JP7175701B2 - 流路継手構造 - Google Patents
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Description
この場合、ユニオンナットを締め付けるときに、第1雌ねじ部の第1雄ねじ部への螺合が開始されるタイミングと、第2雌ねじ部の第2雄ねじ部への螺合が開始されるタイミングとを合わせることができる。これにより、第1雌ねじ部の第1雄ねじ部に対する締め付け管理、及び第2雌ねじ部の第2雄ねじ部に対する締め付け管理を容易に行うことができる。
この場合、2つの流体デバイスの第1目印部及び第2目印部と、ユニオンナットの第3目印部とを位置合わせすることで、第1雄ねじ部のねじ開始位置と第1雌ねじ部のねじ開始位置との位置合わせ、及び第2雄ねじ部のねじ開始位置と第2雌ねじ部のねじ開始位置との位置合わせを容易に行うことができる。
この場合、2つの流体デバイスの第1目印部及び第2目印部と、ユニオンナットの第3目印部とを位置合わせしたときに、第1雄ねじ部の実際のねじ開始位置と第1雌ねじ部の実際のねじ開始位置とが周方向にずれるとともに、第2雄ねじ部の実際のねじ開始位置と第2雌ねじ部の実際のねじ開始位置とが周方向にずれる。これにより、前記位置合わせをした状態からユニオンナットを締め付けたときに、第1雌ねじ部を第1雄ねじ部にスムーズに螺合させることができ、かつ第2雌ねじ部を第2雄ねじ部にスムーズに螺合させることができる。
ユニオンナットの第1雄ねじ部及び第2雄ねじ部が軸方向に連続して形成されている場合、ユニオンナットを締め付けるときに、例えば、第1雌ねじ部の第1雄ねじ部への螺合が開始されるタイミングよりも、第2雌ねじ部の第2雄ねじ部への螺合が開始されるタイミングが遅れたときに、以下のような問題が生じる。すなわち、第1雌ねじ部の第1雄ねじ部に対する締め付けが完了した後も、第2雌ねじ部の第2雄ねじ部に対する締め付けが完了するまでユニオンナットが締め付けられる。これにより、第1雄ねじ部は、第2雌ねじ部の螺合位置まで移動するが、第1雄ねじ部と第2雌ねじ部は、右ねじと左ねじの関係にあるため、互いに螺合することができない。このため、ユニオンナットを無理に締め付けると、第1雄ねじ部及び第2雌ねじ部が破損するおそれがある。
この場合、ユニオンナットの増し締めが限界となったときに、ユニオンナットが流体デバイスの当接部に当接するので、作業者は、その当接によるトルク変動によって、ユニオンナットの増し締めが限界となったことを容易に把握することができる。
この場合、作業者は、流れ方向目印部により、2つの流体デバイスの間に配置するユニオンナットの向きを容易に把握することができる。
この場合、作業者は、締付方向目印部により、ユニオンナットの締付方向を容易に把握することができる。
次に、本発明の好ましい実施形態について添付図面を参照しながら説明する。なお、以下に記載する複数の実施形態の少なくとも一部を任意に組み合わせてもよい。
図1は、本発明の第1実施形態に係る流路継手構造を示す斜視図である。図1において、本実施形態の流路継手構造1は、例えば、半導体製造装置で使用される薬液が流れる配管経路において、第1配管ブロック(流体デバイス)51に形成された流路孔510(図4参照)と、第2配管ブロック(流体デバイス)52に形成された流路孔520とを接続する接続構造として使用される。
前記一方の第1突出部512の先端面には、環状の第1シール溝15が形成され、前記他方の第1突出部512の先端面には、環状の第2シール溝16が形成されている。
前記一方の第2突出部522の先端面には、環状の第1シール溝15が形成され、前記他方の第2突出部522の先端面には、環状の第2シール溝16が形成されている。
本実施形態では、第1雄ねじ部11は右ねじとされ、第2雄ねじ部12は左ねじとされている。なお、本実施形態とは逆に、第1雄ねじ部11を左ねじとし、第2雄ねじ部12を右ねじとしてもよい。
第1雌ねじ部13aは、第1配管ブロック51の第1雄ねじ部11に螺合される。第2雌ねじ部13bは、第2配管ブロック52の第2雄ねじ部12に螺合される。
図4は、流路継手構造1を分解した状態を示す斜視図である。なお、図4では、ガスケット14の図示を省略している(図5も同様)。図4において、第1雄ねじ部11のねじ開始位置11aと、第2雄ねじ部12のねじ開始位置12aとは、周方向において同じ位置(図例では12時の位置)に設定されている。第1雌ねじ部13aのねじ開始位置13a1と、第2雌ねじ部13bのねじ開始位置13b1とは、周方向において同じ位置(図4の例ではユニオンナット13を第2雌ねじ部13b側から見て略10時の位置)に設定されている。
ユニオンナット13の外周の第2雌ねじ部13b側には、第2雌ねじ部13bのねじ開始位置13b1として示す第3目印部63Bが設けられている。第3目印部63Bは、例えば、前記凸部13fの長手方向の他端部において先細り状に突出して形成されている。
なお、図1~図3では、第1目印部61、第2目印部62及び第3目印部63A,63Bの図示を省略している(図6~図9も同様)。
なお、図1~図3では、当接部66A及び当接部66Bの図示を省略している。
次に、本実施形態の流路継手構造1により、第1配管ブロック51及び第2配管ブロック52の流路孔510,520同士を接続する手順について説明する。まず、図6に示すように、作業者は、第1配管ブロック51の第1シール溝15にガスケット14の第1圧入部14aを圧入し、第1配管ブロック51にガスケット14を一体に取り付ける。
なお、ガスケット14は、第2配管ブロック52に一体に取り付けられてもよい。この場合、作業者は、第2配管ブロック52の第2シール溝16にガスケット14の第2圧入部14bを圧入すればよい。
このため、ユニオンナット13を締め付けるときに、第1雌ねじ部13aの第1雄ねじ部11への螺合が開始されるタイミングと、第2雌ねじ部13bの第2雄ねじ部12への螺合が開始されるタイミングとを合わせることができる。これにより、第1雌ねじ部13aの第1雄ねじ部11に対する締め付け管理、及び第2雌ねじ部13bの第2雄ねじ部12に対する締め付け管理を容易に行うことができる。
上記実施形態の流路継手構造は、半導体製造装置に使用される場合について説明したが、液晶・有機EL分野、医療・医薬分野、または自動車関連分野などにおいて使用されてもよい。
また、第1実施形態のユニオンナット13として、第2実施形態の非ねじ部13cを有するユニオンナット13を採用してもよい。この場合、ユニオンナット13を締め付ける際に、作業ミス等により、仮に第1雌ねじ部13aの第1雄ねじ部11への螺合が開始されるタイミングと、第2雌ねじ部13bの第2雄ねじ部12への螺合が開始されるタイミングとがずれたとしても、ユニオンナット13の締め付けを完了させることができ、かつ、雄ねじ部や雌ねじ部が破損するのを抑制することができる。
11 第1雄ねじ部
11a ねじ開始位置
12 第2雄ねじ部
12a ねじ開始位置
13 ユニオンナット
13a 第1雌ねじ部
13a1 ねじ開始位置
13b 第2雌ねじ部
13b1 ねじ開始位置
13c 非ねじ部
14 ガスケット(シール部材)
51 第1配管ブロック(流体デバイス)
52 第2配管ブロック(流体デバイス)
61 第1目印部
62 第2目印部
63A 第3目印部
63B 第3目印部
64 流れ方向目印部
65 締付方向目印部
66A 当接部
66B 当接部
510 流路孔
520 流路孔
Claims (6)
- 2つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
前記2つの流体デバイスのうちの一方の流体デバイスの端部において、当該流体デバイスの流路孔の径方向外方に形成された第1雄ねじ部と、
前記2つの流体デバイスのうちの他方の流体デバイスの端部において、当該流体デバイスの流路孔の径方向外方に形成された第2雄ねじ部と、
軸方向一方側に前記第1雄ねじ部に螺合される第1雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第2雄ねじ部に螺合される第2雌ねじ部を有するユニオンナットと、
前記ユニオンナットの径方向内方において、前記第1雄ねじ部に前記第1雌ねじ部が螺合されるとともに前記第2雄ねじ部に前記第2雌ねじ部が螺合されることで、前記2つの流体デバイスにおける流路孔同士の接続部分をシールするシール部材と、を備え、
前記第1雄ねじ部及び前記第1雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、
前記第2雄ねじ部及び前記第2雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方であり、
前記第1雄ねじ部のねじ開始位置と前記第2雄ねじ部のねじ開始位置とが、周方向において同じ位置に設定され、
前記第1雌ねじ部のねじ開始位置と前記第2雌ねじ部のねじ開始位置とが、周方向において同じ位置に設定され、
前記一方の流体デバイスに設けられ、前記第1雄ねじ部のねじ開始位置として示す第1目印部と、
前記他方の流体デバイスに設けられ、前記第2雄ねじ部のねじ開始位置として示す第2目印部と、
前記ユニオンナットに設けられ、前記第1雌ねじ部及び前記第2雌ねじ部の少なくとも一方のねじ開始位置として示す第3目印部と、をさらに備え、
前記第1目印部と前記第2目印部が示す位置は、実際のねじ開始位置であり、
前記第3目印部が示す位置は、実際のねじ開始位置に対して、前記ユニオンナットの締付方向に所定角度だけずれた位置である、流路継手構造。 - 2つの流体デバイスにそれぞれ形成された流路孔同士を接続する流路継手構造であって、
前記2つの流体デバイスのうちの一方の流体デバイスの端部において、当該流体デバイスの流路孔の径方向外方に形成された第1雄ねじ部と、
前記2つの流体デバイスのうちの他方の流体デバイスの端部において、当該流体デバイスの流路孔の径方向外方に形成された第2雄ねじ部と、
軸方向一方側に前記第1雄ねじ部に螺合される第1雌ねじ部を有し、軸方向他方側に前記第2雄ねじ部に螺合される第2雌ねじ部を有するユニオンナットと、
前記ユニオンナットの径方向内方において、前記第1雄ねじ部に前記第1雌ねじ部が螺合されるとともに前記第2雄ねじ部に前記第2雌ねじ部が螺合されることで、前記2つの流体デバイスにおける流路孔同士の接続部分をシールするシール部材と、を備え、
前記第1雄ねじ部及び前記第1雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか一方であり、
前記第2雄ねじ部及び前記第2雌ねじ部は、右ねじ及び左ねじのいずれか他方であり、
前記第1雄ねじ部のねじ開始位置と前記第2雄ねじ部のねじ開始位置とが、周方向において同じ位置に設定され、
前記第1雌ねじ部のねじ開始位置と前記第2雌ねじ部のねじ開始位置とが、周方向において同じ位置に設定され、
前記一方の流体デバイスに設けられ、前記第1雄ねじ部のねじ開始位置として示す第1目印部と、
前記他方の流体デバイスに設けられ、前記第2雄ねじ部のねじ開始位置として示す第2目印部と、
前記ユニオンナットに設けられ、前記第1雌ねじ部及び前記第2雌ねじ部の少なくとも一方のねじ開始位置として示す第3目印部と、をさらに備え、
前記第3目印部が示す位置は、実際のねじ開始位置であり、
前記第1目印部と前記第2目印部が示す位置は、実際のねじ開始位置に対して、前記ユニオンナットの締付方向と反対方向に所定角度だけずれた位置である、流路継手構造。 - 前記ユニオンナットは、前記第1雌ねじ部と前記第2雌ねじ部との間に形成された非ねじ部をさらに有する、請求項1又は請求項2に記載の流路継手構造。
- 前記2つの流体デバイスの少なくとも一方は、前記ユニオンナットの増し締めが限界となったときに、当該ユニオンナットが当接する当接部を有する、請求項1~3のいずれか1項に記載の流路継手構造。
- 前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナット内を流れる流体の流れ方向を示す流れ方向目印部をさらに備える請求項1~4のいずれか1項に記載の流路継手構造。
- 前記ユニオンナットに設けられ、当該ユニオンナットの締付方向を示す締付方向目印部をさらに備える請求項1~5のいずれか1項に記載の流路継手構造。
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