WO2015194264A1 - キャリアの一時保管装置及び一時保管方法 - Google Patents

キャリアの一時保管装置及び一時保管方法 Download PDF

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WO2015194264A1
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要 高井
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村田機械株式会社
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • This invention relates to temporary storage of a carrier for storing a semiconductor wafer or the like.
  • Patent Document 1 JP2012-111635
  • OHT Overhead Hoist Transport
  • a buffer to which both the local carriage and the overhead traveling vehicle can be transferred is provided below the traveling rail of the local carriage and in a portion other than directly above the load port, for example, four buffers can be provided.
  • a carrier lateral feed mechanism for the overhead traveling vehicle and the local carriage it is conceivable to provide a carrier lateral feed mechanism for the overhead traveling vehicle and the local carriage, and to add a buffer obliquely below the traveling rail of the local carriage.
  • An object of the present invention is to increase the number of carriers that can be temporarily stored by a temporary storage device without providing a lateral feed mechanism in a local carriage.
  • the temporary storage device of the present invention is a temporary storage device for temporarily storing a carrier between an overhead traveling vehicle traveling along a traveling rail and a load port of a processing device,
  • a local cart that has a hoist that moves the carrier up and down and that can run freely,
  • a traveling rail of the local carriage provided below the traveling rail of the overhead traveling vehicle and directly above the load port;
  • a slide buffer that is slidable between a position directly below the traveling rail of the local carriage and a position that is laterally separated from directly below the traveling rail of the local carriage, and a carrier can be placed thereon;
  • a controller for controlling the local carriage and the slide buffer,
  • the traveling rail of the local carriage extends from the upper part of the load port to the standby position of the local truck that is off the upper part, The local carriage is made to wait at the standby position.
  • the carrier temporary storage method of the present invention is a method of temporarily storing a carrier between an overhead traveling vehicle traveling along a traveling rail and a load port of a processing device, A local cart that has a hoist that moves the carrier up and down and that can run freely, A traveling rail of the local carriage provided below the traveling rail of the overhead traveling vehicle and directly above the load port; The carrier is slidable between a position immediately below the running rail of the local carriage and a position immediately above the load port and a position spaced laterally from directly below the running rail of the local carriage.
  • Slide buffer A controller for controlling the local carriage and the slide buffer,
  • the traveling rail of the local cart is extended from the upper portion of the load port and extended to the standby position of the local cart that comes off the upper portion, using a temporary storage device,
  • the controller moves the slide buffer from the position immediately below and from the position directly above the load port to a position away from the side by moving the slide buffer between the load port and the overhead traveling vehicle.
  • the carrier is transferred to the overhead traveling vehicle or the local cart with the slide buffer. Let And a local cart is made to stand by at the standby position.
  • the number of slide buffers is arbitrary, but at least one of them is set so that the position immediately below is directly above the load port.
  • a slide buffer that can be advanced to a position immediately above it is provided for each load port.
  • the slide buffer can be arranged at a position where it can be advanced directly above the load port, and the number of carriers that can be temporarily stored can be increased. Moreover, it is not necessary to provide a lateral feed mechanism on the local carriage. In addition, since the local cart stands by at a position away from the position directly above the load port, even if a trouble occurs in the local cart, the carrier transport between the load port and the overhead traveling vehicle is not hindered.
  • the slide buffer it is preferable to provide a plurality of slide buffers in one row along the traveling direction on one side of the traveling rail of the local carriage, and it is preferable to provide a plurality of slide buffers in two rows along the traveling direction on both sides of the traveling rail.
  • the description of the carrier temporary storage device also applies to the carrier temporary storage method as it is.
  • the standby position may be provided only at one end of the traveling rail of the local carriage, or may be provided at both ends.
  • a fixed buffer on which a carrier can be placed is provided immediately below the traveling rail of the local carriage and at a position off the top of the load port so as to include immediately below the standby position. In this way, the number of carriers that can be temporarily stored can be further increased. If the fixed buffer is arranged at a position lower than the slide buffer by one stage of the carrier, a slide buffer that can be moved forward can be provided above the fixed buffer.
  • the overhead traveling vehicle including the lateral feed mechanism that laterally feeds the hoist is configured such that the carrier can be transferred to the slide buffer by the lateral feed mechanism and the hoist. In this case, when the transverse feed mechanism is provided, the overhead traveling vehicle can transfer the carrier to the slide buffer at a position that is laterally separated from directly below the traveling rail of the local carriage.
  • a slide buffer that is slidable on one side of the traveling rail of the local carriage and a slide buffer that is slidable on the other side are provided to increase the number of slide buffers.
  • the slide buffer includes a base and a movable pedestal that advances from the base directly below the traveling rail of the local carriage, and the base is laterally separated from immediately below the traveling rail of the local carriage.
  • a sensor that detects that the pedestal is located on the base, and a sensor that detects that the pedestal is on the base. According to the detected position, the overhead traveling vehicle and the local cart are allowed to transfer the carrier to and from the slide buffer. In this way, the carrier can be accurately transferred between the overhead traveling vehicle and the local carriage and the slide buffer.
  • the pedestal is provided with a sensor for detecting the presence or absence of a carrier, and the controller transfers the carrier to and from the slide buffer according to the presence or absence of the carrier.
  • the top view of the temporary storage apparatus of a carrier of an Example Side view with a partial cutout of the carrier temporary storage device of the embodiment The front view with a part notch part of the temporary storage apparatus of a carrier of an Example
  • the block diagram which shows the interlock mechanism in the execution example The figure which shows the transfer algorithm by an overhead traveling vehicle in an Example
  • FIG. 1 to 12 show a carrier temporary storage device (temporary storage device) 2 of the embodiment and its modification.
  • the temporary storage device 2 is provided in a clean room or the like, and a traveling rail 4 of an overhead traveling vehicle 30 (OHT) shown in FIG. 3 is supported from the ceiling side of the clean room.
  • Reference numeral 6 denotes a processing apparatus such as a semiconductor.
  • the processing apparatus includes an inspection apparatus and includes one or more load ports 16. Further, articles such as semiconductor wafers and reticles are stored in a carrier 18 such as FOUP (Front-Opening Unified Pod) and temporarily stored in the slide buffer 12 and the fixed buffer 14 and are also locally connected to the overhead traveling vehicle (OHT) 30. It is conveyed by the cart 10.
  • FOUP Front-Opening Unified Pod
  • the temporary storage device 2 is disposed on the passage 7 in the clean room at a height that does not interfere with people.
  • the local carriage 10 travels on the uppermost portion of the temporary storage device 2 along the pair of traveling rails 8 and 8 and directly above the row of the load port 16 in parallel with the processing device 6. There is a gap through which the carrier 18 can pass between the traveling rails 8 and 8, and the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10 transfer the carrier 18 so as to pass through the clearance between the traveling rails 8 and 8.
  • the slide buffer 12 is supported by the frame 13 of the temporary storage device 2 at a position corresponding to the load port 16 or the like, for example, on the side just above the load port 16.
  • a plurality of slide buffers 12 are preferably supported in a row, but only one slide buffer 12 may be provided.
  • the slide buffer 12 is movable forward and backward between a forward position just below the traveling rails 8 and 8, for example, directly above the load port 16, and a backward position away from the lower side of the traveling rails 8 and 8. is there.
  • fixed buffers 14 are provided at both ends or one end of the traveling rails 8, 8.
  • the upper part of the load port 16 and the upper part of the fixed buffer 14 are the stop positions of the local carriage 10 and the overhead traveling vehicle 30, and the upper part of the fixed buffer 14 is also a standby position of the local carriage 10.
  • the slide buffer 12 may be provided instead of the fixed buffer 14 and the fixed buffer 14 may not be provided.
  • a position excluding the portion directly above the load port 16 is a standby position of the local carriage 10. For this reason, even if a trouble occurs in the local carriage 10, transfer of the load port 16 and the overhead traveling vehicle 30 is not hindered.
  • the stop positions of the local carriage 10 and the overhead traveling vehicle 30 correspond to the load port 16 and the fixed buffer 14 at 1: 1.
  • the stop position corresponding to the load port 16 also serves as the stop position corresponding to the slide buffer 12.
  • Terminals 100 to 102 shown in FIG. 10 are provided for each stop position to establish an interlock between the transfer operation of the overhead traveling vehicle 30 and the entry of the local carriage 10.
  • 20 is an optical sensor
  • 21 is a reflector, and these are provided for each stop position. Since the space between the reflector 21 and the reflector 21 is blocked, the optical sensor 20 detects the elevator from the overhead traveling vehicle 30, the belt for suspending the elevator, or the carrier held by the elevator.
  • a buffer controller 22 controls the local carriage 10 and the slide buffer 12, interlocks between the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10, and communication with the processing device 6.
  • the temporary storage device 2 is supported by a gate-shaped gantry 24.
  • the front surface 25 of the gantry 24 on the side of the passage 7 has advanced to the same position as the front surface 26 of the load port 16 with respect to the passage 7, or is closer to the processing device 6 than the front surface 26.
  • the width W of the passage 7 is determined by the position of the load port 16, and even if the temporary storage device 2 is provided, the width W of the passage 7 is not reduced.
  • substantially the same means that the difference between the front faces is, for example, ⁇ 100 mm or less, particularly ⁇ 50 mm or less, and preferably the front faces 25 and 26 are in substantially the same position.
  • the temporary storage device 2 may be hung from the ceiling of the clean room or the traveling rail 4 of the overhead traveling vehicle 30. However, if the temporary storage device 2 is supported on the gantry 24 and is carried into the clean room and positioned, the temporary storage device 2 can be easily installed. If the front surface 25 of the gantry 24 is not advanced toward the passage 7 side than the load port 16, the passage 7 is not narrowed.
  • the structure of the overhead traveling vehicle 30 is shown in FIG.
  • the traveling unit 32 travels in the traveling rail 4 and supports the lateral feed mechanism 33, and the lateral feed mechanism 33 laterally feeds the lifting drive unit 34 in a direction perpendicular to the traveling rail 4 in the horizontal plane.
  • the raising / lowering drive unit 34 feeds and winds a suspension material such as a belt 36 and lifts and lowers the carrier 18 so that the carrier 18 can be chucked and released freely.
  • the raising / lowering drive part 34, the raising / lowering stand 35, and the belt 36 comprise a hoist.
  • the optical sensor 20 detects the hoist and the carrier supported by the hoist.
  • Reference numeral 38 denotes a fall prevention cover for preventing the carrier 18 from falling.
  • a mechanism for rotating the elevating drive unit 34 around the vertical axis may be added.
  • the slide buffer 12 is moved forward to the lower portion of the traveling rails 8 and 8 for transfer.
  • FIGS. 4 and 5 show a temporary storage device 40 that maximizes the capacity of the carrier 18 for the four load ports 16.
  • the fixed buffer 14 is provided at a position one step lower than the slide buffer 12 by the height of the carrier (FIG. 5).
  • the height occupied by the temporary storage device 40 is increased.
  • the slide buffer 12 is provided on both sides of the traveling rails 8, 8, and the slide buffer 12 ′ removed from the load port 16 is also provided on the fixed buffer 14 so as to move forward.
  • eight slide buffers 12, four slide buffers 12 ′ removed from the load port 16, and two fixed buffers 14 can be provided, and the upper portion of the fixed buffer 14 is the standby position of the local carriage 10. *
  • FIG. 6 shows a temporary storage device 60 corresponding to the small processing device 6 ′ and having a small capacity.
  • the processing device 6 ′ includes two load ports 16, the temporary storage device 60 includes four slide buffers, and the upper portion of the slide buffer 12 ′ removed from the load port 16 is set as a standby position of the local carriage 10. 5, two fixed buffers 14 can be added, but the height occupied by the temporary storage device 60 increases.
  • FIG. 7 shows the structure of the slide buffer 12.
  • Reference numeral 70 denotes a base fixed to the frame of the temporary storage device, and the pedestal 72 moves forward and backward along the rails 71, 71 between the forward movement position and the backward movement position by the wheels 73.
  • the forward position is directly below the traveling rail of the local carriage, for example, directly above the load port 16, and the reverse position is a position away from the side.
  • three positioning pins 74 provided on the pedestal 72 position the bottom of the carrier 18.
  • the carrier sensor 75 detects the presence or absence of the carrier 18, the seating sensor 76 detects that the carrier 18 is seated at the correct position on the positioning pin 74, and the ID reader 77 reads the ID of the carrier.
  • the ID reader 77 may not be provided, and the sensors 75 and 76 and the ID reader 77 are also provided in the fixed buffer.
  • the linear guide 80 is moved back and forth along the rail 81 by a cylinder 78 and a piston 79 such as a pneumatic cylinder or a hydraulic cylinder, or by a motor and a toothed belt (not shown).
  • the pedestal 72 is moved forward and backward by a double speed mechanism including the toothed belt 82 and the like with a stroke twice that of the linear guide 80.
  • This double speed mechanism is widely used in slide forks, and the mechanism for moving the pedestal 72 back and forth is arbitrary.
  • the sensor 83 detects that the linear guide 80 is in the retracted position
  • the sensor 84 detects that the linear guide 80 is in the advanced position
  • the cable guide 85 guides the power supply line and the signal line in a flexible manner
  • sensors 75, 76, The ID reader 77 is connected to the base 70 side.
  • the sensors 83 and 84 may detect the position of the pedestal 72 so that an optical sensor that detects the front end position of the pedestal and an optical sensor that detects the rear end position may be attached to the rail 71.
  • FIG. 8 shows the structure of the local cart 10.
  • the local carriage 10 travels along a pair of traveling rails 8 and 8 by wheels 86 and a motor (not shown), and an elevator platform 88 capable of chucking / releasing the carrier 18 by an elevator drive unit 87 and a belt (not shown). Move up and down.
  • the local cart 10 includes a communication device with the buffer controller 22, a communication device with an interlocking terminal with the overhead traveling vehicle 30, a power source such as a battery, and an on-board controller.
  • FIG. 9 shows the temporary storage device 2 and its surrounding control system.
  • the material management system (MCS) 90 communicates with a host controller or the like (not shown), receives a request related to carrier transport, and instructs the OHT controller 92 and the buffer controller 22 to transport.
  • the OHT controller 92 instructs the plurality of overhead traveling vehicles 30 to convey, and the buffer controller 22 instructs the local cart 10 to convey, and controls the slide buffer 12 to move forward and backward.
  • the buffer controller 22 The optical sensor 20, the sensors 75 and 76, the ID reader 77, the sensors 83 and 84, and a terminal to be described later detect the state of the temporary storage device 2 (the presence or absence of a carrier for each buffer and the position of the slide buffer 12) , -Interlock the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10.
  • FIG. 10 shows an interlock mechanism between the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10.
  • the optical sensor 20 detects a hoist such as a belt and a lifting platform from the overhead traveling vehicle 30 or detects a carrier that the overhead traveling vehicle 30 moves up and down. Accordingly, it can be detected together with the stop position of the overhead traveling vehicle 30 that the overhead traveling vehicle 30 is transferring the carrier.
  • the overhead traveling vehicle 30 transfers a carrier between the load port directly below the traveling rail, the fixed buffer, and the slide buffer moving forward directly below the traveling rail, the overhead traveling vehicle 30 is connected to the buffer controller 22 via the terminal 100. Request permission for transfer.
  • the local carriage 10 transfers a carrier to and from these positions, it requests the buffer controller 22 for permission to transfer via the terminal 101.
  • the buffer controller 22 detects the position of the slide buffer based on the signals of the sensors 83 and 84, confirms the presence / absence of carriers in the slide buffer and the fixed buffer, and permits the request if transfer is possible.
  • the buffer controller 22 communicates with the processing device 6, transfers a carrier transfer request between the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10 and the load port to the processing device 6, and receives a permission signal from the processing device 6. receive.
  • the buffer controller 22 sends a transfer permission from the terminals 100 and 101 to the overhead traveling vehicle 30 and the local carriage 10 based on the above processing.
  • the transfer permission signal from the buffer controller 22 is set in the terminals 100 and 101, and the overhead traveling vehicle 30 and the local cart 10 confirm the transfer permission and then execute the transfer.
  • the transfer from the overhead traveling vehicle 30 competes with the entry of the local cart 10. Therefore, the local carriage 10 requests permission from the buffer controller 22 via the terminal 101 for each stop position to be entered. If the buffer controller 22 does not interfere with the transfer of the overhead traveling vehicle 30, the buffer controller 22 permits the entry request from the local carriage 10 for each stop position, and the local carriage 10 confirms the entry permission signal via the terminal 101, Enter the permitted stop position.
  • the overhead traveling vehicle 30 can transfer a carrier by a lateral feeding device between the slide traveling buffer 30 and a slide buffer located at a position away from the lower side of the traveling rail of the local carriage 10. This transfer does not interfere with the traveling of the local carriage 10 and does not interfere with the transfer by the local carriage 10.
  • the overhead traveling vehicle 10 requests permission of transfer from the terminal 102 to the buffer controller 22, and the buffer controller 22 permits the request if the requested slide buffer is in a transferable state.
  • the transfer by the overhead traveling vehicle 30 with respect to the load port and the fixed buffer interferes with the approach (running) of the local carriage 10, but the interference can be avoided by interlocking with the terminals 100 and 101. Even if the interlock via the terminal 100 may be insufficient, the interference between the local carriage 10 and the overhead traveling vehicle 30 can be detected by detecting the belt, the lift, the carrier, etc. from the overhead traveling vehicle 30. Can be avoided. In the transfer of the slide buffer and the overhead traveling vehicle 30 in the retracted position, an interlock can be established via the terminal 102. Further, the buffer controller 22 can detect the position of the slide buffer by the sensors 83 and 84.
  • interlocks may be processed not by the buffer controller 22 but by another controller. Further, when the buffer controller 22 has received a position report from the local cart 10, instead of communicating between the terminal 101 and the local cart 10, a request for permission to enter the local cart 10 is made to the interlock processing unit built in the buffer controller 22. And you may allow yourself.
  • the local carriage 10 moves to a standby position above the fixed buffer 14 according to a command from the buffer controller 22 and stands by.
  • FIG. 11 shows a transfer algorithm with a temporary storage device using an overhead traveling vehicle.
  • the slide buffer In the transfer to the slide buffer (processing p1), if the overhead traveling vehicle is equipped with the lateral feed device, the slide buffer is moved backward from the position below the traveling rail and transferred at a position that does not interfere with the local carriage. When there is no lateral feed device, the slide buffer is moved forward to the lower side of the traveling rail and transferred, and the interlock in this case is the same as the transfer with the load port.
  • the slide buffer In the transfer with the load port (process p2), the slide buffer is moved backward from the traveling rails 8 and 8 in FIG. In addition, when there is a slide buffer on the fixed buffer as shown in FIG. 5 in the transfer to the fixed buffer (process p3), the slide buffer is moved backward from the upper portion of the fixed buffer and transferred. *
  • FIG. 12 shows an algorithm for avoiding interference between the overhead traveling vehicle and the local cart.
  • OHT overhead traveling vehicle
  • a transfer permission is requested in advance through a terminal.
  • the local cart requests permission of entry at each stop position to be entered, and when transferring, requests permission of transfer in addition to permission of entry. Only one of the transfer request from the overhead traveling vehicle and the local vehicle entry request is permitted at the same stop position, thereby avoiding interference between the overhead traveling vehicle and the local vehicle (processing p5).
  • the buffer controller may not be able to recognize that the overhead traveling vehicle is being transferred.
  • This problem may be solved by storing in a non-volatile manner the buffer controller that the overhead traveling vehicle is being transferred.
  • the hoist of the overhead traveling vehicle, the carrier that is moving up and down, and the like are shown in FIG. It is more reliable to detect at 20. Therefore, when a hoist or the like is detected, entry of the local cart to the stop position is prohibited (processing p6).
  • the buffer controller does not permit transfer with a load port or the like by an overhead traveling vehicle within a range where entry to the local cart is permitted (processing p7).
  • transfer with the slide buffer in the position away from the downward direction of the traveling rails 8 and 8 of FIG. 1 does not interfere with the local carriage. Accordingly, interference avoidance processing is not required (processing p8).
  • the temporary storage device 2 may be supported from the ceiling 40 of the clean room by the support column 41 and the mounting portion 42, and the mount 24 may be omitted.
  • Reference numeral 43 denotes a support column of the traveling rail 4 of the overhead traveling vehicle 30.
  • Carrier temporary storage device temporary storage device 4 Traveling rail of overhead traveling vehicle 6 Processing device 7 Passage 8 Traveling rail of local cart 10 Local cart 12 Slide buffer 13 Frame 14 Fixed buffer 16 Load port 18 Carrier 20 Optical sensor 21 Reflector 22 Buffer controller (controller) 24 frame 25,26 front 30 overhead traveling vehicle (OHT) Reference Signs List 32 Traveling unit 33 Horizontal feed mechanism 34 Elevating drive unit 35 Elevating platform 36 Belt 38 Fall prevention cover 40 Ceiling 41, 43 Post 42 Installation unit 70 Base 71 Rail 72 Base 73 Wheel 74 Positioning pin 75 Carrier sensor 76 Seating sensor 77 ID reader 78 Cylinder 79 Piston 80 Linear guide 81 Rail 82 Toothed belt 83, 84 Sensor 85 Cable guide 86 Wheel 87 Lift drive unit 88 Lift platform 90 Material Management System (MCS) 92 OHT controller 100-102 terminal
  • MCS Material Management System

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Abstract

ローカル台車に横送り機構を設けずに、一時保管装置が一時保管できるキャリアの数を増す。一時保管装置は、天井走行車とロードポートとの間でキャリアを一時保管する。天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に、ローカル台車の走行レールを設けて、ローカル台車を走行させる。ローカル台車の走行レールの直下の位置と、そこから側方に離れている位置との間でスライド自在なスライドバッファと、ローカル台車及びスライドバッファを制御するコントローラ、とを設け、ローカル台車はロードポートの直上部から離れた位置で待機する。

Description

キャリアの一時保管装置及び一時保管方法
　この発明は、半導体ウェハー等を収納するキャリアの一時保管に関する。
　半導体処理装置の稼働率を増すため、そのロードポートの近傍に一時保管装置（バッファ）を設けることが要求されている。これに関して出願人は特許文献１（JP2012-111635）で、天井走行車（ＯＨＴ：Overhead Hoist Transport）の走行レールと平行にかつその下方に、ローカル台車の走行レールを設けることを提案した。そしてローカル台車と天井走行車の双方が移載可能なバッファを、ローカル台車の走行レールの下方であってロードポートの直上以外の部分に設けると、例えば４個のバッファを設けることができる。バッファの数が不足する場合、天井走行車とローカル台車とにキャリアの横送り機構を設け、ローカル台車の走行レールの斜め下方にバッファを追加することが考えられる。
JP2012-111635
　しかしながら、ローカル台車にキャリアの横送り機構を設けるとすると、ローカル台車の高さが増し、一時保管装置の占有体積が増す。そこでローカル台車の高さを増さずに、一時保管できるキャリアの数を増す必要がある。この発明の課題は、ローカル台車に横送り機構を設けずに、一時保管装置が一時保管できるキャリアの数を増すことにある。
　この発明の一時保管装置は、走行レールに沿って走行する天井走行車と、処理装置のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する一時保管装置であって、
　キャリアを昇降させるホイストを備えかつ走行自在なローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するコントローラ、とを備え、
　前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
　前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされている。
　またこの発明のキャリアの一時保管方法では、走行レールに沿って走行する天井走行車と、処理装置のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する方法であって、
　キャリアを昇降させるホイストを備えかつ走行自在なローカル台車と、
　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
　前記ローカル台車の走行レールの直下の位置でロードポートの直上部の位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するコントローラ、とを備え、
　前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延びている、一時保管装置を用い、
　コントローラにより、スライドバッファを前記直下の位置でかつロードポートの直上部の位置から、前記側方に離れている位置へ後退させることにより、天井走行車あるいはローカル台車に、ロードポートとの間でキャリアを受け渡しさせ、
　コントローラによりスライドバッファを、前記側方に離れている位置から、前記直下の位置でかつロードポートの直上部へ前進させることにより、天井走行車あるいはローカル台車に、スライドバッファとの間でキャリアを受け渡しさせ、
　かつ、ローカル台車を前記待機位置で待機させる。
　スライドバッファの数は任意であるが、少なくともその1個を、前記直下の位置が、ロードポートの直上部となるようにする。好ましくはロードポート毎に、その直上位置へ前進可能なスライドバッファを設ける。
　このようにすると、ロードポートの直上部へ前進可能な位置にもスライドバッファを配置でき、キャリアを一時保管できる個数を増すことができる。しかもローカル台車に横送り機構を設ける必要がない。またローカル台車はロードポートの直上部から離れた位置で待機するので、ローカル台車にトラブルが生じても、ロードポートと天井走行車との間のキャリアの搬送を妨げない。なおスライドバッファに関して、ローカル台車の走行レールの片側に走行方向に沿って１列に複数個設けることが好ましく、また走行レールの両側に走行方向に沿って２列に各複数個設けることが好ましい。なおこの明細書において、キャリアの一時保管装置に関する記載はそのままキャリアの一時保管方法にも当てはまる。
　なおコントローラからローカル台車に待機を指令しても、ローカル台車が自発的に待機位置へ移動するようにしても良い。待機位置は、ローカル台車の走行レールの一端にのみ設けても、あるいは両端に設けても良い。　
　好ましくは、前記ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から外れる位置に、前記待機位置の直下を含むように、キャリアを載置自在な固定バッファが設けられている。このようにすると、キャリアを一時保管できる個数をさらに増すことができる。なお固定バッファを、キャリア１段分、スライドバッファよりも低い位置に配置すると、固定バッファの上部へ前進自在なスライドバッファを設けることができる。
　また好ましくは、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置で、前記スライドバッファの上方が開放され、このことにより、前記上方が開放されている位置で、キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車は、横送り機構とホイストにより、キャリアをスライドバッファに移載自在にされている。このようにすると、横送り機構を備えている場合、天井走行車は、ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置で、キャリアをスライドバッファに移載できる。
　好ましくは、スライドバッファとして、ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを設け、スライドバッファの数を増す。
　好ましくは、前記スライドバッファは、ベースと、前記ローカル台車の走行レールの直下へベースから前進する可動の台座とから成り、前記ベースは、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置に固定され、さらに前記台座が前記ローカル台車の走行レールの直下に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、前記コントローラは、前記台座の検出された位置に応じて、前記スライドバッファとの間でのキャリアの移載を、天井走行車及び前記ローカル台車に許可するように構成されている。このようにすると、天井走行車及びローカル台車と、スライドバッファとの間でのキャリアの移載を的確に行うことができる。
　特に好ましくは、前記台座には、キャリアの有無を検出するセンサが設けられ、前記コントローラは、キャリアの有無に応じて、前記スライドバッファとの間でのキャリアの移載を、天井走行車及び前記ローカル台車に許可するように構成されている。このようにすると、キャリアの無いスライドバッファから荷積みしようとする、キャリアの有るスライドバッファへ荷下ろしする、等のエラーを防止できる。
実施例の、キャリアの一時保管装置の平面図 実施例のキャリアの一時保管装置の一部切欠部付き側面図 実施例の、キャリアの一時保管装置の一部切欠部付き正面図 収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す平面図 収容能力をより大きくした変形例を模式的に示す側面図 小さな処理装置に対応する変形例を模式的に示す平面図 スライドバッファの平面図 ローカル台車の平面図 実施例での、ローカル台車と天井走行車の制御系を示すブロック図 実施例での、インターロック機構を示すブロック図 実施例での、天井走行車による移載アルゴリズムを示す図 実施例での、天井走行車とローカル台車との干渉の回避アルゴリズムを示す図 キャリアの一時保管装置を天井から支持する変形例の、一部切欠部付き側面図
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
　図１～図１２に、実施例のキャリアの一時保管装置（一時保管装置）２と、その変形例とを示す。一時保管装置２はクリーンルーム内等に設けられ、クリーンルームの天井側から図３に示す天井走行車３０（ＯＨＴ）の走行レール４が支持されている。６は半導体等の処理装置で、処理装置には検査装置を含むものとし、ロードポート１６を１個～複数個備えている。また半導体ウェハー、レチクル等の物品は、FOUP（Front-Opening Unified Pod）等のキャリア１８に収納されて、スライドバッファ１２，固定バッファ１４に一時保管されると共に、天井走行車（ＯＨＴ）３０とローカル台車１０とにより搬送される。
　一時保管装置２は、クリーンルーム内の通路７上で、人とは干渉しない高さに配置されている。一時保管装置２の最上部を、一対の走行レール８，８に沿って、ロードポート１６の列の直上部を処理装置６と平行に、ローカル台車１０が走行する。走行レール８，８の間には、キャリア１８が通過できる隙間があり、天井走行車３０とローカル台車１０は走行レール８，８の隙間を通るようにして、キャリア１８を移載する。
　ロードポート１６等と対応する位置に、例えばロードポート１６の直上部の側方に、一時保管装置２のフレーム１３により、スライドバッファ１２を支持させる。スライドバッファ１２は、好ましくは列状に複数個支持させるが、スライドバッファア１２を１個のみ設けても良い。スライドバッファ１２は、走行レール８，８の直下で、例えばロードポート１６の直上部にある、前進位置と、走行レール８，８の下部から側方へ離れた後退位置との間で進退自在である。また好ましくは、スライドバッファ１２以外に、固定バッファ１４を走行レール８，８の両端もしくは一端に設ける。そしてロードポート１６の上部と固定バッファ１４の上部とが、ローカル台車１０及び天井走行車３０の停止位置となり、固定バッファ１４の上部はローカル台車１０の待機位置でもある。なお固定バッファ１４の代わりにスライドバッファ１２を設けて、固定バッファ１４を設けないようにしても良い。ロードポート１６の直上部を除く位置を、ローカル台車１０の待機位置とする。このため、ローカル台車１０にトラブルが生じても、ロードポート１６と天井走行車３０との移載は妨げられない。
　ローカル台車１０及び天井走行車３０の停止位置は、ロードポート１６及び固定バッファ１４と１：１に対応する。なおロードポート１６に対応する停止位置は、スライドバッファ１２に対応する停止位置を兼ねている。そして停止位置毎に図１０に示す端末１００～１０２が設けられて、天井走行車３０の移載作業とローカル台車１０の進入とのインターロックを成立させる。２０は光センサ、２１は反射板で、これらは停止位置毎に設けられている。そして反射板２１との間が遮られたことから、天井走行車３０からの昇降台、昇降台を吊持するベルト、あるいは昇降台に把持されているキャリアを、光センサ２０により検出する。２２はバッファコントローラで、ローカル台車１０の制御とスライドバッファ１２の制御、天井走行車３０とローカル台車１０のインターロック、及び処理装置６との通信を行う。
　図２，図３に示すように、一時保管装置２は門形の架台２４により支持されている。架台２４の通路７側の前面２５は、通路７に対して、ロードポート１６の前面２６とほぼ同じ位置まで進出しているか、あるいは前面２６よりも処理装置６寄りの位置にある。このため通路７の幅Ｗはロードポート１６の位置により定まり、一時保管装置２を設けても通路７の幅Ｗは狭くならない。なおほぼ同じとは、前面の差が例えば±100mm以下であること、特に±50mm以下であることであり、好ましくは前面２５，２６はほぼ同じ位置にある。ところで一時保管装置２は、クリーンルームの天井あるいは天井走行車３０の走行レール４から吊り下げても良い。しかし架台２４に一時保管装置２を支持させてクリーンルーム内へ搬入し、位置決めすると、一時保管装置２を容易に設置できる。そして架台２４の前面２５がロードポート１６よりも通路７側に進出しないようにすると、通路７を狭くすることにならない。
　天井走行車３０の構造を図３に示す。走行部３２は走行レール４内を走行すると共に横送り機構３３を支持し、横送り機構３３は、走行レール４に水平面内で直角な方向に、昇降駆動部３４を横送りする。昇降駆動部３４は、ベルト３６等の吊持材を繰り出し及び巻き取り、キャリア１８をチャック及び解放自在な昇降台３５を昇降させる。昇降駆動部３４，昇降台３５，及びベルト３６は、ホイストを構成する。そして前記の光センサ２０はホイスト及びホイストに支持されているキャリアを検出する。３８は、キャリア１８の落下を防止する落下防止カバーで、これらの他に、昇降駆動部３４を鉛直軸回りに回動させる機構を追加しても良い。なお横送り機構３３を備えない天井走行車では、スライドバッファ１２を走行レール８，８の下部へ前進させて移載する。　
　図１～図３の一時保管装置２は、スライドバッファ１２を４個、固定バッファ１４を２個備え、処理装置６のロードポート１６は例えば４個である。これに対して、４個のロードポート１６に対して、キャリア１８の収容能力を最大にした一時保管装置４０を、図４，図５に示す。一時保管装置４０では、固定バッファ１４はスライドバッファ１２よりもキャリアの高さで１段分低い位置に設けられ（図５）、この結果、一時保管装置４０が占める高さが増している。スライドバッファ１２は走行レール８，８の両側に設けられ、固定バッファ１４の上部にも、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２’が前進するように設けられている。この結果、スライドバッファ１２を８個、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'を４個、固定バッファ１４を２個設けることができ、固定バッファ１４の上部がローカル台車１０の待機位置である。　
　図６は、小型の処理装置６'に対応し収容能力が小さい一時保管装置６０を示す。処理装置６'はロードポート１６を２個備え、一時保管装置６０は、スライドバッファを４個備え、ロードポート１６から外れたスライドバッファ１２'の上部をローカル台車１０の待機位置とする。なお図５のようにすると、固定バッファ１４を２個追加できるが、一時保管装置６０が占める高さが増す。
　図７はスライドバッファ１２の構造を示し、７０はベースで一時保管装置のフレームに固定され、レール７１，７１に沿って、前進位置と後退位置との間で、台座７２が車輪７３により前後進する。なお前進位置はローカル台車の走行レールの直下で、例えばロードポート１６の直上部であり、後退位置はそれから側方に離れた位置である。台座７２に設けられている、例えば３個の位置決めピン７４は、キャリア１８の底部を位置決めする。キャリアセンサ７５はキャリア１８の有無を検出し、着座センサ７６はキャリア１８が位置決めピン７４上の正しい位置に着座していることを検出し、ＩＤリーダ７７はキャリアのＩＤを読み取る。なおＩＤリーダ７７は設けなくても良く、センサ７５，７６，ＩＤリーダ７７は固定バッファにも同様に設ける。
　空気圧シリンダ、油圧シリンダ等のシリンダ７８とピストン７９により、あるいは図示しないモータと歯付ベルト等により、リニアガイド８０をレール８１に沿って前後進させる。歯付きベルト８２等から成る倍速機構により、リニアガイド８０の２倍のストロークで、台座７２を前後進させる。なおこの倍速機構はスライドフォークで広く用いられているもので、また台座７２の前後進の機構は任意である。センサ８３はリニアガイド８０が後退位置にあることを検出し、センサ８４は前進位置にあることを検出し、ケーブルガイド８５は電源線と信号線とを屈曲自在にガイドし、センサ７５，７６、ＩＤリーダ７７をベース７０側に接続する。センサ８３，８４の作用は台座７２の位置を検出することで、レール７１に台座の前端位置を検出する光センサと、後端位置を検出する光センサ等を取り付けても良い。
　図８はローカル台車１０の構造を示す。ローカル台車１０は、一対の走行レール８，８に沿って、車輪８６と図示しないモータとにより走行し、昇降駆動部８７と図示しないベルト等により、キャリア１８をチャック／解放自在な昇降台８８を昇降させる。ローカル台車１０はこれ以外に、バッファコントローラ２２との通信装置、及び天井走行車３０とのインターロック用の端末との通信装置、電池等の電源、機上のコントローラを備えている。
　図９は、一時保管装置２とその周囲の制御系を示す。材料管理システム（ＭＣＳ）９０は図示しない上位コントローラ等と通信し、キャリアの搬送に関する要求を受け取り、ＯＨＴコントローラ９２とバッファコントローラ２２とに搬送を指示する。ＯＨＴコントローラ９２は複数台の天井走行車３０に搬送を指示し、バッファコントローラ２２はローカル台車１０に搬送を指示するとともに、スライドバッファ１２の前後進を制御する。バッファコントローラ２２は、
・　光センサ２０，センサ７５，７６，ＩＤリーダ７７，センサ８３，８４、及び後述の端末等により、一時保管装置２の状態（バッファ毎のキャリアの有無とスライドバッファ１２の位置）を検出すると共に、
・　天井走行車３０とローカル台車１０のインターロックを行う。
　図１０は、天井走行車３０とローカル台車１０のインターロック機構を示す。光センサ２０は、天井走行車３０からのベルト、昇降台等のホイストを検出し、あるいは天井走行車３０が昇降させているキャリアを検出する。これによって、天井走行車３０がキャリアの移載を行っていることを、天井走行車３０の停止位置と共に検出できる。
　天井走行車３０は、走行レールの直下のロードポート、固定バッファ、及び走行レールの直下に前進しているスライドバッファとの間で、キャリアを移載する場合、端末１００介して、バッファコントローラ２２に移載の許可を要求する。ローカル台車１０が、これらの位置との間でキャリアを移載する場合、端末１０１を介して、バッファコントローラ２２に移載の許可を要求する。
　バッファコントローラ２２は、センサ８３，８４の信号によりスライドバッファの位置を検出し、さらにスライドバッファと固定バッファでのキャリアの有無を確認し、移載が可能な場合は要求を許可する。またバッファコントローラ２２は処理装置６と通信し、天井走行車３０及びローカル台車１０と、ロードポートとの間での、キャリアの移載要求を処理装置６に転送し、処理装置６から許可信号を受け取る。バッファコントローラ２２は、上記の処理に基づき、端末１００，１０１から、天井走行車３０とローカル台車１０とに移載の許可を送出する。バッファコントローラ２２からの移載の許可信号は端末１００、１０１にセットされ、天井走行車３０とローカル台車１０は移載の許可を確認した後に、移載を実行する。
　ローカル台車１０と天井走行車３０の移載に関する処理を説明したが、天井走行車３０からの移載は、ローカル台車１０の進入と競合する。そこでローカル台車１０は、進入しようとする停止位置毎に、端末１０１を介して、許可をバッファコントローラ２２に要求する。バッファコントローラ２２は、天井走行車３０の移載と干渉しなければ、ローカル台車１０からの進入要求を停止位置毎に許可し、ローカル台車１０は進入許可信号を端末１０１を介して確認した後に、許可された停止位置へ進入する。
　天井走行車３０は、後退位置（ローカル台車１０の走行レールの下方から離れる位置）に有るスライドバッファとの間で、横送り装置によりキャリアを移載することができる。この移載はローカル台車１０の走行と干渉せず、またローカル台車１０による移載とも干渉しない。この場合、天井走行車１０は移載の許可を端末１０２からバッファコントローラ２２に要求し、バッファコントローラ２２は要求されたスライドバッファが移載可能な状態で有れば、要求を許可する。
　ロードポート及び固定バッファに対する天井走行車３０による移載と、ローカル台車１０の進入（走行）が干渉するが、端末１００，１０１によるインターロックで干渉を回避できる。仮に端末１００を介してのインターロックでは不十分な場合が有るとしても、天井走行車３０からのベルト、昇降台、キャリア等を検出することにより、ローカル台車１０と天井走行車３０との干渉を回避できる。後退位置にあるスライドバッファと天井走行車３０との移載では、端末１０２を介してインターロックを成立させることができる。またバッファコントローラ２２は、センサ８３，８４により、スライドバッファの位置を検出できる。
　これらのインターロックは、バッファコントローラ２２ではなく、他のコントローラにより処理しても良い。またバッファコントローラ２２がローカル台車１０から位置の報告を受けている場合、端末１０１とローカル台車１０が通信する代わりに、バッファコントローラ２２が内蔵するインターロック処理部へローカル台車１０の進入許可」を要求して、自ら許可しても良い。
　ローカル台車１０は、キャリアの搬送も移載も行わない場合、固定バッファ１４の上部の待機位置へ、バッファコントローラ２２の指令により移動して待機する。
　図１１は、天井走行車による一時保管装置との移載アルゴリズムを示す。スライドバッファとの移載（処理p1）では、横送り装置を天井走行車が備えていれば、スライドバッファを走行レールの下方の位置から後退させ、ローカル台車と干渉しない位置で移載する。横送り装置がない場合は、走行レールの下方へスライドバッファを前進させて移載し、この場合のインターロックはロードポートとの移載と同様である。
　ロードポートとの移載（処理p2）では、スライドバッファを図１の走行レール８，８の直下から後退させて移載する。また固定バッファとの移載（処理p3）で、図５のように、固定バッファ上にスライドバッファがある場合、スライドバッファを固定バッファの上部から後退させて移載する。　
　図１２は、天井走行車とローカル台車との干渉の回避アルゴリズムを示す。天井走行車（ＯＨＴ）は、ローカル台車の走行レールの直下にあるスライドバッファ、ロードポート、固定バッファとの間で、キャリアを移載する場合、事前に端末を介して移載の許可を要求する。またローカル台車は、進入しようとする停止位置毎に進入の許可を要求し、移載する場合は、進入の許可に加えて、移載の許可を要求する。そして同じ停止位置には、天井走行車からの移載要求とローカル台車の進入要求の一方のみを許可することにより、天井走行車とローカル台車との干渉を回避する（処理p5）。
　天井走行車がロードポート等との移載を開始した後にエラーを起こすと、端末に移載中である旨の信号を送出できなくなることがある。この状況では、バッファコントローラは天井走行車が移載中であることを認識できなくなる可能性がある。この問題を、天井走行車が移載中であることを、バッファコントローラが不揮発に記憶することにより解決しても良いが、天井走行車のホイスト、昇降中のキャリア等を、図１の光センサ２０で検出する方が確実である。そこでホイスト等を検出すると、その停止位置へのローカル台車の進入を禁止する（処理p6）。
　ローカル台車には停止位置毎に進入の許可を要求させる。バッファコントローラは、ローカル台車に進入を許可した範囲では、天井走行車によるロードポート等との移載を許可しないようにする（処理p7）。なお図１の走行レール８，８の下方から離れた位置に有るスライドバッファとの移載は、ローカル台車と干渉しない。従って、干渉の回避処理は不要である（処理p8）。
　なお図１３に示すように、クリーンルームの天井４０から、支柱４１と取付部４２とにより、一時保管装置２を支持し、架台２４は省略しても良い。また４３は天井走行車３０の走行レール４の支柱である。
２，４０，６０　キャリアの一時保管装置（一時保管装置）
４　天井走行車の走行レール　　６　処理装置　　７　通路
８　ローカル台車の走行レール　　１０　ローカル台車
１２　スライドバッファ　　１３　フレーム　　１４　固定バッファ
１６　ロードポート　　１８　キャリア　　２０　光センサ
２１　反射板　　２２　バッファコントローラ（コントローラ）
２４　架台　　２５，２６　前面　　３０　天井走行車（ＯＨＴ）
３２　走行部　　３３　横送り機構　　３４　昇降駆動部
３５　昇降台　　３６　ベルト　　３８　落下防止カバー
４０　天井　　４１，４３　支柱　　４２　取付部
７０　ベース　　７１　レール　　７２　台座　　７３　車輪
７４　位置決めピン　　７５　キャリアセンサ　　７６　　着座センサ
７７　ＩＤリーダ　　７８　シリンダ　　７９　ピストン
８０　リニアガイド　　８１　レール　　８２　歯付きベルト
８３，８４　センサ　　８５　ケーブルガイド　　８６　車輪
８７　昇降駆動部　　８８　昇降台　　
９０　材料管理システム（ＭＣＳ）
９２　ＯＨＴコントローラ　　１００～１０２　端末　　　

Claims (8)

  1. 　走行レールに沿って走行する天井走行車と、処理装置のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する一時保管装置であって、
    　キャリアを昇降させるホイストを備えかつ走行自在なローカル台車と、
    　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
    　前記ローカル台車の走行レールの直下の位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
    　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するコントローラ、とを備え、
    　前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延び、
    　前記ローカル台車は前記待機位置で待機するようにされている、一時保管装置。
  2. 　前記直下の位置がロードポートの直上部であるスライドバッファが設けられていることを特徴とする、請求項１の一時保管装置。
  3. 　前記ローカル台車の走行レールの直下で、かつロードポートの直上部から外れる位置に、前記待機位置の直下を含むように、キャリアを載置自在な固定バッファが設けられていることを特徴とする、請求項２の一時保管装置。
  4. 　前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置で、前記スライドバッファの上方が開放され、
    　このことにより、前記上方が開放されている位置で、キャリアを昇降させるホイストと、ホイストを横送りする横送り機構とを備える天井走行車は、横送り機構とホイストにより、キャリアをスライドバッファに移載自在にされていることを特徴とする、請求項１～３のいずれかの一時保管装置。
  5. 　前記スライドバッファとして、前記ローカル台車の走行レールの一側方にスライド自在なスライドバッファと、他側方にスライド自在なスライドバッファとを備えていることを特徴とする、請求項１～４のいずれかの一時保管装置。
  6. 　前記スライドバッファは、ベースと、前記ローカル台車の走行レールの直下へベースから前進する可動の台座とから成り、
    　前記ベースは、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置に固定され、
    　さらに前記台座が前記ローカル台車の走行レールの直下に有ることを検出するセンサと、前記台座が前記ベース上に有ることを検出するセンサとが設けられ、
    　前記コントローラは、前記台座の検出された位置に応じて、前記スライドバッファとの間でのキャリアの移載を、天井走行車及び前記ローカル台車に許可するように構成されていることを特徴とする、請求項１～５のいずれかの一時保管装置。
  7. 　前記台座には、キャリアの有無を検出するセンサが設けられ、
    　前記コントローラは、キャリアの有無に応じて、前記スライドバッファとの間でのキャリアの移載を、天井走行車及び前記ローカル台車に許可するように構成されていることを特徴とする、請求項６の一時保管装置。
  8. 　走行レールに沿って走行する天井走行車と、処理装置のロードポートとの間で、キャリアを一時保管する方法であって、
    　キャリアを昇降させるホイストを備えかつ走行自在なローカル台車と、
    　天井走行車の走行レールの下方で、かつロードポートの直上部に設けられている、ローカル台車の走行レールと、
    　前記ローカル台車の走行レールの直下の位置でロードポートの直上部の位置と、前記ローカル台車の走行レールの直下から側方に離れている位置との間でスライド自在で、かつキャリアを載置自在なスライドバッファと、
    　前記ローカル台車及び前記スライドバッファを制御するコントローラ、とを備え、
    　前記ローカル台車の走行レールは、ロードポートの直上部から延長されて直上部から外れるローカル台車の待機位置まで延びている、一時保管装置を用い、
    　コントローラにより、スライドバッファを前記直下の位置でかつロードポートの直上部の位置から、前記側方に離れている位置へ後退させることにより、天井走行車あるいはローカル台車に、ロードポートとの間でキャリアを受け渡しさせ、
    　コントローラによりスライドバッファを、前記側方に離れている位置から、前記直下の位置でかつロードポートの直上部へ前進させることにより、天井走行車あるいはローカル台車に、スライドバッファとの間でキャリアを受け渡しさせ、
    　かつ、ローカル台車を前記待機位置で待機させる、キャリアの一時保管方法。
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