CN113716252A - 物品输送设备 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种物品输送设备。第1台车具备支承主体部的支承用轨道，且构成为，在将主体部用支承用轨道支承的支承状态下，能够与具备该主体部的第2台车一起沿着第1路径移动。在第1台车位于第1路径中的与第2路径连接的连接部的状态下，支承用轨道被配置在移动用轨道的延长线上。

Description

物品输送设备
技术领域
本发明涉及具备沿着沿顶棚形成的第1路径移动的第1台车和沿着第2路径移动的第2台车的物品输送设备。
背景技术
在国际公开第2015/174181号（专利文献1）中公开了上述那样的物品输送设备的一例。以下，在背景技术、课题的说明中括号内表示的附图标记是专利文献1的附图标记。专利文献1中公开的作为物品输送设备的输送***（2）具备沿着被从顶棚（25）侧支承的行驶轨道（6）行驶的顶棚行驶车（4）和沿着局地（local）轨道（20）行驶的局地台车（16）。沿着局地轨道（20）设有缓冲区（22），局地台车（16）在装载端口（14）与缓冲区（22）之间输送物品（10）。局地台车（16）借助提升卷扬机（50）使把持物品（10）的升降台（52）升降，将物品（10）相对于装载端口（14）、缓冲区（22）移载。此外，顶棚行驶车（4）借助提升卷扬机使升降台（8）升降，将物品（10）相对于装载端口（14）、缓冲区（22）移载。
发明内容
顺便说一下，在上述那样的物品输送设备中，根据物品的输送源、输送目标的场所，有需要将物品沿着第1路径和第2路径的两者输送的情况。此外，为了将物品的输送路径的长度抑制为较短，也有希望将物品沿着第1路径和第2路径的两者输送的情况。例如，在专利文献1的输送***（2）中，在将顶棚行驶车（4）保持着的物品（10）向配置在仅局地台车（16）能够访问的场所的缓冲区（22）卸下的情况下，需要将物品（10）沿着作为第1路径的行驶轨道（6）和作为第2路径的局地轨道（20）的两者输送。在此情况下，在专利文献1的输送***（2）中，为了将物品（10）从顶棚行驶车（4）向局地台车（16）传递，需要将物品（10）临时放置于顶棚行驶车（4）及局地台车（16）的两者能够访问的缓冲区（22）等，物品（10）的输送所需要的时间容易变长。
所以，希望实现在将物品沿着第1路径和第2路径的两者输送的情况下能够实现物品的输送所需要的时间的缩短的物品输送设备。
有关本公开的物品输送设备具备：第1台车，沿着沿顶棚形成的第1路径移动；第2台车，沿着在俯视下一端或两端与前述第1路径连接的第2路径移动；以及移动用轨道，沿着前述第2路径设置；前述第2台车具备沿着前述移动用轨道移动的主体部、保持物品的保持部和使前述保持部相对于前述主体部升降的升降机构，且构成为，在将前述物品在配置于比前述第2路径靠下方的移载对象部位与前述保持部之间移载的情况下，由前述升降机构使前述保持部下降到与前述移载对象部位对应的高度；前述第1台车具备支承前述主体部的支承用轨道，且构成为，在将前述主体部用前述支承用轨道支承的支承状态下，能够与具备该主体部的前述第2台车一起沿着前述第1路径移动；在前述第1台车位于前述第1路径中的与前述第2路径连接的连接部的状态下，前述支承用轨道被配置在前述移动用轨道的延长线上。
在本结构中，第1台车构成为，在将第2台车的主体部用支承用轨道支承的支承状态下，能够与第2台车一起沿着第1路径移动。因此，通过使支承状态的第1台车沿着第1路径移动，能够将被由第1台车支承的第2台车的保持部保持的物品沿着第1路径输送。此外，在本结构中，通过使第2台车沿着第2路径移动，能够将被第2台车的保持部保持的物品沿着第2路径输送。
而且，在本结构中，在第1台车位于第1路径中的与第2路径连接的连接部的状态下，支承第2台车的主体部的支承用轨道被配置在沿着第2路径设置且第2台车的主体部沿着它移动的移动用轨道的延长线上，所以，在该状态下，能够使第2台车的主体部在支承用轨道上与移动用轨道上之间移动。由此，通过将第1台车配置于连接部，能够使由保持部保持着物品的状态的第2台车以该状态的原状从第1台车脱离而进入第2路径、从第2路径退出而搭载到第1台车。由此，能够迅速地进行连接部处的第1路径与第2路径之间的物品的输送，结果，在沿着第1路径和第2路径的两者输送物品的情况下，能够实现物品的输送所需要的时间的缩短。
物品输送设备的进一步的特征和优点，根据关于参照附图说明的实施方式的以下的记载会变得明确。
附图说明
图1是物品输送设备的一部分的俯视图。
图2是连接部处的物品的移载处理的说明图。
图3是第2路径中的物品的移载处理的说明图。
图4是第2路径中的物品的移载处理的说明图。
图5是第2路径中的物品的移载处理的说明图。
图6是以时间序列表示第2台车在连接部从相互连接的两个第2路径的一方向另一方移动的场景的图。
图7是以时间序列表示第2台车在连接部从没有相互连接的两个第2路径的一方向另一方移动的场景的图。
图8是控制框图。
具体实施方式
参照附图对物品输送设备的实施方式进行说明。
如图1所示，物品输送设备100具备沿着第1路径P1移动的第1台车10和沿着第2路径P2移动的第2台车20。在图1中，将第2路径P2用比第1路径P1细的实线表示。第2路径P2在俯视（沿着上下方向Z的方向观察）下一端或两端与第1路径P1连接。在本实施方式中，形成有多个第2路径P2，至少一部分的第2路径P2在俯视下两端与第1路径P1连接。在图1所示的例子中，全部的第2路径P2在俯视下两端与第1路径P1连接。另外，在图1中，为了容易区别第1路径P1和第2路径P2，将第2路径P2的端部从第1路径P1离开而表示。也可以做成混合存在在俯视下两端与第1路径P1连接的第2路径P2和在俯视下一端与第1路径P1连接的第2路径P2的结构，或做成全部的第2路径P2在俯视下一端与第1路径P1连接的结构。
将相互正交的两个水平方向设为第1水平方向X及第2水平方向Y，在图1所示的例子中，在第1路径P1，包括在俯视下以沿着第1水平方向X延伸的方式形成的第1部分P1a和在俯视下以沿着第2水平方向Y延伸的方式形成的第2部分P1b。多个第2部分P1b在第1水平方向X上排列设置，第2部分P1b的各自将设在第2水平方向Y的一方侧的第1部分P1a与设在第2水平方向Y的另一方侧的第1部分P1a连接。即，第2部分P1b形成有从一方的第1部分P1a分支并向另一方的第1部分P1a合流的路径。
在图1所示的例子中，第2路径P2以沿着第1水平方向X延伸的方式形成。而且，第2路径P2将在第1水平方向X上相邻的两个第2部分P1b连接。即，将第1水平方向X的一方侧设为第1侧X1，将另一方侧设为第2侧X2，第2路径P2的第1侧X1的端部与在第1水平方向X上相邻的两个第2部分P1b中的被配置在第1侧X1的第2部分P1b连接，第2路径P2的第2侧X2的端部与该两个第2部分P1b中的被配置在第2侧X2的第2部分P1b连接。在沿第1水平方向X相邻的两个第2部分P1b之间，在第2水平方向Y上排列而设有多个第2路径P2。另外，图1所示的第1路径P1、第2路径P2的布局是一例，第1路径P1、第2路径P2的布局能够适当变更。
如图2及图3所示，第1路径P1沿着顶棚1形成。具体而言，第1路径P1由被从顶棚1悬挂支承的第1移动用轨道R1形成。即，物品输送设备100具备沿着第1路径P1设置的第1移动用轨道R1。在图1中将第1移动用轨道R1简略化表示，但在本实施方式中，沿着第1路径P1设有在水平方向上离开而配置的一对第1移动用轨道R1（参照图2及图3）。另外，这里的水平方向是第1路径P1的宽度方向，换言之，是与第1路径P1的长度方向（第1路径P1延伸的方向）和上下方向Z（铅直方向）的两者正交的方向。
如图2及图3所示，第2路径P2沿着顶棚1形成。具体而言，第2路径P2由被从顶棚1悬挂支承的第2移动用轨道R2形成。即，物品输送设备100具备沿着第2路径P2设置的第2移动用轨道R2。在图1中将第2移动用轨道R2简略化表示，但在本实施方式中，沿着第2路径P2设有在水平方向上离开而配置的一对第2移动用轨道R2（参照图7（d））。另外，这里的水平方向是第2路径P2的宽度方向，换言之，是与第2路径P2的长度方向（第2路径P2延伸的方向）和上下方向Z的两者正交的方向。在本实施方式中，第2移动用轨道R2相当于“移动用轨道”。
如图1所示，在本实施方式中，物品输送设备100具备多个第1台车10和多个第2台车20。如后述那样，为了使位于第2路径P2的第2台车20从该第2路径P2退出，需要将第1台车10配置在第1路径P1的与该第2路径P2连接的连接部CP。因此，从物品W的输送效率的提高的观点，优选的是做成物品输送设备100具备多个第1台车10的结构，例如优选的是做成物品输送设备100具备第1路径P1的与第2路径P2连接的连接部CP的数量以上的数量的第1台车10的结构。此外，从物品W的输送效率的提高的观点，优选的是做成物品输送设备100具备多个第2台车20的结构，例如优选的是做成物品输送设备100具备第1台车10的数量以上的数量的第2台车20的结构。
如在图1中表示一例那样，在本实施方式中，第1移动方向M1被设定为单向，第2移动方向M2被设定双向。这里，第1移动方向M1是第1路径P1上的第1台车10的移动方向，第2移动方向M2是第2路径P2上的第2台车20的移动方向。在图1所示的例子中，以在第1水平方向X上相邻的两个第2部分P1b的第1移动方向M1成为相互相反朝向的方式，设定第2部分P1b的各自的第1移动方向M1。
如图1所示，在本实施方式中，在第2移动用轨道R2，连接着用来使第2台车20从第2路径P2（具体而言，设置了该第2移动用轨道R2的第2路径P2）退避的退避用轨道R3。退避用轨道R3以第2台车20能够在第2移动用轨道R2上与退避用轨道R3上之间移动（往来）的形态与第2移动用轨道R2连接。通过使位于第2路径P2的第2台车20从第2移动用轨道R2上移动到退避用轨道R3上，能够不使用第1台车10而使第2台车20从第2路径P2退避。在图1中，为了避免变得复杂，设为仅在一个第2路径P2设置退避用轨道R3的形态，但也可以在多个第2路径P2（例如全部的第2路径P2）设置退避用轨道R3，或者也可以仅在满足特定的条件的第2路径P2（例如，仅在路径长为设定长度以上的第2路径P2）设置退避用轨道R3。
在图1所示的例子中，退避用轨道R3在俯视下一端与第2移动用轨道R2连接，第2台车20沿着退避用轨道R3在双向移动。此外，在图1所示的例子中，分别设有：退避用轨道R3（第1退避用轨道R3a），用来使在第2路径P2朝向一方侧（这里是第1侧X1）移动的第2台车20从该第2路径P2退避；以及退避用轨道R3（第2退避用轨道R3b），用来使在第2路径P2朝向另一方侧（这里是第2侧X2）移动的第2台车20从该第2路径P2退避。因此，例如在2台第2台车20在相同的第2路径P2向相互接近侧移动的情况下，能够考虑设备整体的物品W的输送效率而选择从第2路径P2退避的第2台车20，所以容易实现物品W的输送效率的提高。
接着，对第1台车10及第2台车20的结构进行说明。如图2及图3所示，第2台车20具备：第2主体部21，沿着第2移动用轨道R2（这里是一对第2移动用轨道R2）移动；保持部24，保持物品W；以及升降机构25，使保持部24相对于第2主体部21升降。第2主体部21具备在第2移动用轨道R2上（具体而言，是形成于第2移动用轨道R2的行驶面上）滚动的第2行驶轮22，通过使第2行驶轮22被马达等驱动力源（未图示）驱动，第2主体部21沿着第2移动用轨道R2移动。在本实施方式中，第2主体部21相当于“主体部”。
在本实施方式中，保持部24将物品W从上侧Z1（上下方向Z的上侧）保持。这里，物品W是收容半导体晶片的容器，具体而言是FOUP（Front Opening Unified Pod；前开式标准盒）。保持部24通过把持形成于物品W的上部的凸缘部，保持该物品W。借助马达等驱动力源（未图示）的驱动，将保持部24的状态切换为保持物品W的保持状态和对于物品W的保持被解除的保持解除状态。
升降机构25使保持部24在作为第2主体部21的移动时的高度的移动用高度与作为将物品W相对于移载对象部位2移载的高度的移载用高度之间升降。具体而言，保持部24被升降体23支承，升降机构25通过使升降体23升降，使被升降体23支承的保持部24升降。移载用高度根据各移载对象部位2的高度而设定。在图2中，将位于移动用高度的保持部24用双点划线表示，将位于与作为移载对象部位2的端口41对应的移载用高度的保持部24用实线表示。端口41是以物品W为处理对象的处理装置40（参照图1）的进行物品W的运入及运出的至少一方的部位（装载端口等）。在图3～图5中，表示位于移动用高度的保持部24。第2台车20构成为，在将物品W在被配置于比第2路径P2靠下方的移载对象部位2与保持部24之间移载的情况下，借助升降机构25使保持部24下降到与移载对象部位2对应的高度（移载用高度）。
在本实施方式中，升降机构25在将升降体23悬挂支承的状态下使升降体23升降。具体而言，如图2所示，升降体23与带、钢丝绳（wire）等传动部件26的前端部连结。虽然图示省略，但升降机构25通过借助马达等驱动力源的驱动使卷绕着传动部件26的卷绕体旋转、将传动部件26卷取或抽出，使升降体23上升或下降。
在本实施方式中，第2台车20具备使保持部24相对于第2主体部21绕沿着上下方向Z的轴心旋转的旋转机构27。旋转机构27例如构成为，使保持部24相对于升降体23绕沿着上下方向Z的轴心旋转，或者构成为，使支承保持部24的升降体23相对于第2主体部21绕沿着上下方向Z的轴心旋转。通过在第2台车20设置旋转机构27，能够匹配于移载对象部位2处的物品W的姿势而使被保持部24保持的物品W旋转。
在本实施方式中，第2台车20不具备使保持部24相对于第2主体部21在路径宽度方向（第2路径P2的宽度方向）上移动的移动机构，但也可以做成在第2台车20设置这样的移动机构（例如，使支承保持部24的升降体23在该路径宽度方向上移动的机构）的结构。通过在第2台车20设置移动机构，即使在移载对象部位2被配置于在俯视下相对于第2路径P2在路径宽度方向上偏移的位置的情况下，也能够将物品W在移载对象部位2与保持部24之间移载。
如图2及图3所示，第1台车10具备沿着第1移动用轨道R1（这里是一对第1移动用轨道R1）移动的第1主体部11和支承第2台车20的台车支承部13。第1主体部11具备在第1移动用轨道R1上（具体而言，是形成于第1移动用轨道R1的行驶面上）滚动的第1行驶轮12，通过使第1行驶轮12被马达等驱动力源（未图示）驱动，第1主体部11沿着第1移动用轨道R1移动。
台车支承部13与第1主体部11连结，与第1主体部11一起沿着第1路径P1移动。在本实施方式中，台车支承部13在被配置于比第1移动用轨道R1靠下侧Z2（上下方向Z的下侧）的状态下被第1主体部11悬挂支承。在本实施方式中，台车支承部13形成有存放第2台车20的存放空间。该存放空间形成为，将第2台车20从第1路径P1的长度方向的两侧覆盖，并且在第1路径P1的宽度方向的两侧开口。
第1台车10（具体而言是台车支承部13）具备支承第2主体部21的支承用轨道14。支承用轨道14具备第2行驶轮22能够滚动的行驶面（例如，与第2移动用轨道R2的行驶面相同形状的行驶面），支承用轨道14在第2行驶轮22被载置于支承用轨道14的行驶面的状态下将第2主体部21从下侧Z2支承。第1台车10构成为，在将第2主体部21用支承用轨道14支承的支承状态下，能够与具备该第2主体部21的第2台车20一起沿着第1路径P1移动。
如图2及图3所示，在第1台车10位于连接部CP的状态下，支承用轨道14被配置在第2移动用轨道R2的延长线上。因此，在第1台车10位于连接部CP的状态下，第2台车20能够在第2移动用轨道R2上与支承用轨道14上之间移动（往来）。支承用轨道14被形成为直线状，以沿着第1路径P1的宽度方向延伸的方式配置。而且，在第1台车10位于连接部CP的状态下，支承用轨道14被配置在将第2移动用轨道R2在第1路径P1的宽度方向上向第1台车10侧延长的线上。在本实施方式中，由于沿着第2路径P2设有在水平方向上离开而配置的一对第2移动用轨道R2，所以第1台车10具备在第1路径P1的长度方向上离开而配置的一对支承用轨道14。而且，在第1台车10位于连接部CP的状态下，一对支承用轨道14的各自被配置在对应的第2移动用轨道R2的延长线上。
在第1台车10位于连接部CP的状态下，通过第2台车20从第2移动用轨道R2上移动到支承用轨道14上，第2台车20被搭载到第1台车10（具体而言，第2台车20被存放到台车支承部13）。第2台车20在第2主体部21被支承用轨道14支承的状态下被存放到台车支承部13。在本实施方式中，如图2所示，台车支承部13具备限制体15，所述限制体15限制被支承用轨道14支承的状态的第2主体部21的沿着支承用轨道14的移动。限制体15设在第1路径P1的宽度方向的两侧，构成为，能够将姿势切换为限制第2主体部21的移动的限制姿势和容许第2主体部21的移动的容许姿势。在图2及图3中，表示第1路径P1的宽度方向的两侧的限制体15被切换为限制姿势的状态。另一方面，在图4及图5中，表示通过第1路径P1的宽度方向的一方侧（这里是第1侧X1）的限制体15被切换为容许姿势、搭载于第1台车10的第2台车20能够从支承用轨道14上移动到第2移动用轨道R2上的状态。
也可以做成第1台车10具备使支承用轨道14在第1路径P1的宽度方向上移动的轨道移动机构的结构。在此情况下，在第2台车20在第2移动用轨道R2上与支承用轨道14上之间移动的情况下，能够使支承用轨道14移动以使第2台车20的移动源或移动目标的第2移动用轨道R2与支承用轨道14的间隙变小，容易使第2台车20顺畅地移动。
如图8所示，物品输送设备100具备对第1台车10及第2台车20进行控制的控制部30。控制部30具备CPU等运算处理装置并且具备存储器等周边电路，通过这些硬件与在运算处理装置等硬件上执行的程序的协作，实现控制部30的各功能。
第1台车10具备根据来自控制部30的指令对第1台车10的动作进行控制的第1台车控制部31（设备控制器），第2台车20具备根据来自控制部30的指令对第2台车20的动作进行控制的第2台车控制部32（设备控制器）。第1台车控制部31例如通过基于各种传感器的检测信息控制各种马达的驱动，对第1台车10的动作进行控制，第2台车控制部32例如通过基于各种传感器的检测信息控制各种马达的驱动，对第2台车20的动作进行控制。控制部30经由第1台车控制部31控制第1台车10，经由第2台车控制部32控制第2台车20。
在第1台车控制部31控制的第1台车10的动作中，包括第1主体部11的移动动作，在本实施方式中，还包括限制体15的姿势变更动作。由于如上述那样在本实施方式中第1移动方向M1被设定为单向，所以第1台车控制部31控制第1主体部11的移动动作，以使第1台车10在第1路径P1向被设定的特定的方向移动。在第2台车控制部32控制的第2台车20的动作中，包括第2主体部21的移动动作、保持部24的状态切换动作及由升降机构25进行的保持部24的升降动作，在本实施方式中，还包括由旋转机构27进行的保持部24的旋转动作。由于如上述那样在本实施方式中第2移动方向M2被设定为双向，所以第2台车控制部32控制第2主体部21的移动动作，以使第2台车20在第2路径P2向任意的方向移动。
控制部30使第2台车20移动到与移载对象部位2对应的位置。然后，控制部30通过在使第2台车20停止在该位置的状态下，使第2台车20依次执行保持部24的向移载用高度的下降动作、保持部24的状态切换动作以及保持部24的向移动用高度的上升动作，将物品W在移载对象部位2与保持部24之间移载。另外，在将物品W从保持部24向移载对象部位2移载的情况下，通过将保持部24的状态从保持状态切换为保持解除状态，将被保持部24保持的物品W向移载对象部位2卸下。另一方面，在将物品W从移载对象部位2向保持部24移载的情况下，通过将保持部24的状态从保持解除状态切换为保持状态，将被置于移载对象部位2的物品W从移载对象部位2取出。
如上述那样，在第2台车20被配置于与移载对象部位2对应的位置的状态下进行移载对象部位2与保持部24之间的物品W的移载。在本实施方式中，与移载对象部位2对应的位置是在俯视下第2台车20与该移载对象部位2重叠的位置。如图1所示，在本实施方式中，移载对象部位2被配置于在俯视下与第1路径P1重叠的位置。在图1所示的例子中，处理装置40的端口41和保管物品W的保管部51的两者作为移载对象部位2，被配置于在俯视下与第1路径P1重叠的位置。在将这样被配置于在俯视下与第1路径P1重叠的位置的移载对象部位2作为由第2台车20进行的物品W的移载对象（物品W的移载源或移载目标）的情况下，第2台车20在该第2台车20的第2主体部21被配置于第1路径P1中的在俯视下与移载对象部位2重叠的位置的第1台车10的支承用轨道14支承的状态下，将物品W在移载对象部位2与保持部24之间移载。
图2表示将被配置于在俯视下与第1路径P1重叠的位置的端口41作为由第2台车20移载物品W的移载对象部位2的状况。由于图2所示的端口41是被配置于在俯视下和第1路径P1中的与第2路径P2连接的连接部CP重叠的位置的移载对象部位2，所以在图2所示的状况下，第2台车20在该第2台车20的第2主体部21被配置在连接部CP的第1台车10的支承用轨道14支承的状态下，将物品W在移载对象部位2与保持部24之间移载。在本实施方式中，处理装置40的端口41或保管物品W的保管部51作为移载对象部位2被配置于在俯视下与连接部CP重叠的位置，在图1所示的例子中，这些端口41及保管部51的两者作为移载对象部位2被配置于在俯视下与连接部CP重叠的位置。
如图1所示，移载对象部位2也被配置于在俯视下与第2路径P2重叠的位置。在图1所示的例子中，处理装置40的端口41和保管物品W的保管部51的两者作为移载对象部位2被配置于在俯视下与第2路径P2重叠的位置。在将这样被配置于在俯视下与第2路径P2重叠的位置的移载对象部位2作为由第2台车20进行的物品W的移载对象（物品W的移载源或移载目标）的情况下，第2台车20在被配置于第2路径P2中的在俯视下与移载对象部位2重叠的位置的状态下，将物品W在移载对象部位2与保持部24之间移载。
图3～图5表示将被配置于在俯视下与第2路径P2重叠的位置的保管部51（具体而言，相对于第2路径P2在下侧Z2相邻而配置的保管部51）作为由第2台车20移载物品W的移载对象部位2的状况。这里，表示将搭载于被配置在连接部CP的第1台车10的第2台车20（参照图3）从该第1台车10的支承用轨道14上移动到第2移动用轨道R2上（参照图4）、被配置到第2路径P2中的在俯视下与保管部51（物品W的移载对象的保管部51）重叠的位置（参照图5）的状况。
在图3～图5所示的例子中，保管部51设在保管装置50。该保管装置50具备将物品W从下侧Z2支承的支承部52。支承部52构成为，能够将多个物品W在第2路径P2的长度方向（这里是第1水平方向X）上排列并支承，支承部52的物品W的支承部位的各自构成保管部51。在图3～图5所示的例子中，支承部52被从第2移动用轨道R2悬挂支承。也可以与这样的结构不同，而做成将支承部52从顶棚1悬挂支承的结构。此外，关于被配置于在俯视下与第1路径P1重叠的位置的保管装置50（参照图1），也可以做成将支承部52从第1移动用轨道R1悬挂支承的结构。此外，也可以做成支承部52被墙壁、地板支承的结构。
在成为由位于第2路径P2的第2台车20进行的物品W的移载对象的移载对象部位2配置在与不同于该第2路径P2的第2路径P2在俯视下重叠的位置的情况下、或配置在与第1路径P1在俯视下重叠的位置的情况下，控制部30使用第1台车10，使第2台车20移动到与移载对象部位2对应的位置。图6及图7的各自表示控制部30进行这样的控制的状况的例子。
在图6中，将在连接部CP相互连接的两个第2路径P2的一方设为第1对象路径P2a，将另一方设为第2对象路径P2b，以时间序列表示使第2台车20从第1对象路径P2a移动到第2对象路径P2b的场景。在本实施方式中，控制部30构成为，在使作为位于第1对象路径P2a的第2台车20的对象台车经由连接部CP向第2对象路径P2b移动的情况下，进行将不是支承状态的第1台车10（即，没有将第2主体部21用支承用轨道14支承的状态的第1台车10）匹配于对象台车到达连接部CP而配置到该连接部CP的控制。这里，“匹配于对象台车到达连接部CP而配置”，是指在包括对象台车到达连接部CP的时点的规定期间内配置。换言之，是指在与对象台车到达连接部CP的时点同时或同时期配置。从设备整体的物品W的输送效率的提高的观点，该规定期间优选的是较短的期间，此外，该规定期间的终期优选的是设为对象台车到达连接部CP的时点。
由于控制部30进行上述那样的控制，所以在图6所示的例子中，匹配于在第1对象路径P2a移动的第2台车20到达连接部CP，不是支承状态的第1台车10被配置到该连接部CP（图6（a））。这里，在比第2台车20到达连接部CP的时点靠前的时点，不是支承状态的第1台车10被配置在该连接部CP。然后，到达了连接部CP的第2台车20的第2主体部21从沿着第1对象路径P2a设置的第2移动用轨道R2上移动到配置于连接部CP的第1台车10的支承用轨道14上之后（图6（b）），从该支承用轨道14上移动到沿着第2对象路径P2b设置的第2移动用轨道R2上（图6（c））。由此，第2台车20从第1对象路径P2a经由连接部CP移动到第2对象路径P2b。
在图7中，将在连接部CP没有相互连接的两个第2路径P2的一方设为第3对象路径P2c，将另一方设为第4对象路径P2d，以时间序列表示使第2台车20从第3对象路径P2c移动到第4对象路径P2d的场景。如图7（d）所示，第3对象路径P2c和第4对象路径P2d经由两个连接部CP（第2连接部CP2及第3连接部CP3）和第1路径P1中的将这两个连接部CP连接的部分连接。另外，在图7（d）中，用单点划线的箭头表示在该图7（d）中表示的时点以前的第1台车10及第2台车20的移动轨迹。
通过如图7（a）所示第2台车20的第2主体部21从配置在第1路径P1中的与第3对象路径P2c连接的连接部CP（第1连接部CP1）处的第1台车10的支承用轨道14上移动到沿着第3对象路径P2c设置的第2移动用轨道R2上，第2台车20进入到第3对象路径P2c。将第1路径P1中的与第3对象路径P2c连接的两个连接部CP中的不是第1连接部CP1者设为第2连接部CP2，第2台车20在第3对象路径P2c朝向第2连接部CP2侧移动。
在本实施方式中，控制部30构成为，在使作为位于第2路径P2的第2台车20的对象台车在连接部CP从该第2路径P2退出的情况下，进行将不是支承状态的第1台车10匹配于对象台车到达连接部CP而配置到该连接部CP的控制。因此，匹配于在第3对象路径P2c移动的第2台车20到达第2连接部CP2，不是支承状态的第1台车10被配置到第2连接部CP2，到达了第2连接部CP2的第2台车20的第2主体部21从沿着第3对象路径P2c设置的第2移动用轨道R2上移动到配置于第2连接部CP2的第1台车10的支承用轨道14上（图7（b））。由此，配置在第2连接部CP2的第1台车10成为支承状态的第1台车10。另外，被配置在第2连接部CP2的第1台车10既可以是与配置在第1连接部CP1的第1台车10相同的第1台车10，也可以是不同的第1台车10。
如在图7（d）中表示第1台车10的移动轨迹那样，成为支承状态的第1台车10从第2连接部CP2沿着第1路径P1移动到第1路径P1中的与第4对象路径P2d连接的连接部CP（第3连接部CP3）。然后，在支承状态的第1台车10被配置于第3连接部CP3的状态下，第2台车20的第2主体部21从该第1台车10的支承用轨道14上移动到沿着第4对象路径P2d设置的第2移动用轨道R2上（图7（c））。由此，第2台车20从第3对象路径P2c经由两个连接部CP及第1路径P1移动到第4对象路径P2d。
〔其他实施方式〕
接着，对物品输送设备的其他实施方式进行说明。
（1）在上述的实施方式中，以控制部30在使作为位于第1对象路径P2a的第2台车20的对象台车经由连接部CP向第2对象路径P2b移动的情况下，进行将不是支承状态的第1台车10匹配于对象台车到达连接部CP而配置到该连接部CP的控制的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以做成控制部30不进行这样的控制的结构。
（2）在上述的实施方式中，以将处理装置40的端口41或保管物品W的保管部51作为移载对象部位2配置到在俯视下与连接部CP重叠的位置的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以做成将端口41及保管部51都不配置到在俯视下与连接部CP重叠的位置的结构。
（3）在上述的实施方式中，以第2台车20具备旋转机构27的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以做成第2台车20不具备旋转机构27的结构。
（4）在上述的实施方式中，以将第2路径P2上的第2台车20的移动方向（第2移动方向M2）设定为双向的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以做成将第2移动方向M2设定为单向的结构。此外，在上述的实施方式中，以将第1路径P1上的第1台车10的移动方向（第1移动方向M1）设定为单向的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以做成将第1移动方向M1设定为双向的结构。
（5）在上述的实施方式中，以物品输送设备100具备多个第1台车10和多个第2台车20的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，根据物品输送设备100的规模、用途，也可以做成物品输送设备100仅具备1台第1台车10的结构、物品输送设备100仅具备1台第2台车20的结构、或将它们组合的结构。
（6）在上述的实施方式中，以物品W是收容半导体晶片的容器的结构为例进行了说明。但是，本公开并不限定于这样的结构，也可以将物品W设为收容半导体晶片以外的收容物（标线片、玻璃基板等）的容器、容器以外的物品。
（7）另外，在上述的各实施方式中公开的结构只要不发生矛盾，也可以与在其他实施方式中公开的结构组合而应用（包括作为其他实施方式说明的实施方式彼此的组合）。关于其他结构，在本说明书中公开的实施方式也在全部的方面只不过是单单的例示。因而，在不脱离本公开的主旨的范围内能够适当进行各种改变。
〔上述实施方式的概要〕
以下，对在上述中说明的物品输送设备的概要进行说明。
物品输送设备具备：第1台车，沿着沿顶棚形成的第1路径移动；第2台车，沿着在俯视下一端或两端与前述第1路径连接的第2路径移动；以及移动用轨道，沿着前述第2路径设置；前述第2台车具备沿着前述移动用轨道移动的主体部、保持物品的保持部和使前述保持部相对于前述主体部升降的升降机构，且构成为，在将前述物品在配置于比前述第2路径靠下方的移载对象部位与前述保持部之间移载的情况下，由前述升降机构使前述保持部下降到与前述移载对象部位对应的高度；前述第1台车具备支承前述主体部的支承用轨道，且构成为，在将前述主体部用前述支承用轨道支承的支承状态下，能够与具备该主体部的前述第2台车一起沿着前述第1路径移动；在前述第1台车位于前述第1路径中的与前述第2路径连接的连接部的状态下，前述支承用轨道被配置在前述移动用轨道的延长线上。
在本结构中，第1台车构成为，在将第2台车的主体部用支承用轨道支承的支承状态下，能够与第2台车一起沿着第1路径移动。因此，通过使支承状态的第1台车沿着第1路径移动，能够将被由第1台车支承的第2台车的保持部保持的物品沿着第1路径输送。此外，在本结构中，通过使第2台车沿着第2路径移动，能够将被第2台车的保持部保持的物品沿着第2路径输送。
而且，在本结构中，在第1台车位于第1路径中的与第2路径连接的连接部的状态下，支承第2台车的主体部的支承用轨道被配置在沿着第2路径设置且第2台车的主体部沿着它移动的移动用轨道的延长线上，所以，在该状态下，能够使第2台车的主体部在支承用轨道上与移动用轨道上之间移动。由此，通过将第1台车配置于连接部，能够使由保持部保持着物品的状态的第2台车以该状态的原状从第1台车脱离而进入第2路径、从第2路径退出而搭载到第1台车。由此，能够迅速地进行连接部处的第1路径与第2路径之间的物品的输送，结果，在沿着第1路径和第2路径的两者输送物品的情况下，能够实现物品的输送所需要的时间的缩短。
这里，优选的是，具备多个前述第1台车和多个前述第2台车；前述第1路径上的前述第1台车的移动方向被设定为单向；前述第2路径上的前述第2台车的移动方向被设定为双向。
根据本结构，由于第1路径上的第1台车的移动方向被设定为单向，所以能够借助第1路径上的第1台车的移动的顺畅化来实现物品的输送效率的提高。此外，由于第2路径上的第2台车的移动方向被设定为双向，所以能够借助输送路径的长度的缩短来实现物品的输送效率的提高。
此外，优选的是，具备多个前述第2台车；前述第2路径上的前述第2台车的移动方向被设定为双向；在前述移动用轨道，连接着用来使前述第2台车从前述第2路径退避的退避用轨道。
根据本结构，在一个第2路径配置有多个第2台车的情况下，能够使成为移动的障碍的第2台车从移动用轨道上移动到退避用轨道上而从第2路径退避。而且，根据本结构，由于能够不使用第1台车而进行第2台车从第2路径的退避、向第2路径的回位，所以能够将给设备整体的物品的输送效率带来的影响抑制为较小，能够进行这些退避、回位。
此外，优选的是，前述第2路径在俯视下两端与前述第1路径连接。
根据本结构，由于相比仅第2路径的一端与第1路径连接的情况，能够提高经由第2路径的物品的输送路径的设定的自由度，所以能够实现设备整体的物品的输送效率的提高。
此外，优选的是，前述第2台车具备使前述保持部相对于前述主体部绕沿着上下方向的轴心旋转的旋转机构。
根据本结构，由于能够匹配于移载对象部位处的物品的姿势而使被保持部保持的物品旋转，所以容易进行移载对象部位与保持部之间的物品的移载。
此外，优选的是，以前述物品为处理对象的处理装置的进行前述物品的运入及运出的至少一方的端口或保管前述物品的保管部作为前述移载对象部位被配置于在俯视下与前述连接部重叠的位置。
在有关本公开的物品输送设备中，在第2台车被第1台车支承的状态下，第2台车的主体部被设在第1台车的支承用轨道支承。因此，通过适当地设置支承用轨道，能够将第2台车被第1台车支承的状态下的第2台车的姿势维持为水平姿势等适合于物品的移载的姿势。结果，即使将移载对象部位配置到在俯视下与连接部重叠的位置，通过将支承着第2台车的状态的第1台车配置到连接部，也能够将物品在该移载对象部位与第2台车的保持部之间适当地移载。根据本结构，能够有效地利用这样能够将移载对象部位配置到在俯视下与连接部重叠的位置，将端口或保管部作为移载对象部位而配置到在俯视下与连接部重叠的位置。
此外，优选的是，具备前述连接部的数量以上的数量的前述第1台车。
在本公开的物品输送设备中，为了进行第2台车向第2路径的进入、第2台车从第2路径的退出，需要将第1台车配置到连接部。根据本结构，由于物品输送设备具备能够将第1台车配置到全部的连接部之程度的数量的第1台车，所以能够效率良好地进行第2台车向第2路径的进入、第2台车从第2路径的退出，实现设备整体的物品的输送效率的提高。
此外，优选的是，具备前述第1台车的数量以上的数量的前述第2台车。
假如在第1台车和第2台车的数量相同的情况下，在存在沿着第2路径移动中的第2台车的情况下，与其相同数量的第1台车以不支承第2台车的状态存在，相应地，发生作为物品输送设备的浪费。根据本结构，由于物品输送设备具备第1台车的数量以上的数量的第2台车，所以能够将不支承第2台车的状态的第1台车的数量抑制为较少。由此，能够实现设备整体的物品的输送效率的提高。
此外，优选的是，具备对前述第1台车及前述第2台车进行控制的控制部；将在前述连接部被相互连接的两个前述第2路径的一方设为第1对象路径，将另一方设为第2对象路径；前述控制部在使作为位于前述第1对象路径的前述第2台车的对象台车经由前述连接部向前述第2对象路径移动的情况下，进行将不是前述支承状态的前述第1台车匹配于前述对象台车到达前述连接部而配置到该连接部的控制。
根据本结构，通过使作为位于第1对象路径的第2台车的对象台车的主体部从沿着第1对象路径设置的移动用轨道上移动到配置于连接部的第1台车的支承用轨道上，并且使其从该支承用轨道上移动到沿着第2对象路径设置的移动用轨道上，能够使对象台车从第1对象路径移动到第2对象路径。而且，根据本结构，由于在与对象台车到达连接部的时点同时或同时期，将不是支承状态的第1台车配置在该连接部，所以能够在抑制因将第1台车配置到连接部的时点过早造成的设备整体的输送效率的下降的同时，使对象台车从第1对象路径迅速地移动到第2对象路径。
有关本公开的物品输送设备只要能够发挥上述各效果中的至少一个就可以。
附图标记说明
1：顶棚
2：移载对象部位
10：第1台车
14：支承用轨道
20：第2台车
21：第2主体部（主体部）
24：保持部
25：升降机构
27：旋转机构
30：控制部
40：处理装置
41：端口
51：保管部
100：物品输送设备
CP：连接部
M1：第1移动方向（第1台车的移动方向）
M2：第2移动方向（第2台车的移动方向）
P1：第1路径
P2：第2路径
P2a：第1对象路径
P2b：第2对象路径
R2：第2移动用轨道（移动用轨道）
R3：退避用轨道
W：物品
Z：上下方向。

Claims (9)

1.一种物品输送设备，其特征在于，
前述物品输送设备具备：
第1台车，沿着沿顶棚形成的第1路径移动；
第2台车，沿着在俯视下一端或两端与前述第1路径连接的第2路径移动；以及
移动用轨道，沿着前述第2路径设置；
前述第2台车具备沿着前述移动用轨道移动的主体部、保持物品的保持部和使前述保持部相对于前述主体部升降的升降机构，且构成为，在将前述物品在配置于比前述第2路径靠下方的移载对象部位与前述保持部之间移载的情况下，由前述升降机构使前述保持部下降到与前述移载对象部位对应的高度；
前述第1台车具备支承前述主体部的支承用轨道，且构成为，在将前述主体部用前述支承用轨道支承的支承状态下，能够与具备该主体部的前述第2台车一起沿着前述第1路径移动；
在前述第1台车位于前述第1路径中的与前述第2路径连接的连接部的状态下，前述支承用轨道被配置在前述移动用轨道的延长线上。
2.如权利要求1所述的物品输送设备，其特征在于，
具备多个前述第1台车和多个前述第2台车；
前述第1路径上的前述第1台车的移动方向被设定为单向；
前述第2路径上的前述第2台车的移动方向被设定为双向。
3.如权利要求1或2所述的物品输送设备，其特征在于，
具备多个前述第2台车；
前述第2路径上的前述第2台车的移动方向被设定为双向；
在前述移动用轨道，连接着用来使前述第2台车从前述第2路径退避的退避用轨道。
4.如权利要求1～3中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第2路径在俯视下两端与前述第1路径连接。
5.如权利要求1～4中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
前述第2台车具备使前述保持部相对于前述主体部绕沿着上下方向的轴心旋转的旋转机构。
6.如权利要求1～5中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
以前述物品为处理对象的处理装置的进行前述物品的运入及运出的至少一方的端口或保管前述物品的保管部作为前述移载对象部位被配置于在俯视下与前述连接部重叠的位置。
7.如权利要求1～6中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
具备前述连接部的数量以上的数量的前述第1台车。
8.如权利要求1～7中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
具备前述第1台车的数量以上的数量的前述第2台车。
9.如权利要求1～8中任一项所述的物品输送设备，其特征在于，
具备对前述第1台车及前述第2台车进行控制的控制部；
将在前述连接部被相互连接的两个前述第2路径的一方设为第1对象路径，将另一方设为第2对象路径；
前述控制部在使作为位于前述第1对象路径的前述第2台车的对象台车经由前述连接部向前述第2对象路径移动的情况下，进行将不是前述支承状态的前述第1台车匹配于前述对象台车到达前述连接部而配置到该连接部的控制。
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