CN112384458A - 搬送装置 - Google Patents

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伊砂隆志
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Abstract

对板状的工件进行搬送的搬送装置包括：第一吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件；以及第一部及第二部，其底面能够抵接于所述工件且侧面与所述第一吸附部相邻，所述第一吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面及所述第二部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面位于比所述第一部的底面及所述第二部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。

Description

搬送装置
技术领域
本发明涉及一种对工件进行搬送的搬送装置。
背景技术
以往，已知一种搬送装置，其利用吸附喷嘴吸附面板零件等堆积的板状的工件，由此自上侧依次握持工件来进行搬送。在此种搬送装置中，需要将工件逐片分离来进行搬送，以便不搬送多个工件。因此，已知有在利用搬送装置进行搬送时，用以将第一片工件与第二片及第二片以后的工件容易地分离的技术。
在专利文献1中记载有如下技术：在位于最上部的面板的上表面上所重叠的衬纸上吸附两个吸附垫，使吸附垫向衬纸的纸面内侧方向靠近而使衬纸挠曲，从而解除衬纸与最上层的面板的密接状态。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2009-18898号公报
发明内容
在所述专利文献1中，在利用两个吸附垫充分地吸附工件之后，将吸附垫相互接近而将工件彼此分离。此时，进行吸附及接近的多个工序，因此工件的握持工序有改善的余地。
本发明的目的在于提供一种可更容易地将板状的工件彼此分离的搬送装置。
本发明的一例的搬送装置是对板状的工件进行搬送的搬送装置，包括：第一吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件；以及第一部及第二部，其底面能够抵接于所述工件且侧面与所述第一吸附部相邻，且所述第一吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面及所述第二部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面位于比所述第一部的底面及所述第二部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
另外，本发明的一例的搬送装置是对板状的工件进行搬送的搬送装置，
包括：第一部，其底面能够抵接于所述工件；以及第一吸附部及第二吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件且侧面与所述第一部相邻，且所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面位于比所述第一部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
附图说明
[图1]是表示第一实施方式的搬送装置的整体正视图。
[图2]是表示工件吸附前的搬送装置的放大正视图。
[图3]是表示工件吸附时的搬送装置的放大正视图。
[图4]是表示工件上升时的搬送装置的放大正视图。
[图5]是表示工件搬送时的搬送装置的放大正视图。
[图6]图6A至图6C是表示第一吸附部及第一部、第二部的配置的第一变形例至第三变形例的平面图。
[图7]图7A及图7B是表示第一吸附部及第一部、第二部的配置的第四变形例及第五变形例的平面图。
[图8]图8A至图8D是表示第一吸附部及第一部、第二部的配置的第六变形例至第九变形例的平面图。
[图9]是表示第二实施方式的搬送装置中的工件吸附时的放大正视图。
[图10]图10A至图10C是表示第一吸附部、第二吸附部及第一部的配置的第十变形例至第十二变形例的平面图。
[图11]图11A及图11B是表示第一吸附部、第二吸附部及第一部的配置的第十三变形例及第十四变形例的平面图。
[图12]图12A至图12C是表示第一吸附部、第二吸附部及第一部的配置的第十五变形例至第十七变形例的平面图。
[图13]是表示第三实施方式的搬送装置的整体正视图。
[图14]是图13中的A-A线向视图。
[图15]是表示第三实施方式的搬送装置中的工件吸附时的放大正视图。
具体实施方式
＜第一实施方式＞
首先，使用图1至图5对本发明的第一实施方式的搬送装置1进行说明。在本说明书中，以图1所示的箭头定义搬送装置1的方向。本实施方式的搬送装置1是用于自水平堆积的板状的工件W的层叠体WL自上侧吸附并握持工件W来进行搬送的装置。在本实施方式中，将位于层叠体WL的最上部的工件W记载为“第一工件W1”，将位于第一工件W1的正下方(自上方起第二个)的工件W记载为“第二工件W2”(参照图2)。
如图1所示，搬送装置1包括第一部31及第二部32，第一部31包括：搬送引导件11、搬送机构12、升降引导件13、升降机构14、吸气管15、作为本发明的第一吸附部的吸附喷嘴16、吸气机构17、吸气软管18、第一按压构件31a以及第一抵接部31b，第二部32包括第二按压构件32a与第二抵接部31b。在本实施方式的搬送装置1中，各构成元件由未图示的控制部驱动控制。再者，作为第一吸附部中的工件W的吸附方法，也可采用使用静电卡盘、电磁卡盘将工件W吸附于第一吸附部的结构。
搬送机构12是用于通过使吸附部向左右水平方向(图1中所示的箭头H方向)移位而对工件W进行搬送的机构(搬送部)。搬送机构12构成为能够沿着架设于水平方向上的搬送引导件11移动。自搬送机构12向下方垂下了升降引导件13，在升降引导件13上设置有升降机构14。升降机构14构成为能够沿着升降引导件13在上下方向(图1中所示的箭头V方向)上升降。
自升降机构14的下表面的左右方向大致中央部向下方垂下了吸气管15，在吸气管15的下端部设置有吸附喷嘴16。吸气管15经由吸气软管18而与吸气机构17连接。吸气机构17包括未图示的真空泵及阀，通过控制部驱动吸气机构17，经由吸气软管18及吸气管15而自吸附喷嘴16进行吸气，吸附喷嘴16吸附工件W。在本实施方式中，吸附喷嘴16由能够在上下方向上伸缩的弹性原材料形成。而且，构成为在吸附部吸附工件W时吸附喷嘴16收缩而弹性变形(参照图3)。
自升降机构14的下表面向隔着吸气管15的左右两侧垂下了大致棒状的第一部31及第二部32。换句话说，吸气管15设置于第一部31与第二部32之间。第一部31包括棒状的第一按压构件31a、与设置于第一按压构件31a的下端部的第一抵接部31b。同样地，第二部32包括棒状的第二按压构件32a、与设置于第二按压构件32a的下端部的第二抵接部32b。第一部31及第二部32的侧面配置于与吸附喷嘴16相邻的位置。另外，第一部31及第二部32的底面(第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面)在利用吸附喷嘴16对工件W的吸附时抵接于工件W。第一抵接部31b、第二抵接部32b由发泡树脂等可弹性变形的原材料形成(参照图3)。第一抵接部31b、第二抵接部32b如图3所示在利用吸附喷嘴16对工件W的吸附时对工件W赋予按压力。再者，也可设为以下结构：将第一抵接部31b、第二抵接部32b的下端部形成为在前后方向上具有宽度的形状，第一抵接部31b、第二抵接部32b相对于工件W呈沿着前后方向的线状抵接。另外，也可仅由不包括第一抵接部31b、第二抵接部32b的第一按压构件31a、第二按压构件32a构成第一部31、第二部32。
在搬送装置1中，通过控制部驱动搬送机构12及升降机构14，能够使吸附喷嘴16及被吸附喷嘴16吸附的工件W在上下方向及左右方向上移位。再者，吸附搬送部的结构并不限定于本实施方式，也可为其他结构。例如，也可设为以下结构：将吸附喷嘴16装设于具有多个关节的机械臂的前端，通过驱动机械臂来使吸附喷嘴16及工件W移位。
如图1所示，在吸附喷嘴16的下方，用以收容多个工件W层叠而成的层叠体WL的收容壳体Cw载置于地面F。在本实施方式中，层叠体WL中工件W的在俯视时的中央部分C配置于吸附喷嘴16的正下方。换句话说，工件W是以由吸附喷嘴16吸附的吸附部分V与工件W的中央部分C重叠的方式配置。另外，在工件W的右端部配置有连接端子T。
接着，使用图2至图5，对利用本实施方式的搬送装置1搬送工件W的顺序进行说明。首先，驱动升降机构14，如图2中的箭头Vd所示，使吸气管15及吸附喷嘴16下降，并使吸附喷嘴16的底面抵接于层叠体WL中的第一工件W1。在本实施方式中，此时，吸附喷嘴16的底面位于比第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面更靠第二方向(下方)的位置，由此使吸附喷嘴16的底面与第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面相比先与工件W接触而容易进行利用吸附喷嘴16对工件W的吸附。再者，也可设为在吸附喷嘴16设置驱动机构，使吸附喷嘴16单独升降的结构。另外，也可设为以下结构：在使吸气管15及吸附喷嘴16下降时，吸附喷嘴16的底面与第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面配置于相同的高度。如图2所示，在吸附喷嘴16抵接于第一工件W1时，第一部31、第二部32的第一抵接部31b、第二抵接部32b与第一工件W1以较小的距离隔开。
接着，驱动吸气机构17，如图3中的虚线箭头A1所示，利用吸附喷嘴16吸附第一工件W1。吸附喷嘴16的底面对第一工件W1的吸附持续至利用搬送装置1进行的第一工件W1的搬送结束为止。
在吸附喷嘴16吸附第一工件W1时，吸附喷嘴16的内部成为负压，因此，如图3所示吸附喷嘴16收缩而弹性变形。因此，弹性变形后的吸附喷嘴16的底面的第一工件W1的吸附部分位于比第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面更靠吸附的第一方向(上方)的位置。而且，第一抵接部31b、第二抵接部32b抵接于第一工件W1，对第一工件W1向下方赋予按压力。
如上所述，第一工件W1的第一部31与第二部32之间的部分被吸附喷嘴16的底面向上方抽吸，左右两端部被第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面向下方按压。由此，在第一工件W1上如图3所示产生第一部31与第二部32之间的部分向上侧成为凸形形状的挠曲。即，吸附喷嘴16通过底面位于比第一抵接部31b、第二抵接部32b的底面更靠上侧的位置，而使第一工件W1挠曲并且加以握持。即使在第一工件W1与第二工件W2密接的情况下，因第一工件W1中产生的挠曲而空气进入至与第二工件W2之间，因此第一工件W1与第二工件W2也隔开。因此，第二工件W2自第一工件W1分离，如图3所示停留在收容壳体Cw的内部。
如上所述，在本实施方式中，设为通过吸附喷嘴16弹性变形而容易在第一工件W1中产生挠曲的结构，但也可采用与本实施方式不同的结构。例如，也可设为使吸附喷嘴16不变形(或变形量小)的结构，且设为吸气管15与第一部31、第二部32在上下方向上相对移位的结构。
在本结构中，在利用吸附喷嘴16吸附第一工件W1的状态下，使吸附喷嘴16的前端部中的第一工件W1的吸附部分与第一抵接部31b、第二抵接部32b相比更相对地向上方移位(使吸气管15上升，或使第一部31、第二部32下降)。由此，使第一抵接部31b、第二抵接部32b抵接于第一工件W1，可对第一工件W1向下方赋予按压力。在本结构的情况下，包括使吸附喷嘴16与第一部31、第二部32中的任一个上下移位的驱动机构。
接着，驱动升降机构14，如图4中的箭头Vu所示，使吸气管15及吸附喷嘴16上升，从而提起第一工件W1。在图4中，第一工件W1以挠曲的状态被提起。在所述状态下，第二工件W2已经与第一工件W1分离，因此也可解除第一工件W1中的挠曲。即，也可设为以下结构：在使第一工件W1上升之后，将利用吸气机构17对吸附喷嘴16的抽吸力松弛至第一工件W1不落下的程度，而消除第一工件W1的挠曲。另外，也可设为以下结构：在使吸气管15及吸附喷嘴16上升之前，松弛吸附喷嘴16的抽吸力(将第一工件W1中产生挠曲的时间设为瞬间)。
接着，驱动搬送机构12，如图5中的箭头Hr所示，使吸气管15及吸附喷嘴16水平移位来搬送第一工件W1。然后，通过利用搬送机构12而返回到原来的位置(参照图1)的吸气管15及吸附喷嘴16来搬送下一个工件W。
如上所述，在本实施方式的搬送装置1中，设为以下结构：在利用吸附喷嘴16吸附第一工件W1时，第一抵接部31b、第二抵接部32b抵接于第一工件W1，对第一工件W1向下方赋予按压力。由此，与利用吸附部对第一工件W1的吸附几乎同时地使第一工件W1挠曲并且加以握持，可将第二工件W2自第一工件W1分离。即，可容易地进行第一工件W1的吸附及第一工件W1与第二工件W2的分离。
另外，在本实施方式的搬送装置1中，设为使吸附喷嘴16的前端部收缩而弹性变形的结构。由此，无需设置使吸附喷嘴16或第一部31、第二部32相对移位的驱动机构，便可使第一工件W1的吸附部分向比第一抵接部31b、第二抵接部32b更靠上方移位。即，在搬送装置1中，能够以简单的结构进行第一工件W1与第二工件W2的分离。
接着，使用图6至图9，对作为第一吸附部的吸附喷嘴16、作为第一部及第二部的第一抵接部31b及第二抵接部32b的配置结构进行说明。图6至图9中的各图表示吸附喷嘴16的仰视图(自下方观察的状态)。
在本实施方式的搬送装置1中，只要是通过在利用吸附喷嘴16吸附工件W时第一抵接部31b、第二抵接部32b抵接于工件W而可使工件W挠曲并且握持的位置，则可如图6A中的第一变形例所示，吸附喷嘴16、第一抵接部31b及第二抵接部32b分别以位于三角形的顶点的方式配置。另外，如图6B中的第二变形例所示，在图6A的结构中，也可将吸附喷嘴16设为矩形形状的吸附喷嘴16s。另外，如图6C中的第三变形例所示，在图6A的结构中，也可设为以下结构：隔着吸附喷嘴16在第一抵接部31b、第二抵接部32b的相反侧设置其他抵接部33b。
另外，如图7A中的第四变形例所示，也可将吸附喷嘴16、第一抵接部31b及第二抵接部32b按照第一抵接部31b、吸附喷嘴16、第二抵接部32b的顺序呈大致直线状配置。另外，如图7B中的第五变形例所示，在图7A的结构中，也可将吸附喷嘴16设为矩形形状的吸附喷嘴16s。如此，通过按照第一抵接部31b、吸附喷嘴16、第二抵接部32b顺序呈大致直线状配置，而成为在仰视时第一抵接部31b及第二抵接部32b大致夹入吸附喷嘴16的配置，工件W中容易产生挠曲，因此，可容易地将第一工件W1自第二工件W2分离。
另外，如图8A中的第六变形例所示，也可将吸附喷嘴16配置于第一抵接部31b与第二抵接部32b之间。另外，如图8B中的第七变形例所示，在图8A的结构中，也可将吸附喷嘴16设为矩形形状的吸附喷嘴16s。另外，如图8C中的第八变形例所示，在图8A的结构中，也可设为以下结构：将第一抵接部31b形成为折弯成L字状的形状的第一抵接部31s，将第二抵接部32b形成为矩形形状的第二抵接部32s，利用第一抵接部31s及第二抵接部32s包围吸附喷嘴16。在此情况下，第一部31与第二部32也可一体地形成。如此，通过将吸附喷嘴16配置于第一抵接部31b与第二抵接部32b之间，而成为在仰视时第一抵接部31b及第二抵接部32b夹入吸附喷嘴16的配置，工件W中更容易产生挠曲，因此，可更容易地将第一工件W1自第二工件W2分离。
另外，如图8D中的第九变形例所示，在图8A的结构中，也可将第一抵接部31b形成为抵接肋31r。由此，可扩大抵接肋31r与工件W的接触面，工件W中容易产生挠曲，因此可容易地将第一工件W1自第二工件W2分离。
＜第二实施方式＞
接着，使用图9对第二实施方式的搬送装置进行说明。关于本实施方式，与第一实施方式的搬送装置1相同的结构省略详细的说明，以不同的结构为中心进行说明。
如图9所示，在本实施方式中，相对于第一实施方式的搬送装置1，抽吸部与抵接部的关系相反。即，设为以下结构：设置两根作为抽吸部的吸气管115a、吸气管115b，在其下端部分别包括作为本发明的第一吸附部的吸附喷嘴116a及作为本发明的第二吸附部的吸附喷嘴116b。而且，设为在吸气管115a、吸气管115b之间包括柱状的第一部131的结构。第一部131包括棒状的按压构件131a、与设置于按压构件131a的下端部的抵接部131b。如图9所示，第一吸附部116a、第二吸附部116b的侧面配置于与第一部131相邻的位置。另外，第一部131的底面(抵接部131b的底面)在利用第一吸附部116a、第二吸附部116b吸附工件W时抵接于工件W。再者，也可设为以下结构：抵接部131b相对于工件W呈沿着前后方向的线状或在前后左右具有扩展的面状抵接。
在本实施方式中，在吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b如图9中的虚线箭头A21、虚线箭头A22所示吸附第一工件W1时，吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b的前端部收缩而弹性变形。因此，弹性变形后吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b的前端部的第一工件W1的吸附部分向比抵接部131b更靠上方移位。而且，抵接部131b对第一工件W1向下方赋予按压力。
如上所述，本实施方式中的第一工件W1的左右两端部被吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b向上方抽吸，第一吸附部116a与第二吸附部116b之间的部分被抵接部131b向下方按压。由此，在第一工件W1上如图9所示产生第一吸附部116a与第二吸附部116b之间的部分向下侧成为凸形形状的挠曲。即，吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b通过底面位于比抵接部131b的底面更靠上侧的位置，使第一工件W1挠曲并且加以握持。即使在第一工件W1与第二工件W2密接的情况下，因第一工件W1中产生的挠曲而空气进入至与第二工件W2之间，因此第一工件W1与第二工件W2也隔开。因此，第二工件W2自第一工件W1分离，如图9所示停留在收容壳体Cw的内部。
如此，在本实施方式的搬送装置中，设为以下结构：在利用吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b吸附第一工件W1时，抵接部131b抵接于第一工件W1，对第一工件W1向下方赋予按压力。由此，与利用吸附部对第一工件W1的吸附几乎同时地使第一工件W1挠曲并且加以握持，可将第二工件W2自第一工件W1分离。即，可容易地进行第一工件W1的吸附及第一工件W1与第二工件W2的分离。
接着，使用图10至图12对作为第一吸附部、第二吸附部的吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b与作为第一部的抵接部131b的配置结构进行说明。图10至图12中的各图表示吸附喷嘴116a的仰视图(自下方观察的状态)。
在本实施方式的搬送装置1中，只要是通过在利用吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b吸附工件W时抵接部131b抵接于工件W而可使工件W挠曲并且加以握持的位置，则可如图10A中的第十变形例所示，吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b及抵接部131b分别以位于三角形的顶点的方式配置。另外，如图10B中的第十一变形例所示，在图10A的结构中，也可将抵接部131b设为矩形形状的抵接部131s。另外，如图10C中的第十二变形例所示，在图10A的结构中，也可设为以下结构：隔着抵接部131b在吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b的相反侧设置其他吸附部116c。
另外，如图11A中的第十三变形例所示，也可将吸附喷嘴16、吸附喷嘴116a、吸附喷嘴116b及抵接部131b按照吸附喷嘴116a、抵接部131b、吸附喷嘴116b的顺序呈大致直线状配置。另外，如图11B中的第十四变形例所示，在图11A的结构中，也可将抵接部131b设为矩形形状的抵接部131s。如此，通过按照吸附喷嘴116a、抵接部131b、吸附喷嘴116b的顺序呈大致直线状配置，而成为在仰视时吸附喷嘴116a及吸附喷嘴116b大致夹入抵接部131b的配置，工件W中容易产生挠曲，因此可容易地将第一工件W1自第二工件W2分离。
另外，如图12A中的第十五变形例所示，也可将抵接部131b配置于吸附喷嘴116a与吸附喷嘴116b之间。另外，如图12B中的第十六变形例所示，在图12A的结构中，也可将抵接部131b设为矩形形状的抵接部131s。另外，如图12C中的第十七变形例所示，在图12A的结构中，也可将吸附喷嘴116a与吸附喷嘴116b形成为矩形形状的吸附喷嘴116s、吸附喷嘴116s。如此，通过将抵接部131b配置于吸附喷嘴116a与吸附喷嘴116b之间，而成为在仰视时吸附喷嘴116a及吸附喷嘴116b夹入抵接部131b的配置，工件W中更容易产生挠曲，因此可更容易地将第一工件W1自第二工件W2分离。
＜第三实施方式＞
接着，使用图13至图15对第三实施方式的搬送装置201进行说明。关于本实施方式的搬送装置201，除了第一部231及第二部232的结构以外，与第一实施方式的搬送装置1相同，因此以第一部231及第二部232的结构为中心进行说明。
在搬送装置201中的升降机构14的下表面，以包围吸气管15的侧方及后方的方式设置有水平剖面视时形成为U字状的按压构件230。如图13及图14所示，按压构件230构成为在前表面形成有开口部230a的箱形形状。即，吸气管15及吸附喷嘴16被收容于按压构件230中的开口部230a的内侧。按压构件230通过将螺栓B、螺栓B插通至在底面开口的固定孔230b、固定孔230b中而固定于升降机构14。
如图13及图14所示，在按压构件230的下表面的左右两端部，沿着前后方向向下方直立设置有在利用吸附喷嘴16对工件W的吸附时抵接于工件W的肋状的第一部231及第二部232。即，吸气管15及吸附喷嘴16配置于第一部231与第二部232之间。如此，本实施方式的抵接部(第一部231及第二部232)在吸气管15及吸附喷嘴16的周围一体地构成。第一部231及第二部232如图15所示在利用吸附喷嘴16对工件W的吸附时对工件W赋予按压力。
在本实施方式中，在吸附喷嘴16如图15中的虚线箭头A3所示吸附第一工件W1时，吸附喷嘴16的前端部收缩而弹性变形。因此，弹性变形后的吸附喷嘴16的前端部的第一工件W1的吸附部分向比第一部231及第二部232更靠吸附的方向(上方)移位。而且，第一部231及第二部232对第一工件W1向下方赋予按压力。
如上所述，第一工件W1的第一部231与第二部232之间的部分被吸附喷嘴16向上方抽吸，左右两端部被第一部231及第二部232向下方按压。由此，在第一工件W1上如图15所示产生第一部231与第二部232之间的部分向上侧成为凸形形状的挠曲。即使在第一工件W1与第二工件W2密接的情况下，因第一工件W1中产生的挠曲而空气进入至与第二工件W2之间，因此第一工件W1与第二工件W2也隔开。因此，第二工件W2自第一工件W1分离，如图15所示停留在收容壳体Cw的内部。
如上所述，在本实施方式的搬送装置201中，将第一部231及第二部232一体地构成为包围吸气管15及吸附喷嘴16的周围的按压构件230。由此，通过将按压构件230组装至升降机构14，可将第一抵接部231及第二抵接部232同时地组装至升降机构14。因此，在组装按压构件230时，可容易地使第一部231与第二部232对位。即，与将抵接部设置于不同的构件的结构相比，可容易地将第一部231及第二部232组装至搬送装置201。
即，本发明的一例的搬送装置是对板状的工件进行搬送的搬送装置，包括：第一吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件；以及第一部及第二部，其底面能够抵接于所述工件且侧面与所述第一吸附部相邻，且所述第一吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面及所述第二部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面位于比所述第一部的底面及所述第二部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
根据所述结构，在自板状的工件的层叠体握持工件来进行搬送时，利用第一吸附部吸附工件，第一部及第二部抵接于工件而向下方赋予按压力，使第一部与第二部之间产生挠曲。由此，与利用第一吸附部对工件的吸附几乎同时地使工件产生挠曲，可将第二片及第二片以后的其他工件自工件分离。即，可容易地进行工件的吸附与自其他工件的分离。
另外，优选为所述第一部及所述第二部为大致棒状，且在所述第一吸附部的仰视时，按照所述第一部的底面、所述第一吸附部的底面、所述第二部的底面的顺序呈大致直线状配置。
根据所述结构，成为在第一吸附部的仰视时第一部及第二部大致夹入第一吸附部的配置，工件上容易产生挠曲，因此可容易地将工件自其他工件分离。
另外，优选为在所述第一吸附部的仰视时，所述第一吸附部的底面配置于所述第一部的底面与所述第二部的底面之间。
根据所述结构，成为在第一吸附部的仰视时第一部及第二部夹入第一吸附部的配置，工件中更容易产生挠曲，因此可更容易地将工件自其他工件分离。
另外，优选为所述第一部包括肋。
根据所述结构，容易以扩大第一部与工件的接触面的方式形成第一部。因此，工件中容易产生挠曲，而可容易地将工件自其他工件分离。
另外，本发明的一例的搬送装置是对板状的工件进行搬送的搬送装置，
包括：第一部，其底面能够抵接于所述工件；以及第一吸附部及第二吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件且侧面与所述第一部相邻，且所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面位于比所述第一部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
根据所述结构，在自板状的工件的层叠体握持工件来进行搬送时，利用第一吸附部及第二吸附部吸附工件，第一部抵接于工件并向下方赋予按压力，使第一吸附部与第二吸附部之间产生挠曲。由此，与利用第一吸附部及第二吸附部对工件的吸附几乎同时地使工件中产生挠曲，可将第二片及第二片以后的其他工件自工件分离。即，可容易地进行工件的吸附与自其他工件的分离。
另外，优选为所述第一吸附部及所述第二吸附部为大致筒状，且在所述第一吸附部的仰视时，按照所述第一吸附部的底面、所述第一部的底面、所述第二部的底面的顺序呈大致直线状配置。
根据所述结构，成为在第一吸附部的仰视时第一吸附部及第二吸附部大致夹入第一部的配置，工件中容易产生挠曲，因此可容易地将工件自其他工件分离。
另外，优选为在所述第一吸附部的仰视时，所述第一部的底面配置于所述第一吸附部的底面与所述第二吸附部的底面之间。
根据所述结构，成为在第一吸附部的仰视时第一吸附部及第二吸附部夹入第一部的配置，工件中更容易产生挠曲，因此可更容易地将工件自其他工件分离。
另外，优选为所述第一吸附部的底面能够位于比所述第一部的底面更靠与所述第一方向相反的第二方向侧的位置。
根据所述结构，在使第一吸附部与工件接触时，第一吸附部的底面与第一部的底面相比先与工件接触，因此容易进行第一吸附部中的工件的吸附。
另外，优选为所述第一吸附部能够伸缩。
根据所述结构，在第一吸附部的底面与工件接触之后，容易使第一吸附部的底面向第一方向移动，因此可更容易地将工件自其他工件分离。
根据本发明的一例的搬送装置，可在自板状的工件的层叠体吸附工件来进行搬送时，将第一片工件与第二片及第二片以后的其他工件在短时间内分离来进行搬送。
本申请以2018年7月5日提出申请的日本专利申请特愿2018-128411为基础，且其内容包含于本申请中。此外，在具体实施方式一项中所呈现的具体的实施方式或实施例仅用以使本发明的技术内容明确，本发明不应仅限定于此种具体例而狭义地解释。
符号的说明
1：搬送装置
11：搬送引导件
12：搬送机构
13：升降引导件
14：升降机构
15：吸气管
16：吸附喷嘴
17：吸气机构
18：吸气软管
31：第一部
31a：第一按压构件
31b：第一抵接部
32：第二部
32a：第二按压构件
32b：第二抵接部
33b：抵接部
115a：吸气管
115b：吸气管
116a：吸附喷嘴
116b：吸附喷嘴
131：第一部
131a：按压构件
131b：抵接部
201：搬送装置
230：按压构件
230a：开口部
230b：固定孔
231：第一部
232：第二部
B：螺栓
Cw：收容壳体
F：地面
W：工件
W1：第一工件
W2：第二工件
WL：工件层叠体

Claims (9)

1.一种搬送装置，是对板状的工件进行搬送的搬送装置，其特征在于，包括：
第一吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件；以及
第一部及第二部，其底面能够抵接于所述工件且侧面与所述第一吸附部相邻，且
所述第一吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面及所述第二部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面位于比所述第一部的底面及所述第二部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
所述第一部及所述第二部为大致棒状，且
在所述第一吸附部的仰视时，
按照所述第一部的底面、所述第一吸附部的底面、所述第二部的底面的顺序呈大致直线状配置。
3.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，
在所述第一吸附部的仰视时，
所述第一吸附部的底面配置于所述第一部的底面与所述第二部的底面之间。
4.根据权利要求3所述的搬送装置，其特征在于，所述第一部包括肋。
5.一种搬送装置，是对板状的工件进行搬送的搬送装置，其特征在于，包括：
第一部，其底面能够抵接于所述工件；以及
第一吸附部及第二吸附部，其底面抵接于所述工件并能够吸附所述工件且侧面与所述第一部相邻，且
所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面吸附所述工件，所述第一部的底面抵接于所述工件，所述第一吸附部的底面及所述第二吸附部的底面位于比所述第一部的底面更靠吸附所述工件的第一方向侧的位置，由此使所述工件挠曲。
6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，
所述第一吸附部及所述第二吸附部为大致筒状，且
在所述第一吸附部的仰视时，
按照所述第一吸附部的底面、所述第一部的底面、所述第二部的底面的顺序呈大致直线状配置。
7.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，
在所述第一吸附部的仰视时，
所述第一部的底面配置于所述第一吸附部的底面与所述第二吸附部的底面之间。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的搬送装置，其特征在于，所述第一吸附部的底面能够位于比所述第一部的底面更靠与所述第一方向相反的第二方向侧的位置。
9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述第一吸附部能够伸缩。
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