CN112744589B - 一种玻璃基板的上料装置 - Google Patents
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Abstract
本发明属于玻璃技术领域,公开了一种玻璃基板的上料装置,包括机架、两组第一吸附组件和两组第二吸附组件,机架的顶部设置有第一开口,载具能够从第一开口沿Z方向***机架,机架的侧壁对称设置有两个第二开口,两个第二开口与第一开口相连通,玻璃基板能够从第二开口沿X方向***机架;两组第一吸附组件对称设置于机架上,两组第一吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第一吸附组件用于吸附载具的封盖;两组第二吸附组件对称设置于机架上,两组第二吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第二吸附组件用于吸附玻璃基板,该玻璃基板的上料装置能够将玻璃基板上料至载具,该装置结构简单,自动化程度高。
Description
技术领域
本发明涉及玻璃技术领域,尤其涉及一种玻璃基板的上料装置。
背景技术
玻璃广泛应用于各领域,随着社会的发展,普通的玻璃往往不再能够满足使用需求,钢化玻璃、有色玻璃、镀膜玻璃等应运而生,然而,在生产镀膜玻璃时,往往需要使用电镀工艺将金属、合金或金属化合物电镀在玻璃的表面。通常情况下,镀膜玻璃使用水平电镀的方式进行电镀处理,然而,在对较大尺寸的玻璃进行电镀处理时,需将玻璃基板垂直固定在载具上,再将该载具放置到电镀设备中进行电镀作业,以实现对玻璃基板的垂直电镀。
因此,亟需设计一种玻璃基板的上料装置,以将玻璃基板垂直固定在载具上。
发明内容
本发明的目的在于提供一种玻璃基板的上料装置,以将玻璃基板垂直固定在载具上。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供一种玻璃基板的上料装置,包括:
机架,其顶部设置有第一开口,载具能够从所述第一开口沿Z方向***所述机架,所述机架的侧壁对称设置有两个第二开口,两个所述第二开口与所述第一开口相连通,玻璃基板能够从所述第二开口沿X方向***所述机架;
两组第一吸附组件,对称设置于所述机架上,且位于两个所述第二开口的两侧,两组所述第一吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,所述第一吸附组件用于吸附所述载具的封盖;及
两组第二吸附组件,对称设置于所述机架上,且位于两个所述第二开口的两侧,两组所述第二吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,所述第二吸附组件用于吸附所述玻璃基板。
该玻璃基板的上料装置包括机架、两组第一吸附组件和两组第二吸附组件,机架的顶部设置有第一开口,载具能够从第一开口沿Z方向***机架,机架的侧壁对称设置有两个第二开口,两个第二开口与第一开口相连通,玻璃基板能够从第二开口沿X方向***机架;两组第一吸附组件对称设置于机架上,且位于两个第二开口的两侧,两组第一吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第一吸附组件用于吸附载具的封盖;两组第二吸附组件对称设置于机架上,且位于两个第二开口的两侧,两组第二吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第二吸附组件用于吸附玻璃基板,该玻璃基板的上料装置能够将玻璃基板上料至载具,该装置结构简单,自动化程度高。
作为优选,所述第一吸附组件包括:
第一吸附主体,滑动设置于所述机架上,并能够沿Y方向移动;及
第一吸附部,包括多个第一吸盘,多个所述第一吸盘均设置于所述第一吸附主体上。
第一吸附主体滑动设置于机架上,以使第一吸附主体能够沿Y方向移动;第一吸附部包括多个第一吸盘,多个第一吸盘均设置于第一吸附主体上,当第一吸附主体移动,以使多个第一吸盘吸附载具的封盖。
作为优选,所述第二吸附组件包括:
第二吸附主体,滑动设置于所述机架上,并能够沿Y方向移动;及
第二吸附部,包括多个第二吸盘,多个所述第二吸盘均设置于所述第二吸附主体上。
第二吸附主体滑动设置于机架上,以使第二吸附主体能够沿Y方向移动;第二吸附部包括多个第二吸盘,多个第二吸盘均设置于第二吸附主体上,当第二吸附主体移动,以使多个第二吸盘吸附玻璃基板,并能够将玻璃基板上料至载具上。
作为优选,所述第二吸盘为伯努利吸盘。
多个第二吸盘均使用伯努利吸盘,能够防止多个第二吸盘在吸附玻璃基板时,第二吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了第二吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀的品质。
作为优选,所述第二吸附主体上还设置有归正组件,所述归正组件用于归正吸附于所述第二吸附部上的所述玻璃基板。
归正组件用于归正吸附于第二吸附部上的玻璃基板,以使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具。
作为优选,所述玻璃基板的上料装置还包括:
对正组件,设置于所述机架上,所述对正组件用于对正所述载具,以使所述载具能够插接在机架的预设位置上。
在将载具***机架时,载具能够通过对正组件进行对正,以便通过第一开口插在机架的预设位置上。
作为优选,所述玻璃基板的上料装置还包括:
浮动台,设置于所述机架上,所述浮动台用于支撑所述载具。
浮动台用于支撑载具,且该浮动台能够使载具在X-Y平面内移动,以便对正组件对载具的位置进行调整。
作为优选,所述玻璃基板的上料装置还包括:
锁紧组件,设置于所述机架上,所述锁紧组件用于锁紧或放松所述载具。
锁紧组件能够锁紧或放松载具,当支撑于浮动台上的载具完成调整后,锁紧组件将载具锁紧,以防载具发生偏移,当完成玻璃基板的上料后,锁紧组件放松载具,以便载具拔出机架。
作为优选,所述玻璃基板的上料装置还包括:
真空组件,设置于所述机架上,所述真空组件能够与所述载具上的真空通道相连通。
当第二吸附组件将玻璃基板上料至载具上时,该真空组件与载具上的真空通道相连通,以使载具上的吸盘能够吸附住玻璃基板。
作为优选,所述玻璃基板的上料装置还包括:
旋转组件,被配置为驱动所述机架、所述第一吸附组件、所述第二吸附组件、所述载具以及所述玻璃基板绕Z轴转动。
旋转组件能够驱动机架、第一吸附组件、第二吸附组件、载具以及玻璃基板转动,以便将玻璃基板上料至载具上。
本发明的有益效果:
本发明提出的玻璃基板的上料装置包括机架、两组第一吸附组件和两组第二吸附组件,机架的顶部设置有第一开口,载具能够从第一开口沿Z方向***机架,机架的侧壁对称设置有两个第二开口,两个第二开口与第一开口相连通,玻璃基板能够从第二开口沿X方向***机架;两组第一吸附组件对称设置于机架上,且位于两个第二开口的两侧,两组第一吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第一吸附组件用于吸附载具的封盖;两组第二吸附组件对称设置于机架上,且位于两个第二开口的两侧,两组第二吸附组件能够沿Y方向相互靠近或远离,第二吸附组件用于吸附玻璃基板,该玻璃基板的上料装置能够将玻璃基板上料至载具,该装置结构简单,自动化程度高。
附图说明
图1是本发明提出的玻璃基板的上料装置的示意图;
图2是本发明提出的机架以及设置于机架上的组件的示意图;
图3是本发明提出的第一吸附组件和第二吸附组件的示意图一;
图4是本发明提出的第一吸附组件和第二吸附组件的示意图二;
图5是本发明提出的第一吸附组件的示意图;
图6是本发明提出的第二吸附组件的示意图一;
图7是本发明提出的第二吸附组件的示意图二。
图中:
1、机架;2、第一吸附组件;3、第二吸附组件;4、第一驱动组件;5、第二驱动组件;6、导向组件;7、旋转组件;
11、第一开口;12、第二开口;13、支撑台;14、滑轨;15、对正组件;16、浮动台;17、锁紧组件;18、充电组件;19、真空组件;21、第一吸附主体;22、第一吸附部;31、第二吸附主体;32、第二吸附部;33、归正组件;41、第一传动部;42、第一驱动部;51、第二传动部;52、第二驱动部;
331、第一抵接部;332、第二抵接部;333、第三驱动部;334、第四驱动部;311、减重结构。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明,而非对本发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在本发明的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中,术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述和简化操作,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分,并没有特殊的含义。
在使用垂直电镀方式对玻璃基板进行电镀加工时,需将玻璃基板垂直固定在载具上,再将该载具放置到电镀设备中进行电镀作业。因此,本实施例提供一种玻璃基板的上料装置,用于将玻璃基板上料至载具,如图1-图4所示,该玻璃基板的上料装置包括机架1、两组第一吸附组件2和两组第二吸附组件3,机架1的顶部设置有第一开口11,载具能够从第一开口11沿Z方向***机架1,机架1的侧壁对称设置有两个第二开口12,两个第二开口12与第一开口11相连通,玻璃基板能够从第二开口12沿X方向***机架1;两组第一吸附组件2对称设置于机架1上,且位于两个第二开口12的两侧,两组第一吸附组件2能够沿Y方向相互靠近或远离,第一吸附组件2用于吸附载具的封盖;两组第二吸附组件3对称设置于机架1上,且位于两个第二开口12的两侧,两组第二吸附组件3能够沿Y方向相互靠近或远离,第二吸附组件3用于吸附玻璃基板,该玻璃基板的上料装置能够将玻璃基板上料至载具,该玻璃基板的上料装置结构简单,自动化程度高。
具体地,第一吸附组件2包括第一吸附主体21和第一吸附部22,第一吸附主体21滑动设置于机架1上,并能够沿Y方向移动;第一吸附部22包括多个第一吸盘,多个第一吸盘均设置于第一吸附主体21上,当第一吸附主体21移动,以使多个第一吸盘吸附载具的封盖。
具体地,第二吸附组件3包括第二吸附主体31和第二吸附部32,第二吸附主体31,滑动设置于机架1上,并能够沿Y方向移动;第二吸附部32包括多个第二吸盘,多个第二吸盘均设置于第二吸附主体31上,当第二吸附主体31移动,以使多个第二吸盘吸附玻璃基板,并能够将玻璃基板上料至载具上。
需要提到的是,本实施例中的第一吸附主体21为回字形(参见图5),第二吸附主体31位于第一吸附主体21的中间,以便第一吸附组件2将载具的封盖打开后,第二吸附组件3将玻璃基板放置到载具上。
由于需要对玻璃基板的工艺面进行电镀处理,所以玻璃基板的工艺面不能受到污染,在本实施例中,为了防止第二吸盘污染玻璃基板的工艺面,第二吸盘采用了伯努利吸盘,采用伯努利吸盘能够防止多个第二吸盘在吸附玻璃基板时,第二吸盘与玻璃基板的工艺面相接触,避免了第二吸盘污染玻璃基板的工艺面,进而提升了对玻璃基板电镀加工时的加工质量。
由于第二吸附主体31的尺寸较大,其重量也相对较重,为了提升第二吸附主体31移动的灵活性,本实施例在第二吸附主体31上设置了减重结构311,以在不降低第二吸附主体31刚度的前提下,降低第二吸附主体31的重量,以便于第二吸附主体31的移动,同时还能提升第二吸附主体31移动的精度。
可选地,第二吸附主体31上设置了多个减重通孔,以降低第二吸附主体31的重量。
为了驱动两组第一吸附组件2移动,该玻璃基板的上料装置还设置了两组第一驱动组件4,每组第一驱动组件4用于驱动对应的一组第一吸附组件2沿Y方向移动,第一驱动组件4包括第一传动部41和第一驱动部42,第一传动部41与第一吸附主体21传动相连,第一驱动部42与第一传动部41动力相连。
为了驱动两组第二吸附组件3移动,该玻璃基板的上料装置还设置了两组第二驱动组件5,每组第二驱动组件5用于驱动对应的一组第二吸附组件3沿Y方向移动,第二驱动组件5包括第二传动部51和第二驱动部52,第二传动部51与第二吸附主体31传动相连,第二驱动部52与第二传动部51动力相连。
优选地,第一驱动部42采用驱动电机,第一传动部41采用同步升降器,当驱动电机转动时,同步升降器能够使第一吸附组件2沿Y方向移动,在本实施例中,同步升降器由多个传动丝杠和多个传动轴和一个减速器组成,多个传动丝杠分别传动连接于第一吸附主体21,驱动电机通过减速器和多个传动轴与多个传动丝杠传动相连,驱动电机转动,经减速器减速后,将驱动力传递给传动轴,传动轴再使传动丝杠转动,多个传动轴能够使多个传动丝杠同时转动,以使第一吸附组件2沿Y方向移动;将传动部采用同步升降器,能够提升第一吸附组件2的移动稳定性,以防止第一吸附主体21在移动过程中发生倾斜或卡顿等现象。
在本实施例中,第二驱动部52采用了与第一驱动部42相同的驱动电机,第二传动部51采用了与第一驱动部42相同的同步升降器。
为了使第一吸附组件2的移动更加稳定,本实施例在机架1的底部设置了支撑台13和滑轨14,第一吸附主体21支撑于支撑台13上,支撑台13滑动设置于滑轨14上,滑轨14沿Y方向延伸。
为了使第二吸附主体31能够沿Y方向移动,该玻璃基板的上料装置还设置了导向组件6,该导向组件6能够使第二吸附主体31沿Y方向移动,对第二吸附主体31起到了一定的导向作用,提升了第二吸附组件3的运动稳定性和运动精度,同时还对第二吸附组件3起到了支撑作用。
具体地,导向组件6包括多个导向柱和多个导向环,多个导向柱均延Y方向延伸;多个导向环滑动设置于对应的导向柱上,多个导向环均与第二吸附主体31相连,该导向组件6的结构较为简单,易于操作和制造。
为了防止第二吸附组件3的移动距离过大,发生撞机现象,玻璃基板的上料装置还设置了限位组件,限位组件能够限制第二吸附主体31的移动,以防止第二吸附组件3的移动距离过大,发生撞机现象。
为了使玻璃基板能够对准载具,第二吸附主体31上还设置了归正组件33,归正组件33用于归正吸附于第二吸附部32上的玻璃基板,以使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具。
如图6和图7所示,归正组件33包括第一抵接部331,第一抵接部331能够沿Z方向移动,第一抵接部331能够抵接于吸附于多个第二吸盘上的玻璃基板的底边,以沿Z方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具,此外,该第一抵接部331还能够对玻璃基板起到一定的支撑作用,以防玻璃基板从多个吸盘上脱落,还能防止玻璃基板发生倾斜的现象。
进一步地,归正组件33还设置了两组第二抵接部332,两组第二抵接部332能够沿X方向相互靠近或远离,第二抵接部332能够抵接于玻璃基板的侧边,以沿X方向调节玻璃基板的位置,使玻璃基板能够对准载具,以便将玻璃基板上料至载具。
此外,归正组件33还设置了第三驱动部333和两组第四驱动部334,第三驱动部333与第一抵接部331传动相连,以使第一抵接部331能够沿Z方向移动;每组第四驱动部334与对应的一组第二抵接部332传动相连,以使第二抵接部332能够沿X方向移动。
优选地,第三驱动部333和第四驱动部334均包括传动相连的驱动电机和传动丝杠,第三驱动部333的传动丝杠与第一抵接部331传动相连,以驱动第一抵接部331移动,第四驱动部334的传动丝杠与第二抵接部332传动相连,以驱动第二抵接部332移动。
可选地,第三驱动部333和第四驱动部334还可以均采用直线电机或气缸,以驱动对应的第一抵接部331或对应的第二抵接部332移动,在这里不再对第三驱动部333和第四驱动部334的具体形式进行限定,只要能实现驱动第一抵接部331或第二抵接部332沿对应的方向移动即可。
需要提到的是,当玻璃基板放置在第一抵接部331上时,第二吸附主体31上的多个伯努利吸盘还能够对该玻璃基板起到一定的缓冲作用,以使玻璃基板能够稳定地支撑于第一抵接部331上,以便于该玻璃基板能够顺利地转移到载具的吸盘上。
由于载具在***机架1时,容易出现偏离的现象,导致载具的位置不准确,所以玻璃基板的上料装置的机架1上还设置了对正组件15,该对正组件15用于对正载具,以使载具能够插接在机架1的预设位置上,在将载具***机架1时,载具能够通过对正组件15进行对正,以便通过第一开口11插在机架1的预设位置上,此外,本实施例还在机架1的底部设置了卡槽,当载具***机架1时,载具的底部能够卡接于该卡槽内,以防止载具发生偏移或偏转,提升了载具插接于机架1上时的精度。
优选地,玻璃基板的上料装置的机架1上还设置了浮动台16,该浮动台16用于支撑载具,且该浮动台16能够使载具在X-Y平面内移动,以便对正组件15对载具的位置进行调整。
需要提到的是,当载具支撑于浮动台16上时,对正组件15能够沿X方向调整载具的位置。
为了防止调整好的载具发生移动,玻璃基板的上料装置的机架1上还设置了锁紧组件17,该锁紧组件17能够锁紧或放松载具,当支撑于浮动台16上的载具完成调整后,锁紧组件17将载具锁紧,以防载具发生偏移,当完成玻璃基板的上料后,锁紧组件17放松载具,以便载具拔出机架1。
在第二吸附组件3将玻璃基板放置到载具上时,载具上的吸盘就需要对该玻璃基板进行吸附,但由于载具的体积有限,载具内并没有设置真空装置,所以本实施例在玻璃基板的上料装置的机架1上设置了真空组件19,该真空组件19能够与载具上的真空通道相连通,以使载具上的吸盘能够吸附住玻璃基板。
由于载具内有电磁阀、控制器等耗电组件,所以载具在使用时还需要进行充电,因此,该玻璃基板的上料装置还在机架1上设置了充电组件18,以为载具充电。
由于载具的两个面均能够放置一块玻璃基板,当载具的一个面已放置一块玻璃基板后,机架1、第一吸附组件2、第二吸附组件3和载具就需要旋转180度,以待将第二块玻璃基板放置在载具另一面上,所以该玻璃基板的上料装置还设置了旋转组件7,该旋转组件7用于驱动机架1、第一吸附组件2、第二吸附组件3、载具以及玻璃基板绕Z轴转动,以便将玻璃基板上料至载具的两个面上。
当使用该玻璃基板的上料装置将玻璃基板上料至载具上时,首先,将载具从第一开口11***机架1,使载具支撑于浮动台16上,并使载具的底部卡接在机架1底部的卡槽内,然后,对正组件15对载具进行调整,锁紧组件17再锁紧载具,充电组件18对载具进行充电,真空组件19动作,以使真空组件19与载具上的真空通道相连通,然后,两组第一驱动组件4同时驱动对应的一组第一吸附组件2靠近载具移动,并使用多个第一吸盘吸附住载具两个面上的封盖,然后两组第一驱动组件4同时驱动对应的一组吸附着封盖的第一吸附组件2远离载具,以回到第一吸附组件2的初始位置,然后,一组第二驱动组件5驱动对应的第一吸附组件2向载具移动一定的距离,再使归正组件33的第一抵接部331和两组第二抵接部332沿对应的方向伸出,再使用六轴机械人将第一块玻璃基板从机架1一侧的第二开口12***载具和正在工作的一组第一吸附组件2之间,并将玻璃基板放置第一抵接部331上(使玻璃基板的底边支撑在该第一抵接部331上),此时,该组第二吸附组件3上的多个伯努利吸盘工作,以吸附住玻璃基板的工艺面,然后该组第二吸附组件3向载具移动,以使载具第一面上的吸盘吸附住玻璃基板的非工艺面,然后第二吸附组件3复位,旋转组件7驱动机架1、第一吸附组件2、第二吸附组件3、载具以及玻璃基板绕Z轴转动180度;同理,使用六轴机械人将第二块玻璃基板从机架1另一侧的第二开口12***载具和另一组第一吸附组件2之间,并使用另一组第一吸附组件2将玻璃基板上料至载具的第二面上,然后,两组第一驱动组件4同时驱动对应的一组吸附着封盖的第一吸附组件2靠近载具,以将两个封盖同时盖设在载具的两个面上,并抵压的玻璃基板的边缘,两组第一吸附组件2复位,取出载具,上料作业完成。
显然,本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例,而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种玻璃基板的上料装置,其特征在于,包括:
机架(1),其顶部设置有第一开口(11),载具能够从所述第一开口(11)沿Z方向***所述机架(1),所述机架(1)的侧壁对称设置有两个第二开口(12),两个所述第二开口(12)与所述第一开口(11)相连通,玻璃基板能够从所述第二开口(12)沿X方向***所述机架(1);
两组第一吸附组件(2),对称设置于所述机架(1)上,且位于两个所述第二开口(12)的两侧,两组所述第一吸附组件(2)能够沿Y方向相互靠近或远离,所述第一吸附组件(2)用于吸附所述载具的封盖;及
两组第二吸附组件(3),对称设置于所述机架(1)上,且位于两个所述第二开口(12)的两侧,两组所述第二吸附组件(3)能够沿Y方向相互靠近或远离,所述第二吸附组件(3)用于吸附所述玻璃基板;
所述第二吸附组件(3)包括:
第二吸附主体(31),滑动设置于所述机架(1)上,并能够沿Y方向移动;及
第二吸附部(32),包括多个第二吸盘,多个所述第二吸盘均设置于所述第二吸附主体(31)上,所述第二吸盘为伯努利吸盘;
还包括:
对正组件(15),设置于所述机架(1)上,所述对正组件(15)用于对正所述载具,以使所述载具能够插接在机架(1)的预设位置上。
2.根据权利要求1所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,所述第一吸附组件(2)包括:
第一吸附主体(21),滑动设置于所述机架(1)上,并能够沿Y方向移动;及
第一吸附部(22),包括多个第一吸盘,多个所述第一吸盘均设置于所述第一吸附主体(21)上。
3.根据权利要求1所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,所述第二吸附主体(31)上还设置有归正组件(33),所述归正组件(33)用于归正吸附于所述第二吸附部(32)上的所述玻璃基板。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,还包括:
浮动台(16),设置于所述机架(1)上,所述浮动台(16)用于支撑所述载具。
5.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,还包括:
锁紧组件(17),设置于所述机架(1)上,所述锁紧组件(17)用于锁紧或放松所述载具。
6.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,还包括:
真空组件(19),设置于所述机架(1)上,所述真空组件(19)能够与所述载具上的真空通道相连通。
7.根据权利要求1-3中任一项所述的玻璃基板的上料装置,其特征在于,还包括:
旋转组件(7),被配置为驱动所述机架(1)、所述第一吸附组件(2)、所述第二吸附组件(3)、所述载具以及所述玻璃基板绕Z轴转动。
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