CN112815160B - 流路接头构造 - Google Patents

Abstract

流路接头构造(1)具有：第1外螺纹部(11)，其设置于第1配管块(51)；第2外螺纹部(12)，其设置于第2配管块(52)；双端螺母(13)，其在轴向一侧具有与第1外螺纹部(11)螺合的第1内螺纹部(13a)，且在轴向另一侧具有与第2外螺纹部(12)螺合的第2内螺纹部(13b)；以及衬垫(14)，其在双端螺母(13)的径向内侧对流路孔(510、520)彼此的连接部分进行密封。第1外螺纹部(11)及第1内螺纹部(13a)为右旋螺纹，第2外螺纹部(12)及第2内螺纹部(13b)为左旋螺纹。流路接头构造(1)具有设置于第1及第2配管块(51、52)、且表示第1及第2外螺纹部(11、12)的紧固方向的第1标记部(61、62)。

Description

流路接头构造

技术领域

本发明涉及一种流路接头构造。

背景技术

关于在半导体、液晶、有机EL等各种技术领域的制造工序中处理的药液等流体的配管路径，作为将在泵、阀、储液器、过滤器、流量计、压力传感器以及配管块(block)等2个流体设备形成的流路孔彼此以最短的方式连接的流路接头构造，已知图28所示的构造。该流路接头构造以如下方式构成，即，利用套筒102和双端螺母103将2个流体设备110分别与形成为所需最小限度的长度的管101的两端连接(参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2014-219060号公报

发明内容

在半导体、液晶、有机EL等的制造工序中，关于在对药液进行输送并使其循环时使用的流路接头构造而优选节省其设置空间。然而，图28所示的流路接头构造需要用于设置管101及2个双端螺母103的设置空间，因此存在无法节省空间地设置流路接头构造的问题。因此，研究了以能够节省空间地设置流路接头构造的方式仅利用1个双端螺母将2个流体设备的流路孔彼此连接。

具体而言，存在如下双端螺母等，即，在双端螺母的内周的轴向一侧形成有右旋内螺纹、且在双端螺母的内周的轴向另一侧形成有左旋内螺纹而具有双内螺纹。如果对该双端螺母向一个方向进行紧固，则双端螺母的右旋内螺纹与一个流体设备的右旋外螺纹螺合，并且双端螺母的左旋内螺纹与另一个流体设备的左旋外螺纹螺合。由此，经由衬垫而将2个流体设备的流路孔彼此连接。然而，关于具有上述双端螺母的流路接头构造，例如，如果作业者误使双端螺母的右旋内螺纹与流体设备的左旋外螺纹螺合，则该右旋内螺纹及左旋外螺纹的螺纹牙有可能会破损。

本发明就是鉴于这种情形而提出的，其目的在于能够节省空间地设置流路接头构造，且能够抑制螺纹牙破损。

(1)本发明的流路接头构造是将分别形成于第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此连接的流路接头构造，其中，所述流路接头构造具有：第1外螺纹部，其设置为从所述第1流体设备的一端面凸出，配置于该第1流体设备的流路孔的径向外侧；第2外螺纹部，其设置为从所述第2流体设备的一端面凸出，配置于该第2流体设备的流路孔的径向外侧；双端螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及密封部件，其在所述双端螺母的径向内侧使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此对所述第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此的连接部分进行密封，所述第1外螺纹部及所述第1内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的任一者，所述第2外螺纹部及所述第2内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的另一者，所述流路接头构造具有第1标记部，该第1标记部设置于所述第1流体设备及所述第2流体设备中的至少一个流体设备，表示所述第1外螺纹部及所述第2外螺纹部中的在所述一个流体设备设置的外螺纹部的紧固方向。

根据本发明，双端螺母的轴向一侧的第1内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的任一者，双端螺母的轴向另一侧的第2内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹的另一者，因此通过对双端螺母进行紧固而使得第1内螺纹部与第1流体设备的第1外螺纹部螺合，第2内螺纹部与第2流体设备的第2外螺纹部螺合。由此，能够仅利用1个双端螺母对2个流体设备的流路孔彼此进行连接，并且能够在双端螺母的径向内侧利用衬垫对流路孔彼此的连接部分进行密封。因此，本发明的流路接头构造无需如当前构造那样设置管以及2个双端螺母，因此能够节省空间地设置流路接头构造。

另外，作业者能够利用设置于至少一个流体设备的第1标记部而掌握该流体设备的外螺纹部的紧固方向。由此，能够抑制与所述外螺纹部不同的紧固方向的内螺纹部与所述外螺纹部螺合，因此能够抑制因上述外螺纹部以及内螺纹部的螺合而导致该外螺纹部以及内螺纹部的螺纹牙破损的情况。

(2)优选地，所述流路接头构造还具有第2标记部，该第2标记部设置于所述双端螺母，表示该双端螺母的紧固方向。

在该情况下，作业者还能够利用第2标记部而掌握双端螺母的紧固方向、即第1内螺纹部及第2内螺纹部的紧固方向，因此能够进一步抑制与外螺纹部不同的紧固方向的内螺纹部螺合。

(3)优选地，所述流路接头构造还具有：固定侧凸起部，其设置为从所述一个流体设备的所述一端面凸出；以及活动侧凸起部，其设置于所述双端螺母，从该双端螺母向所述一个流体设备的所述一端面侧凸出，如果所述双端螺母要从所述第1内螺纹部及所述第2内螺纹部中的与所述外螺纹部对应的内螺纹部与该外螺纹部螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转，则所述活动侧凸起部与所述固定侧凸起部抵接而限制所述双端螺母向紧固方向的相反方向旋转。

在该情况下，如果双端螺母要从对应的内螺纹部与外螺纹部螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转，则活动侧凸起部与固定侧凸起部抵接而限制双端螺母向紧固方向的相反方向旋转。由此，在双端螺母紧固后的状态下，即使因流体的脉动等而流体设备振动，也能够抑制双端螺母向紧固方向的相反方向松解。

(4)优选地，所述第1标记部的至少一部分构成所述固定侧凸起部。

在该情况下，无需与第1标记部不同地设置固定侧凸起部，因此能够简化流路接头构造的结构。

(5)优选地，所述流路接头构造还具有第2标记部，该第2标记部设置于所述双端螺母，表示该双端螺母的紧固方向，所述第2标记部的至少一部分构成所述活动侧凸起部。

在该情况下，无需与第2标记部不同地设置活动侧凸起部，因此能够进一步简化流路接头构造的结构。

发明的效果

根据本发明，能够节省空间地设置流路接头构造，并且能够抑制螺纹牙破损。

附图说明

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的流路接头构造的斜视图。

图2是流路接头构造的剖面图。

图3是表示将流路接头构造分解后的状态的剖面图。

图4是第1配管块的斜视图。

图5是从右侧观察第1配管块的侧视图。

图6是第2配管块的斜视图。

图7是从左侧观察第2配管块的侧视图。

图8是双端螺母的主视图。

图9是从左侧观察双端螺母的侧视图。

图10是从右侧观察双端螺母的侧视图。

图11是从右侧观察第1配管块的侧视图，表示第1固定侧凸起部和第1活动侧凸起部的位置关系。

图12是从左侧观察第2配管块的侧视图，表示第2固定侧凸起部和第2活动侧凸起部的位置关系。

图13是表示将衬垫安装于第1配管块的状态的剖面图。

图14是表示双端螺母的紧固中途的状态的剖面图。

图15是表示双端螺母的紧固即将完毕之前的状态的剖面图。

图16是表示双端螺母的紧固完毕的状态的剖面图。

图17是本发明的第2实施方式所涉及的流路接头构造的第1配管块的斜视图。

图18是从右侧观察图17的第1配管块的侧视图。

图19是第2实施方式所涉及的流路接头构造的第2配管块的斜视图。

图20是从左侧观察图19的第2配管块的侧视图。

图21是第2实施方式所涉及的流路接头构造的双端螺母的斜视图。

图22是从右侧观察第2实施方式的第1配管块的侧视图，表示第1固定侧凸起部和第1活动侧凸起部的位置关系。

图23是从左侧观察第2实施方式的第2配管块的侧视图，表示第2固定侧凸起部和第2活动侧凸起部的位置关系。

图24是本发明的第3实施方式所涉及的流路接头构造的双端螺母的斜视图。

图25是从右侧观察第3实施方式的第1配管块的侧视图，表示第1固定侧凸起部和第1活动侧凸起部的位置关系。

图26是从左侧观察第3实施方式的第2配管块的侧视图，表示第2固定侧凸起部和第2活动侧凸起部的位置关系。

图27是表示密封部件的变形例的剖面图。

图28是表示当前的流路接头构造的剖面图。

标号的说明

1 流路接头构造

11 第1外螺纹部

12 第2外螺纹部

13 双端螺母

13a 第1内螺纹部

13b 第2内螺纹部

14 衬垫(密封部件)

51 第1配管块(第1流体设备)

52 第2配管块(第2流体设备)

61 第1标记部

62 第1标记部

63 第2标记部

71 第1固定侧凸起部(固定侧凸起部)

72 第2固定侧凸起部(固定侧凸起部)

73 第1活动侧凸起部(活动侧凸起部)

74 第2活动侧凸起部(活动侧凸起部)

510 流路孔

520 流路孔

具体实施方式

下面，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。其中，可以任意地对下面记载的多个实施方式中的至少一部分进行组合。

[流路接头构造]

图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的流路接头构造的斜视图。在图1中，例如，在半导体制造装置中使用的供药液流动的配管路径中，本实施方式的流路接头构造1作为将形成于第1配管块(第1流体设备)51的流路孔510(参照图2)、和形成于第2配管块(第2流体设备)52的流路孔520连接的连接构造而使用。在下面的本说明书中，上、下、左及右之类的方向表示图1中示出的方向。

此外，本实施方式的流路接头构造1作为将配管块51、52的流路孔510、520彼此连接的连接构造而使用，但也可以应用于将泵、阀、储液器、过滤器、流量计等其他流体设备的流路孔彼此连接的连接构造。

图2是本实施方式的流路接头构造1的剖面图。图3是表示将流路接头构造1分解后的状态的剖面图。在图2及图3中，第1配管块51例如具有：由矩形体构成的块主体511；以及由圆筒体构成的左右一对的第1凸出部512。右侧的第1凸出部512在块主体511的右侧的端面(一端面)511a向右侧凸出而与块主体511形成为一体。左侧的第1凸出部512在块主体511的左侧的端面511b向左侧凸出而与块主体511形成为一体。在各第1凸出部512的块主体511侧的基端部形成有环状槽513。

在右侧的第1凸出部512的外周(除了环状槽513以外)形成有第1外螺纹部11。在左侧的第1凸出部512的外周(除了环状槽513以外)形成有第2外螺纹部12。第1配管块51的流路孔510形成为将块主体511以及一对第1凸出部512贯通。因此，第1外螺纹部11及第2外螺纹部12配置于流路孔510的两端部的径向外侧。

在右侧的第1凸出部512的前端面形成有环状的第1密封槽15，在左侧的第1凸出部512的前端面形成有环状的第2密封槽16。

第2配管块52例如具有：由矩形体构成的块主体521；以及由圆筒体构成的左右一对的第2凸出部522。右侧的第2凸出部522在块主体521的右侧的端面521a向右侧凸出并与块主体521形成为一体。左侧的第2凸出部522在块主体521的左侧的端面(一端面)521b向左侧凸出而与块主体521形成为一体。在各第2凸出部522的块主体521侧的基端部形成有环状槽523。

在右侧的第2凸出部522的外周(除了环状槽523以外)形成有第1外螺纹部11。在左侧的第2凸出部522的外周(除了环状槽523以外)形成有第2外螺纹部12。第2配管块52的流路孔520形成为将块主体521以及一对第2凸出部522贯通。因此，第1外螺纹部11及第2外螺纹部12配置于流路孔520的两端部的径向外侧。本实施方式的流路孔520形成为直径与流路孔510相同。

在右侧的第2凸出部522的前端面形成有环状的第1密封槽15，在左侧的第2凸出部522的前端面形成有环状的第2密封槽16。

流路接头构造1主要具有第1配管块51的所述第1外螺纹部11、第2配管块52的所述第2外螺纹部12、双端螺母13以及衬垫(密封部件)14。

在本实施方式中，第1配管块51的第1外螺纹部11设为左旋螺纹，第2配管块52的第2外螺纹部12设为右旋螺纹。此外，也可以与本实施方式相反地将第1配管块51的第1外螺纹部11设为右旋螺纹，将第2配管块52的第2外螺纹部12设为左旋螺纹。

双端螺母13例如由圆筒体构成，具有：在左侧(轴向一侧)的内周形成的第1内螺纹部13a；以及在右侧(轴向另一侧)的内周形成的第2内螺纹部13b。第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b在轴向上连续地形成。第1内螺纹部13a与第1配管块51的第1外螺纹部11螺合。第2内螺纹部13b与第2配管块52的第2外螺纹部12螺合。

因此，在本实施方式中，第1内螺纹部13a设为与第1外螺纹部11相同的左旋螺纹，第2内螺纹部13b设为与第2外螺纹部12相同的右旋螺纹。此外，在第1外螺纹部11设为右旋螺纹、且第2外螺纹部12设为左旋螺纹的情况下，第1内螺纹部13a为右旋螺纹，第2内螺纹部13b为左旋螺纹。

关于衬垫14，在双端螺母13的径向内侧，第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合，并且第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合，从而将流路孔510、520彼此的连接部分密封。本实施方式的衬垫14具有：环状的第1压入部14a，其形成于左侧(轴向一侧)；以及环状的第2压入部14b，其形成于右侧(轴向另一侧)。第1压入部14a压入于第1凸出部512的第1密封槽15，第2压入部14b压入于第2凸出部522的第2密封槽16。

[第1标记部和固定侧凸起部]

图4是第1配管块51的斜视图。图5是从右侧观察第1配管块51的侧视图。在图4及图5中，在第1配管块51的块主体511的端面511a，表示第1外螺纹部11的紧固方向(图5中的逆时针方向)的一对第1标记部61设置为朝向与第1外螺纹部11的凸出方向相同的方向即右侧略微凸出。各第1标记部61相对于端面511a的凸出量形成为小于环状槽513的左右方向(轴向)上的宽度(参照图13)。此外，图1～图3中省略了第1标记部61的图示。

一对第1标记部61在侧视观察时比第1凸出部512更靠径向外侧处，以在第1凸出部512的周向上隔开相等间隔的方式配置。各第1标记部61例如形成为箭头形状，具有：前部611，其形成为近似三角形状；以及后部612，其形成为圆弧形状。

前部611形成为随着趋向图5中的逆时针方向而前端变细，并且形成为随着趋向径向外侧而前端变细。前部611的朝向径向外侧而前端变细的部分的、后部612侧的侧面611a，形成为以随着趋向端面511a而凸出高度逐渐降低的方式倾斜的锥面。前部611的趋向径向外侧而前端变细的部分的、所述侧面611a的相反侧的侧面611b，是与端面511a垂直的非锥面，形成为沿上下方向延伸。前部611作为第1防松机构75(后述)的第1固定侧凸起部71而起作用。

图6是第2配管块52的斜视图。图7是从左侧观察第2配管块52的侧视图。在图6及图7中，在第2配管块52的块主体521的端面521b，表示第2外螺纹部12的紧固方向(图7中的顺时针方向)的一对第1标记部62设置为朝向与第2外螺纹部12的凸出方向相同的方向即左侧凸出。第1标记部62相对于端面521b的凸出量形成为小于环状槽523的左右方向(轴向)上的宽度(参照图13)。此外，图1～图3中省略了第1标记部62的图示。

一对第1标记部62在侧视观察时比第2凸出部522更靠径向外侧处，以在第2凸出部522的周向上隔开相等间隔的方式配置。各第1标记部62例如形成为与第1标记部61相同的箭头形状，具有：前部621，其形成为近似三角形状；以及后部622，其形成为圆弧形状。

前部621形成为随着趋向图7中的顺时针方向而前端变细，并且形成为随着趋向径向外侧而前端变细。前部621的趋向径向外侧而前端变细的部分的、后部622侧的侧面621a，形成为以随着趋向端面521b而凸出高度逐渐降低的方式倾斜的锥面。前部621的趋向径向外侧而前端变细的部分的、所述侧面621a的相反侧的侧面621b，形成为沿上下方向延伸。前部621作为第2防松机构76(后述)的第2固定侧凸起部72而起作用。

[第2标记部和活动侧凸起部]

图8是双端螺母13的主视图。在图8中，在双端螺母13的外周，沿左右方向(轴向)延伸的凸部13f以在周向上隔开相等间隔的方式设置有多个。上述多个凸部13f用于供对双端螺母13进行紧固的工具卡挂，例如通过滚花加工而形成。

在本实施方式中，例如，针对周向上连续的规定数量(图示例子中为3个)的各凸部13f，通过逐渐缩短其轴向长度而使整体在周向上形成多个箭头的形状。上述箭头的形状表示双端螺母13的紧固方向(第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的紧固方向)。因此，在本实施方式中，针对规定数量的各凸部13f而形成的多个箭头的形状作为表示双端螺母13的紧固方向的第2标记部63而起作用。

各第2标记部63的左右方向上最长的凸部13f的左端部比双端螺母13的左侧的一侧面13d更向左侧凸出，作为第1防松机构75(后述)的第1活动侧凸起部73而起作用。由此，在本实施方式中，第2标记部63的一部分构成第1活动侧凸起部73。另外，在使得第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合时，第1活动侧凸起部73从双端螺母13朝向第1配管块51的端面511a侧凸出(参照图13)。

各第2标记部63的左右方向上最长的凸部13f的右端部比双端螺母13的右侧的另一侧面13e更向右侧凸出，作为第2防松机构76(后述)的第2活动侧凸起部74而起作用。由此，在本实施方式中，第2标记部63的一部分构成第2活动侧凸起部74。另外，在使得第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合时，第2活动侧凸起部74从双端螺母13朝向第2配管块52的端面521b侧凸出(参照图13)。

图9是从左侧观察双端螺母13的侧视图。在图8及图9中，第1活动侧凸起部73在双端螺母13的外周侧以在周向上隔开相等间隔的方式配置。第1活动侧凸起部73从凸部13f的左端部沿双端螺母13的一侧面13d而向双端螺母13的轴心C侧延伸。第1活动侧凸起部73的宽度方向(双端螺母13的周向)两侧的侧面73a、侧面73b以随着趋向轴心C侧而第1活动侧凸起部73的前端变细的方式倾斜。此外，图9中的白色箭头表示第1内螺纹部13a的紧固方向。

图10是从右侧观察双端螺母13的侧视图。在图8及图10中，第2活动侧凸起部74在双端螺母13的外周侧以在周向上隔开相等间隔的方式配置。第2活动侧凸起部74从凸部13f的右端部沿双端螺母13的另一侧面13e而向双端螺母13的轴心C侧延伸。第2活动侧凸起部74的宽度方向(双端螺母13的周向)两侧的侧面74a、侧面74b以随着趋向轴心C侧而第2活动侧凸起部74的前端变细的方式倾斜。此外，图10中的白色箭头表示第2内螺纹部13b的紧固方向。

[防松机构]

图11是从右侧观察第1配管块51的侧视图，表示第1固定侧凸起部71和第1活动侧凸起部73的位置关系。

第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，在第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的中途(双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图11中的点划线所示使得第1活动侧凸起部73的侧面73b与第1固定侧凸起部71(前部611)的侧面611a抵接。

另外，第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，如果双端螺母13要从第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的状态(参照图16)向紧固方向的相反方向旋转，则如图11中的双点划线所示，使得第1活动侧凸起部73的侧面73a与第1固定侧凸起部71的侧面611b抵接。

第1活动侧凸起部73相对于双端螺母13的一侧面13d的凸出高度设定为如下高度，即，使得在从第1活动侧凸起部73的侧面73b与第1固定侧凸起部71的侧面611a抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向旋转时，第1活动侧凸起部73能够越过第1固定侧凸起部71。另外，第1活动侧凸起部73的所述凸出高度设定为如下高度，即，使得即使从第1活动侧凸起部73的侧面73a与第1固定侧凸起部71的侧面611b抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，第1活动侧凸起部73也无法越过第1固定侧凸起部71。

根据以上结构，第1配管块51侧的第1固定侧凸起部71、以及双端螺母13侧的第1活动侧凸起部73构成，限制双端螺母13从第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转的第1防松机构75。

图12是从左侧观察第2配管块52的侧视图，表示第2固定侧凸起部72和第2活动侧凸起部74的位置关系。

第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，在第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的中途(双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图12中的点划线所示使得第2活动侧凸起部74的侧面74b与第2固定侧凸起部72(前部621)的侧面621a抵接。

另外，第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，如果双端螺母13要从第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的状态(参照图16)向紧固方向的相反方向旋转，则如图12中的双点划线所示使得第2活动侧凸起部74的侧面74a与第2固定侧凸起部72的侧面621b抵接。

第2活动侧凸起部74相对于双端螺母13的另一侧面13e的凸出高度设定为如下高度，即，使得在从第2活动侧凸起部74的侧面74b与第2固定侧凸起部72的侧面621a抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向旋转时，第2活动侧凸起部74能够越过第2固定侧凸起部72。另外，第2活动侧凸起部74的所述凸出高度设定为如下高度，即，使得即使从第2活动侧凸起部74的侧面74a与第2固定侧凸起部72的侧面621b抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，第2活动侧凸起部74也无法越过第2固定侧凸起部72。

根据以上结构，第2配管块52侧的第2固定侧凸起部72、以及双端螺母13侧的第2活动侧凸起部74构成限制双端螺母13从第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转的第2防松机构76。

[流路接头构造的连接次序]

下面，对利用本实施方式的流路接头构造1将第1配管块51以及第2配管块52的流路孔510、520彼此连接的次序进行说明。首先，如图13所示，作业者将衬垫14的第1压入部14a压入于第1配管块51的第1密封槽15，将衬垫14一体地安装于第1配管块51。

此外，衬垫14也可以一体地安装于第2配管块52。在该情况下，作业者只要将衬垫14的第2压入部14b压入于第2配管块52的第2密封槽16即可。

接着，作业者将双端螺母13配置于第1配管块51与第2配管块52之间。此时，作业者目视确认第1及第2配管块51、52的第1标记部61、62、以及双端螺母13的第2标记部63，由此以第1外螺纹部11的紧固方向、第2外螺纹部12的紧固方向以及双端螺母13(第1内螺纹部13a和第2内螺纹部13b)的紧固方向全部都朝向相同方向的方式配置第1配管块51、第2配管块52以及双端螺母13。

接着，作业者在使得第1配管块51的第1凸出部512的前端、以及第2配管块52的第2凸出部522的前端分别与双端螺母13的轴向两端抵接之后，利用工具(省略图示)等向第2标记部63所示的方向对双端螺母13进行紧固。由此，能够使得左旋螺纹的第1外螺纹部11和第1内螺纹部13a相互可靠地螺合，能够使得右旋螺纹的第2外螺纹部12和第2内螺纹部13b相互可靠地螺合。

如果作业者对双端螺母13进行紧固，则如图14所示，第1外螺纹部11相对于第1内螺纹部13a继续进行螺合，从而使得第1配管块51的第1凸出部512从双端螺母13的左侧朝向中央移动。同样地，第2外螺纹部12相对于第2内螺纹部13b继续进行螺合，从而使得第2配管块52的第2凸出部522从双端螺母13的右侧朝向中央移动。

这样，如果第1凸出部512及第2凸出部522朝向双端螺母13的中央移动，则如图15所示，衬垫14的第2压入部14b被压入于第2配管块52的第2密封槽16，使得流路孔510、520彼此连接，并且该连接部分被衬垫14密封。

另外，如图15所示，双端螺母13的第1及第2活动侧凸起部73、74的侧面73b、74b在双端螺母13的紧固即将完毕之前，分别与第1及第2固定侧凸起部71、72的侧面611a、621a抵接(还参照图11、图12)。如果从该状态进一步对双端螺母13进行紧固，则第1及第2活动侧凸起部73、74越过第1及第2固定侧凸起部71、72。此时，第1及第2活动侧凸起部73、74沿着作为锥面的侧面611a、621a而越过第1及第2固定侧凸起部71、72，因此能够抑制双端螺母13的紧固扭矩升高，并且能够抑制第1及第2活动侧凸起部73、74的疲劳、破损。

如果从第1及第2活动侧凸起部73、74越过第1以及第2固定侧凸起部71、72的状态进一步对双端螺母13进行紧固，则如图16所示，第1及第2活动侧凸起部73、74的端面73c、74c与第1及第2配管块51、52的端面511a、521b抵接。由此，双端螺母13的紧固完毕。

但是，如果因在图16所示的状态下，在流路孔510、520流动的药液的脉动等而第1及第2配管块51、52振动，则双端螺母13有时会向紧固方向的相反方向旋转而松解。然而，在本实施方式中，如果双端螺母13要向紧固方向的相反方向旋转，则如图11及图12所示，第1及第2活动侧凸起部73、74与第1及第2固定侧凸起部71、72的侧面611b、621b抵接。如上所述，该侧面611b、621b为非锥面，因此第1及第2活动侧凸起部73、74与侧面611b、621b抵接而抑制越过第1及第2固定侧凸起部71、72的情况。由此，双端螺母13向紧固方向的相反方向的旋转受到限制，因此能够抑制双端螺母13向紧固方向的相反方向松解。

[作用效果]

如上，根据本实施方式的流路接头构造1，在双端螺母13通过第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b而形成右旋螺纹及左旋螺纹，因此通过对双端螺母13进行紧固而使得第1内螺纹部13a与第1配管块51的第1外螺纹部11螺合，第2内螺纹部13b与第2配管块52的第2外螺纹部12螺合。由此，能够仅利用1个双端螺母13而将第1配管块51及第2配管块52的流路孔510、520彼此连接，并且能够在双端螺母13的径向内侧利用衬垫14对流路孔510、520彼此的连接部分进行密封。因此，本实施方式的流路接头构造1无需如图28所示的当前构造那样设置管101以及2个双端螺母103，因此能够节省空间地设置流路接头构造1。

另外，关于本实施方式的流路接头构造1，在第1配管块51及第2配管块52设置有表示第1外螺纹部11及第2外螺纹部12的紧固方向的第1标记部61、62，因此作业者能够通过目视确认第1标记部61、62而掌握第1外螺纹部11及第2外螺纹部12的紧固方向。由此，能够抑制紧固方向互不相同的第1外螺纹部11和第2内螺纹部13b螺合、以及第2外螺纹部12和第1内螺纹部13a螺合。其结果，能够抑制因紧固方向互不相同的外螺纹部以及内螺纹部的螺合而导致该外螺纹部以及内螺纹部的螺纹牙破损的情况。

另外，在双端螺母13设置有表示其紧固方向的第2标记部63，因此作业者能够通过目视确认第2标记部63而掌握双端螺母13的紧固方向、即第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的紧固方向。由此，能够进一步抑制紧固方向互不相同的外螺纹部和内螺纹部螺合。

另外，如果双端螺母13要从第1及第2内螺纹部13a、13b分别与第1及第2外螺纹部11、12螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转，则双端螺母13侧的第1及第2活动侧凸起部73、74与第1及第2配管块51、52侧的第1及第2固定侧凸起部71、72抵接而限制双端螺母13向紧固方向的相反方向的旋转。由此，在将双端螺母13紧固后的状态下，即使因在流路孔510、520流动的药液的脉动等而第1及第2配管块51、52振动，也能够抑制双端螺母13向紧固方向的相反方向松解。

第1及第2配管块51、52的第1标记部61、62的一部分构成第1及第2固定侧凸起部71、72，因此无需与第1标记部61、62不同地另外设置第1及第2固定侧凸起部71、72。其结果，能够简化流路接头构造1的结构。

第1及第2配管块51、52的第2标记部63的一部分构成第1及第2活动侧凸起部73、74，因此无需与第2标记部63不同地另外设置第1及第2活动侧凸起部73、74，因此能够进一步简化流路接头构造1的结构。

[第2实施方式]

图17是本发明的第2实施方式所涉及的流路接头构造1的第1配管块51的斜视图。图18是从右侧观察图17的第1配管块51的侧视图。本实施方式的流路接头构造1在分别设置第1配管块51的第1标记部61及第1固定侧凸起部71这一点上与第1实施方式不同。

在图17及图18中，在第1配管块51的块主体511的端面511a，表示第1外螺纹部11的紧固方向(图18中的逆时针方向)的一对第1标记部61形成为向左侧凹陷。一对第1标记部61在侧视观察时比第1凸出部512更靠径向外侧处，以在第1凸出部512的周向上隔开相等间隔的方式配置。各第1标记部61例如形成为箭头形状。

在第1配管块51的块主体511的端面511a，构成第1防松机构75的一对第1固定侧凸起部71设置为向右侧凸出。各第1固定侧凸起部71相对于端面511a的凸出量与第1实施方式的第1标记部61相对于端面511a的凸出量相同。

一对第1固定侧凸起部71在侧视观察时比第1凸出部512更靠径向外侧处，以在第1凸出部512的周向上隔开相等间隔的方式配置。各第1固定侧凸起部71的宽度方向(第1凸出部512的周向)两侧的侧面71a、71b形成为向第1凸出部512的径向外侧延伸。各第1固定侧凸起部71的所述径向外侧的端部例如形成为半圆弧状。

图19是第2实施方式所涉及的流路接头构造1的第2配管块52的斜视图。图20是从左侧观察图19的第2配管块52的侧视图。本实施方式的流路接头构造1在分别设置第2配管块52的第1标记部62和第2固定侧凸起部72这一点上与第1实施方式不同。

在图19及图20中，在第2配管块52的块主体521的端面521b，表示第2外螺纹部12的紧固方向(图20中的顺时针方向)的一对第1标记部62形成为向右侧凹陷。一对第1标记部62在侧视观察时比第2凸出部522更靠径向外侧处，以在第2凸出部522的周向上隔开相等间隔的方式配置。各第1标记部62例如形成为与第1标记部61相同的箭头形状。

在第2配管块52的块主体521的端面521b，构成第2防松机构76的一对第2固定侧凸起部72设置为向左侧凸出。各第2固定侧凸起部72相对于端面521b的凸出量与第1实施方式的第1标记部62相对于端面521b的凸出量相同。

一对第2固定侧凸起部72在侧视观察时比第2凸出部522更靠径向外侧处，以在第2凸出部522的周向上隔开相等间隔的方式配置。第2固定侧凸起部72形成为与第1固定侧凸起部71相同的形状。即，各第2固定侧凸起部72的宽度方向(第2凸出部522的周向)两侧的侧面72a、72b形成为向第2凸出部522的径向外侧延伸。另外，各第2固定侧凸起部72的所述径向外侧的端部形成为半圆弧状。

图21是第2实施方式所涉及的流路接头构造1的双端螺母13的斜视图。本实施方式的流路接头构造1在分别设置双端螺母13的第2标记部63和第1及第2活动侧凸起部73、74这一点上与第1实施方式不同。

在图21中，本实施方式的双端螺母13的外周例如形成为正八边形状。在双端螺母13的外周的各面，设置有表示第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的紧固方向(图21中的白色箭头所示的方向)、即双端螺母13的紧固方向的第2标记部63。第2标记部63例如形成为以V字状的箭头形状凹陷，在双端螺母13的外周的各面分别形成有2个。

在双端螺母13的一侧面13d的外周侧，第1防松机构75的多个第1活动侧凸起部73设置为向左侧凸出。在双端螺母13的另一侧面13e的外周侧，第2防松机构76的多个第2活动侧凸起部74设置为向右侧凸出。

第2活动侧凸起部74例如形成为正六边形状，分别设置于双端螺母13的另一侧面13e的外周侧的8个角部。由此，第2活动侧凸起部74在双端螺母13的另一侧面13e的外周侧以在周向上隔开相等间隔的方式配置。第2活动侧凸起部74在双端螺母13的周向两侧具有侧面74a、74b(参照图23)。

第1活动侧凸起部73形成为与第2活动侧凸起部74相同的形状。即，第1活动侧凸起部73形成为正六边形状(省略图示)，分别设置于双端螺母13的一侧面13d的外周侧的8个角部。由此，第1活动侧凸起部73在双端螺母13的一侧面13d的外周侧以在周向上隔开相等间隔的方式配置。第1活动侧凸起部73在双端螺母13的周向两侧具有侧面73a、73b(参照图22)。

图22是从右侧观察第2实施方式的第1配管块51的侧视图，表示第1固定侧凸起部71和第1活动侧凸起部73的位置关系。

第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，在第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的中途(使双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图22中的点划线所示使得第1活动侧凸起部73的侧面73b与第1固定侧凸起部71的侧面71a抵接。

另外，第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，如果要从第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的状态(参照图16)使双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，则如图22中的双点划线所示使得第1活动侧凸起部73的侧面73a与第1固定侧凸起部71的侧面71b抵接。

第1活动侧凸起部73相对于双端螺母13的一侧面13d的凸出高度设定为如下高度，即，在从第1活动侧凸起部73的侧面73b与第1固定侧凸起部71的侧面71a抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向旋转时，第1活动侧凸起部73能够越过第1固定侧凸起部71。另外，第1活动侧凸起部73的所述凸出高度设定为如下高度，即，从第1活动侧凸起部73的侧面73a与第1固定侧凸起部71的侧面71b抵接的状态起即使进一步使双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，第1活动侧凸起部73也无法越过第1固定侧凸起部71。

根据以上结构，第1配管块51侧的第1固定侧凸起部71、以及双端螺母13侧的第1活动侧凸起部73构成限制双端螺母13从第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转的第1防松机构75。

图23是从左侧观察第2实施方式的第2配管块52的侧视图，表示第2固定侧凸起部72和第2活动侧凸起部74的位置关系。

第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，在第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的中途(使双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图23中的点划线所示，使得第2活动侧凸起部74的侧面74b与第2固定侧凸起部72的侧面72a抵接。

另外，第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，如果要从第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的状态(参照图16)使得双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，则如图23中的双点划线所示，使得第2活动侧凸起部74的侧面74a与第2固定侧凸起部72的侧面72b抵接。

第2活动侧凸起部74相对于双端螺母13的另一侧面13e的凸出高度设定为如下高度，即，使得在从第2活动侧凸起部74的侧面74b与第2固定侧凸起部72的侧面72a抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向旋转时，第2活动侧凸起部74能够越过第2固定侧凸起部72。另外，第2活动侧凸起部74的所述凸出高度设定为如下高度，即，使得即使从第2活动侧凸起部74的侧面74a与第2固定侧凸起部72的侧面72b抵接的状态进一步使双端螺母13向紧固方向的相反方向旋转，第2活动侧凸起部74也无法越过第2固定侧凸起部72。

根据以上结构，第2配管块52侧的第2固定侧凸起部72、以及双端螺母13侧的第2活动侧凸起部74，构成限制双端螺母13从第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转的第2防松机构76。

本实施方式的其他结构与第1实施方式相同，因此标注相同的标号并省略其说明。

关于第2实施方式的流路接头构造1，在第1配管块51及第2配管块52设置有表示第1外螺纹部11及第2外螺纹部12的紧固方向的第1标记部61、62，因此作业者能够通过目视确认第1标记部61、62而掌握第1外螺纹部11及第2外螺纹部12的紧固方向。由此，能够抑制紧固方向互不相同的外螺纹部和内螺纹部螺合。其结果，能够抑制因紧固方向互不相同的外螺纹部以及内螺纹部的螺合而导致该外螺纹部以及内螺纹部的螺纹牙破损的情况。

另外，在双端螺母13设置有表示其紧固方向的第2标记部63，因此作业者能够通过目视确认第2标记部63而掌握双端螺母13的紧固方向、即第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的紧固方向。由此，能够进一步抑制紧固方向互不相同的外螺纹部和内螺纹部螺合。

另外，如果双端螺母13要从第1及第2内螺纹部13a、13b分别与第1及第2外螺纹部11、12螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转，则双端螺母13侧的第1及第2活动侧凸起部73、74与第1及第2配管块51、52侧的第1及第2固定侧凸起部71、72抵接而限制双端螺母13向紧固方向的相反方向的旋转。由此，在将双端螺母13紧固后的状态下，即使因在流路孔510、520流动的药液的脉动等而第1及第2配管块51、52振动，也能够抑制双端螺母13向紧固方向的相反方向松解。

[第3实施方式]

图24是本发明的第3实施方式所涉及的流路接头构造1的双端螺母13的斜视图。本实施方式的流路接头构造1是第2实施方式的变形例，在双端螺母13的第2标记部63设为第1及第2活动侧凸起部73、74这一点上与第2实施方式不同。

在图24中，在本实施方式的双端螺母13的一侧面13d及另一侧面13e设置有多个表示第1内螺纹部13a及第2内螺纹部13b的紧固方向(图24中的白色箭头所示的方向)、即双端螺母13的紧固方向的第2标记部63。第2标记部63例如形成为箭根形状，在双端螺母13的一侧面13d(另一侧面13e)的外周侧，设置为从与双端螺母13的外周的各面对应的位置向左侧(右侧)凸出。另外，第2标记部63在双端螺母13的一侧面13d(另一侧面13e)的外周侧以在周向上隔开相等间隔的方式配置。

设置于双端螺母13的一侧面13d的各第2标记部63作为第1防松机构75的第1活动侧凸起部73而起作用。在第1活动侧凸起部73的双端螺母13的周向两侧形成有以V字状凹陷的侧面73a、以及以V字状凸出的侧面73b(参照图25)。

设置于双端螺母13的另一侧面13e的各第2标记部63作为第2防松机构76的第2活动侧凸起部74而起作用。在第2活动侧凸起部74的双端螺母13的周向两侧形成有以V字状凹陷的侧面74a、以及以V字状凸出的侧面74b(参照图26)。

图25是从右侧观察第3实施方式的第1配管块51的侧视图，表示第1固定侧凸起部71和第1活动侧凸起部73的位置关系。

第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，在第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的中途(使双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图25中的点划线所示使得第1活动侧凸起部73的侧面73b与第1固定侧凸起部71的侧面71a抵接。

另外，第1活动侧凸起部73配置于如下位置，即，如果双端螺母13要从第1内螺纹部13a与第1外螺纹部11螺合的状态(参照图16)向紧固方向的相反方向旋转，则如图25中的双点划线所示使得第1活动侧凸起部73的侧面73a与第1固定侧凸起部71的侧面71b抵接。

图26是从左侧观察第3实施方式的第2配管块52的侧视图，表示第2固定侧凸起部72和第2活动侧凸起部74的位置关系。

第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，在第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的中途(使双端螺母13向紧固方向旋转的中途)(参照图15)，如图25中的点划线所示使得第2活动侧凸起部74的侧面74b与第2固定侧凸起部72的侧面72a抵接。

另外，第2活动侧凸起部74配置于如下位置，即，如果双端螺母13要从第2内螺纹部13b与第2外螺纹部12螺合的状态(参照图16)向紧固方向的相反方向旋转，则如图25中的双点划线所示使得第2活动侧凸起部74的侧面74a与第2固定侧凸起部72的侧面72b抵接。

本实施方式的其他结构与第2实施方式相同，因此标注相同的标号并省略其说明。

第3实施方式的流路接头构造1也能实现与第2实施方式相同的作用效果。另外，第1及第2配管块51、52的第2标记部63构成第1及第2活动侧凸起部73、74，因此无需与第2标记部63不同地另外设置第1及第2活动侧凸起部73、74，因此能够简化流路接头构造1的结构。

[其他]

对上述实施方式的流路接头构造1在半导体制造装置中使用的情况进行了说明，但也可以在液晶·有机EL领域、医疗·医药领域、后者汽车相关领域等中使用。

上述实施方式的流路接头构造1在第1配管块51及第2配管块52这两者设置有第1标记部61、62，但也可以仅在第1配管块51及第2配管块52中的任一者设置第1标记部。另外，第1标记部61、62的形状、个数以及位置并不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，在第1配管块51及第2配管块52设置有凸形或凹形的第1标记部61、62，但也可以标注表示第1及第2外螺纹部11、12的紧固方向的箭头等。

第2标记部63的形状、个数以及位置并不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，在双端螺母13设置有凸形或凹状的第2标记部63，但也可以标注表示双端螺母13的紧固方向的箭头等。

在上述实施方式中，在第1配管块51及第2配管块52这两者设置有第1及第2固定侧凸起部71、72，但也可以仅在两个配管块51、52中的任一者设置固定侧凸起部。在该情况下，只要在双端螺母13仅设置与仅设置于两个配管块51、52中的任一者的固定侧凸起部对应的活动侧凸起部即可。

第1及第2固定侧凸起部71、72的形状、个数以及位置并不限定于上述实施方式。另外，第1及第2活动侧凸起部73、74的形状、个数以及位置并不限定于上述实施方式。

在上述实施方式中，作为对流路孔510、520彼此的连接部分进行密封的密封部件而使用衬垫14，但也可以使用除了衬垫14以外的其他密封部件。另外，如图27所示，所述密封部件(衬垫14)可以与第1配管块51的第1凸出部512实现一体化，也可以与省略图示的第2配管块51的第2凸出部522实现一体化。

应当理解，此次公开的实施方式在所有方面都是示例而不是限制性内容。另外，也可以对第1实施方式～第3实施方式的各实施方式中举例示出的所有结构或一部分结构进行组合。本发明的范围并不表示上述范围，意图由权利要求书表示本发明的范围并包含与权利要求书的范围等同的范围、以及该范围内的所有变更。

Claims (3)

1.一种流路接头构造，其将分别形成于第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此连接，其中，

所述流路接头构造具有：

第1外螺纹部，其设置为从所述第1流体设备的一端面凸出，配置于该第1流体设备的流路孔的径向外侧；

第2外螺纹部，其设置为从所述第2流体设备的一端面凸出，配置于该第2流体设备的流路孔的径向外侧；

双端螺母，其在轴向一侧具有与所述第1外螺纹部螺合的第1内螺纹部，在轴向另一侧具有与所述第2外螺纹部螺合的第2内螺纹部；以及

密封部件，其在所述双端螺母的径向内侧使得所述第1内螺纹部与所述第1外螺纹部螺合，且使得所述第2内螺纹部与所述第2外螺纹部螺合，由此对所述第1流体设备及第2流体设备的流路孔彼此的连接部分进行密封，

所述第1外螺纹部及所述第1内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹中的任一者，

所述第2外螺纹部及所述第2内螺纹部为右旋螺纹及左旋螺纹中的另一者，

所述流路接头构造具有：

第1标记部，该第1标记部设置于所述第1流体设备及所述第2流体设备中的至少一个流体设备，表示所述第1外螺纹部及所述第2外螺纹部中的在所述一个流体设备设置的外螺纹部的紧固方向；

固定侧凸起部，其设置为从所述一个流体设备的所述一端面凸出；以及

活动侧凸起部，其设置于所述双端螺母，从该双端螺母向所述一个流体设备的所述一端面侧凸出，

如果所述双端螺母要从所述第1内螺纹部及所述第2内螺纹部中的与所述外螺纹部对应的内螺纹部与该外螺纹部螺合的状态向紧固方向的相反方向旋转，则所述活动侧凸起部与所述固定侧凸起部抵接而限制所述双端螺母向紧固方向的相反方向旋转，

所述第1标记部的至少一部分构成所述固定侧凸起部。

2.根据权利要求1所述的流路接头构造，其中，

所述流路接头构造还具有第2标记部，该第2标记部设置于所述双端螺母，表示该双端螺母的紧固方向。

3.根据权利要求2所述的流路接头构造，其中，

所述第2标记部的至少一部分构成所述活动侧凸起部。

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