从而将滤光片***成四小块。

在另一些示例中，裂片驱动组件330可以包括第四移动模组331，第四移动模组331安装于阻尼组件350上，且第四移动模组331的移动端的移动方向平行于柜体100表面，刮板组件340与第四移动模组331传动连接。

第四移动模组331为常见的直线驱动机构，可以为直线电机，也可以为丝杆传动机构。在本申请实施例中，第四移动模组331为直线电机。

例如，第四移动模组331能够带动刮板组件340沿第一方向或第二方向往复移动，从而对滤光片进行裂片，提升裂片效率。

在一些示例中，存取料装置200包括储料组件210及取放组件220，储料组件210、取放组件220均安装于柜体100上，取放组件220位于储料组件210一侧，且该取放组件220位于定位组件310的下方，取放组件220用于将覆有IR滤光片的晶圆环从储料组件210送至定位组件310上，或将经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环从定位组件310送至储料组件210中。

如图1及图2所示，储料组件210可以包括第二移动模组211、连接板212及储料仓213，第二移动模组211沿第三方向安装在柜体100上，连接板212与第二移动模组211传动连接，储料仓213与连接板212连接，储料仓213中间隔有多个储料层2131，晶圆环放置在储料层2131中。如此，第二移动模组211控制储料仓213上下往复移动，使储料仓213中的晶圆环对准取放组件220，方便取放组件220取出晶圆环，亦或是使储料仓213中的空闲的储料层2131对准取放组件220，方便取放组件220将完成裂片的覆有IR滤光片的晶圆环重新放入储料层2131中。

具体地，第二移动模组211为常见的直线驱动机构，可以为直线电机，也可以为丝杆传动机构。在本申请实施例中，第二移动模组211为丝杆传动机构。

如图1及图3所示，取放组件220可以包括第一移动模组221、连接片222及夹环气爪223，第一移动模组221沿第一方向安装于定位组件310下方，夹环气爪223通过连接片222与第一移动模组221连接，夹环气爪223的两移动端上分别连接有第一夹块2231及第二夹块2232，第一夹块2231上具有第一夹持面22311，第二夹块2232上具有第二夹持面22321，第一夹持面22311与第二夹持面22321相对设置，第一夹持面22311、第二夹持面22321分别与晶圆环的边缘平行。

第一移动模组221为常见的直线驱动机构，可以为直线电机，也可以为丝杆传动机构。在本申请实施例中，第一移动模组221为直线电机，其中，第一移动模组221上具有第一滑台。

连接片222呈片状结构，连接片222上具有向储料组件210延伸的延伸部2221，夹环气爪223与延伸部2221连接用于使夹环气爪223偏置于第一滑台的上方。如此，通过在连接片222上延伸有延伸部2221，使夹环气爪223偏置与第一滑台的上方，一方面避免第一滑台对夹环气爪223造成干涉，影响夹环气爪223夹取晶圆环，另一方面方便夹环气爪223从储料仓213中取出晶圆环。

例如，当第一滑台带动夹环气爪223滑动至靠近储料仓213的一端时，夹环气爪223能延伸出第一移动模组221，从而将出料仓中的晶圆环取出，方便晶圆环取出，使晶圆环取料更高效。

夹环气爪223的两个移动端分别沿着第三方向往复移动，进而带动第一夹块2231、第二夹块2232沿第三方向往复移动，其中，第一夹块2231、第二夹块2232的移动方向相反。通过第一夹块2231上的第一夹持面22311与第二夹块2232上的第二夹持面22321配合，从而夹紧晶圆环的边缘，使晶圆环取放平稳可靠。

在一些示例中，定位组件310包括支撑底座311、抵接件312、固环气缸313及固定架314，支撑底座311安装于柜体100上，抵接件312安装于支撑底座311上，抵接件312包括第一主体3121及抵接部3122，第一主体3121安装于支撑底座311上，该第一主体3121的上表面与支撑底座311的上沿平齐，抵接部3122设置于第一主体3121的边缘并突出第一主体3121，固环气缸313的数量具有两个且相对设于存取料装置200的至少部分的两侧，固定架314的数量具有两个且滑动连接于支撑底座311上，固环气缸313与固定架314传动连接。

如图1及图4所示，支撑底座311垂直安装于柜体100上，支撑底座311由四块支撑块组成，沿第一方向并列设置的两块支撑块为一支撑部，取放组件220沿第一方向设于两支撑部之间。支撑部用于支撑晶圆环，两个支撑部与取放组件220配合下，能够将晶圆环从储料仓213移动至两个支撑部上。

抵接件312用于与晶圆环抵接，通过设置抵接件312，对晶圆环进行限位，使晶圆环停在预设位置上，使IR滤光片正对着裂片装置300，提升裂片准确率，保证滤光片品质。例如，取放组件220夹持晶圆环并沿第一方向移动，最后，晶圆环的边缘支承在第一主体3121上，并与抵接部3122抵接，此时取放组件220停下，使晶圆环继续沿第一方向移动，且晶圆环的边缘与抵接部3122抵接，使晶圆环移动到位。

固环气缸313与固定架314配合，对晶圆环的前侧端、后侧端进行定位固定。

进一步地，在固定架314的一边缘向上设有翻边部3141，翻边部3141与固定架314的上表面之间形成有定位槽3142，通过定位槽3142对晶圆环的一侧端进行定位固定。例如，以一边的固环气缸313、固定架314为例，固环气缸313带动固定件向晶圆环移动，晶圆环的边缘进入到定位槽3142中，并与翻边部3141抵接，实现定位固定。

在一些示例中，阻尼组件350包括第一转盘351及第二转盘352，第一转盘351固定在裂片方向控制组件的本体上，第二转盘352与裂片方向控制组件的输出端连接，第二转盘352与裂片驱动组件330连接，第一转盘351与第二转盘352之间通过缓冲机构353连接。

如图7所示，第一转盘351的直径小于第二转盘352的直径，第一转盘351的质量小于第二转盘352的质量，且第一转盘351平行于第二转盘352，第一转盘351能够相对于第二转盘352移动。此外，第一转盘351固定在旋转气缸323的缸体上，第二转盘352与旋转气缸323的输出端连接。

例如，当旋转气缸323输出端顺时针转动90°或逆时针转动90°时，第二转盘352相对于第一转盘351转动，当旋转气缸323输出端顺时针转动45°或逆时针转动45°时，缓冲机构353被拉伸，且产生一定拉力。当旋转气缸323的输出端旋转到位，即第二转盘352停下，在拉力的作用下，有效缓解因旋转气缸323的输出端停下，导致第二转盘352产生的顿挫或震动，从而从而保护裂片驱动组件330及刮板组件340，避免上述组件因顿挫、震动而损坏，还能保证刮板组件340的精度。

在另一些示例中，第二转盘352上间隔分布有多个轻量槽，用以减轻第二转盘352的质量，使旋转气缸323旋转更省力。

在一些示例中，第一转盘351上间隔分布有多个第一装配孔，第二转盘352上间隔分布有多个第二装配孔；

缓冲机构353包括第一固定件3531、第二固定件3532及拉簧3533，第一固定件3531安装在第一装配孔中，第二固定件3532安装在第二装配孔中，拉簧3533的一端与第一固定件3531连接，拉簧3533的另一端与第二固定件3532连接。

如图7所示，第一固定件3531、第二固定件3532结构相同，均为插销。例如，第一固定件3531、第二固定件3532穿过拉簧3533且分别装配在第一装配孔、第二装配孔中，如此将拉簧3533固定。

另外，第一固定件3531、第二固定件3532及拉簧3533的数量相同，各自的数量为八个。拉簧3533沿第二转盘352的径向间隔分布在第一转盘351、第二转盘352之间，当旋转气缸323输出端顺时针转动45°或逆时针转动45°时，第二转盘352也随之转动，各拉簧3533相应地发生不同程度的弹性形变，从而产生拉力。

在另一些示例中，第二转盘352上沿第二方向间隔设置有用于与裂片驱动组件330匹配安装的两组第二安装孔3522，第一转盘351上沿第一方向间隔设置有用于与旋转气缸323的缸体匹配安装的两组第一安装孔3511。在初始状态下，两组第二安装孔3522的延伸方向与两组第一安装孔3511的延伸方向相互垂直，如此，当第二转盘352顺时针转动45°或逆时针转动45°时，缓冲机构353便能快速响应。

在一些示例中，刮板组件340包括固定块341、固定轴342、旋转夹板343及裂片刮板344，固定块341与感应组件360连接，固定轴342与固定块341连接，旋转夹板343套设于固定轴342上，该旋转夹板343能够绕固定轴342的轴线转动，裂片刮板344安装在旋转夹板343上。

如图1、图8所示，旋转夹板343具有第一空腔3431及第二空腔3432，第一空腔3431、第二空腔3432均沿第一方向延伸，旋转夹板343的顶部还设有与第一空腔3431连通的弧形限位槽3433。

固定轴342上设有与固定孔匹配安装的安装槽3421，固定轴342插装在第一空腔3431中，且固定轴342上的安装槽3421恰好与弧形限位槽3433对应，固定块341穿过弧形限位槽3433并装配在安装槽3421中，使固定块341与固定轴342固定。如此，旋转夹板343可相对于固定块341、固定轴342转动，从而调整裂片刮板344相对于滤光片的角度。不同厚度的滤光片可采用不同的角度进行裂片，进而方便调节。

此外，采用弧形限位槽3433限制固定块341，使固定块341只能沿着弧形限位槽3433活动，进一步限制固定块341、固定轴342转动范围。

裂片刮板344安装在第二空腔3432中，使其裂片刮板344与旋转夹板343固定连接。

在另一些示例中，裂片刮板344的相对两端均有倒圆角结构3441，防止裂片时割破晶圆环上的UV膜。

在另一些示例中，旋转夹板343的侧壁上对应第一空腔3431具有旋转角刻度值，通过与固定轴342上的指针配合，实现可视地调节旋转夹板343的角度，方便可靠。

在一些示例中，裂片刮板344的刮片端的截面呈V型。如此设置，能减少刮板阻力，还能提升滤光片的裂片效果，保证面积很小的滤光片小片也能裂开。

在一些示例中，感应组件360为压力传感器。

由于滤光片使用UV膜覆在晶圆环上，同等的下压高度下靠近晶圆环外侧膜的力更大，如果裂片时，同一高度下作用在滤光片上的力会变化很大，会影响裂片品质，通过压力传感器实时监控裂片时的力度，并根据测量值对裂片状态进行控制。

本设备的具体工作过程为：

1、把覆有IR滤光片中片的晶圆环放在储料仓213中，然后将储料仓213放在连接板212上，在第二移动模组211的驱动下，使储料仓213的第一层晶圆环对准固定架314。

2、第一移动模组221驱动夹环气爪223靠近晶圆环，并从储料仓213取出晶圆环，然后移动至支撑底座311、固定架314上，固环气缸313启动，带动固定架314固定晶圆环。

3、第三移动模组321驱动刮板组件340作用在晶圆环的IR滤光片中片上，然后第四移动模组331带动刮板组件340进行裂片，首先在第一方向上对IR滤光片中片进行裂片，完成后，旋转气缸323转动90°，在第二方向上对IR滤光片中片进行裂片。

4、完成裂片后，固环气缸313松开，第一移动模组221驱动夹环气爪223，并将晶圆环放回至储料仓213中，如此完成一层晶圆环裂片加工，同理循环完成一整个储料仓213的晶圆环裂片加工。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上，仅是本申请的较佳实施例而已，并非对本申请作任何形式上的限制。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本申请技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本申请技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。故凡是未脱离本申请技术方案的内容，依据本申请之形状、构造及原理所作的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围内。

Claims (10)

1.一种IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，包括柜体、存取料装置及裂片装置；

所述存取料装置、裂片装置均安装于所述柜体上，所述存取料装置用于将覆有IR滤光片的晶圆环送至所述裂片装置下方，或从所述裂片装置下方回收经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环；

所述裂片装置包括定位组件、裂片方向控制组件、裂片驱动组件及刮板组件，所述定位组件安装于所述存取料装置的至少部分的上方，所述裂片方向控制组件安装于所述定位组件的上方，所述裂片驱动组件与所述裂片方向控制组件之间连接有阻尼组件，所述阻尼组件用于缓解所述裂片方向控制组件产生的顿挫或震动，所述刮板组件与所述裂片驱动组件之间连接有感应组件。

2.根据权利要求1所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述存取料装置包括储料组件及取放组件，所述储料组件、取放组件均安装于所述柜体上，所述取放组件位于所述储料组件一侧，且该取放组件位于所述定位组件的下方，所述取放组件用于将覆有IR滤光片的晶圆环从储料组件送至所述定位组件上，或将经过裂片的覆有IR滤光片的晶圆环从所述定位组件送至储料组件中。

3.根据权利要求2所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述取放组件包括第一移动模组、连接片及夹环气爪，所述第一移动模组沿第一方向安装于所述定位组件下方，所述夹环气爪通过所述连接片与所述第一移动模组连接，所述夹环气爪的两移动端上分别连接有第一夹块及第二夹块，所述第一夹块上具有第一夹持面，所述第二夹块上具有第二夹持面，所述第一夹持面与所述第二夹持面相对设置，所述第一夹持面、第二夹持面分别与所述晶圆环的边缘平行。

4.根据权利要求3所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述第一移动模组上具有第一滑台，所述连接片上具有向所述储料组件延伸的延伸部，所述夹环气爪与所述延伸部连接用于使所述夹环气爪偏置于所述第一滑台的上方。

5.根据权利要求1所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述定位组件包括支撑底座、抵接件、固环气缸及固定架，所述支撑底座安装于所述柜体上，所述抵接件安装于所述支撑底座上，所述抵接件包括第一主体及抵接部，所述第一主体安装于所述支撑底座上，该第一主体的上表面与所述支撑底座的上沿平齐，所述抵接部设置于所述第一主体的边缘并突出所述第一主体，所述固环气缸的数量具有两个且相对设于所述存取料装置的至少部分的两侧，所述固定架的数量具有两个且滑动连接于所述支撑底座上，所述固环气缸与所述固定架传动连接。

6.根据权利要求1所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述阻尼组件包括第一转盘及第二转盘，所述第一转盘固定在裂片方向控制组件的本体上，所述第二转盘与裂片方向控制组件的输出端连接，所述第二转盘与所述裂片驱动组件连接，所述第一转盘与所述第二转盘之间通过缓冲机构连接。

7.根据权利要求6所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述第一转盘上间隔分布有多个第一装配孔，所述第二转盘上间隔分布有多个第二装配孔；

所述缓冲机构包括第一固定件、第二固定件及拉簧，所述第一固定件安装在所述第一装配孔中，所述第二固定件安装在所述第二装配孔中，所述拉簧的一端与所述第一固定件连接，所述拉簧的另一端与所述第二固定件连接。

8.根据权利要求1所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述刮板组件包括固定块、固定轴、旋转夹板及裂片刮板，所述固定块与所述感应组件连接，所述固定轴与所述固定块连接，所述旋转夹板套设于所述固定轴上，该旋转夹板能够绕所述固定轴的轴线转动，所述裂片刮板安装在所述旋转夹板上。

9.根据权利要求8所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述裂片刮板的刮片端的截面呈V型。

10.根据权利要求1或8所述的IR滤光片全自动裂片设备，其特征在于，所述感应组件为压力传感器。