CN217534646U - 一种硅片移载装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，具体公开了一种硅片移载装置。本实用新型提供的硅片移载装置用于在输送轨道和工艺载板之间移载硅片，吸附移载单元设有至少两个吸附硅片的吸附组件，以实现能同时吸附多列硅片从输送轨道移载至工艺载板上或者从工艺载板移载至输送轨道上，提高了转运效率，且吸附组件在X方向的位置能调整，以在输送轨道上相邻的两列硅片的间距与工艺载板上相邻的两列硅片的间距不相同时，实现硅片的顺利转运，提高了硅片移载装置使用的灵活性；X轴驱动单元使吸附移载单元在输送轨道和工艺载板之间切换，Z轴驱动单元驱动吸附移载单元升降以吸附或下放硅片，吸附定位精度要求低，且在移载过程中不易损坏硅片。

Description

一种硅片移载装置

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种硅片移载装置。

背景技术

硅片是太阳能电池的基础元件，在生产制造太阳能电池时，需要将前一段工艺处理后的硅片输送到下一工艺段，在转运过程中，硅片需要从硅片输送跑道移载至工艺载板，同时也需要从工艺载板移载至输送轨道。

在现有技术中，硅片移载装置不能同时将多个输送轨道上的硅片移载至工艺载板上，也不能同时将工艺载板上的多列硅片移载至多个输送轨道上，转运效率低下，使用成本高。且如果使用机械手结构转运硅片，不仅结构复杂，在转运过程中还存在对硅片造成损伤的风险。

因此，亟需提供一种硅片移载装置以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种硅片移载装置，能在多个输送轨道和工艺载板之间同时移载多列硅片，转运效率高，且在移载过程中不会对硅片造成损伤。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种硅片移载装置，用于在输送轨道和工艺载板之间移载硅片，所述输送轨道和所述工艺载板沿X方向间隔分布于所述硅片移载装置的下方，所述输送轨道沿Y方向输送硅片，所述硅片移载装置包括：

吸附移载单元，包括至少两个吸附组件，每个所述吸附组件沿Y方向设有多个吸附所述硅片的吸附部，所述吸附组件在X方向的位置能调节；

Z轴驱动单元，与所述吸附移载单元连接，所述Z轴驱动单元被配置为驱动所述吸附移载单元升降以吸附或下放所述硅片；

X轴驱动单元，与所述Z轴驱动单元连接，所述X轴驱动单元被配置为驱动所述Z轴驱动单元沿X方向移动以在所述输送轨道和所述工艺载板之间切换。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述吸附移载单元还包括：

横梁，所述横梁的两端均连接有所述Z轴驱动单元，每个所述Z轴驱动单元分别连接有X轴驱动单元；

安装支架，与所述横梁连接，所述吸附组件沿X方向可调节地设置于所述安装支架上。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述安装支架上设有吸附直线传动组件，所述吸附直线传动组件包括多个能沿X方向移动的移动副，所述吸附组件与移动副连接。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述吸附直线传动组件为多动子直线电机模组。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述Z轴驱动单元包括：

Z轴直线驱动器；

Z轴直线传动组件，所述Z轴直线传动组件的移动副与所述吸附移载单元连接，所述Z轴直线驱动器驱动移动副升降以带动所述吸附移载单元升降。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述Z轴直线传动组件包括：

丝杆，所述丝杆与所述Z轴直线驱动器驱动连接；

丝母，设置于所述丝杆上，所述吸附移载单元与所述丝母连接。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述X轴驱动单元包括：

X轴直线驱动器；

X轴直线传动组件，所述X轴直线传动组件的移动副与所述Z轴驱动单元连接，所述X轴直线驱动器驱动移动副移动以带动所述Z轴驱动单元沿X方向移动。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述X轴直线传动组件包括：

安装座，所述X轴直线驱动器和所述Z轴驱动单元均安装于所述安装座上；

齿条，沿X方向延伸；

齿轮，与所述X轴直线驱动器驱动连接，且所述齿轮与所述齿条啮合。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述X轴驱动单元还包括导向组件，所述导向组件被配置为用于导向所述安装座沿X方向移动。

作为上述的硅片移载装置的一种可选技术方案，所述导向组件包括支撑导轨，所述安装座上设有滑块，所述滑块滑动设置于所述支撑导轨上。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供的硅片移载装置用于在输送轨道和工艺载板之间移载硅片，吸附移载单元设有至少两个吸附硅片的吸附组件，以实现能同时吸附多列硅片从输送轨道移载至工艺载板上或者从工艺载板移载至输送轨道上，提高了转运效率，且吸附组件在X方向的位置能调整，以在输送轨道上相邻的两列硅片的间距与工艺载板上相邻的两列硅片的间距不相同时，实现硅片的顺利转运，提高了硅片移载装置使用的灵活性；X轴驱动单元使吸附移载单元在输送轨道和工艺载板之间切换，Z轴驱动单元驱动吸附移载单元升降以吸附或下放硅片，且硅片移载装置设置于输送轨道和工艺载板的上方，不影响输送轨道输送硅片，吸附移载单元吸附硅片的上表面，吸附面积大，吸附稳定性好，吸附定位精度要求低，且在移载过程中不易损坏硅片。

附图说明

图1是本实用新型实施例提供的硅片移载装置的整体结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的硅片移载装置的局部结构示意图；

图3是图2的A处局部放大结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的吸附移载单元的结构示意图；

图5是图4的B处局部放大结构示意图。

图中：

100、输送轨道；200、工艺载板；300、硅片；

1、吸附移载单元；2、Z轴驱动单元；3、X轴驱动单元；4、底座；

11、吸附组件；111、吸盘安装支架；112、吸盘；12、横梁；13、安装支架；14、吸附直线传动组件；

21、Z轴直线驱动器；

31、X轴直线驱动器；32、X轴直线传动组件；321、安装座；322、齿条；323、齿轮；33、导向组件；331、支撑导轨；332、滑块。

具体实施方式

为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

针对现有技术中，硅片移载装置不能同时将多个输送轨道上的硅片移载至工艺载板上，也不能同时将工艺载板上的多列硅片移载至多个输送轨道上，转运效率低下，使用成本高。且如果使用机械手结构转运硅片，不仅结构复杂，在转运过程中还存在对硅片造成损伤的风险的问题，本实施例提供了一种硅片移载装置以解决上述技术问题。

如图1和图2所示，本实施例中下述的X方向、Y方向和Z方向在空间结构上两两垂直设置。

具体地，本实施例提供的硅片移载装置用于在输送轨道100和工艺载板200之间移载硅片300，输送轨道100和工艺载板200沿X方向间隔分布于硅片移载装置的下方，输送轨道100沿Y方向输送硅片300。硅片移载装置包括吸附移载单元1、Z轴驱动单元2和X轴驱动单元3。吸附移载单元1包括至少两个吸附组件11，每个吸附组件11沿Y方向设有多个吸附硅片300的吸附部，以实现同时吸附置于输送轨道100上且沿Y方向输送的多个硅片300或者工艺载板200上沿Y方向排列的一列硅片300，并且实现了同时吸附多列硅片300从输送轨道100移载至工艺载板200上或者从工艺载板200移载至输送轨道100上，提高了转运效率。吸附组件11在X方向的位置能调节，以在输送轨道100上相邻的两列硅片300的间距与工艺载板200上相邻的两列硅片300的间距不相同时，实现硅片300的顺利转运，提高了硅片移载装置使用的灵活性。Z轴驱动单元2与吸附移载单元1连接，Z轴驱动单元2被配置为驱动吸附移载单元1升降以吸附或下放硅片300。X轴驱动单元3与Z轴驱动单元2连接，X轴驱动单元3被配置为驱动Z轴驱动单元2沿X方向移动以在输送轨道100和工艺载板200之间切换。硅片移载装置设置于输送轨道100和工艺载板200的上方，不影响输送轨道100输送硅片300，吸附移载单元1吸附硅片300的上表面，吸附面积大，吸附稳定性好，吸附定位精度要求低，且在移载过程中不易损坏硅片300。

在本实施例中，吸附移载单元1还包括横梁12，横梁12上设有安装支架13，吸附组件11设置于安装支架13上，且吸附组件11沿X方向可调节的设置于安装支架13上。横梁12的两端均连接有Z轴驱动单元2，两个Z轴驱动单元2同时工作驱动横梁12升降，进而实现驱动吸附组件11升降，且设置两个Z轴驱动单元2，降低了单边驱动在升降时存在卡滞的问题，提高了吸附组件11升降的稳定性及重复定位的精度。

Z轴驱动单元2与X轴驱动单元3连接，在设置两个Z轴驱动单元2的前提下，优选每个Z轴驱动单元2分别对应设置一个X轴驱动单元3。两个X轴驱动单元3同时工作驱动两个Z轴驱动单元2沿X方向移动，降低了单边驱动在沿X方向移动时存在卡滞的问题，提高了吸附组件11沿X方向移动的稳定性及重复定位的精度。输送轨道100和工艺载板200置于两个X轴驱动单元3之间，安装支架13置于横梁12的中部，以便于在安装支架13上安装吸附组件11。

在本实施例中，结合图2和图3所示，X轴驱动单元3包括X轴直线驱动器31和X轴直线传动组件32，X轴直线传动组件32的移动副与Z轴驱动单元2连接，X轴直线驱动器31驱动移动副移动以带动Z轴驱动单元2沿X方向移动，进而实现吸附移载单元1在输送轨道100和工艺载板200之间移动。

进一步地，在本实施例中，硅片移载装置还包括底座4(参见图1所示)，X轴直线传动组件32安装于底座4上。

X轴直线传动组件32包括齿条322，齿条322沿X方向延伸，优选齿条322安装于底座4上。X轴直线传动组件32还包括安装座321和齿轮323，X轴直线驱动器31和Z轴驱动单元2均安装于安装座321上，齿轮323与X轴直线驱动器31驱动连接，且齿轮323与齿条322啮合。在工作时，X轴直线驱动器31驱动齿轮323旋转且沿齿条322移动，进而带动安装座321沿X方向移动。本实施例提供的X轴直线传动组件32结构简单，且重复定位精度高，运行稳定性好。X轴直线驱动器31为电机。

在另一些实施例中，X轴直线传动组件32可以为同步带传送结构、链条传送结构或直线电机等，由于均为现有结构，在此不作详细介绍。

为了提高安装座321运行的稳定性，并且支撑安装座321、Z轴驱动单元2以及吸附移载单元1，在本实施例中，X轴驱动单元3还包括导向组件33，导向组件33被配置为用于导向安装座321沿X方向移动。

可选地，导向组件33包括支撑导轨331，支撑导轨331沿X方向延伸，具体地，支撑导轨331安装于底座4上，安装座321上设有滑块332，滑块332滑动设置于支撑导轨331上，结构简单，提高了安装座321运动的稳定性，为安装座321的运行提供了有效的支撑力。

在另一些实施例中，导向组件33包括支撑导轨331，支撑导轨331沿X方向延伸，安装座321上设有滑轮，滑轮滑动设置于支撑导轨331上。

Z轴驱动单元2包括Z轴直线驱动器21和Z轴直线传动组件，Z轴直线传动组件的移动副与吸附移载单元1连接，Z轴直线驱动器21驱动移动副升降以带动吸附移载单元1升降，进而实现硅片300的吸附或下放。

进一步地，Z轴直线传动组件包括丝杆和丝母，丝杆与Z轴直线驱动器21驱动连接，丝母设置于丝杆上，吸附移载单元1与丝母连接。具体地，吸附移载单元1的横梁12与丝母连接，Z轴直线驱动器21驱动丝杆转动，丝母沿丝杆升降，带动横梁12升降，进而实现了吸附组件11的升降。使用丝杆丝母结构实现吸附组件11的升降，传输效率高，重复定位精度高。Z轴直线驱动器21为电机。

在另一些实施例中，Z轴直线传动组件还可以为同步带传动结构、链轮传动结构、齿轮齿条传动结构或直线电机等，在此不作具体限定。

吸附组件11沿X方向可调节地设置于安装支架13上，具体地，如图4和图5所示，安装支架13上设有吸附直线传动组件14，吸附直线传动组件14包括多个能沿X方向移动的移动副，吸附组件11与移动副连接。吸附组件11在X方向的位置可调节以适应输送轨道100和工艺载板200的相邻的硅片300移载位置在X轴方向的变化。吸附直线传动组件14包括多个移动副，简化了实现吸附组件11在X方向位置可调节的结构，提高了吸附移载单元1整体结构的紧凑性。

在本实施例中，吸附直线传动组件14为多动子直线电机模组。多动子直线电机模组包括多个移动副。移动副设置的个数根据输送轨道100的个数进行设定，吸附组件11设置的个数与输送轨道100设置的个数相对应。示例性的，在本实施例中，输送轨道100设置四个，即有四条输送轨道100可以输送硅片300，与其对应的，吸附组件11设置有四个，则需要四个移动副与吸附组件11连接。

在本实施例中，吸附组件11包括吸盘安装支架111，吸附部为吸盘112，吸盘112安装于安装支架111上，吸盘112设置的数量与工艺载板200沿Y方向设置的硅片300的数量一致，确保一次将工艺载板200上的硅片300取走或一次性将硅片300放满工艺载板200。

在使用本实施例提供的硅片移载装置时，若是将输送轨道100上的硅片300移载至工艺载板200，吸附移载单元1在X轴驱动单元3的驱动下移动至输送轨道100的上方，Z轴驱动单元2驱动吸附移载单元1下降，吸附移载单元1吸附硅片300，Z轴驱动单元2驱动吸附移载单元1上升，X轴驱动单元3驱动吸附移载单元1移动至工艺载板200上方，然后Z轴驱动单元2驱动吸附移载单元1下降，将硅片300放置于工艺载板200上，在从输送轨道100吸附硅片300或者将硅片300放置于工艺载板200上，需要适应性调整吸附组件11在X方向上的位置。若是将工艺载板200上的硅片300放置于输送轨道100上，工作流程与上述相反，在此不作具体叙述。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种硅片移载装置，用于在输送轨道(100)和工艺载板(200)之间移载硅片(300)，所述输送轨道(100)和所述工艺载板(200)沿X方向间隔分布于所述硅片移载装置的下方，所述输送轨道(100)沿Y方向输送硅片(300)，其特征在于，所述硅片移载装置包括：

吸附移载单元(1)，包括至少两个吸附组件(11)，每个所述吸附组件(11)沿Y方向设有多个吸附所述硅片(300)的吸附部，所述吸附组件(11)在X方向的位置能调节；

Z轴驱动单元(2)，与所述吸附移载单元(1)连接，所述Z轴驱动单元(2)被配置为驱动所述吸附移载单元(1)升降以吸附或下放所述硅片(300)；

X轴驱动单元(3)，与所述Z轴驱动单元(2)连接，所述X轴驱动单元(3)被配置为驱动所述Z轴驱动单元(2)沿X方向移动以在所述输送轨道(100)和所述工艺载板(200)之间切换。

2.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述吸附移载单元(1)还包括：

横梁(12)，所述横梁(12)的两端均连接有所述Z轴驱动单元(2)，每个所述Z轴驱动单元(2)分别连接有X轴驱动单元(3)；

安装支架(13)，与所述横梁(12)连接，所述吸附组件(11)沿X方向可调节地设置于所述安装支架(13)上。

3.根据权利要求2所述的硅片移载装置，其特征在于，所述安装支架(13)上设有吸附直线传动组件(14)，所述吸附直线传动组件(14)包括多个能沿X方向移动的移动副，所述吸附组件(11)与移动副连接。

4.根据权利要求3所述的硅片移载装置，其特征在于，所述吸附直线传动组件(14)为多动子直线电机模组。

5.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述Z轴驱动单元(2)包括：

Z轴直线驱动器(21)；

Z轴直线传动组件，所述Z轴直线传动组件的移动副与所述吸附移载单元(1)连接，所述Z轴直线驱动器(21)驱动移动副升降以带动所述吸附移载单元(1)升降。

6.根据权利要求5所述的硅片移载装置，其特征在于，所述Z轴直线传动组件包括：

丝杆，所述丝杆与所述Z轴直线驱动器(21)驱动连接；

丝母，设置于所述丝杆上，所述吸附移载单元(1)与所述丝母连接。

7.根据权利要求1所述的硅片移载装置，其特征在于，所述X轴驱动单元(3)包括：

X轴直线驱动器(31)；

X轴直线传动组件(32)，所述X轴直线传动组件(32)的移动副与所述Z轴驱动单元(2)连接，所述X轴直线驱动器(31)驱动移动副移动以带动所述Z轴驱动单元(2)沿X方向移动。

8.根据权利要求7所述的硅片移载装置，其特征在于，所述X轴直线传动组件(32)包括：

安装座(321)，所述X轴直线驱动器(31)和所述Z轴驱动单元(2)均安装于所述安装座(321)上；

齿条(322)，沿X方向延伸；

齿轮(323)，与所述X轴直线驱动器(31)驱动连接，且所述齿轮(323)与所述齿条(322)啮合。

9.根据权利要求8所述的硅片移载装置，其特征在于，所述X轴驱动单元(3)还包括导向组件(33)，所述导向组件(33)被配置为用于导向所述安装座(321)沿X方向移动。

10.根据权利要求9所述的硅片移载装置，其特征在于，所述导向组件(33)包括支撑导轨(331)，所述安装座(321)上设有滑块(332)，所述滑块(332)滑动设置于所述支撑导轨(331)上。

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